JPH06204377A - Package for semiconductor device and its manufacture - Google Patents

Package for semiconductor device and its manufacture

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JPH06204377A
JPH06204377A JP35870492A JP35870492A JPH06204377A JP H06204377 A JPH06204377 A JP H06204377A JP 35870492 A JP35870492 A JP 35870492A JP 35870492 A JP35870492 A JP 35870492A JP H06204377 A JPH06204377 A JP H06204377A
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semiconductor device
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socket
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浩享 内田
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勝彦 鈴木
Akira Haga
彰 羽賀
Katsunobu Suzuki
克信 鈴木
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Abstract

PURPOSE:To obtain a package for semiconductor device which can achieve a proper packaging with the brazing material of an external lead and can achieve the packaging according to a socket at a low cost and with a long life and to obtain the manufacturing method. CONSTITUTION:Plating films 2a and 2b of such as nickel are formed on the entire surface of an external lead 2 provided on a package 1 for semiconductor device, and a gold plated film 2c is formed on top of them at the tip and base edge parts excluding a non-gold-plated film 2d which is secured at the center in the length direction of the external lead. Use of the gold plated film 2c at the tip part makes it possible to achieve a satisfactory soldering without any flow of solder to the base edge side. Also, by utilizing the gold plated film with a large base edge part area, the socket can be electrically connected and an inexpensive and long-life socket can be used. A conductive elastic body is fitted to the non-plated part 2c so that the middle part in the longer direction of the external lead can be covered and gold plating is performed by the electrolytic plating method with the conductive elastic body as a plating electrode.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体装置用パッケージ
に関し、特にパッケージに取着された外部リードの金属
メッキ構造及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device package, and more particularly to a metal plating structure for external leads attached to the package and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、半導体装置用パッケージの外部リ
ードに金属メッキを形成したものとして、特開平2−1
5662号公報に記載されたものがある。この半導体装
置用パッケージは、図7に示すように、パッケージ21
に設けられた接続パッド23にロウ付けにより外部リー
ド22が接続されている。この外部リード22はリン青
銅で形成されており、その全面にニッケルメッキ膜22
aが形成され、更にその先端部の表面に金メッキ膜22
bが形成されている。そして、この金メッキ膜22bを
利用してプリント基板29のパッド29aに外部リード
の先端部を半田30により接続している。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an external lead of a semiconductor device package having metal plating formed thereon, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-1.
There is one described in Japanese Patent No. 5662. This semiconductor device package has a package 21 as shown in FIG.
The external lead 22 is connected to the connection pad 23 provided on the substrate by brazing. The external lead 22 is made of phosphor bronze, and the nickel plating film 22 is formed on the entire surface thereof.
a is formed, and a gold plating film 22 is further formed on the surface of the tip of the
b is formed. Then, using the gold plating film 22b, the tip portions of the external leads are connected to the pads 29a of the printed board 29 by the solder 30.

【0003】この外部リード22の先端部にのみ金メッ
キ膜22bを形成する方法として、同公報では、図8に
示すように、プラスチック性の樹脂で形成された金メッ
キ用治具24の第2の切り欠き24bに外部リード22
と対応する位置に貫通孔25aを有するマスク25を位
置決めしておく。その後、外部リード22が形成された
半導体装置用パッケージ21を金メッキ治具24にセッ
トする。具体的には、金メッキ用治具24に形成された
第1の切り欠き24aに半導体装置用パッケージ21を
位置決めする。この様に位置決めすることにより、マス
ク25の貫通孔25aから外部リード22の先端部のみ
が突出する。そして、金メッキ用治具24に半導体装置
用パッケージ21およびマスク25を位置決めした状態
で、無電解金メッキが溶解された金メッキ槽26に位置
決めすると、外部リード22の先端部のみ金メッキが施
される。
As a method of forming the gold plating film 22b only on the tip portions of the external leads 22, in this publication, as shown in FIG. 8, the second cutting of the gold plating jig 24 formed of plastic resin is performed. External lead 22 in notch 24b
The mask 25 having the through hole 25a is positioned at a position corresponding to. After that, the semiconductor device package 21 on which the external leads 22 are formed is set on the gold plating jig 24. Specifically, the semiconductor device package 21 is positioned in the first notch 24a formed in the gold plating jig 24. With such positioning, only the tip of the external lead 22 projects from the through hole 25a of the mask 25. Then, when the semiconductor device package 21 and the mask 25 are positioned on the gold plating jig 24, they are positioned in the gold plating tank 26 in which the electroless gold plating is melted, and only the tip portions of the external leads 22 are gold plated.

