JPH06196117A - 走査電子顕微鏡における自動画像調整方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡における自動画像調整方法Info
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- JPH06196117A JPH06196117A JP34569892A JP34569892A JPH06196117A JP H06196117 A JPH06196117 A JP H06196117A JP 34569892 A JP34569892 A JP 34569892A JP 34569892 A JP34569892 A JP 34569892A JP H06196117 A JPH06196117 A JP H06196117A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 画像評価信号のＳ／Ｎ比が増大し、自動画像
調整の精度などを向上させることができる走査電子顕微
鏡における自動画像調整方法を実現する。 【構成】 信号局在判定ユニット１５は、画像メモリー
９に記憶された２次元の画像信号のうち、Ｘ，Ｙ両方向
について各画素の射影データを得るようにしている。さ
らに、信号局在判定ユニット１５は、各画素番号ごとに
積算された信号の累積データを得るようにしている。ユ
ニット１５は累積データに基づいて信号量の多い領域が
試料の走査領域の内の一部分に偏在しているかを判断
し、偏在していれば、その走査位置情報をコンピュータ
１１に供給する。コンピュータは供給された情報に基づ
いて走査信号発生回路６を制御する。その結果、信号量
の多い試料領域で電子ビームの走査が行われ、その際、
対物レンズ３の励磁強度をステップ状に変化させ、自動
的な画像調整動作が行われる。
調整の精度などを向上させることができる走査電子顕微
鏡における自動画像調整方法を実現する。 【構成】 信号局在判定ユニット１５は、画像メモリー
９に記憶された２次元の画像信号のうち、Ｘ，Ｙ両方向
について各画素の射影データを得るようにしている。さ
らに、信号局在判定ユニット１５は、各画素番号ごとに
積算された信号の累積データを得るようにしている。ユ
ニット１５は累積データに基づいて信号量の多い領域が
試料の走査領域の内の一部分に偏在しているかを判断
し、偏在していれば、その走査位置情報をコンピュータ
１１に供給する。コンピュータは供給された情報に基づ
いて走査信号発生回路６を制御する。その結果、信号量
の多い試料領域で電子ビームの走査が行われ、その際、
対物レンズ３の励磁強度をステップ状に変化させ、自動
的な画像調整動作が行われる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子ビームを試料上で
２次元的に走査し、試料からの２次電子などを検出し、
試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡における
自動画像調整方法に関する。
２次元的に走査し、試料からの２次電子などを検出し、
試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡における
自動画像調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来の走査電子顕微鏡を示してい
る。図中１は電子銃であり、電子銃１からの電子ビーム
は集束レンズ２，対物レンズ３によって試料４上に細く
集束される。また、電子ビームは偏向コイル５に走査信
号発生回路６からの走査信号を供給することにより偏向
される。試料４への電子ビームの照射に基づいて発生し
た２次電子は２次電子検出器７によって検出される。検
出器７の検出信号はＡＤ変換器８によってディジタル信
号に変換された後、画像メモリ９に供給されて記憶され
る。
る。図中１は電子銃であり、電子銃１からの電子ビーム
は集束レンズ２，対物レンズ３によって試料４上に細く
集束される。また、電子ビームは偏向コイル５に走査信
号発生回路６からの走査信号を供給することにより偏向
される。試料４への電子ビームの照射に基づいて発生し
