JPH06196575A - Information indicating method on the surface of semiconductor chip - Google Patents

Information indicating method on the surface of semiconductor chip

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JPH06196575A
JPH06196575A JP34417292A JP34417292A JPH06196575A JP H06196575 A JPH06196575 A JP H06196575A JP 34417292 A JP34417292 A JP 34417292A JP 34417292 A JP34417292 A JP 34417292A JP H06196575 A JPH06196575 A JP H06196575A
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
information
semiconductor device
tape
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP34417292A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Hamagishi
賢治 浜岸
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JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To ensure acquisition of predetermined information concerning a semiconductor chip even when information printed on the surface of the semiconductor device is missed or when a record preserved at a manufacturer is discarded. CONSTITUTION:Information, e.g. production lot number, wafer manufacturer name, history, inspection results, is printed in the form of a bar code 14 onto a semiconductor chip 12 or a tape printed with the information is stuck to the semiconductor chip 12 at a step preceding the step for sealing the semiconductor chip 12 with resin mold 18 or the like. This method allows acquisition of the information by unsealing the semiconductor device and reading out the bar code even when the record of the semiconductor device is discarded because of the expiration of preservation period or when the print on the surface of the semiconductor device is missed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、半導体チップの製造
ロットナンバー、履歴、検査成績等の情報を該半導体チ
ップの表面に表示する半導体チップの表面における情報
表示方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for displaying information on the surface of a semiconductor chip, which displays information such as the manufacturing lot number, history, and inspection result of the semiconductor chip on the surface of the semiconductor chip.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の半導体デバイスには、その表面の
捺印やプラスチックモールド刻印以外に、該半導体のチ
ップの履歴等の情報を示すものがなかった。
2. Description of the Related Art A conventional semiconductor device has no information such as a history of a chip of the semiconductor other than the marking on the surface and the marking on the plastic mold.

【0003】このような半導体デバイスにおいて、市場
障害が発生した場合には、その原因調査及び調査の対象
範囲の推定は、前記半導体装置表面の捺印やプラスチッ
クモールド刻印に基づいて、製造工場等に残された記録
を辿ることによって行っていた。
When a market failure occurs in such a semiconductor device, the cause investigation and the estimation of the scope of the investigation are left in the manufacturing factory or the like based on the marking on the surface of the semiconductor device or the plastic mold marking. It was done by following the recorded records.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、該当す
る半導体デバイスの記録が保管期限が切れて廃却された
場合は調査不能であり、又半導体デバイス上の捺印は実
装工程の溶剤等によって劣化し易く、不鮮明で読取りで
きない場合は調査は全く不可能になってしまっていた。
However, it is impossible to investigate when the record of the corresponding semiconductor device is expired and discarded, and the marking on the semiconductor device is easily deteriorated by the solvent in the mounting process. However, if it was unclear and unreadable, the investigation was completely impossible.

【0005】更に、製造工場における記録があったとし
ても、従来はその製造ロット全体の情報のみであり、該
当する半導体デバイスがどのウェーハのどの位置のチッ
プであるか、どのような検査成績結果であった等のチッ
プ毎の情報を確認することができないという問題点があ
った。
Further, even if there is a record in a manufacturing factory, conventionally, only information on the entire manufacturing lot is used, and it is possible to determine what position of the wafer the semiconductor device in question is and what kind of inspection result result. There was a problem that it was not possible to confirm the information for each chip, such as when there was.

【0006】この発明は、上記従来の問題点に鑑みて成
されたものであって、半導体デバイス表面の捺印や刻印
が劣化して不鮮明な状態であっても、又、製造工場にお
ける記録が廃却された後であっても、当該半導体デバイ
スの追跡調査を可能とすると共に、その半導体デバイス
のチップがどのウェーハのどの位置からのものであるか
を確認することができるようにした、半導体チップの表
面における情報表示方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and even if the markings or markings on the surface of the semiconductor device are deteriorated and unclear, the recording at the manufacturing factory is abolished. Even after being rejected, it is possible to trace the semiconductor device and to confirm from which position on which wafer the chip of the semiconductor device comes. It is an object of the present invention to provide a method of displaying information on the surface of.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は、半導体チッ
プの封止の前の工程で、該半導体チップの表面に、その
製造ロット、履歴を含むチップ情報を付加することを特
徴とする半導体チップの表面における情報表示方法によ
って、上記目的を達成するものである。
According to the present invention, chip information including the manufacturing lot and history of the semiconductor chip is added to the surface of the semiconductor chip in a step before the sealing of the semiconductor chip. The above object is achieved by a method of displaying information on the surface of the.