【0004】このように先端部にのみ金メッキ膜を形成
した外部リード22をプリント基板29のパッド29a
に半田30により接続を行うと、外部リード22の先端
部の金メッキ膜22bのみに半田30が濡れるため、半
田30の形状,量などを容易に制御できる。因みに、外
部リード全体に金メッキを施すと、半田が外部リードの
基端側にまで流れるため、先端ぶの半田量が少なくな
り、かつ半田が外部リードの側方に膨らむ状態となり、
半田接合部の信頼性を著しく低下されることになる。
The external lead 22 having the gold-plated film formed only on the tip portion in this manner is connected to the pad 29a of the printed circuit board 29.
If the solder 30 is connected to the solder 30, the solder 30 wets only the gold-plated film 22b at the tip of the external lead 22, so that the shape and amount of the solder 30 can be easily controlled. By the way, if gold plating is applied to the entire external lead, the solder flows to the base end side of the external lead, so the amount of solder at the tip bump decreases, and the solder expands to the side of the external lead.
The reliability of the solder joint will be significantly reduced.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成の半導体装置用パッケージでは、仮にこれをソ
ケット実装した場合に不具合が生じ易い。例えば、図9
はこの種の半導体装置用パッケージ21をソケット実装
した例の断面図であるが、外部リード22には先端部に
のみ金メッキ膜22bが形成されているために、外部リ
ード22に対して機械的接触を行うソケット27のソケ
ットリード28との接触は、端面同士を突き合わせた状
態で行なわざるを得ない。
However, in the semiconductor device package having such a configuration, if the package is mounted on a socket, a problem is likely to occur. For example, in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view of an example in which this type of semiconductor device package 21 is mounted in a socket. However, since the outer lead 22 has a gold plating film 22 b formed only on the tip end thereof, mechanical contact with the outer lead 22 is made. The contact of the socket 27 with the socket lead 28 for performing the above-mentioned procedure must be performed with the end faces abutting each other.

【0006】即ち、一般に機械的接触のみで電気的接続
を行う場合、接触部での接触抵抗を小さくするために
は、金の高い延性を利用して接触部の表面を金で構成す
ることが多い。したがって、前記した構成では外部リー
ド22の先端部にのみ金メッキ膜22bが形成されてい
るため、外部リード22の先端面を接触面とすることに
なり、この面での接触を行うためにはソケットリード2
8にはスプリング28aで付勢された接触子28bを設
けた構成とし、スプリング28a力によって接触子28
bを外部リード22の先端部の金メッキ膜22b面に衝
接させる構成を取らざるを得ない。しかしながら、この
ような構成のソケットは構造が複雑となり、高価になる
上に寿命が短くなるという問題がある。本発明の目的
は、ロウ材による好適な実装を可能にする一方で、ソケ
ットによる実装を低価格、高寿命で行うことができる半
導体装置用パッケージを提供することにある。また、本
発明の他の目的は、このような実装を好適に行うことが
できる半導体装置用パッケージの製造方法、特に外部リ
ードの金属メッキ方法を提供することにある。
That is, in general, when electrical connection is made only by mechanical contact, in order to reduce the contact resistance at the contact portion, the surface of the contact portion is made of gold by utilizing the high ductility of gold. Many. Therefore, in the above-described structure, since the gold plating film 22b is formed only on the tip portions of the external leads 22, the tip surfaces of the external leads 22 are used as contact surfaces. Lead 2
8 is provided with a contactor 28b biased by a spring 28a, and the contactor 28b is urged by the force of the spring 28a.
There is no choice but to adopt a configuration in which b is brought into contact with the surface of the gold-plated film 22b at the tip of the external lead 22. However, the socket having such a structure has a problem that the structure becomes complicated, the cost becomes high, and the life becomes short. An object of the present invention is to provide a package for a semiconductor device, which enables suitable mounting with a brazing material and at the same time mounts with a socket at low cost and with a long life. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a semiconductor device package, which is suitable for such mounting, and particularly a metal plating method for external leads.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、半導体装置用
パッケージに設けた外部リードはその長さ方向の中間部
において金属メッキ膜が形成されていない非金属メッキ
部を有している。 例えば、外部リードの全面にはニッ
ケル等のメッキ膜を形成しており、このメッキ膜上に外
部リードの長さ方向の中間部を除いた先端部と基端部に
に金メッキ膜を形成する。また、本発明の製造方法は、
半導体装置用パッケージに設けた外部リードの長さ方向
の中間部を覆う様に導電性弾性体を装着し、この導電性
弾性体をメッキ電極とした電解メッキ法により前記導電
性弾性体で覆った部分を除く外部リードの表面に金属メ
ッキ膜を形成する。
According to the present invention, an external lead provided in a semiconductor device package has a non-metal plated portion in which a metal plated film is not formed in an intermediate portion in the length direction. For example, a plating film of nickel or the like is formed on the entire surface of the external lead, and a gold plating film is formed on the plating film at the tip end portion and the base end portion excluding the intermediate portion in the length direction of the external lead. Further, the manufacturing method of the present invention,
A conductive elastic body was attached so as to cover the middle portion of the external lead provided in the semiconductor device package in the longitudinal direction, and the conductive elastic body was covered by the electroconductive plating method using the conductive elastic body as a plating electrode. A metal plating film is formed on the surface of the external lead except the part.

