JPH06204774A - 圧電共振子の除塵装置 - Google Patents
圧電共振子の除塵装置Info
- Publication number
- JPH06204774A JPH06204774A JP36037892A JP36037892A JPH06204774A JP H06204774 A JPH06204774 A JP H06204774A JP 36037892 A JP36037892 A JP 36037892A JP 36037892 A JP36037892 A JP 36037892A JP H06204774 A JPH06204774 A JP H06204774A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resonator
- dust
- piezoelectric resonator
- crystal
- crystal chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］ 溶剤を用いること無く、かつ非接触に洗浄を
行い、圧電共振子に付着した塵を無公害に、かつ容易に
除去する。 ［構成］ 圧電共振子３を駆動装置４により２０ｍＷな
いし５０ｍＷの電力で圧電駆動して、この圧電共振子に
対して紫外線源５によりイオンを放出するとともに圧電
共振子から遊離した塵を集塵器６で吸着することを特徴
とするものである。
行い、圧電共振子に付着した塵を無公害に、かつ容易に
除去する。 ［構成］ 圧電共振子３を駆動装置４により２０ｍＷな
いし５０ｍＷの電力で圧電駆動して、この圧電共振子に
対して紫外線源５によりイオンを放出するとともに圧電
共振子から遊離した塵を集塵器６で吸着することを特徴
とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振子に付着した
塵を無公害で効率よく除去することができる圧電共振器
の除塵装置に関する。
塵を無公害で効率よく除去することができる圧電共振器
の除塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえば水晶振動子のような圧電
共振子を製造する場合、共振子に塵が付着したまま封止
すると振動特性を損なったり極端な場合は発振を停止す
ることがあった。このため圧電共振子を金属容器等に封
止する際に、たとえばフロンで洗浄して塵を除去した後
に封止するようにしていた。しかしながらフロンは、蒸
発すると地球をとりまくオゾン層に達してこれを破壊す
ることが明らかになり、現在使用が制限されており、近
い将来には全面的に使用できなくなる予定である。
共振子を製造する場合、共振子に塵が付着したまま封止
すると振動特性を損なったり極端な場合は発振を停止す
ることがあった。このため圧電共振子を金属容器等に封
止する際に、たとえばフロンで洗浄して塵を除去した後
に封止するようにしていた。しかしながらフロンは、蒸
発すると地球をとりまくオゾン層に達してこれを破壊す
ることが明らかになり、現在使用が制限されており、近
い将来には全面的に使用できなくなる予定である。
【０００３】このために、フロンに代えて超純水やアル
コールを使用して圧電共振子のような電子部品の洗浄を
行うことが提案されている。しかしながらこのような溶
液は電子部品の電極を酸化させて電気的な導通状態を損
なったり、発錆して外観を損なう等の問題を発生するこ
とがあった。また近時、多くの電子部品で多用されてい
る導電性接着剤を溶かして接着強度を損なう可能性もあ
った。したがってこのような溶液で洗浄を行った場合、
たとえば圧電共振子では信頼性の低下、共振特性の劣化
等の問題を生じることがあった。
コールを使用して圧電共振子のような電子部品の洗浄を
行うことが提案されている。しかしながらこのような溶
液は電子部品の電極を酸化させて電気的な導通状態を損
なったり、発錆して外観を損なう等の問題を発生するこ
とがあった。また近時、多くの電子部品で多用されてい
る導電性接着剤を溶かして接着強度を損なう可能性もあ
った。したがってこのような溶液で洗浄を行った場合、
たとえば圧電共振子では信頼性の低下、共振特性の劣化
等の問題を生じることがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたもので、溶剤を用いること無く、かつ
非接触に洗浄を行うことができ、圧電共振子に付着した
塵を無公害に、かつ容易に除去することができる圧電共
振子の除塵装置を提供することを目的とするものであ
る。
に鑑みてなされたもので、溶剤を用いること無く、かつ
非接触に洗浄を行うことができ、圧電共振子に付着した
塵を無公害に、かつ容易に除去することができる圧電共
振子の除塵装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電共振子を
２０ｍＷないし５０ｍＷの電力で圧電駆動して、この圧
電共振子に対してイオンを放出するとともに圧電共振子
から遊離した塵を集塵器で吸着することを特徴とするも