た２次電子は２次電子検出器７によって検出される。検
出器７の検出信号はＡＤ変換器８によってディジタル信
号に変換された後、画像メモリ９に供給されて記憶され
る。
【０００３】画像メモリ９中の画像データは微分フィル
タ処理やフーリエ変換・逆変換処理を行う処理回路１０
により特定周波数領域の抽出処理などが行われる。画像
メモリー９のデータはコンピュータ１１に送られ、走査
領域の信号について１画面分積算することにより画像評
価量を求めている。なお、画像メモリー９に記憶された
信号は適宜読み出され、陰極線管などの表示装置１２に
供給されて像の表示を行うことができる。１３は対物レ
ンズ３の励磁電源であり、電源１３は、コンピュータ１
１からＤＡ変換器１４を介して供給される信号に基づい
て制御される。このような構成の動作を次に説明する。
タ処理やフーリエ変換・逆変換処理を行う処理回路１０
により特定周波数領域の抽出処理などが行われる。画像
メモリー９のデータはコンピュータ１１に送られ、走査
領域の信号について１画面分積算することにより画像評
価量を求めている。なお、画像メモリー９に記憶された
信号は適宜読み出され、陰極線管などの表示装置１２に
供給されて像の表示を行うことができる。１３は対物レ
ンズ３の励磁電源であり、電源１３は、コンピュータ１
１からＤＡ変換器１４を介して供給される信号に基づい
て制御される。このような構成の動作を次に説明する。
【０００４】まず、試料４の２次電子像を得る場合、コ
ンピュータ１１からの指令に基づいて走査信号発生回路
６から２次元的な走査信号が偏向コイル５に供給され
る。この結果、試料の所望領域は電子ビームによって走
査される。試料４への電子ビームの照射に基づいて発生
した２次電子は検出器７によって検出され、検出信号は
ＡＤ変換された後画像メモリ９に供給されて記憶され
る。記憶された信号は、適宜読み出され表示装置に供給
されて２次電子像が表示される。
ンピュータ１１からの指令に基づいて走査信号発生回路
６から２次元的な走査信号が偏向コイル５に供給され
る。この結果、試料の所望領域は電子ビームによって走
査される。試料４への電子ビームの照射に基づいて発生
した２次電子は検出器７によって検出され、検出信号は
ＡＤ変換された後画像メモリ９に供給されて記憶され
る。記憶された信号は、適宜読み出され表示装置に供給
されて２次電子像が表示される。
【０００５】さて、このようにして得られた像の質は、
試料に照射される電子ビームのフォーカスの状態や非点
の状態に大きく依存する。そのため、像信号を得るに当
たっては事前にフォーカス合わせ動作や非点補正動作を
行うようにしている。ここでフォーカス合わせ動作につ
いて説明する。まず、コンピュータ１１よりＤＡ変換器
１４を介して対物レンズ電源１３を制御し、対物レンズ
３に供給する励磁電流をステップ状に変化させる。この
励磁電流のステップ状の変化の都度、画像メモリー９に
記憶された一画面分の信号は、コンピュータ１１内で積
算され、その値は記憶される。
試料に照射される電子ビームのフォーカスの状態や非点
の状態に大きく依存する。そのため、像信号を得るに当
たっては事前にフォーカス合わせ動作や非点補正動作を
行うようにしている。ここでフォーカス合わせ動作につ
いて説明する。まず、コンピュータ１１よりＤＡ変換器
１４を介して対物レンズ電源１３を制御し、対物レンズ
３に供給する励磁電流をステップ状に変化させる。この
励磁電流のステップ状の変化の都度、画像メモリー９に
記憶された一画面分の信号は、コンピュータ１１内で積
算され、その値は記憶される。
【０００６】なお、画像メモリーに記憶された信号は、
処理装置１０で微分フィルタ処理やフーリエ変換・逆変
換処理が施され、特定周波数領域の抽出が行われる。コ
ンピュータ１１内での積算結果はその特定の励磁状態に
おける画像評価量であり、各励磁電流に応じてその評価
量が得られる。コンピュータ１１は全てのステップ状の
励磁強度に対応した評価量が得られた後、画像評価量が
最大となる励磁強度を確認し、対物レンズ３がその励磁
強度となるように電源１３を制御する。その結果、電子
ビームはフォーカスが合った状態で試料４上に照射され
る。上記説明はフォーカス合わせを例に説明したが、非