【0008】[0008]

【実施例】次に、本発明を図面を参照して説明する。図
1は本発明をピングリッドアレイ型パッケージに適用し
た実施例であり、半導体装置用パッケージの外部リード
の断面構造図である。この半導体装置用パッケージ1の
外部リード2は、コバール等のようにパッケージ1の構
成材料であるアルミナセラミックと熱膨張係数が近いも
のでできている。この外部リード2には予め全面にニッ
ケル膜2aをメッキ等で形成しており、この外部リード
2の基端部がパッケージ1に形成された接続パッド3に
銀銅ロウ4などでロウ付けされている。この場合、接続
パッド3の表面にも無電解メッキ等でニッケル膜3aを
形成しておくことが好ましい。その上で、外部リード2
と接続パッド3を含む全面に銀銅ロウ4の保護の為ニッ
ケル・コバルト膜2bを電解メッキ等で形成する。そし
て、前記外部リード2の表面には更に金メッキ膜2cを
形成しているが、この金メッキ膜2cは外部リード2の
先端部と基部とにそれぞれ形成し、先端部と基端部との
間には外部リード2の全体長の1/5〜1/4の長さの
非金メッキ部2dが確保されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an embodiment in which the present invention is applied to a pin grid array type package, and is a sectional structural view of an external lead of a semiconductor device package. The external leads 2 of the semiconductor device package 1 are made of a material having a thermal expansion coefficient similar to that of alumina ceramic which is a constituent material of the package 1 such as Kovar. A nickel film 2a is formed on the entire surface of the external lead 2 in advance by plating or the like, and the base end portion of the external lead 2 is brazed to a connection pad 3 formed on the package 1 by a silver copper braze 4 or the like. There is. In this case, it is preferable to form the nickel film 3a also on the surface of the connection pad 3 by electroless plating or the like. Then, the external lead 2
Then, a nickel-cobalt film 2b is formed by electrolytic plating or the like on the entire surface including the connection pad 3 and the protection pad 3 for protecting the silver-copper solder 4. Further, a gold plating film 2c is further formed on the surface of the external lead 2. The gold plating film 2c is formed on the tip and the base of the external lead 2, respectively, and between the tip and the base. The non-gold plated portion 2d having a length of 1/5 to 1/4 of the entire length of the outer lead 2 is secured.