のである。
２０ｍＷないし５０ｍＷの電力で圧電駆動して、この圧
電共振子に対してイオンを放出するとともに圧電共振子
から遊離した塵を集塵器で吸着することを特徴とするも
のである。
【０００６】
【実施例】以下本発明の一実施例を図１に示す装置のブ
ロック図、図２に示す平面図を参照して詳細に説明す
る。図中１はリング状のターンテーブルで、パルスモー
タ２によってリングの中心を回転軸として回転駆動する
ようにしている。このターンテーブル１の上面には等間
隔に多数の圧電共振子３、たとえば水晶共振子を保持し
ている。そしてターンテーブル１の上面に透孔を穿設し
てここに上記端子を差し込んで上記水晶片の板面を垂直
に保持するようにしている。この水晶共振子３は、たと
えばベースに植設した一対の端子に所定の形状に成形し
て板面に励振電極を形成した水晶片を導電性接着剤等で
固着して保持したものである。そしてターンテーブル１
に保持した水晶共振子３は予め定めた回動位置、すなわ
ち洗浄を行うべき洗浄位置で駆動装置４に電気的に接続
して２０ｍＷないし５０ｍＷの比較的大きな電力で強励
振して圧電駆動する。この駆動装置４は、たとえば出力
の大きな圧電発振器でもよいし、あるいはこの発振器の
代わりに伝送回路を用いるようにしてもよい。そして５
は紫外線源で上記洗浄位置で水晶共振子３へ紫外線を照
射して化学的な活性の強いイオンを放出する。そして６
は圧電共振子３から遊離した塵を、たとえば真空排気装
置で吸着する集塵器である。
ロック図、図２に示す平面図を参照して詳細に説明す
る。図中１はリング状のターンテーブルで、パルスモー
タ２によってリングの中心を回転軸として回転駆動する
ようにしている。このターンテーブル１の上面には等間
隔に多数の圧電共振子３、たとえば水晶共振子を保持し
ている。そしてターンテーブル１の上面に透孔を穿設し
てここに上記端子を差し込んで上記水晶片の板面を垂直
に保持するようにしている。この水晶共振子３は、たと
えばベースに植設した一対の端子に所定の形状に成形し
て板面に励振電極を形成した水晶片を導電性接着剤等で
固着して保持したものである。そしてターンテーブル１
に保持した水晶共振子３は予め定めた回動位置、すなわ
ち洗浄を行うべき洗浄位置で駆動装置４に電気的に接続
して２０ｍＷないし５０ｍＷの比較的大きな電力で強励
振して圧電駆動する。この駆動装置４は、たとえば出力
の大きな圧電発振器でもよいし、あるいはこの発振器の
代わりに伝送回路を用いるようにしてもよい。そして５
は紫外線源で上記洗浄位置で水晶共振子３へ紫外線を照
射して化学的な活性の強いイオンを放出する。そして６
は圧電共振子３から遊離した塵を、たとえば真空排気装
置で吸着する集塵器である。
【０００７】このような構成であれば、洗浄作業を行う
場合、ターンテーブル１の上面に水晶共振子３の端子を
差し込んで保持する。そしてターンテーブル１を、所定
の角度づつ間欠的に回動させて、洗浄位置で水晶共振子
３を駆動装置４に電気的に接続して圧電駆動する。この
場合、水晶共振子３は比較的大きな電力で励振するよう
にしているので発熱して水分を媒体として水晶片に付着
した塵を遊離させることができる。また洗浄位置では水
晶共振子３に対してイオン発生装置で発生したイオンを
放出する。そしてイオンシャワーによって水晶片から除
去した異物が再び付着しないように水晶片の静電防止処
理を行うとともにイオンの活性によって水晶片の表面の
塵と反応して除去し易くする。このようにして水晶共振
子３から遊離した塵は集塵器６で吸収することによって
水晶片の近傍を清浄に保ち、洗浄を行うようにしてい
る。このようにすれば、水晶共振子の板面に付着した、
たとえば５μｍないし２０μｍの大きさの塵を効率よく
除去することができ、かつ洗浄作業を水晶共振子に非接
触で行えるので発錆したり導電性接着剤を損傷すること
もない。なお洗浄作業を行う際の励振電力については、
励振電力を強化するとともに次第に形状の大きな塵が振
り落とされ、ついには過励振によって水晶共振子は破損
する。したがって、たとえば８ｍｍ程度の丸板状のＡＴ
カットの水晶振動子の場合、３５ｍｗ程度の電力で励振
すればよい。なお実験に用いた水晶振動子は共振周波数
８．９ＭＨｚで、励振電極はクロムの上に金を蒸着した
ものである。この結果から明らかなように最大３０ｍＷ
前後の励振電力を印加することによって約３０μｍ以下
の大きさの塵は数秒間で除去することができる。すなわ
ち、寸法の小さな塵は小さな励振電力を加えても除去す
ることができ、逆に寸法の大きな塵は大きな励振電力を
加えないと除去することができない。なお水晶共振子３
は強励振し過ぎると破損してしまうために、たとえば５
０ｍＷを越える電力で励振することは危険である。した
がって水晶共振子３を強励振しても充分に発熱しない場
合は、水晶共振子３の板面に、たとえば１００℃ないし
３００℃に加熱した不活性ガスをブロワー８から吹き付
けて加熱するようにしてもよい。
場合、ターンテーブル１の上面に水晶共振子３の端子を
差し込んで保持する。そしてターンテーブル１を、所定
