JPH06203559A - チャージポンプ回路 - Google Patents

チャージポンプ回路

Info

Publication number
JPH06203559A
JPH06203559A JP5018146A JP1814693A JPH06203559A JP H06203559 A JPH06203559 A JP H06203559A JP 5018146 A JP5018146 A JP 5018146A JP 1814693 A JP1814693 A JP 1814693A JP H06203559 A JPH06203559 A JP H06203559A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
node
potential
vcc
becomes
vth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5018146A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyohiro Furuya
清広 古谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP5018146A priority Critical patent/JPH06203559A/ja
Publication of JPH06203559A publication Critical patent/JPH06203559A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
  • Dram (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 第1の節点N3と第1の信号端子φ1 間に接
続された第1のキャパシタ5と、第2の節点N4と第2
の信号端子φ2 間に接続された第2のキャパシタ6と、
第1の節点N3と第2の節点N4間に接続された第1の
スイッチング素子7aと、第2の節点N4と第3の節点
Vppに接続された第2のスイッチング素子7bと、その
ドレインを電源電圧Vccに、ソースを第1の節点N3
に、ゲートを第2の節点N4に接続された第1のトラン
ジスタ2を備えた。 【効果】 電源電圧が低い時、従来のチャージポンプ回
路よりも高い電圧を発生できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、チャージポンプ回路
に関するものであり、特に、DRAM等の半導体チップ
上に搭載され、チップ内部で高電圧を発生するものにお
いて、チップの電源電圧が低い場合でも高電圧を発生で
きるようにしたものに関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、例えばSimp on VLSI Circuit d
igest of technical papers,pp.17-18,June 1990 に示
された従来のチャージポンプ回路である。図において、
42は電源VccおよびノードN1間に接続されゲートが
電源Vccに接続されたn型MOSFET、43はこのn
型MOSFET42に並列に接続されたn型MOS・F
ETであり、そのゲートはノードN2に接続されてい
る。47はその一端が上記ノードN1に接続され他端に
クロック信号φ1 が入力されるキャパシタ、44は電源
Vccおよび上記ノードN2間に接続されたn型MOSF
ETであり、そのゲートは上記ノードN1に接続されて
いる。45はこのn型MOSFET44と並列に接続さ
れたn型MOSFETであり、そのゲートは電源Vccに
接続されている。48はその一端が上記ノードN2に接
続され他端にクロック信号φ2 が入力されるキャパシ
タ、46は上記ノードN2とこのチャージポンプ回路の
出力ノードVppとの間に接続されたn型MOSFETで
あり、そのゲートは上記ノードN2に接続されている。
またφ1 ,φ2 は、図10に示されるように、“H”の
期間が互いにオーバーラップすることがないような波形
が繰り返し発生されるクロック信号である。
【0003】次に動作について説明する。まず、初期状
態では、節点N1,N2,Vppの電位はそれぞれVcc−
VTH,Vcc−VTH,Vcc−2VTHとなる。これは、節点
N1に関していえば、電源Vccの電位がトランジスタ4
2のしきい値電位VTH分降下して現れるからであり、節
点N2に関していえば、節点N1と同様に、電源Vccの
電位がトランジスタ44のしきい値電位VTH分降下して
現れるからである。また、節点Vppに関していえば、節
点N2の電位Vcc−VTHがトランジスタ46のしきい値
電圧VTH分降下して現れるためである。
【0004】ここで、図10のサイクル1において、ク
ロック信号φ1 が“H”となると、キャパシタ47はそ
の両端の電位差を保持しようとするので、節点N1は2
Vcc−VTHとなる。この時、トランジスタ44が導通す
るので、節点N2はVccに充電される。次に、このサイ
クル1において、クロック信号φ2 が“H”となると、
トランジスタ46が導通しない場合には、節点N2の電
位は2Vccとなるが、この場合は節点Vppの電位が2V
cc−VTHよりも低いので、トランジスタ46が導通して
節点Vppの電位を上昇させる。また、節点N2の電位は
このときの節点Vppの電位よりトランジスタ46のしき
い値電圧VTH分高いVpp+VTHとなる。これにより、次
のサイクル2においてクロック信号φ1 が“H”となる
と、節点N1は前回クロック信号φ1 が“H”となった
時よりも、節点N2の電位が上昇した分その電位が上昇
する。これ以降、サイクルが経過するにつれて節点Vpp
の電位が徐々に上昇し、これに伴ってクロック信号φ1
,φ2 が“H”となるごとに節点N1,N2の電位も
上昇するが、節点Vppの電位が2Vcc−VTHに到達する
と、クロック信号φ2 が“H”になっても、節点N2の
電位は2Vccなので、トランジスタ46はもはや導通せ
ず、従って、節点Vppの電位は2Vcc−VTH以上には上
昇しない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来のチャージポンプ
回路は、以上のように構成されているので、出力電圧が
2Vcc−VTHにしかならず、電源電圧Vccが低下した時
には、十分な大きさの出力電圧が得られないという問題
点があった。
