JPH06201417A - 定流量発生装置 - Google Patents
定流量発生装置Info
- Publication number
- JPH06201417A JPH06201417A JP4359977A JP35997792A JPH06201417A JP H06201417 A JPH06201417 A JP H06201417A JP 4359977 A JP4359977 A JP 4359977A JP 35997792 A JP35997792 A JP 35997792A JP H06201417 A JPH06201417 A JP H06201417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- flow rate
- nozzle body
- constant flow
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
力比の管理が簡単な定流量発生装置を提供する。 【構成】 ハウジング1内に設けたノズル本体9を通る
流体の流速を音速に制御することにより、ノズル本体9
を通る流体の流量を定流量に制御する定流量発生装置で
ある。ノズル本体9をハウジング1内に取り外し可能に
装着したことを特徴とする。
Description
速を音速に制御することにより、流量を定流量にする定
流量発生装置に関する。
通る流体の流速を音速に制御することにより、前記ノズ
ルを通る流体の流量を定流量に制御する定流量発生装置
は知られている。この種のものは、ノズル上流の入口圧
力と、ノズル下流の出口圧力との圧力比(=出口圧力/
入口圧力)を、所定の圧力比以下(例えば0.5以下)
に設定することにより、ノズル部の流速を音速に管理し
て、そこでの流量を一定流量に制御しようとするもので
ある。
ルという)は、例えば、下流に真空ポンプをつないで、
ソニックノズルの上流側に一定流量の流れを作り出した
り、上流に圧縮機をつないで、ソニックノズルの下流側
に一定流量の流れを作り出したりする場合などに使用さ
れている。
ックノズルは、ハウジングの内部にノズルを一体的に形
成しているので、ノズルの製作が困難であり、コスト高
になるという問題がある。また、上述したようにノズル
部の流れは音速になるので、その部分は磨耗しやすく、
それが磨耗するとソニックノズルを交換しなければなら
ないという問題がある。更に、従来では、ノズルの孔部
の断面積を管理することにより、ノズル前後の圧力比を
設定するようにしているが、ノズル一体型のものでは、
その孔部の加工を精度よく仕上げるのが難しいという問
題がある。
技術が有する問題点を解消し、ノズルの製作が簡単で、
かつノズル前後の圧力比の管理が簡単な定流量発生装置
を提供することにある。
に、本発明は、ハウジング内に設けたノズル本体を通る
流体の流速を音速に制御することにより、ノズル本体を
通る流体の流量を定流量に制御する定流量発生装置にお
いて、ノズル本体をハウジング内に取り外し可能に装着
したことを特徴とするものである。
弁体を設けてもよい。
が所定の圧力比以下であるか否かを判別する判定器を設
けてもよい。
取り外し可能に装着しているので、ノズル本体を加工す
るにはそれを単独で加工することができ、ノズル本体が
磨耗してノズル前後の圧力比の管理が難しくなった場合
には、ノズル本体だけを交換すればよいので、管理は簡
単になる。
ル本体の入口と出口との圧力比を管理する必要がある
が、ノズル本体の開口面積を、弁体により調整自在にし
ておけば、その開口面積を任意に変えることができるの
で、圧力比の管理が簡単になると共に、その圧力比が、
所定の圧力比以下であるか否かを判別する判定器を設け
ておけば、判定結果をリアルタイムに知ることができ、
例えば、その判定器に警報器等をつなぐことにより、警
報として出力することができる。
例を図面を参照して説明する。
ジングを示している。このハウジング1は例えばSUS
303などの加工の容易な材料により製造されており、
その内周部の中程には段部3が設けられている。この段
部3を境界にして、図中左側は入口5に、右側は出口7
になっている。
り外し可能に装着されている。このノズル本体9の外周
にはOリング11が嵌め込まれ、このOリング11はそ
の外周をシールしている。また、ノズル本体9の内周に
は孔部13があけられ、この孔部13は、後述するよう
に、そこを通る流体における入口5の圧力P1 と出口7
の圧力P2 との圧力比(=P2 /P1 )が、所定の圧力
比以下(例えば0.5以下)になるように、その断面積
が設定されている。
やSUS316Lやセラミクスなどの材料で製造され、
ハウジング1から取り外し自在になっている。
参照して説明する。例えば、その下流に真空ポンプ15
をつないで、この真空ポンプ15を通じてソニックノズ
ルに流れを形成すると、その上流に一定流量の流れが形
成される。
り部(ノズル本体9)を通る流体の流れは、入口圧力を
P1 、出口圧力をP2 、気体の比熱比をκとした場合
に、圧力比(=P2 /P1 )が次式に示す臨界圧力比
(P2 /P1 )c以下になると、ノズルを通る流れが音
速になる。
すると、臨界重量流量GC は、 Gc =A・τ・P1 ・(2g/RT1 )1/2 ただし、
断面積A、ノズルの入口状態である圧力P1 、温度
T1 、そして気体の種類で定まるガス定数Rに影響され
て、出口の圧力P2 には影響されないことが分かる。こ
の考えを利用して定流量を発生させる考えは既知であ
る。
し、その上流に圧縮機17をつないで、この圧縮機17
を通じてソニックノズルに流れを形成すると、その下流
に一定流量の流れが形成される。このように使用される