の角度づつ間欠的に回動させて、洗浄位置で水晶共振子
３を駆動装置４に電気的に接続して圧電駆動する。この
場合、水晶共振子３は比較的大きな電力で励振するよう
にしているので発熱して水分を媒体として水晶片に付着
した塵を遊離させることができる。また洗浄位置では水
晶共振子３に対してイオン発生装置で発生したイオンを
放出する。そしてイオンシャワーによって水晶片から除
去した異物が再び付着しないように水晶片の静電防止処
理を行うとともにイオンの活性によって水晶片の表面の
塵と反応して除去し易くする。このようにして水晶共振
子３から遊離した塵は集塵器６で吸収することによって
水晶片の近傍を清浄に保ち、洗浄を行うようにしてい
る。このようにすれば、水晶共振子の板面に付着した、
たとえば５μｍないし２０μｍの大きさの塵を効率よく
除去することができ、かつ洗浄作業を水晶共振子に非接
触で行えるので発錆したり導電性接着剤を損傷すること
もない。なお洗浄作業を行う際の励振電力については、
励振電力を強化するとともに次第に形状の大きな塵が振
り落とされ、ついには過励振によって水晶共振子は破損
する。したがって、たとえば８ｍｍ程度の丸板状のＡＴ
カットの水晶振動子の場合、３５ｍｗ程度の電力で励振
すればよい。なお実験に用いた水晶振動子は共振周波数
８．９ＭＨｚで、励振電極はクロムの上に金を蒸着した
ものである。この結果から明らかなように最大３０ｍＷ
前後の励振電力を印加することによって約３０μｍ以下
の大きさの塵は数秒間で除去することができる。すなわ
ち、寸法の小さな塵は小さな励振電力を加えても除去す
ることができ、逆に寸法の大きな塵は大きな励振電力を
加えないと除去することができない。なお水晶共振子３
は強励振し過ぎると破損してしまうために、たとえば５
０ｍＷを越える電力で励振することは危険である。した
がって水晶共振子３を強励振しても充分に発熱しない場
合は、水晶共振子３の板面に、たとえば１００℃ないし
３００℃に加熱した不活性ガスをブロワー８から吹き付
けて加熱するようにしてもよい。
【０００８】なお本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、たとえば水晶片に有機物が塵として付着して
いる場合、イオン発生装置に紫外線源を設けてイオンを
放出するとともに強力な紫外線を照射するようにしても
よい。このようにすれば紫外線の化学作用によって物質
を活性化し、紫外線によって発生するオゾンの存在と相
俟て有機物を効率よく分解し除去することができる。
ではなく、たとえば水晶片に有機物が塵として付着して
いる場合、イオン発生装置に紫外線源を設けてイオンを
放出するとともに強力な紫外線を照射するようにしても
よい。このようにすれば紫外線の化学作用によって物質
を活性化し、紫外線によって発生するオゾンの存在と相
俟て有機物を効率よく分解し除去することができる。
【０００９】以上詳述したように本発明によれば溶剤を
用いることなく、非接触に圧電共振子を清浄な状態に洗
浄することができしかも公害も発生しない圧電共振子の
除塵装置を提供することができる。
用いることなく、非接触に圧電共振子を清浄な状態に洗
浄することができしかも公害も発生しない圧電共振子の
除塵装置を提供することができる。
【図１】本発明の装置の概要を示す正面図である。
【図２】本発明の装置の概要を示す平面図である。
１ ターンテーブル ３ 水晶共振子 ４ 駆動装置 ５ 紫外線源 ６ 集塵器 ７ イオン発生装置 ８ ブロワー
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電共振子を２０ｍＷないし５０ｍＷの
電力で圧電駆動する駆動装置と、 圧電共振子に対してイオンを放出するイオン発生装置
と、 圧電共振子から遊離した塵を吸着する集塵器と、 を具備することを特徴とする圧電共振子の除塵装置。 - 【請求項２】イオン発生装置は１００℃ないし３００℃
の温度の不活性ガスを吹き出すことを特徴とする請求項
１に記載の圧電共振器の除塵装置。 - 【請求項３】イオン発生装置は紫外線を発生する紫外線
源を有することを特徴とする請求項１に記載の圧電共振
器の除塵装置。 - 【請求項４】集塵器は真空排気装置であることを特徴と
する請求項１に記載の圧電共振器の除塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36037892A JPH06204774A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 圧電共振子の除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36037892A JPH06204774A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 圧電共振子の除塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204774A true