点補正を行う場合には、同様な方式を非点補正レンズの
強度をステップ状に変化させることによって実行され
る。
処理装置１０で微分フィルタ処理やフーリエ変換・逆変
換処理が施され、特定周波数領域の抽出が行われる。コ
ンピュータ１１内での積算結果はその特定の励磁状態に
おける画像評価量であり、各励磁電流に応じてその評価
量が得られる。コンピュータ１１は全てのステップ状の
励磁強度に対応した評価量が得られた後、画像評価量が
最大となる励磁強度を確認し、対物レンズ３がその励磁
強度となるように電源１３を制御する。その結果、電子
ビームはフォーカスが合った状態で試料４上に照射され
る。上記説明はフォーカス合わせを例に説明したが、非
点補正を行う場合には、同様な方式を非点補正レンズの
強度をステップ状に変化させることによって実行され
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記したようなフォー
カス合わせにおいては、一次電子ビーム照射による試料
ダメージを回避する目的などで、照射電流量を減らして
行う場合には、２次電子信号（必然的に画像評価量）の
Ｓ／Ｎ比が下がり、調整値に対する画像評価量の最大値
を求めることが困難となり、自動調整精度が落ちたり、
自動調整ができなくなったりする。特に、電子ビームの
走査領域の多くの部分がほとんど均一な表面を有してお
り、画像評価信号の発生に寄与する凹凸状の構造がほと
んどない場合には、上記のようなエラーが生じやすい。
カス合わせにおいては、一次電子ビーム照射による試料
ダメージを回避する目的などで、照射電流量を減らして
行う場合には、２次電子信号（必然的に画像評価量）の
Ｓ／Ｎ比が下がり、調整値に対する画像評価量の最大値
を求めることが困難となり、自動調整精度が落ちたり、
自動調整ができなくなったりする。特に、電子ビームの
走査領域の多くの部分がほとんど均一な表面を有してお
り、画像評価信号の発生に寄与する凹凸状の構造がほと
んどない場合には、上記のようなエラーが生じやすい。
【０００８】半導体製造工程におけるレジストパターン
の評価などでは、このような孤立パターンを観察するこ
とが多い。このような場合は、走査領域を目標パターン
を中心に狭めてやる（倍率を上げる）ことにより、画像
評価信号が増大し、結果が改善されることが多い。しか
しながら、観察位置に自動位置決め後引き続いて自動画
像調整を行う場合には、位置決め精度を越えた高い倍率
では目標パターンが走査領域に入ってこない場合が発生
し、目的を達成することができないなどの問題がある。
の評価などでは、このような孤立パターンを観察するこ
とが多い。このような場合は、走査領域を目標パターン
を中心に狭めてやる（倍率を上げる）ことにより、画像
評価信号が増大し、結果が改善されることが多い。しか
しながら、観察位置に自動位置決め後引き続いて自動画
像調整を行う場合には、位置決め精度を越えた高い倍率
では目標パターンが走査領域に入ってこない場合が発生
し、目的を達成することができないなどの問題がある。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、画像評価信号のＳ／Ｎ比が増大
し、自動画像調整の精度・成功確率を向上させることが
できる走査電子顕微鏡における自動画像調整方法を実現
するにある。
もので、その目的は、画像評価信号のＳ／Ｎ比が増大
し、自動画像調整の精度・成功確率を向上させることが
できる走査電子顕微鏡における自動画像調整方法を実現
するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく走査電子
顕微鏡における自動画像調整方法は、特定の視野におい
て、電子ビームの試料への照射条件をステップ状に変化
させ、各ステップ状の照射条件ごとに試料への電子ビー
ムの照射に基づいて得られた信号を評価して最適照射条
件を選定し、該最適条件に電子ビームの照射条件を設定
する自動画像調整ステップを行い、その後該特定視野の
走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、特定
方向への電子ビームの走査ごとの信号を積算し、積算デ
ータから積算信号強度の大きい部分が集中している走査