ソニックノズルでは、上述のように、ノズル本体9の孔
部13に音速の流れが形成されるので、そこは磨耗しや
すくなっている。
体9は耐磨耗性に優れる材料により製造されるので、磨
耗は生じにくく、仮に磨耗が生じた際には、ノズル本体
9は取り外し可能であるので、それを交換すればよく、
極めて使い勝手の良いソニックノズルを提供することが
できる。
21には、入口23と出口25とが設けられている。入
口23には直角に曲がる入口流路23aがつながり、出
口25には同じく直角に曲がる出口流路5aがつなが
り、これら流路23a,25aは連通流路27でつなが
っている。
3aの出口に、取り外し可能にノズル本体39が装着さ
れている。
29が形成され、このめねじ部29には、連通流路27
を形成すべくプラグ31がねじ込まれている。このプラ
グ31には窪み部33が形成され、この窪み部33には
ニードル弁体37がねじ込まれている。このニードル弁
体37の先端37aは円錐状に形成されており、その先
端37aはノズル本体39の孔部41に臨んでいる。
んでそれを上下に動かすことにより、ノズル本体39の
孔部41の開口面積を調整できるしくみになっている。
なお、43,45は夫々シール用のOリングである。
は、ノズル本体39の孔部41の開口面積を任意に調整
することができる。上式(3)より明らかなように、孔
部41を通る臨界重量流量Gc は、ノズルの断面積Aに
影響されるわけであり、この断面積Aを管理することが
極めて重要である。
弁体37を軸方向に移動させることにより、ノズル本体
39の孔部41の開口面積(断面積A)を調整すること
ができるので、所望の一定流量の得られる、流量調整可
能なソニックノズルを提供することができる。
は、入口流路23aにつながる2個のポート51,52
と、出口流路25aにつながる1個のポート53とが設
けられ、夫々のポート51,52,53には、入口23
の圧力を検出するための入口圧力センサ55、その温度
を検出するための入口温度センサ(図示せず)、出口2
5の圧力を検出するための出口圧力センサ57がつなが
れる。
センサ55とは判定器59につながれており、この判定
器59は、入口圧力P1 と出口圧力P2 との圧力比(=
P2/P1 )を、所定の値(臨界圧力比)cと比較し
て、その結果に応じて判定信号を出力するしくみになっ
ている。
ように、入口圧力P1 と出口圧力P2 との圧力比(=P
2 /P1 )を臨界圧力比c以下に管理することにより、
ノズル本体9の孔部13に音速の流れを発生させて、一
定流量の流れを形成しようとするものである。
(=P2 /P1 )と、所定の値(臨界圧力比)cとを比
較して、その結果としての判定信号を、リアルタイムに
出力しているので、ソニックノズルが有効に機能してい
るか否かを、リアルタイムに判定することができる。
1 >cであり、その判定信号がNGである場合には、ブ
ザーやマーカーランプなどにそのNG信号を出力して、
警報を発するようにしてもよい。
13を通る流量は、そのときの温度Tm のみにより限定
されて、ノズル前後の圧力比が、臨界圧力比以下であれ
ば圧力差に影響されないことが分かる。しかし、入口圧
力Pm の影響は受ける。図6に示す実施例では、ノズル
前後の圧力比を臨界圧力比以下に保つと共に、この入口
圧力Pm を絞り弁63により制御して、希望する正確な
定流量を発生させようとするものである。
どのワークを連結すると、式(3)から明らかなよう
に、ノズル前状態(P1 、T1 )が変化する。
は、いわゆる標準状態時である所の、P1 =760(mm
Hg)、温度T1 =293(20(℃))の時の流量Q0
が、参考流量として添付されている。式(3)より、こ
の時の流量Q0 は、
連結した後の、実際の使用下(P1 、T1 )での標準状
態時流量Qm は、
らかなように、標準状態時の流量Qm を一定にするため
に、入口圧力P1 を調整する。
は、入口流路23aにつながるポート61が設けられ、
このポート61には入口圧力を制御するための弁体63
がねじ込まれる。この弁体63をねじ込むと、入口流路
23aは絞られ、入口圧力Pm は低くなるしくみであ
る。
63の突出量を調整することにより、入口圧力Pm を制
御して、標準状態時換算流量Qm を任意の値に制御する
ようにしたから、各種の気体を一定割合で混合したり、
ガスクロマトグラフなどの試料の規定サンプリングをし
たりする場合などに、これを使用することができるとい
う効果を奏する。
15をつなぎ、この真空ポンプ15により定流量を得る
際に、ノズル前に仮検査機器などのワークを接続する
と、P1 が低くなり、Q0 が流れなくなる。
りも大きな流量Q0 のノズルを用意する。また、臨界圧
力比をcとした場合に、変化可能なP1 は、P1 ≧(P
2 /c)であるので、流量Q0 は、使用する真空ポンプ
15の能力により決定されるので、できるだけ、真空能
力の高いポンプを用意する。
00(mmHg)abs まで吸引するとし、臨界圧力比をc=
0.5とすると、
は、大気圧力から200(mmHg)abs の範囲で可能にな
る。これを、式(6)に代入して、Qm の可能変化比を
求めると、
は、Q0 を設計値の値である所の、1から1/3.8ま
での範囲で変更することが可能になる。したがって、こ
の場合は、実際に希望するQ0 よりも、2倍程度大きい
ノズルを用いてシステムを構成すればよい。
によれば、ノズル本体が取り外しできるので、開口面積
の異なるノズル本体を複数用意しておけば、それを交換
することにより、流量を簡単に変更することができる。
また、流体を音速で流すため、ノズル本体は磨耗しやす
いが、これをSUS316Lやセラミクスなどの堅くて
磨耗しにくい材料により製造しておけば、ノズル本体の