【0006】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、電源電圧が低下した時でも十
分な大きさの出力電圧が得られ、かつ、その消費電力を
低くできるチャージポンプ回路を得ることを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係るチャージ
ポンプ回路は、第1の節点と第1の信号端子間に接続さ
れた第1のキャパシタと、第2の節点と第2の信号端子
間に接続された第2のキャパシタと、前記第1の節点と
第2の節点の間に接続された第1のスイッチング素子
と、前記第2の節点と本回路の出力端子である第3の節
点の間に接続された第2のスイッチング素子と、そのド
レインを電源電圧に、ソースを第1の節点に、ゲートを
前記第2の節点に接続された第1のトランジスタとを備
えたものである。
【0008】また、この発明に係るチャージポンプ回路
は、第1の節点と第1の信号端子間に接続された第1の
キャパシタ、第2の節点と第2の信号端子間に接続され
た第2のキャパシタ、前記第1の節点と第2の節点の間
に接続された第1のスイッチング素子、前記第2の節点
と本回路の出力端子である第3の節点の間に接続された
第2のスイッチング素子、そのドレインを電源電圧に、
ソースを第1の節点に、ゲートを前記第2の節点に接続
された第1のトランジスタを有するチャージポンプ回路
本体と、第4の節点と第3の信号端子間に接続された第
3のキャパシタ、そのドレインが電源電圧に、ソースが
前記第4の節点に接続された第2のトランジスタ、前記
第1のチャージポンプ回路本体の出力端子と前記第2の
トランジスタのゲートとの間を断続する第3のスイッチ
ング素子、前記第4の節点と前記出力端子間に接続され
た第4のスイッチング素子を有する第2のチャージポン
プ回路本体とを備えたものである。
【0009】
【作用】この発明においては、第1の節点と第1の信号
端子間に第1のキャパシタを接続し、第2の節点と第2
の信号端子間に第2のキャパシタを接続し、前記第1の
節点と第2の節点間に第1のスイッチング素子を接続
し、前記第2の節点と本回路の出力端子である第3の節
点間に第2のスイッチング素子を接続し、電源電圧をド
レイン、前記第1の節点をソース、前記第2の節点をゲ
ートに接続した第1のトランジスタを設けたので、第1
の信号が0V、第2の信号がVccの時、第1の節点は、
第1のトランジスタによって、Vccに充電されるので、
電源電圧が低い場合であっても、十分に高い電圧を発生
することができる。
【0010】また、この発明においては、第1の節点と
第1の信号端子間に接続された第1のキャパシタ、第2
の節点と第2の信号端子間に接続された第2のキャパシ
タ、前記第1の節点と第2の節点の間に接続された第1
のスイッチング素子、前記第2の節点と本回路の出力端
子である第3の節点の間に接続された第2のスイッチン
グ素子、そのドレインを電源電圧に、ソースを第1の節
点に、ゲートを前記第2の節点に接続された第1のトラ
ンジスタを有する第1のチャージポンプ回路本体と、第
4の節点と第3の信号端子間に接続された第3のキャパ
シタ、そのドレインが電源電圧に、ソースが前記第4の
節点に接続された第2のトランジスタ、前記第1のチャ
ージポンプ回路本体の出力端子と前記第2のトランジス
タのゲートとの間を断続する第3のスイッチング素子、
前記第4の節点と前記出力端子間に接続された第4のス
イッチング素子を有する第2のチャージポンプ回路本体
とを設け、前記第3のスイッチング素子により、前記第
2のトランジスタのゲートとその出力端子間を断続する
ように構成したので、本回路が組み込まれた装置の低消
費電力化のために、駆動能力の大きい第1のチャージポ
ンプ回路本体をその待機時に停止するようにしても、装
置が活性状態になればすぐに第1のチャージポンプ回路
本体により高電圧を発生することができる。
【0011】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は本発明の第1の実施例によるチャージポン
プ回路を示す図である。図において、1は電源Vccと節
点N3との間に接続され、ゲートが電源Vccに接続され
たn型MOSFET、2はこのn型MOSFETと並列
に接続され、ゲートが節点N4に接続されたn型MOS
FET、3は節点N3とN4の間に接続され、ゲートが
節点N3に接続されたn型MOSFET、4は節点N4
と節点Vppの間に接続されゲートが節点N4に接続され
たn型MOSFET、5は節点N3とクロック信号φ1
の入力端子との間に接続されたキャパシタ、6は節点N
4とクロック信号φ2 の入力端子との間に接続されたキ
ャパシタ、7a,7bはスイッチング素子で、それぞれ
n型MOSFET3,4により構成されている。
【0012】次に動作について説明する。クロック信号
φ1 ,φ2 は、図2に示すような、互いにオーバーラッ
プすることなく繰り返される波形である。初期状態で
は、節点N3,N4,Vppの電位は、それぞれVcc−V
TH,Vcc−2VTH,Vcc−3VTHとなる。これは節点N
3に関して言えば、電源Vccの電位がトランジスタ1の
しきい値電圧VTH分降下して現れるからであり、節点N
4に関して言えば、節点N3の電位Vcc−VTHがトラン
ジスタ3のしきい値電圧VTH分降下して現れるからであ
る。また、節点Vppに関して言えば節点N4の電位がト
ランジスタ4のしきい値電圧VTH分降下して現れるから
である。
【0013】まず、図11に示すようなサイクル1にお
いて、クロック信号φ1 が“H”となると、キャパシタ
5はその両端間の電位差を保持しようとするので、節点
N3の電位が上昇する。これにより、トランジスタ3,
4が導通して、節点Vppの電位が上昇し、Va (<Vc
c)になる。この時の節点N3,N4の電位はそれぞれ
トランジスタ4,3のしきい値VTH分ずつ高いVa +2
VTH,Va +VTHとなる。
【0014】次に、クロック信号φ2 が“H”となる
と、キャパシタ6はその両端間の電位差を保持しようと
するので、節点N4の電位はVa +VTHから上昇する。
これにより、トランジスタ4が導通して節点Vppの電位
が上昇してVb (>Vcc)となる。この時の節点N4の
電位はVb +VTHとなるので、トランジスタ2の働きで
節点N3の電位はVccに充電される。
【0015】次のサイクル2でクロック信号φ1 が
“H”となれば、節点N3の電位はVccから上昇するの
で、トランジスタ3が導通して節点N4の電位はVd