領域を判定し、該判定した走査領域に特定視野を限定し
て前記自動画像調整ステップを行うようにしたことを特
徴としている。
顕微鏡における自動画像調整方法は、特定の視野におい
て、電子ビームの試料への照射条件をステップ状に変化
させ、各ステップ状の照射条件ごとに試料への電子ビー
ムの照射に基づいて得られた信号を評価して最適照射条
件を選定し、該最適条件に電子ビームの照射条件を設定
する自動画像調整ステップを行い、その後該特定視野の
走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、特定
方向への電子ビームの走査ごとの信号を積算し、積算デ
ータから積算信号強度の大きい部分が集中している走査
領域を判定し、該判定した走査領域に特定視野を限定し
て前記自動画像調整ステップを行うようにしたことを特
徴としている。
【００１１】
【作用】本発明に基づく走査電子顕微鏡における自動画
像調整方法は、特定の視野において、特定方向への電子
ビームの走査ごとの信号を積算し、積算データから積算
信号強度の大きい部分が集中している走査領域を判定
し、該判定した走査領域に特定視野を限定し、その後限
定された特定視野で電子ビームの試料への照射条件をス
テップ状に変化させ、各ステップ状の照射条件ごとに試
料への電子ビームの照射に基づいて得られた信号を評価
して最適照射条件を選定し、該最適条件に電子ビームの
照射条件を設定する自動画像調整ステップを行うように
した。
像調整方法は、特定の視野において、特定方向への電子
ビームの走査ごとの信号を積算し、積算データから積算
信号強度の大きい部分が集中している走査領域を判定
し、該判定した走査領域に特定視野を限定し、その後限
定された特定視野で電子ビームの試料への照射条件をス
テップ状に変化させ、各ステップ状の照射条件ごとに試
料への電子ビームの照射に基づいて得られた信号を評価
して最適照射条件を選定し、該最適条件に電子ビームの
照射条件を設定する自動画像調整ステップを行うように
した。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳
細に説明する。図２は本発明に基づく方法を実施するた
めの走査電子顕微鏡の一例を示しているが、この図と図
１の従来装置と同一部分は同一番号を付し、その詳細な
説明は省略する。図２の構成と図１の構成と相違する点
は、画像メモリー９に信号局在判定ユニット１５を接続
した点である。信号局在判定ユニット１５は、画像メモ
リー９に記憶された２次元の画像信号のうち、Ｘ，Ｙ両
方向について各画素の射影データを得るようにしてい
る。すなわち、Ｘ，Ｙ方向の各画素番号ごとに記憶され
ている信号強度を積算する。
細に説明する。図２は本発明に基づく方法を実施するた
めの走査電子顕微鏡の一例を示しているが、この図と図
１の従来装置と同一部分は同一番号を付し、その詳細な
説明は省略する。図２の構成と図１の構成と相違する点
は、画像メモリー９に信号局在判定ユニット１５を接続
した点である。信号局在判定ユニット１５は、画像メモ
リー９に記憶された２次元の画像信号のうち、Ｘ，Ｙ両
方向について各画素の射影データを得るようにしてい
る。すなわち、Ｘ，Ｙ方向の各画素番号ごとに記憶され
ている信号強度を積算する。
【００１３】さらに、信号局在判定ユニット１５は、各
画素番号ごとに積算された信号の累積データを得るよう
にしている。例えば、図３（ａ）は走査領域Ｓで電子ビ
ーム走査を行った場合に得られた像を示している。図中
Ａの部分が信号量の多い部分（例えば、細かい凹凸が多
数ある部分）である。このような像信号についてＸ方向
の各画素番号ごとに画像メモリー９に記憶されている信
号強度を積算し、さらにその積算値を累積すると図３
（ｂ）のグラフが得られる。また、Ｙ方向の各画素番号
ごとに画像メモリー９に記憶されている信号強度を積算
し、さらにその積算値を累積すると図３（ｃ）のグラフ
が得られる。判定ユニット１５は、Ｘ，Ｙ両方向につい
て、総累積信号量Ｉｘ，Ｉｙの特定の２つの割合、例え
ば、２０％と８０％の画素位置ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２
を求める。