【0009】図2は前記外部リードにおける金メッキ膜
2cの製造方法を示す概念図である。同図において、8
は金メッキ槽であり、内部には金メッキ液が満たされて
いる。そして、図1に示したようにパッケージ1に外部
リード2を接続し、ニッケル膜2a,ニッケル・コバル
ト膜2bを形成した後、外部リード2の全体長の1/5
〜1/4の厚さを有する導電性ゴムシート5に外部リー
ド2を挿入する。導電性ゴムシート5には、外部リード
2の配置に合わせて貫通孔5aを設けており、この貫通
孔5aは、外部リード2の直径よりも若干小さい寸法で
設け、導電性ゴムシート5の伸び性により外部リード2
を挿入できる様にする。これは、外部リード2と導電性
ゴムシート5の間に隙間が生じないようにして、金メッ
キ液の浸入を防止するためのものである。更に、外部リ
ード2の先端部がその全体長のうち1/5〜1/4の長
さで導電性ゴムシート5を貫通する様に、スペーサ6を
半導体装置用パッケージ1と導電性ゴムシート5の間に
設ける。この状態で導電性ゴムシート5に接する様に、
メッキ電極7を取り付け金メッキ槽8に浸漬しメッキ電
極7に電圧印加することにより、外部リード2の表面に
は、導電性ゴムシート5の貫通孔5a部を除いて金メッ
キ膜2cが表面に形成される。
FIG. 2 is a conceptual view showing a method of manufacturing the gold plating film 2c on the external lead. In the figure, 8
Is a gold plating tank, and the inside is filled with gold plating liquid. Then, as shown in FIG. 1, the external lead 2 is connected to the package 1 to form the nickel film 2a and the nickel-cobalt film 2b, and then 1/5 of the entire length of the external lead 2 is formed.
The external lead 2 is inserted into the conductive rubber sheet 5 having a thickness of ¼. The conductive rubber sheet 5 is provided with through holes 5a according to the arrangement of the external leads 2. The through holes 5a are provided with a size slightly smaller than the diameter of the external leads 2 so that the conductive rubber sheet 5 can be stretched. External lead 2 depending on sex
So that you can insert. This is to prevent a gold plating solution from entering by preventing a gap from being formed between the external lead 2 and the conductive rubber sheet 5. Further, the spacers 6 are attached to the semiconductor device package 1 and the conductive rubber sheet 5 so that the tips of the external leads 2 penetrate the conductive rubber sheet 5 by a length of 1/5 to 1/4 of the entire length thereof. Between the two. In this state, touch the conductive rubber sheet 5,
By attaching the plating electrode 7 and immersing it in the gold plating tank 8 and applying a voltage to the plating electrode 7, a gold plating film 2c is formed on the surface of the external lead 2 except for the through hole 5a portion of the conductive rubber sheet 5. It

【0010】この様にして形成した半導体装置用パッケ
ージ1をプリント基板に半田付け実装した状態を図3に
示す。同図において、プリント基板9に設けたパッド9
a上に外部リード2を突き当て、半田10を用いて外部
リード2の先端をパッド9aに接続している。このと
き、外部リード2の先端部と基端部との間には非金メッ
キ部2dが存在しているため、半田10は先端部の金メ
ッキ膜2cに対して濡れて基端部側にまで流れないた
め、半田10をパッド9a上に保ち、その形状を制御す
ることが容易になる。
FIG. 3 shows a state in which the semiconductor device package 1 thus formed is mounted on a printed circuit board by soldering. In the figure, the pad 9 provided on the printed circuit board 9
The external lead 2 is abutted on a, and the tip of the external lead 2 is connected to the pad 9a using the solder 10. At this time, since the non-gold-plated portion 2d exists between the tip portion and the base end portion of the external lead 2, the solder 10 wets the gold-plated film 2c at the tip portion and flows to the base end side. Since there is no solder, it becomes easy to keep the solder 10 on the pad 9a and control its shape.