【0008】前記情報の付加は、半導体チップ表面への
印刷、及び、情報が記入されたテープの貼付けの少なく
とも一方によりなされるようにしてもよい。
The information may be added by at least one of printing on the surface of the semiconductor chip and attaching a tape on which information is written.

【0009】前記印刷は、導電性インク材料によりなさ
れるようにしてもよい。
The printing may be done with a conductive ink material.

【0010】又、前記テープは導電性材料により形成さ
れるようにしてもよい。
The tape may be made of a conductive material.

【0011】[0011]

【作用及び効果】本発明によれば、半導体チップのモー
ルド前の工程で、必要な情報を半導体チップ表面に付加
するようにしているので、故障等が発生した場合に、該
チップ情報を読み取ることにより、半導体デバイス表面
の印刷や刻印が不鮮明であったり、又工場における記録
が消失した場合であっても、当該半導体チップの履歴等
の情報を追跡調査することができる。
According to the present invention, the necessary information is added to the surface of the semiconductor chip in the step before the semiconductor chip is molded. Therefore, when the failure occurs, the chip information can be read. Thus, even if the printing or marking on the surface of the semiconductor device is unclear or the record in the factory is lost, information such as history of the semiconductor chip can be traced and investigated.

【0012】請求項2によれば、半導体チップ表面への
印刷や情報テープの貼付けによって容易に情報が付加さ
れる。
According to the second aspect, information is easily added by printing on the surface of the semiconductor chip or attaching an information tape.

【0013】請求項3によれば、導電性インク材料が半
導体チップ表面に静電気が帯電することを抑制して、装
置の正常な作動を保証することができる。
According to the third aspect, it is possible to prevent the conductive ink material from being charged with static electricity on the surface of the semiconductor chip, thereby ensuring the normal operation of the apparatus.

【0014】又請求項4によれば、導電性材料のテープ
により、静電気の帯電を防止すると共に、外部からの電
磁気のシールド効果、発熱の分散を図ることができ、
又、テープを可能な範囲で広くすることによって、半導
体チップの疵を防止することができる。
According to the present invention, the tape of the conductive material can prevent static electricity from being charged, and can also shield the electromagnetic field from the outside and disperse heat.
Further, by widening the tape as much as possible, it is possible to prevent the semiconductor chip from being damaged.

【0015】[0015]

【実施例】以下本発明に係る半導体チップの表面におけ
る情報表示方法を、図面を参照して詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method of displaying information on the surface of a semiconductor chip according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0016】この発明の第1実施例は、図1〜図3に示
されるように、半導体ウェーハ10から半導体チップ1
2を製造するウェーハプロセスにおいて、半導体ウェー
ハ10上の各半導体チップ12の表面にその製造ロッ
ト、履歴等を含むチップ情報をバーコード14としてス
タンプツール16により印刷するものである。
In the first embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, from a semiconductor wafer 10 to a semiconductor chip 1
In the wafer process of manufacturing 2, the chip tool including the manufacturing lot, history and the like is printed on the surface of each semiconductor chip 12 on the semiconductor wafer 10 as the bar code 14 by the stamp tool 16.

【0017】更に具体的には、半導体チップ12の表面
を覆う張力緩和、疵防止のためのポリイミドコート等の
カバー膜上にバーコード14を印刷する。
More specifically, the bar code 14 is printed on a cover film such as a polyimide coat for relaxing the tension covering the surface of the semiconductor chip 12 and preventing scratches.

【0018】しかる後に、半導体チップ12は例えば図
3に示されるように、樹脂モールド18により封止され
る。図3の符号20はリード端子、22はボンディング
ワイヤをそれぞれ示す。
Thereafter, the semiconductor chip 12 is sealed with a resin mold 18, as shown in FIG. 3, for example. Reference numeral 20 in FIG. 3 indicates a lead terminal, and 22 indicates a bonding wire.