画素番号ごとに積算された信号の累積データを得るよう
にしている。例えば、図３（ａ）は走査領域Ｓで電子ビ
ーム走査を行った場合に得られた像を示している。図中
Ａの部分が信号量の多い部分（例えば、細かい凹凸が多
数ある部分）である。このような像信号についてＸ方向
の各画素番号ごとに画像メモリー９に記憶されている信
号強度を積算し、さらにその積算値を累積すると図３
（ｂ）のグラフが得られる。また、Ｙ方向の各画素番号
ごとに画像メモリー９に記憶されている信号強度を積算
し、さらにその積算値を累積すると図３（ｃ）のグラフ
が得られる。判定ユニット１５は、Ｘ，Ｙ両方向につい
て、総累積信号量Ｉｘ，Ｉｙの特定の２つの割合、例え
ば、２０％と８０％の画素位置ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２
を求める。
【００１４】さらに、信号局在判定ユニット１５は、
（ｘ１−ｘ２），（ｙ１−ｙ２）とＸ，Ｙ方向の全画素
数の比が使用した２つの割合の差（上記例では６０％）
よりも極端に小さい場合には、信号量の多い領域Ａが試
料の走査領域Ｓの内の一部分に遍在しているものと判断
し、画素位置の情報ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２をコンピュ
ータ１１に供給する。コンピュータは供給された情報に
基づいて、走査領域が［ｘ１，ｘ２］，［ｙ１，ｙ２］
となるように走査信号発生回路６を制御する。その結
果、図４に示すように信号量の多い部分Ａで走査領域
Ｓ′により電子ビームの走査が行われる。このＳ′の領
域で電子ビームを走査し、従来と同様に対物レンズ３の
励磁強度をステップ状に変化させ、自動的な画像調整動
作が行われる。
（ｘ１−ｘ２），（ｙ１−ｙ２）とＸ，Ｙ方向の全画素
数の比が使用した２つの割合の差（上記例では６０％）
よりも極端に小さい場合には、信号量の多い領域Ａが試
料の走査領域Ｓの内の一部分に遍在しているものと判断
し、画素位置の情報ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２をコンピュ
ータ１１に供給する。コンピュータは供給された情報に
基づいて、走査領域が［ｘ１，ｘ２］，［ｙ１，ｙ２］
となるように走査信号発生回路６を制御する。その結
果、図４に示すように信号量の多い部分Ａで走査領域
Ｓ′により電子ビームの走査が行われる。このＳ′の領
域で電子ビームを走査し、従来と同様に対物レンズ３の
励磁強度をステップ状に変化させ、自動的な画像調整動
作が行われる。
【００１５】図５は本発明の他の実施例を実施するため
の走査電子顕微鏡の一例を示しており、図１と同一部分
には同一番号を付してその詳細な説明は省略する。この
実施例で、２次電子検出器７の出力信号は微分回路１６
に供給されて微分される。微分された信号は絶対値回路
１７を介して積分回路１８に供給されて一水平走査ごと
に信号強度の積分が行われる。積分回路１８の積分結果
はＡＤ変換器１９によってディジタル信号に変換された
後コンピュータ１１に供給される。コンピュータ１１
は、供給された各水平走査ごとの信号の積分値を累積す
る。
の走査電子顕微鏡の一例を示しており、図１と同一部分
には同一番号を付してその詳細な説明は省略する。この
実施例で、２次電子検出器７の出力信号は微分回路１６
に供給されて微分される。微分された信号は絶対値回路
１７を介して積分回路１８に供給されて一水平走査ごと
に信号強度の積分が行われる。積分回路１８の積分結果
はＡＤ変換器１９によってディジタル信号に変換された
後コンピュータ１１に供給される。コンピュータ１１
は、供給された各水平走査ごとの信号の積分値を累積す
る。
【００１６】ここで、図６（ａ）に示すような走査領域
Ｓで各水平走査ごとの信号強度を積分すると、図６
（ｂ）に示すようなグラフが得られる。さらに、その積
分値を累積すると、図６（ｃ）に示すグラフが得られ
る。コンピュータ１１は、この図６（ｃ）に示すグラフ
に応じた信号から、総累積信号量Ｉｙの特定の２つの割
合、例えば、２０％と８０％の画素位置ｙ１，ｙ２を求
める。さらに、コンピュータ１１は、（ｙ１−ｙ２）と
垂直方向の全画素数の比が使用した２つの割合の差（上