寿命を向上させることができる。ハウジングには、SU
S303などの材料を使用しておけば、その加工を極め
て容易に行うことができる。
断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 ハウジング内に設けたノズル本体を通る
流体の流速を音速に制御することにより、ノズル本体を
通る流体の流量を定流量に制御する定流量発生装置にお
いて、前記ノズル本体を前記ハウジング内に取り外し可
能に装着したことを特徴とする定流量発生装置。 - 【請求項2】 ハウジング内に設けたノズル本体を通る
流体の流速を音速に制御することにより、ノズル本体を
通る流体の流量を定流量に制御する定流量発生装置にお
いて、前記ノズル本体の開口面積を調整自在な弁体を設
けたことを特徴とする定流量発生装置。 - 【請求項3】 ハウジング内に設けたノズル本体を通る
流体の流速を音速に制御することにより、ノズル本体を
通る流体の流量を定流量に制御する定流量発生装置にお
いて、前記ノズル本体の入口と出口との圧力比が所定の
圧力比以下であるか否かを判別する判定器を設けたこと
を特徴とする定流量発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35997792A JP3302066B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 定流量発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35997792A JP3302066B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 定流量発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06201417A true JPH06201417A (ja) | 1994-07-19 |
JP3302066B2 JP3302066B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=18467269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35997792A Expired - Lifetime JP3302066B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 定流量発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3302066B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11265217A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Omi Tadahiro | 圧力式流量制御装置 |
JP2000200780A (ja) * | 1998-06-01 | 2000-07-18 | Tadahiro Omi | 半導体又は液晶製造用装置並びに液体材料ガスの気化方法 |
WO2005003694A1 (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-13 | Fujikin Incorporated | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
WO2011121631A1 (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 株式会社技術開発総合研究所 | 気液供給装置 |
JP2015520853A (ja) * | 2012-05-24 | 2015-07-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | ガスの質量流速を測定するための方法及び機器 |
KR101699025B1 (ko) * | 2015-07-14 | 2017-01-23 | 서울산업기술주식회사 | 공기저항 반력을 최소화한 풍량 측정장치 |
JP2020002960A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 株式会社生活環境研究所 | バルブ |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP35997792A patent/JP3302066B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11265217A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Omi Tadahiro | 圧力式流量制御装置 |
JP2000200780A (ja) * | 1998-06-01 | 2000-07-18 | Tadahiro Omi | 半導体又は液晶製造用装置並びに液体材料ガスの気化方法 |
WO2005003694A1 (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-13 | Fujikin Incorporated | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
US7367241B2 (en) | 2003-07-03 | 2008-05-06 | Fujikin Incorporated | Differential pressure type flowmeter and differential pressure type flow controller |