(>Va )に上昇する。次にクロック信号φ2 が“H”
となれば、節点N4の電位はさらに上昇するので、トラ
ンジスタ4が導通して節点Vppの電位が上昇し、Va
(>Vd >Vb )となる。この時の節点N4の電位はV
e +VTHとなるので、トランジスタ2の働きで節点N3
の電位はVccに充電される。
【0016】次にクロック信号φ2 が“L”となると、
節点N4の電位はVe +VTH−Vccとなる。以後、同様
にして、1サイクルの終わりの時点では節点N3はVcc
に充電されている。
【0017】サイクルが経過するにつれて、節点Vppの
電位は徐々に上昇するが、3Vcc−2VTHに到達したサ
イクルの終わりでは、節点N4の電位は、 Ve +VTH−Vcc=3Vcc−2VTH+VTH−Vcc=2V
TH−Vcc となり、このときの節点N3の電位はVccである。
【0018】次のサイクルで、クロック信号φ1 が
“H”になると、節点N3の電位は2Vccとなるが、節
点N4の電位が2VTH−Vccなので、トランジスタ3は
導通せず、節点Vppの電位は変化しない。
【0019】次にクロック信号φ2 が“H”になると、
節点N4の電位は2Vcc−VTHから3Vcc−VTHに上昇
するが、この時、トランジスタ4は導通しないので、も
はや節点Vppの電位は変化しない。従って、節点Vppの
電位は3Vcc−2VTH以上には上昇しない。
【0020】その後クロック信号φ2 が“L”になる
と、節点N4の電位は、3Vcc−VTHから2Vcc−VTH
に戻る。以後、節点N4の電位は、2Vcc−VTHと3V
cc−VTHの間を変動するようになる。
【0021】このように、本実施例によれば、回路の出
力は、3Vcc−2VTHとなり、図9に示す従来の回路に
比べて、Vcc−VTHだけ出力電位が高くなる。このた
め、電源電圧が低下した時でも十分な大きさの出力電圧
が得られる。
【0022】実施例2.図3は、本発明の第2の実施例
によるチャージポンプ回路を示す図である。この実施例
は第1の実施例におけるスイッチング素子として、バイ
ポーラ・ダイオードを用いたものである。
【0023】図3において、1は電源Vccと節点N3と
の間に接続され、ゲートが電源Vccに接続されたn型M
OSFET、2はこのn型MOSFETと並列に接続さ
れ、ゲートが節点N4に接続されたn型MOSFET、
8は節点N3にアノードが、節点N4にカソードが接続
されたバイポーラ・ダイオード、9は節点N4にアノー
ドが、節点Vppにカソードが接続されたバイポーラ・ダ
イオード、5は節点N3とクロック信号φ1 の入力端子
との間に接続されたキャパシタ、6は節点N4とクロッ
ク信号φ2 の入力端子との間に接続されたキャパシタ、
7c,7dはスイッチング素子で、それぞれバイポーラ
・ダイオード8,9により構成されている。
【0024】次に動作について説明する。クロック信号
φ1 ,φ2 は、図2に示すような、互いにオーバーラッ
プすることなく繰り返される波形である。初期状態で
は、節点N3,N4,Vppの電位は、それぞれVcc−V
TH,Vcc−2VTH,Vcc−3VTHとなる。これは節点N
3に関して言えば、電源Vccの電位がトランジスタ1の
しきい値電圧VTH分降下して現れるからであり、節点N
4に関して言えば、節点N3の電位Vcc−VTHがトラン
ジスタ3のしきい値電圧VTH分降下して現れるからであ
る。また、節点Vppに関して言えば節点N4の電位がト
ランジスタ4のしきい値電圧VTH分降下して現れるから
である。
【0025】まず、図11に示すようなサイクル1にお
いて、クロック信号φ1 が“H”となると、キャパシタ
5はその両端間の電位差を保持しようとするので、節点
N3の電位が上昇する。これにより、バイポーラ・ダイ
オード8,9が導通して、節点Vppの電位が上昇し、V
a (<Vcc)になる。この時の節点N3,N4の電位は
それぞれバイポーラ・ダイオード9,8のしきい値VTH
分ずつ高いVa +2VTH,Va +VTHとなる。
【0026】次に、クロック信号φ2 が“H”となる
と、キャパシタ5はその両端間の電位差を保持しようと
するので、節点N4の電位はVa +VTHから上昇する。
これにより、バイポーラ・ダイオード9が導通して節点
Vppの電位が上昇してVb (>Vcc)となる。この時の
節点N4の電位はVb +VTHとなるので、トランジスタ
2の働きで節点N3の電位はVccに充電される。
【0027】次のサイクルでクロック信号φ1 が“H”
となれば、節点N3の電位はVccから上昇するので、バ
イポーラ・ダイオード8が導通して節点N4の電位はV
d (>Va )に上昇する。次に信号φ2 が“H”となれ
ば、節点N4の電位はさらに上昇するので、バイポーラ
・ダイオード9が導通して節点Vppの電位が上昇してV
e (>Vd >Ve )となる。この時の節点N4の電位は
Ve +VTHとなるので、トランジスタ2の働きで節点N
3の電位はVccに充電される。
【0028】次にクロック信号φ2 が“L”となると、
節点N4の電位はVe +VTH−Vccとなる。以後、同様
にして、1サイクルの終わりの時点では節点N3はVcc
に充電されている。
【0029】サイクルが経過するにつれて、節点Vppの
電位は徐々に上昇するが、3Vcc−2VTHに到達したサ
イクルの終わりでは、節点N4の電位は、 Ve +VTH−Vcc=3Vcc−2VTH+VTH−Vcc=2V
TH−Vcc となり、このときの節点N3の電位はVccである。
【0030】次のサイクルで、クロック信号φ1 が
“H”になると、節点N3の電位は2Vccとなるが、節
点N4の電位が2VTH−Vccなので、バイポーラ・ダイ
オード8は導通せず、節点Vppの電位は変化しない。
【0031】次にクロック信号φ2 が“H”になると、
節点N4の電位は2Vcc−VTHから3Vcc−VTHに上昇
するが、この時、バイポーラ・ダイオード9は導通しな
いので、もはや節点Vppの電位は変化しない。従って、
節点Vppの電位は3Vcc−2VTH以上には上昇しない。
【0032】その後クロック信号φ2 が“L”になる
と、節点N4の電位は、3Vcc−VTHから2Vcc−VTH
に戻る。以後、節点N4の電位は、2Vcc−VTHと3V
cc−VTHの間を変動するようになる。
【0033】このような、本実施例の動作,効果は図1
に示す実施例1と同様である。即ち、本実施例によれ
ば、回路の出力は、3Vcc−2VTHとなり、図9に示す