【0011】一方、このような金メッキ膜が形成された
半導体装置用パッケージ1をソケット実装する場合に
は、図4に示すようなソケットが利用できる。このソケ
ットは、ソケット本体11に設けた孔内に2枚の板バネ
で形成されたソケットリード12が内装されており、そ
の先端部はバネ性を増大して外部リード2との接触抵抗
を下げる様に湾曲部12aが設けてある。したがって、
このソケットリード12間に外部リード2を挿入する
と、ソケットリード12はその湾曲部12aがバネ性に
より外部リード2の基端部において接触し、基端部の金
メッキ膜2cに接触される。この場合、この基端部の金
メッキ膜2cは充分な長さ領域に形成してある為、ソケ
ットリード12との接触面積を充分確保でき、接触抵抗
の低い良好な接触が可能となる。なお、このような構成
のソケットは、半導体装置用として最も多く使用され、
安価で長寿命のものである。
On the other hand, when the semiconductor device package 1 having such a gold-plated film is mounted in a socket, a socket as shown in FIG. 4 can be used. In this socket, a socket lead 12 formed of two leaf springs is internally housed in a hole provided in a socket body 11, and the tip end portion thereof has increased springiness to reduce contact resistance with the external lead 2. Similarly, the curved portion 12a is provided. Therefore,
When the external lead 2 is inserted between the socket leads 12, the curved portion 12a of the socket lead 12 comes into contact with the base end portion of the external lead 2 due to the spring property, and comes into contact with the gold-plated film 2c at the base end portion. In this case, since the gold-plated film 2c at the base end portion is formed in a sufficient length region, a sufficient contact area with the socket lead 12 can be secured, and good contact with low contact resistance can be achieved. Incidentally, the socket having such a structure is most often used for a semiconductor device,
It is inexpensive and has a long life.

【0012】図5は本発明の半導体装置用パッケージの
第2の実施例を示す図であり、ここではフラット型パッ
ケージに適用した例を示してある。このパッケージで
は、外部リード2Aはパッケージ1Aから水平方向に突
出され、略クランク状に曲げ形成している。そして、先
端部と基端部には金メンキ膜2cを形成しているが、そ
の中間の傾斜した部分の中央部には金メッキ膜を形成し
ておらず、非金メッキ部2dとして構成されている。し
たがって、このパッケージをプリント基板9のパッド9
aに半田10で接続する場合にも、半田10は先端部の
金メッキ膜2cの部分においてのみ濡れ、非金メッキ部
2dが存在することにより基端部の金メッキ膜2cにま
で流れることはない。
FIG. 5 is a diagram showing a second embodiment of the semiconductor device package of the present invention, in which an example applied to a flat type package is shown. In this package, the external lead 2A is projected in the horizontal direction from the package 1A and is bent and formed in a substantially crank shape. Then, the gold plating film 2c is formed on the tip end portion and the base end portion, but the gold plating film is not formed on the central portion of the inclined portion in the middle thereof, and the non-gold plating portion 2d is formed. . Therefore, this package is attached to the pad 9 of the printed circuit board 9.
Even when the solder 10 is connected to a, the solder 10 is wet only in the gold-plated film 2c at the tip end and does not flow to the gold-plated film 2c at the base end due to the non-gold-plated portion 2d.