JPH06204774A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18469157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36037892A Pending JPH06204774A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 圧電共振子の除塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204774A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016144092A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子の製造方法 |
| CN105846783A (zh) * | 2015-02-03 | 2016-08-10 | 精工爱普生株式会社 | 振动设备的制造方法 |
| JPWO2017212677A1 (ja) * | 2016-06-08 | 2019-03-07 | 株式会社村田製作所 | 共振装置製造方法 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP36037892A patent/JPH06204774A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016144092A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子の製造方法 |
| CN105846783A (zh) * | 2015-02-03 | 2016-08-10 | 精工爱普生株式会社 | 振动设备的制造方法 |
| JPWO2017212677A1 (ja) * | 2016-06-08 | 2019-03-07 | 株式会社村田製作所 | 共振装置製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101196542B1 (ko) | 기판 세정 방법 및 장치 | |
| JP2701709B2 (ja) | ２つの材料の直接接合方法及び材料直接接合装置 | |
| US6041799A (en) | Microwave-excitation cleaning and rinsing apparatus | |
| JP3206142B2 (ja) | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 | |
| JPH06204774A (ja) | 圧電共振子の除塵装置 | |
| JP2001009394A (ja) | 炭化ケイ素焼結体の湿式洗浄方法 | |
| JP2002028597A (ja) | 電気物品の洗浄方法 | |
| JP2004082038A (ja) | 超音波洗浄方法、超音波洗浄装置および、超音波洗浄ノズルのノズル部の製造方法 | |
| JP2002118085A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
| JP2004096055A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
| JP2002263593A (ja) | 超音波洗浄方法 | |
| JP2850887B2 (ja) | ウエーハの洗浄方法及びその装置 | |
| JP3960516B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH0756323A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2003311226A (ja) | 洗浄処理方法及び洗浄処理装置 | |
| JP2015023069A (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
| JPH07154177A (ja) | 圧電デバイスの製造方法 | |
| JP2002009567A (ja) | 圧電振動デバイスの製造方法 | |
| JP3341927B2 (ja) | 固体表面の清浄化方法及び装置 | |
| JPH1064698A (ja) | プラズマ発生方法，プラズマ発生装置およびプラズマ発生素子 | |
| JP2002316110A (ja) | 電子部品の洗浄方法およびそれに用いる洗浄装置 | |
| JPH10242098A (ja) | ウエハ清浄化装置及びウエハ清浄化方法 | |
| JP2005103376A (ja) | プラズマ洗浄装置 | |
| JP2002079198A (ja) | 超音波洗浄方法とその装置 | |
| JP2001269632A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 |