従来の回路に比べて、Vcc−VTHだけ出力電位が高くな
る。このため、電源電圧が低下した時でも十分な大きさ
の出力電圧が得られる。
【0034】実施例3.図4は、本発明の第3の実施例
によるチャージポンプ回路を示す図である。この実施例
は、第1の実施例におけるスイッチング素子7bに代え
て、例えば、IEEE JOURNAL OF SOLID STATE CIRCUITS V
ol.26,No.8,August 1991 p.1171〜 p.1175 に示され
る、7eのようなスイッチング回路を用いたものであ
る。
【0035】この図4のスイッチング回路7eにおい
て、10は節点N4と節点Vpp間に接続されたp型MO
SFETであり、ゲートは節点N5に、バックゲートは
節点Vppにそれぞれ接続されている。11は節点Vppと
節点N5の間に接続されたp型MOSFETであり、ゲ
ートは節点N6に、バックゲートは節点Vppにそれぞれ
接続されている。12は節点Vppと節点N6の間に接続
されたp型MOSFETであり、ゲートは節点N5に、
バックゲートは節点Vppにそれぞれ接続されている。1
3は節点N5とグランド間に接続されたn型MOSFE
Tであり、ゲートにクロック信号φ3 が入力されてい
る。また、14は節点N6とグランド間に接続されたn
型MOSFETであり、ゲートにクロック信号φ4 が入
力されている。
【0036】図4の信号φ1 ,φ2 ,φ3 ,φ4 は、図
5に示すような波形が繰り返すクロック信号であり、ク
ロック信号φ1 ,φ2 はその“H”の期間が互いにオー
バーラップしない波形である。また、クロック信号φ3
はその“H”の期間がクロック信号φ2 の“H”の期間
に含まれる波形であり、クロック信号φ4 はその“L”
の期間がクロック信号φ3 の“H”の期間を含み、かつ
その“L”の期間がクロック信号φ2 の“H”の期間に
含まれる波形である。
【0037】次にその動作について説明する。初期状態
では、節点N3,N4,Vppの電位は、それぞれVcc−
VTH,Vcc−2VTH,Vcc−3VTHとなる。これは節点
N3に関して言えば、電源Vccの電位がトランジスタ1
のしきい値電圧VTH分降下して現れるからであり、節点
N4に関して言えば、節点N3の電位Vcc−VTHがトラ
ンジスタ3のしきい値電圧VTH分降下して現れるからで
ある。また、節点Vppに関して言えば節点N4の電位が
トランジスタ4のしきい値電圧VTH分降下して現れるか
らである。
【0038】まず、スイッチング回路7eが図1に示す
ような1個のトランジスタで構成されているものとす
る。この時、図11に示すようなサイクル1において、
クロック信号φ1 が“H”となると、キャパシタ5はそ
の両端間の電位差を保持しようとするので、節点N3の
電位が上昇する。これにより、スイッチング素子7a,
7eが導通して、節点Vppの電位が上昇し、Va (<V
cc)になる。この時の節点N3,N4の電位はそれぞれ
スイッチング素子7a,7eのしきい値VTH分ずつ高い
Va +2VTH,Va +VTHとなる。
【0039】次に、クロック信号φ2 が“H”となる
と、キャパシタ5はその両端間の電位差を保持しようと
するので、節点N4の電位はVa +VTHから上昇する。
これにより、スイッチング素子7eが導通して節点Vpp
の電位が上昇してVb (>Vcc)となる。この時の節点
N4の電位はVb +VTHとなるので、トランジスタ2の
働きで節点N3の電位はVccに充電される。
【0040】次のサイクルでクロック信号φ1 が“H”
となれば、節点N3の電位はVccから上昇するので、ス
イッチング素子7aが導通して節点N4の電位はVd に
上昇する。次に信号φ2 が“H”となれば、節点N4の
電位はさらに上昇するので、スイッチング素子7eが導
通して節点Vppの電位が上昇してVe となる。この時の
節点N4の電位はVe +VTHとなるので、トランジスタ
2の働きで節点N3の電位はVccに充電される。
【0041】次にクロック信号φ2 が“L”となると、
節点N4の電位はVe +VTH−Vccとなる。以後、同様
にして、1サイクルの終わりの時点では節点N3はVcc
に充電されている。
【0042】サイクルが経過するにつれて、節点Vppの
電位は徐々に上昇するが、3Vcc−2VTHに到達したサ
イクルの終わりでは、節点N4の電位は、 Ve +VTH−Vcc=3Vcc−2VTH+VTH−Vcc=2V
TH−Vcc となり、このときの節点N3の電位はVccである。
【0043】次のサイクルで、クロック信号φ1 が
“H”になると、節点N3の電位は2Vccとなるが、節
点N4の電位が2VTH−Vccなので、スイッチング素子
7aは導通せず、節点Vppの電位は変化しない。
【0044】次にクロック信号φ2 が“H”になると、
節点N4の電位は2Vcc−VTHから3Vcc−VTHに上昇
するが、この時、スイッチング素子7eは導通しないの
で、もはや節点Vppの電位は変化しない。従って、節点
Vppの電位は3Vcc−2VTH以上に上昇しない。
【0045】その後クロック信号φ2 が“L”になる
と、節点N4の電位は、3Vcc−VTHから2Vcc−VTH
に戻る。以後、節点N4の電位は、2Vcc−VTHと3V
cc−VTHの間を変動するようになる。以上の動作は図1
の回路と同様である。
【0046】以下、スイッチング素子7eの構成が、こ
の図4に示す通りのものとすると、この、節点N4の電
位が3Vcc−VTHとなっている時に、クロック信号φ3
が“H”となると、これにより、トランジスタ13がオ
ンするので、節点N5が0Vとなる。これにより、トラ
ンジスタ10がオンするので、節点N4の電位が節点V
ppに出力される。
【0047】また、クロック信号φ3 が“H”かつクロ
ック信号φ4 が“L”となるとき、トランジスタ14は
オフし、節点N5が0Vであるため、トランジスタ12
がオンし、節点N6は“H”となり、トランジスタ11
はオフしている。
【0048】次に、クロック信号φ4 が“H”となる
と、トランジスタ14がオンするので、節点N6が0V
となり、これによりトランジスタ11がオンし、節点N
5が“H”となるので、トランジスタ10は非導通とな
り、節点N4の電位2VCC−VTHは節点Vppには出力さ
れない。
【0049】また、クロック信号φ3 が“L”かつクロ
ック信号φ4 が“H”となるとき、トランジスタ13は
オフし、節点N5が“H”となるため、トランジスタ1
2もオフする。