【0013】図6は図5の外部リード2Aに金メッキ膜
2cを形成する製造方法を模式的に示す平面図である。
ここではゴムシート5Aは略正方形をした枠5bに取着
されており、曲げ加工する前の外部リード(リードタイ
バー2eにより各外部リード2Aは連結されている)の
略中央部分に嵌合されている。この場合には、ゴムシー
ト5Aはメッキ液の浸入を防止できる様に外部リード2
Aの形状に合わせて凹凸を設けており、更に硬質の枠5
bで押さえることでその形状が保持される。なお、図6
のように各外部リード2Aを連結するリードダイバー2
eが存在する場合には、メッキ電極への接続をリードダ
イバー2eで行なってもよい。また、非金メッキ部2d
の長さ寸法は、外部リードの切断や曲げ加工時の寸法バ
ラツキ等を考慮し、図5の傾斜した部分の寸法よりも短
く設定することが好ましい。なお、この第2実施例で
は、基本的な効果としては図1〜図4に示した第1実施
例と同等のものが得られ、詳細な説明を省略した製造方
法も同等の手法で対応できるものである。
FIG. 6 is a plan view schematically showing a manufacturing method for forming the gold plating film 2c on the external lead 2A of FIG.
Here, the rubber sheet 5A is attached to a substantially square frame 5b, and is fitted to a substantially central portion of an external lead (each external lead 2A is connected by a lead tie bar 2e) before being bent. There is. In this case, the rubber sheet 5A is provided with the external leads 2 so that the plating solution can be prevented from entering.
Roughness is provided according to the shape of A, and a more rigid frame 5
The shape is retained by pressing with b. Note that FIG.
Lead diver 2 connecting each external lead 2A like
When e is present, the lead diver 2e may be used to connect to the plating electrode. Also, the non-gold plated part 2d
It is preferable that the length dimension of is set shorter than the dimension of the inclined portion in FIG. 5 in consideration of the dimension variation when cutting or bending the external lead. In addition, in this 2nd Example, the thing equivalent to the 1st Example shown in FIGS. 1-4 is acquired as a basic effect, and the manufacturing method which abbreviate | omitted detailed description can also respond with an equivalent method. It is a thing.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上説明した様に本発明の半導体装置用
パッケージは、外部リードの長さ方向の中間部において
金属メッキ膜が形成されていない非金属メッキ部を有し
ているので、基板にロウ材を用いて実装する場合には、
外部リードの先端部に設けた金属メッキ膜の濡れ性を利
用してロウ材が基端側に流れることを防止し、ロウ材の
形状変化を完全に抑制して好適なロウ付けが可能とな
る。また、ソケット実装の場合には、基端側に設けた金
属メッキ膜を利用することで、板バネで構成されたソケ
ットを利用することが可能となり、ソケット構造の簡略
化及び低価格化が実現できる。因みに、図9に示したソ
ケットに比べ本発明で用いるソケットは、価格は10分の
1以下、寿命は3倍以上のものとなる。特に、外部リー
ドの全面にはニッケル又はニッケル・コバルトメッキ膜
を形成しており、このメッキ膜上に外部リードの長さ方
向の中間部を除いた先端部と基端部にに金メッキ膜を形
成することで、実装に際しての半田との濡れ性を高
め、、かつ半田の流れを防止することが可能となり、か
つソケットとの接触抵抗を低減することができる。
As described above, the semiconductor device package of the present invention has the non-metal-plated portion in which the metal-plated film is not formed at the intermediate portion in the lengthwise direction of the external lead. When mounting with brazing material,
By utilizing the wettability of the metal plating film provided on the tip of the external lead, the brazing material is prevented from flowing toward the base end side, and the shape change of the brazing material is completely suppressed, which enables suitable brazing. . Also, in the case of socket mounting, by using the metal plating film provided on the base end side, it is possible to use a socket composed of leaf springs, simplifying the socket structure and lowering the cost. it can. By the way, compared with the socket shown in FIG. 9, the socket used in the present invention is less than one tenth in price and more than three times in service life. In particular, a nickel or nickel-cobalt plating film is formed on the entire surface of the external lead, and a gold plating film is formed on the plating film at the tip and base ends of the external lead excluding the middle part in the length direction. By doing so, the wettability with the solder at the time of mounting can be improved, the flow of the solder can be prevented, and the contact resistance with the socket can be reduced.

【0015】また、本発明の製造方法では、外部リード
の長さ方向の中間部を覆う様に導電性弾性体を装着し、
この導電性弾性体をメッキ電極とした電解メッキ法によ
り導電性弾性体で覆った部分を除く外部リードの表面に
金属メッキ膜を形成するので、外部リードの長さ方向の
中間部に非金属メッキ部を簡単に形成することができ
る。また、この場合、導電性弾性体を利用することによ
り、電解メッキに必要とされの電極として半導体装置用
パッケージの内部信号配線から引出される電極線を省略
することもでき、この電極線によってパッケージ内にお
ける信号配線間の浮遊容量を低減できる効果もある。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the conductive elastic body is attached so as to cover the intermediate portion in the lengthwise direction of the external lead,
A metal plating film is formed on the surface of the external lead except for the portion covered with the conductive elastic body by the electrolytic plating method using this conductive elastic body as a plating electrode. The part can be easily formed. Further, in this case, by using the conductive elastic body, it is possible to omit the electrode wire drawn from the internal signal wiring of the semiconductor device package as an electrode required for electrolytic plating. There is also an effect of reducing the stray capacitance between the signal wirings inside.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の半導体装置用パッケージの外部リード
の部分断面図である。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view of an external lead of a semiconductor device package of the present invention.