WO2011121631A1 (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-06 | 株式会社技術開発総合研究所 | 気液供給装置 |
JP5431573B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2014-03-05 | 株式会社技術開発総合研究所 | ミキサー装置および気液供給装置 |
JP2015520853A (ja) * | 2012-05-24 | 2015-07-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | ガスの質量流速を測定するための方法及び機器 |
KR101699025B1 (ko) * | 2015-07-14 | 2017-01-23 | 서울산업기술주식회사 | 공기저항 반력을 최소화한 풍량 측정장치 |
JP2020002960A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 株式会社生活環境研究所 | バルブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3302066B2 (ja) | 2002-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6422256B1 (en) | Fluid flow controlling | |
US4096746A (en) | Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like | |
US7454984B1 (en) | Flow meter for measuring a flow rate of a flow of a fluid | |
JP2000171275A (ja) | マスフローメータの流量検出機構 | |
JPH08335117A (ja) | 音速ノズルを用いた質量流量制御方法および装置 | |
WO2002095272B1 (en) | Co-axial control valve | |
JPH06201417A (ja) | 定流量発生装置 | |
JPS61182402A (ja) | タ−ビンエンジン | |
FI103144B1 (fi) | Yhdistetty ohjaus- ja säätöventtiili nesteitä tai kaasuja varten | |
DE69804432T2 (de) | Vorrichtung zur Steuerung eines Durchflusses | |
US4134572A (en) | Adjustable flow metering orifice | |
US4755357A (en) | Sampling device for a gas analyzer | |
JPH0534521B2 (ja) | ||
KR20060108684A (ko) | 흡입 개구 전방에 층류 요소를 포함하는 팬 | |
JP2610175B2 (ja) | 燃料制御装置 | |
JP2007038179A (ja) | ガス混合装置 | |
JP2992746B2 (ja) | 外径測定用空気マイクロメータの測定ヘッド | |
KR101958289B1 (ko) | 유량계 일체형 밸브 | |
JP4137665B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
US3973579A (en) | Apparatus for controlling the ratio of flow of two gases | |
US8141435B2 (en) | Pressure measurement for flow metering device | |
JPS5855033A (ja) | ガス混合装置 | |
JPH077679Y2 (ja) | 圧力調整装置 | |
JP2716273B2 (ja) | 定流量弁 | |
JPH04120313U (ja) | 流量式空気マイクロメータの噴出空気量制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080426 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090426 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426 Year of fee payment: 8 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313114 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426 Year of fee payment: 8 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110426 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110426 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130426 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130426 Year of fee payment: 11 |