【0019】前記バーコード14で表わされる情報は、
詳細には、半導体ウェーハ10の製造ロットナンバー、
ウェーハメーカー名、製造工程でのトラブルの有無、リ
ーク電流の初期値等の履歴、外観疵の有無、プローブテ
スト結果等の検査成績、更には、半導体ウェーハ10に
おける当該半導体チップ12の位置の情報とする。
The information represented by the bar code 14 is
Specifically, the manufacturing lot number of the semiconductor wafer 10,
Wafer maker name, presence / absence of trouble in manufacturing process, history of initial value of leak current, presence / absence of appearance flaw, inspection result such as probe test result, and further information on position of the semiconductor chip 12 on the semiconductor wafer 10. To do.

【0020】このようにすると、樹脂モールド18の表
面に印刷されたり刻印された情報が劣化して不鮮明とな
った場合、あるいは当該半導体チップ12の記録が保管
期限切れで廃却された場合等であっても、半導体デバイ
ス24を開封して、半導体チップ12上に印刷されたバ
ーコード14を読み取ることによって、上記各種情報を
得ることができる。
In this case, the information printed or stamped on the surface of the resin mold 18 is deteriorated and becomes unclear, or the record of the semiconductor chip 12 is discarded due to the expiration of the storage period. Even if the semiconductor device 24 is unsealed and the barcode 14 printed on the semiconductor chip 12 is read, the above various information can be obtained.

【0021】次に、図4及び図5に示される本発明の第
2実施例について説明する。
Next, a second embodiment of the present invention shown in FIGS. 4 and 5 will be described.

【0022】この第2実施例は、前記と同様の各種の情
報を予め印刷したテープ26を各半導体チップ12に、
テープ貼り器28によって貼付けるものである。テープ
26は、前記第1実施例と同様に、カバー膜上に貼付け
られる。
In the second embodiment, the tape 26 on which various kinds of information similar to the above is previously printed is attached to each semiconductor chip 12,
The tape is applied by the tape applicator 28. The tape 26 is attached on the cover film as in the first embodiment.

【0023】このように、テープ26を貼付けた半導体
チップ12は、前記第1実施例の場合と同様に、半導体
デバイスを開封することによって該半導体チップ12の
履歴等の情報を得ることができると共に、該半導体チッ
プ12の製造過程における疵発生の防止を図ることがで
きる。
As described above, the semiconductor chip 12 to which the tape 26 is attached can obtain information such as the history of the semiconductor chip 12 by opening the semiconductor device as in the case of the first embodiment. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of defects in the manufacturing process of the semiconductor chip 12.

【0024】更に、例えば、従来、半導体チップを損傷
しないように、これを斜めにつかむようにしたコレット
を用いる場合があるが、テープ26を半導体チップ12
の所要箇所に貼付けることによって、通常の平型コレッ
トによって該半導体チップ12を損傷させることなくつ
かむことができるので、斜めにつかむような特殊なコレ
ットが不要となる。
Further, for example, conventionally, there is a case where a collet is used in which the semiconductor chip is obliquely grasped so as not to damage the semiconductor chip.
Since the semiconductor chip 12 can be gripped by the ordinary flat collet without damaging it by sticking it to the required position, a special collet for obliquely gripping is unnecessary.

【0025】又、テープ26を例えばアルミニウム等の
導電性材料から構成すると、電磁シールド効果を得るこ
とができると共に、半導体チップで発生する熱を均一化
して分散させることができる。このとき、テープ26は
出力トランジスタ近傍に貼付けると、熱の均一分散化が
より効果的となる。又、導電性材料からなるテープ26
を用いると、絶縁破壊や誘導電荷を生じる静電気の帯電
を防止することができる。
When the tape 26 is made of a conductive material such as aluminum, an electromagnetic shield effect can be obtained and the heat generated in the semiconductor chip can be made uniform and dispersed. At this time, if the tape 26 is attached in the vicinity of the output transistor, the uniform distribution of heat becomes more effective. In addition, the tape 26 made of a conductive material
By using, it is possible to prevent electrostatic charge that causes dielectric breakdown or induced charge.