【0050】このように、信号φ1 ,φ2 の働きで、図
4の節点N4は、図1の場合と同じく、定常状態では2
Vcc−VTHと3Vcc−VTHの間を変動するようになる
が、本実施例ではスイッチング素子7eとしてスイッチ
ング回路を用いるようにしたので、3Vcc−VTHの電圧
を出力することができ、この実施例では、図1,図3の
ように、スイッチング素子を使用した場合における、し
きい値電圧VTH分の降下をなくすることができる。
【0051】実施例4.なお、図1,図3,図4の構成
では、節点N3をVccに充電するために節点N4をトラ
ンジスタ2のゲートに接続したが、図8に示すような別
のチャージポンプ回路56を用いることにより、クロッ
ク信号の最初のサイクルから所要の昇圧電圧が得られる
ように構成してもよい。
【0052】この図8において、49は電源Vccと節点
N19との間に接続され、ゲートが電源Vccに接続され
たn型MOSFET、50はこのn型MOSFETと並
列に接続され、ゲートが節点N20に接続されたn型M
OSFET、51は節点N19とN20の間に接続さ
れ、ゲートが節点N19に接続されたn型MOSFE
T、56は節点N19とクロック信号φ1 の入力端子と
の間に接続されたキャパシタ、57は節点N20とクロ
ック信号φ2 の入力端子との間に接続されたキャパシタ
である。
【0053】また、以下の構成は図1の回路に相当する
ものであり、52は電源Vccと節点N11との間に接続
され、ゲートが電源Vccに接続されたn型MOSFE
T、53はこのn型MOSFETと並列に接続され、ゲ
ートが節点N20に接続されたn型MOSFET、54
は節点N11とN12の間に接続されゲートが節点N1
1に接続されたn型MOSFET、55は節点N12と
節点Vppの間に接続されゲートが節点N12に接続され
たn型MOSFET、58は節点N11とクロック信号
φ1 の入力端子との間に接続されたキャパシタ、59は
節点N12とクロック信号φ2 の入力端子との間に接続
されたキャパシタである。
【0054】次に動作について説明する。図1の節点N
3は、節点N4にゲートが接続されたトランジスタ2で
電源電圧に充電されるが、節点Vppに重い負荷が接続さ
れた時、節点N4はなかなか最終電圧に到達しない。そ
の理由は、図1のキャパシタ6の容量をCとすると、ク
ロック信号φ1 が“H”,クロック信号φ2 が“L”の
とき、節点Vppの電位をVa とすると、節点N4の電位
はVa +VTHなので、クロック信号φ1 が“L”,クロ
ック信号φ2 が“H”となったときの節点Vppの電位V
x は、節点Vppの容量をCp とすると、 Va ・Cp +(Va +VTH)・C=Vx ・Cp +(Vx
+VTH−Vcc)・C ∴Vx = Va +(Vcc/(1+(Cp /C))) であり、節点Vppの電位の変化量は、(1/(1+(C
p /C)))なので、Vppの負荷容量Cp が大きい時、
Vppの変化量は小さく、このため最終電位にはなかなか
到達しないからである。
【0055】そこで、図8のように、本来のチャージポ
ンプ回路とは別のチャージポンプ回路56を設け、この
チャージポンプ回路56の出力を図1のトランジスタ2
に相当するトランジスタ53のゲートに入力するような
構成にすると、図8の節点N20は、すぐに最終電圧の
3Vcc−VTHにすみやかに到達するため、図8の節点N
11は、Vppの負荷が重い場合でも、すぐにVccに充電
されるようになる。このため、図8の節点Vppはすみや
かに最終電圧に到達することができる。
【0056】その理由は、節点N20の静電容量は小さ
いので、上述のように、クロック信号φ1 ,φ2 の繰り
返しサイクル数が小さいうちに、節点N10は最終電位
2Vcc−VTHにすみやかに到達する。すると、クロック
信号φ1 が“L”のときに節点N11が充電される電位
が高くなるので、キャパシタ58からトランジスタ5
4,55を介して節点Vppに供給される電荷量が大きく
なるからである。
【0057】実施例5.次に、本発明の回路を、低消費
電力化を配慮して変形した構成について説明する。図6
は、本発明の第5の実施例によるチャージポンプ回路を
示す図である。図において、チャージポンプ回路Aは実
施例1で既に示したものと同様の回路である。図におい
て、15は電源Vccと節点N3との間に接続され、ゲー
トが電源Vccに接続されたn型MOSFET、16はこ
のn型MOSFETと並列に接続され、ゲートが節点N
4に接続されたn型MOSFET、17は節点N3とN
4の間に接続され、ゲートが節点N3に接続されたn型
MOSFET、18は節点N4と節点Vppの間に接続さ
れゲートが節点N4に接続されたn型MOSFET、2
4は節点N3とクロック信号φ1 の入力端子との間に接
続されたキャパシタ、25は節点N4とクロック信号φ
2 の入力端子との間に接続されたキャパシタ、7f,7
gはスイッチング素子で、それぞれn型MOSFET1
7,18により構成されている。
【0058】また、チャージポンプ回路Bにおいて、2
8は節点Vppと節点N8の間に接続されたp型MOSF
ETであり、ゲートは節点N9に接続されている。29
は節点Vppと節点N9の間に接続されたp型MOSFE
Tであり、ゲートは節点N8に接続されている。19は
節点N8とグランド間に接続されたn型MOSFETで
あり、ゲートには/RAS信号が入力されている。ま
た、20は節点N9とグランド間に接続されたn型MO
SFETであり、ゲートには/RAS信号がインバータ
49により反転されて入力されている。21は電源Vcc
と節点N7の間に接続されたn型MOSFETであり、
ゲートは節点N9に接続されている。26は一端が節点
N7に接続され他端にクロック信号φ3 が入力されるキ
ャパシタである。
【0059】また7hはこの実施例で用いるスイッチン
グ素子であり、このスイッチング素子7hにおいて、4
0は節点N7と節点Vppとの間に接続されたp型MOS
FETであり、ゲートは節点N10に、バックゲートは
節点Vppにそれぞれ接続されている。41は節点N10
と節点Vpp間に接続されたp型MOSFETであり、ゲ
ートは節点N11に、バックゲートは節点Vppにそれぞ
れ接続されている。42は節点N11と節点Vpp間に接
続されたp型MOSFETであり、ゲートは節点N10
に、バックゲートは節点Vppにそれぞれ接続されてい
る。43は節点N10とグランド間に接続されたn型M
OSFETであり、ゲートにクロック信号φ4 が入力さ