【図2】本発明にかかる外部リードのメッキ方法を説明
するための概念図である。
FIG. 2 is a conceptual diagram for explaining an external lead plating method according to the present invention.

【図3】本発明の半導体装置用パッケージの実装状態を
示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a mounted state of the semiconductor device package of the present invention.

【図4】本発明の半導体装置用パッケージをソケット実
装した状態の断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a semiconductor device package of the present invention mounted in a socket.

【図5】本発明の第2実施例の外部リードの模式的な断
面図である。
FIG. 5 is a schematic sectional view of an external lead according to a second embodiment of the present invention.

【図6】図5の外部リードのメッキ方法を説明するため
の模式的な平面図である。
FIG. 6 is a schematic plan view for explaining a method of plating the external leads of FIG.

【図7】従来のパッケージの実装状態を示す模式的な断
面図である。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing a mounted state of a conventional package.

【図8】従来のパッケージにおける外部リードのメッキ
方法を説明するための概念図である。
FIG. 8 is a conceptual diagram for explaining a conventional external lead plating method in a package.

【図9】従来のパッケージをソケット実装する場合の断
面図である。
FIG. 9 is a sectional view of a conventional package mounted in a socket.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1A パッケージ 2,2A 外部リード 2a ニッケルメッキ膜 2b ニッケル・コバルトメッキ膜 2c 金メッキ膜 2d 非金メッキ部 5 導電性ゴムシート 7 メッキ電極 9 プリント基板 10 半田 1, 1A Package 2, 2A External lead 2a Nickel plated film 2b Nickel / Cobalt plated film 2c Gold plated film 2d Non-gold plated part 5 Conductive rubber sheet 7 Plated electrode 9 Printed circuit board 10 Solder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 克信 東京都港区芝五丁目7番1号 日本電気株 式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Katsunori Suzuki 5-7-1, Shiba, Minato-ku, Tokyo NEC Corporation

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パッケージに設けた外部リードの表面に
金属メッキ膜を形成してなる半導体装置用パッケージに
おいて、前記外部リードはその長さ方向の中間部におい
て金属メッキ膜が形成されていない非金属メッキ部を有
することを特徴とする半導体装置用パッケージ。
1. A package for a semiconductor device in which a metal plating film is formed on the surface of an external lead provided in a package, wherein the external lead is a non-metal in which a metal plating film is not formed in an intermediate portion in the length direction. A semiconductor device package having a plated portion.
【請求項2】 外部リードの全面にはニッケル等のメッ
キ膜を形成し、このメッキ膜上に外部リードの長さ方向
の中間部を除いた先端部と基端部にそれぞれ金メッキ膜
を形成してなる請求項1の半導体装置用パッケージ。
2. A plating film of nickel or the like is formed on the entire surface of the external lead, and a gold plating film is formed on the plating film at the front end portion and the base end portion of the outer lead excluding the middle portion in the longitudinal direction. The package for a semiconductor device according to claim 1, wherein
【請求項3】 半導体装置用パッケージに設けた外部リ
ードの長さ方向の中間部を覆う様に導電性弾性体を装着
し、この導電性弾性体をメッキ電極とした電解メッキ法
により前記導電性弾性体で覆った部分を除く外部リード
の表面に金属メッキ膜を形成することを特徴とする半導
体装置用パッケージの製造方法。
3. A conductive elastic body is attached so as to cover an intermediate portion in the lengthwise direction of an external lead provided in a semiconductor device package, and the conductive elastic body is formed by an electroplating method using the conductive elastic body as a plating electrode. A method of manufacturing a package for a semiconductor device, characterized in that a metal plating film is formed on the surface of the external lead excluding the portion covered with the elastic body.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000133845A (en) * 1998-10-23 2000-05-12 Rohm Co Ltd Semiconductor light-emitting element
KR100263431B1 (en) * 1996-12-17 2000-08-01 포만 제프리 엘 Method of joining an electrical contact element to a substrate
US8294063B2 (en) 2002-10-10 2012-10-23 Panasonic Corporation Connector-use contact and production method for component to be soldered

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