【0026】なお、前記第1実施例におけるバーコード
14の印刷も、導電性インクや材料を用いることによっ
て、同様に帯電を逃がして静電気に対する抵抗を大きく
することができる。
In the printing of the bar code 14 in the first embodiment as well, by using a conductive ink or material, it is possible to similarly release the charge and increase the resistance to static electricity.

【0027】更に、前記第1実施例において、バーコー
ド14の印刷を例えば鉛のインクを用いて行うと、半導
体デバイス24を破壊することなく、外部からX線によ
って所定の情報を読み取ることができる。
Further, in the first embodiment, when the bar code 14 is printed by using, for example, lead ink, it is possible to read predetermined information by X-ray from the outside without destroying the semiconductor device 24. .

【0028】なお、上記実施例は、いずれも半導体チッ
プのポリイミドコート等のカバー膜上に印刷又はテープ
貼付けによって各種情報を表示するようにしたものであ
るが、本発明はこれに限定されるものでなく、半導体チ
ップを樹脂モールド等によって封止する前の工程であれ
ば、いずれの段階であっても印刷又はテープ貼付けをし
てもよい。
In each of the above embodiments, various information is displayed by printing or tape sticking on the cover film such as the polyimide coat of the semiconductor chip, but the present invention is not limited to this. Alternatively, printing or tape attachment may be performed at any stage as long as it is a process before sealing the semiconductor chip with a resin mold or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る半導体チップの表面における情報
表示方法を実施する過程を示す平面図
FIG. 1 is a plan view showing a process of implementing an information display method on the surface of a semiconductor chip according to the present invention.

【図2】図1の一部の半導体チップを拡大して示す平面
FIG. 2 is an enlarged plan view showing a part of the semiconductor chip of FIG.

【図3】半導体チップを樹脂モールドした状態で示す一
部断面とした斜視図
FIG. 3 is a partial cross-sectional perspective view showing a semiconductor chip resin-molded.

【図4】本発明の第2実施例の方法を実施する過程を示
す斜視図
FIG. 4 is a perspective view showing a process of carrying out the method of the second embodiment of the present invention.

【図5】同実施例における半導体チップを拡大して示す
斜視図
FIG. 5 is an enlarged perspective view showing a semiconductor chip in the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…半導体ウェーハ 12…半導体チップ 14…バーコード 16…スタンプツール 18…樹脂モールド 20…リード端子 22…ボンディングワイヤ 24…半導体デバイス 26…テープ 28…テープ貼り器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor wafer 12 ... Semiconductor chip 14 ... Bar code 16 ... Stamp tool 18 ... Resin mold 20 ... Lead terminal 22 ... Bonding wire 24 ... Semiconductor device 26 ... Tape 28 ... Tape applicator

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】半導体チップの封止の前の工程で、該半導
体チップの表面に、その製造ロット、履歴を含むチップ
情報を付加することを特徴とする半導体チップの表面に
おける情報表示方法。
1. A method of displaying information on the surface of a semiconductor chip, wherein chip information including a manufacturing lot and history of the semiconductor chip is added to the surface of the semiconductor chip in a step before sealing the semiconductor chip.
【請求項2】請求項1において、前記情報の付加は、半
導体チップ表面への印刷、及び、情報が記入されたテー
プの貼付けの少なくとも一方によりなされることを特徴
とする半導体チップの表面における情報表示方法。
2. The information on the surface of a semiconductor chip according to claim 1, wherein the information is added by at least one of printing on the surface of the semiconductor chip and attaching a tape on which information is written. Display method.
【請求項3】請求項2において、前記印刷は、導電性イ
ンク材料によりなされることを特徴とする半導体チップ
の表面における情報表示方法。
3. The method for displaying information on the surface of a semiconductor chip according to claim 2, wherein the printing is performed using a conductive ink material.
【請求項4】請求項2において、前記テープは導電性材
料により形成されたことを特徴とする半導体チップの表
面における情報表示方法。
4. The method for displaying information on the surface of a semiconductor chip according to claim 2, wherein the tape is made of a conductive material.
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