れている。また、44は節点N11とグランド間に接続
されたn型MOSFETであり、インバータ45により
反転されたクロック信号φ4 がゲートに入力されてい
る。
【0060】また、60は節点Vppの電位のレベルを検
出するレベルディテクタ、61はリング発振器であり、
一端がレベルディテクタ60の出力に接続された、遅延
の大きい2入力NANDゲート30と、この2入力NA
NDゲート30の出力を入力とし、その出力がこの2入
力NANDゲート30の他端に接続された、遅延の大き
い反転増幅器31,32,33,34の直列接続体とか
ら構成されている。また、35は2入力NANDゲート
30の出力と反転増幅器33の出力を入力とし、クロッ
クφ1 を発生する2入力ANDゲート、36は2入力N
ANDゲート30の出力と反転増幅器33の出力を入力
とし、クロックφ2 を発生する負論理の2入力NAND
ゲートである。
【0061】また、37a,37b,37c,37dは
相互に直列に接続された、遅延の大きい反転増幅器であ
り、反転増幅器37aには、この回路が搭載されたDR
AMの/RAS信号が入力されている。また、38は反
転増幅器37aと37dの出力を入力とし、クロックφ
3 を発生する2入力ANDゲート、39は反転増幅器3
7bと37cの出力を入力とし、クロックφ4 を発生す
る負論理の2入力NANDゲートである。
【0062】次に動作について説明する。この図6の回
路は例えば、DRAMのワード線電位発生回路として用
いることができる。即ち、DRAMでは、その高速化と
動作の安定化のために、ワード線が選択された時、ワー
ド線を電源電圧以上に昇圧するようにしている。そこ
で、この図6の回路は、電源電圧以上に昇圧された電圧
を発生し、これをワード線に供給する回路として用いる
ことができる。
【0063】DRAMの待機時に信号/RASは“H”
である。60は、高電圧Vppのレベルを検知するレベル
ディテクタで、例えば、節点VppがVcc+VTHより高い
時は、その検知信号φe は“L”,VppがVcc+VTHよ
り低い時はその検知信号φeは“H”となる。
【0064】図7の時刻t0 において、電源を投入する
と、レベルディテクタ60の出力φe は“H”となる。
これにより、リング発振器61が動作を開始し、クロッ
ク信号φ1 ,φ2 を発生する。このリング発振器61は
これを構成する2入力NANDゲート30およびインバ
ータ31〜34が遅延付きのゲートであるので、それぞ
れの出力波形が図12に示すようになり、これにより互
いにオーバーラップすることのないクロック信号φ1 ,
φ2 を発生するものである。そして、このクロック信号
φ1 ,φ2 により、チャージポンプ回路Aが動作するた
め、高電圧を発生すべき節点Vppのレベルが上昇する。
【0065】時刻t1 において、高電圧Vppが、Vcc+
VTHに到達すると、レベルディテクタ60の出力φe が
“L”となり、リング発振器61の動作が停止するた
め、クロック信号φ1 ,φ2 が発生せず、チャージポン
プ回路Aは作動しない。これにより、リング発振器61
およびチャージポンプ回路Aで消費される電力は0とな
る。
【0066】/RAS信号が時刻t2 に“L”となっ
て、このチャージポンプ回路を搭載したDRAMが動作
をはじめると、ワード線を駆動するために消費された電
荷を補充するために、チャージポンプ回路Bを駆動す
る。
【0067】以下、チャージポンプ回路Bの構成および
動作について説明する。仮に、チャージポンプ回路B
が、チャージポンプ回路Aと同じ回路構成を持つものと
する。この場合、その初期状態では、節点N3,N4,
Vppの電位は、それぞれVcc−VTH,Vcc−2VTH,V
cc−3VTHとなる。これは節点N3に関して言えば、電
源Vccの電位がトランジスタ1のしきい値電圧VTH分降
下して現れるからであり、節点N4に関して言えば、節
点N3の電位Vcc−VTHがトランジスタ3のしきい値電
圧VTH分降下して現れるからである。また、節点Vppに
関して言えば節点N4の電位がトランジスタ4のしきい
値電圧VTH分降下して現れるからである。
【0068】まず、図11に示すようなサイクル1にお
いて、クロック信号φ1 が“H”となると、キャパシタ
5はその両端間の電位差を保持しようとするので、節点
N3の電位が上昇する。これにより、トランジスタ3,
4が導通して、節点Vppの電位が上昇し、Va (<Vc
c)になる。この時の節点N3,N4の電位はそれぞれ
トランジスタ4,3のしきい値VTH分ずつ高いVa +2
VTH,Va +VTHとなる。
【0069】次に、クロック信号φ2 が“H”となる
と、キャパシタ5はその両端間の電位差を保持しようと
するので、節点N4の電位はVa +VTHから上昇する。
これにより、トランジスタ4が導通して節点Vppの電位
が上昇してVb (>Vcc)となる。この時の節点N4の
電位はVb +VTHとなるので、トランジスタ2の働きで
節点N3の電位はVccに充電される。
【0070】次のサイクルでクロック信号φ1 が“H”
となれば、節点N3の電位はVccから上昇するので、ト
ランジスタ3が導通して節点N4の電位はVd に上昇す
る。次に信号φ2 が“H”となれば、節点N4の電位は
さらに上昇するので、トランジスタ4が導通して節点V
ppの電位が上昇してVe となる。この時の節点N4の電
位はVe +VTHとなるので、トランジスタ2の働きで節
点N3の電位はVccに充電される。
【0071】次にクロック信号φ2 が“L”となると、
節点N4の電位はVe +VTH−Vccとなる。これ以後、
同様にして、1サイクルの終わりの時点では節点N3は
Vccに充電されている。
【0072】サイクルが経過するにつれて、節点Vppの
電位は徐々に上昇するが、3Vcc−2VTHに到達したサ
イクルの終わりでは、節点N4の電位は、 Ve +VTH−Vcc=3Vcc−2VTH+VTH−Vcc=2V
TH−Vcc となり、このときの節点N3の電位はVccである。
【0073】次のサイクルで、クロック信号φ1 が
“H”になると、節点N3の電位は2Vccとなるが、節
点N4の電位が2VTH−Vccなので、トランジスタ3は
導通せず、節点Vppの電位は変化しない。
【0074】次にクロック信号φ2 が“H”になると、
節点N4の電位は2Vcc−VTHから3Vcc−VTHに上昇
するが、この時、トランジスタ4は導通しないので、節
点Vppは変化しない。従って、節点Vppの電位はもはや
3Vcc−2VTH以上に上昇しない。
【0075】クロック信号φ2 が“L”になると、節点
N4の電位は、3Vcc−VTHから2Vcc−VTHに戻る。
以後、節点N4の電位は、2Vcc−VTHと3Vcc−VTH
の間を変動するようになる。
【0076】このように、チャージポンプ回路Bが図1
のチャージポンプ回路と同じ構成であったとすると、回
路の出力に3Vcc−2VTHが発生するまで、信号φ4 ,
φ3を複数サイクル以上印加しなければならず、時刻t4
から始まる、次の動作サイクルまでに高電圧Vppのレ
ベルを回復できないという問題がある。
【0077】そこで、図6のチャージポンプ回路Bを同
図に示すような構成とする。この図6において、トラン
ジスタ19,20,28,29、インバータ46により
第3のスイッチング素子7hを、トランジスタ40,4
1,42,43,44、インバータ45により第4のス
イッチング素子7iを構成する。
【0078】次に、その動作について説明する。待機時
の/RAS信号が“H”の時に、トランジスタ19はオ
ンし、節点N8の電位は0Vとなる。一方、インバータ
49により/RAS信号は反転して“L”となるため、
トランジスタ20はオフする。節点N8の電位が0Vで
あることにより、トランジスタ29がオンする。このよ
うに、第3のスイッチング素子を導通させ、節点N9を
高電位Vppにすると、トランジスタ21がオンして節点
N7は電源電圧Vccに充電される。この節点N7の電位
が電源電圧Vccに等しくなるのは、節点N9の電位はV
ppに等しいため、この電位がVcc+VTH以上の場合に
は、トランジスタ21が導通して、節点N7の電位をV
ccとするからである。
【0079】次に/RAS信号が“L”となって、信号
φ3 がVccとなると、節点N7の電位は2Vccとなる。
そこで、クロック信号φ4 が“H”となったことによ
り、トランジスタ43がオンして、節点N5が0Vとな
り、トランジスタ40がオンする。一方、インバータ4
5によりクロック信号φ4 が反転されて“L”となり、
トランジスタ44はオフして節点N6は“H”となるの
で、トランジスタ41はオフする。また、節点N5が0
Vとなることにより、トランジスタ42がオンする。こ
のようにして、第4のスイッチング素子7iを導通させ
ると、節点Vppに2Vccが出力される。これは、上述の
ように、節点Vppの電位がVcc+VTHよりも高い場合
は、節点N7の初期値がVccとなるので、クロック信号
φ3 が“H”(=Vcc)となった時には、節点N7の電
位は2Vccとなるからである。
【0080】このように、DRAMの待機時にはVppの
電荷は消費しないので、チャージポンプ回路Bに比べて
駆動能力が大きいチャージポンプ回路(以下、大ポンプ
と称す)Aの動作に従って節点Vppのレベルは上昇して
いくが、節点Vppのレベルが所定のレベルに達したと
き、レベルディテクタ60の出力φe が“L”となって
クロック信号φ1 ,φ2 が停止するので、大ポンプAの
動作が停止する。一旦、その動作が停止すると、リーク
により節点Vppのレベルが所定のレベルより低くなるま
で、その状態を維持するので、DRAMのスタンバイ時
には大ポンプは殆ど停止したままである。
【0081】このように、本実施例によれば、低消費電
力化のために大ポンプAを待機時に停止するようにして
も、/RAS信号が“L”レベルとなって、DRAMが
動作をはじめると、すぐに、チャージポンプ回路Bが、
2Vccを発生するので、消費した電荷を補うことができ
る。これにより、チャージポンプ回路Aを常時動作させ
なくてもよいため、消費電力をおさえることができる。
【0082】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るチャージポ
ンプ回路によれば、第1の節点と第1の信号端子間に接
続された第1のキャパシタと、第2の節点と第2の信号
端子間に接続された第2のキャパシタと、前記第1の節
点と前記第2の節点の間に接続された第1のスイッチン
グ素子と、前記第2の節点と本回路の出力端子である第
3の節点の間に接続された第2のスイッチング素子と、
そのドレインを電源電圧に、ソースを前記第1の節点
に、ゲートを前記第2の節点に接続された第1のトラン
ジスタとを備えたので、電源電圧が低いときでも、充分
な、高電圧が発生できるという効果がある。
【0083】また、本発明に係るチャージポンプ回路に
よれば、第1の節点と第1の信号端子間に接続された第
1のキャパシタ、第2の節点と第2の信号端子間に接続
された第2のキャパシタ、前記第1の節点と前記第2の
節点間に接続された第1のスイッチング素子、前記第2
の節点と本回路の出力端子である第3の節点間に接続さ
れた第2のスイッチング素子、そのドレインが電源電圧
に、ソースが前記第1の節点に、ゲートが前記第2の節
点に接続された第1のトランジスタを有する第1のチャ
ージポンプ回路本体と、第4の節点と第3の信号端子間
に接続された第3のキャパシタ、そのドレインが電源電
圧に、ソースが前記第4の節点に接続された第2のトラ
ンジスタ、前記第1のチャージポンプ回路本体の出力端
子と前記第2のトランジスタのゲートとの間を断続する
第3のスイッチング素子、前記第4の節点と前記出力端
子間に接続された第4のスイッチング素子を有する第2
のチャージポンプ回路本体とを備え、前記第3のスイッ
チング素子により、前記第2のトランジスタのゲートと
その出力端子間を断続するように構成したので、本チャ
ージポンプ回路が組み込まれた装置の低消費電力化のた
めに、駆動能力が大きい第1のチャージポンプ回路本体
を装置の待機時に停止するようにしても、装置が活性状
態になればすぐに、第1のチャージポンプ回路本体が高
電圧を発生することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例によるチャージポンプ
回路を示す回路図である。
【図2】この発明の第1の実施例の動作を示すタイミン
グ図である。
【図3】この発明の第2の実施例によるチャージポンプ
回路を示す回路図である。
【図4】この発明の第3の実施例によるチャージポンプ
回路を示す回路図である。
【図5】この発明の第3の実施例の動作を示すタイミン
グ図である。
【図6】この発明の第4の実施例によるチャージポンプ
回路を示す回路図である。
【図7】この発明の第4の実施例の動作を示すタイミン
グ図である。
【図8】この発明の第5の実施例によるチャージポンプ
回路を示す回路図である。
【図9】従来のチャージポンプ回路を示す回路図であ
る。
【図10】従来の動作を示すタイミング図である。
【図11】この発明の第1の実施例の動作を示すタイミ
ング図である。
【図12】この発明の第4の実施例のリング発振器の動
作を示すタイミング図である。
【図13】この発明の第4の実施例のクロック発生器の
動作を示すタイミング図である。
【符号の説明】
2,3,4,16,17,18,21 n型MOS F
ET 5,6,24,25,26 キャパシタ 8,9 バイポーラ・ダイオード 7a,7b,7f,7g,7h スイッチング素子 N3,N4,Vpp,N7 節点 A,B チャージポンプ回路 φ1 ,φ2 ,φ3 クロック信号 28,29 p型MOS FET 19,20 n型MOS FET 46 インバータ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の節点と第1の信号端子間に接続さ
    れた第1のキャパシタと、 第2の節点と第2の信号端子間に接続された第2のキャ
    パシタと、 前記第1の節点と前記第2の節点間に接続された第1の
    スイッチング素子と、 前記第2の節点と本回路の出力端子である第3の節点間
    に接続された第2のスイッチング素子と、 そのドレインが電源電圧に、ソースが前記第1の節点
    に、ゲートが前記第2の節点に接続された第1のトラン
    ジスタとを備えたことを特徴とするチャージポンプ回
    路。
  2. 【請求項2】 第1の節点と第1の信号端子間に接続さ
    れた第1のキャパシタ、 第2の節点と第2の信号端子間に接続された第2のキャ
    パシタ、 前記第1の節点と前記第2の節点間に接続された第1の
    スイッチング素子、 前記第2の節点と本回路の出力端子である第3の節点間
    に接続された第2のスイッチング素子、 そのドレインが電源電圧に、ソースが前記第1の節点
    に、ゲートが前記第2の節点に接続された第1のトラン
    ジスタを有する第1のチャージポンプ回路本体と、 第4の節点と第3の信号端子間に接続された第3のキャ
    パシタ、 そのドレインが電源電圧に、ソースが前記第4の節点に
    接続された第2のトランジスタ、 前記第1のチャージポンプ回路本体の出力端子と前記第
    2のトランジスタのゲートとの間を断続する第3のスイ
    ッチング素子、 前記第4の節点と前記出力端子間に接続された第4のス
    イッチング素子を有する第2のチャージポンプ回路本体
    とを備えたことを特徴とするチャージポンプ回路。
JP5018146A 1993-01-06 1993-01-06 チャージポンプ回路 Pending JPH06203559A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5018146A JPH06203559A (ja) 1993-01-06 1993-01-06 チャージポンプ回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5018146A JPH06203559A (ja) 1993-01-06 1993-01-06 チャージポンプ回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06203559A true JPH06203559A (ja) 1994-07-22

Family

ID=11963474

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5018146A Pending JPH06203559A (ja) 1993-01-06 1993-01-06 チャージポンプ回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06203559A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6734717B2 (en) 2001-12-29 2004-05-11 Hynix Semiconductor Inc. Charge pump circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6734717B2 (en) 2001-12-29 2004-05-11 Hynix Semiconductor Inc. Charge pump circuit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7602233B2 (en) Voltage multiplier with improved efficiency
JP2703706B2 (ja) 電荷ポンプ回路
US6614705B2 (en) Dynamic random access memory boosted voltage supply
KR0133933B1 (ko) 기판바이어스 발생회로
US4208595A (en) Substrate generator
KR980011440A (ko) 반도체 기판용 전하 펌프
JPH0614529A (ja) 昇圧電位発生回路
US6208197B1 (en) Internal charge pump voltage limit control
JPH043110B2 (ja)
US6252452B1 (en) Semiconductor device
KR100478866B1 (ko) 저전력발진기
KR100294584B1 (ko) 반도체메모리장치의기판바이어스전압발생회로
JP3755907B2 (ja) 電圧発生回路
JPH06150652A (ja) 半導体集積回路
JP2008259420A (ja) 半導体基板用のチャージポンプ
JPH06203559A (ja) チャージポンプ回路
JP2613579B2 (ja) 集積半導体回路内の発生器回路
KR100452636B1 (ko) 반도체 메모리 장치용 클럭 발생기
JP3396555B2 (ja) 半導体ポンプ回路
JP2990160B1 (ja) 電圧発生回路
JPH09326687A (ja) 半導体集積回路
JP2905749B2 (ja) バックバイアス電圧発生回路
JPH1132476A (ja) 内部電源生成回路及び半導体装置
JP2003264453A (ja) クロック異常検出回路
JPS6050000B2 (ja) Mis電界効果型半導体回路装置