記例では６０％）とほぼ等しい場合には、信号強度の大
きい試料部分が電子ビームの走査領域Ｓにほぼ均等に分
布しているものと判断し、走査領域の変更は行わずに前
記した自動的な画像調整動作を実行する。
Ｓで各水平走査ごとの信号強度を積分すると、図６
（ｂ）に示すようなグラフが得られる。さらに、その積
分値を累積すると、図６（ｃ）に示すグラフが得られ
る。コンピュータ１１は、この図６（ｃ）に示すグラフ
に応じた信号から、総累積信号量Ｉｙの特定の２つの割
合、例えば、２０％と８０％の画素位置ｙ１，ｙ２を求
める。さらに、コンピュータ１１は、（ｙ１−ｙ２）と
垂直方向の全画素数の比が使用した２つの割合の差（上
記例では６０％）とほぼ等しい場合には、信号強度の大
きい試料部分が電子ビームの走査領域Ｓにほぼ均等に分
布しているものと判断し、走査領域の変更は行わずに前
記した自動的な画像調整動作を実行する。
【００１７】次に、図７（ａ）に示すような走査領域Ｓ
で各水平走査ごとの信号強度を積分すると、図７（ｂ）
に示すようなグラフが得られる。さらに、その積分値を
累積すると、図７（ｃ）に示すグラフが得られる。コン
ピュータ１１は、この図７（ｃ）に示すグラフに応じた
信号から、総累積信号量Ｉｙの特定の２つの割合、例え
ば、２０％と８０％の画素位置ｙ１，ｙ２を求める。さ
らに、コンピュータ１１は、（ｙ１−ｙ２）と垂直方向
の全画素数の比が使用した２つの割合の差（上記例では
６０％）よりも極端に小さい場合には、信号量の多い領
域が試料の走査領域Ｓの内の一部分に偏在しているもの
と判断し、画素位置の情報ｙ１，ｙ２をコンピュータ１
１に供給する。コンピュータは供給された情報に基づい
て、走査領域が［ｙ１，ｙ２］となるように走査信号発
生回路６を制御する。その結果、垂直方向の走査範囲を
狭めて電子ビームの走査が行われる。この場合、得られ
る像は図７（ｄ）に示すように、垂直方向の像倍率が高
くなる。このようにして信号量の多い部分で電子ビーム
の走査が行われ、従来と同様に対物レンズ３の励磁強度
をステップ状に変化させ、自動的な画像調整動作が行わ
れる。
で各水平走査ごとの信号強度を積分すると、図７（ｂ）
に示すようなグラフが得られる。さらに、その積分値を
累積すると、図７（ｃ）に示すグラフが得られる。コン
ピュータ１１は、この図７（ｃ）に示すグラフに応じた
信号から、総累積信号量Ｉｙの特定の２つの割合、例え
ば、２０％と８０％の画素位置ｙ１，ｙ２を求める。さ
らに、コンピュータ１１は、（ｙ１−ｙ２）と垂直方向
の全画素数の比が使用した２つの割合の差（上記例では
６０％）よりも極端に小さい場合には、信号量の多い領
域が試料の走査領域Ｓの内の一部分に偏在しているもの
と判断し、画素位置の情報ｙ１，ｙ２をコンピュータ１
１に供給する。コンピュータは供給された情報に基づい
て、走査領域が［ｙ１，ｙ２］となるように走査信号発
生回路６を制御する。その結果、垂直方向の走査範囲を
狭めて電子ビームの走査が行われる。この場合、得られ
る像は図７（ｄ）に示すように、垂直方向の像倍率が高
くなる。このようにして信号量の多い部分で電子ビーム
の走査が行われ、従来と同様に対物レンズ３の励磁強度
をステップ状に変化させ、自動的な画像調整動作が行わ
れる。
【００１８】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、電子ビームの走
査領域の調整の為のｙ１，ｙ２の判定は、電子ビームの
照射条件のステップ状の変化ごとに行っても良く、ある
いは、最初の１ステップや最大信号強度が得られた１ス
テップのみに限定して行っても良い。また、フォーカス
合わせ動作を例に説明したが、非点補正動作にも本発明
を適用することができる。さらに、２次電子を検出する
ようにしたが、反射電子を検出する場合にも本発明を使
用することができる。
はこの実施例に限定されない。例えば、電子ビームの走
査領域の調整の為のｙ１，ｙ２の判定は、電子ビームの
照射条件のステップ状の変化ごとに行っても良く、ある
いは、最初の１ステップや最大信号強度が得られた１ス
テップのみに限定して行っても良い。また、フォーカス
合わせ動作を例に説明したが、非点補正動作にも本発明
を適用することができる。さらに、２次電子を検出する
ようにしたが、反射電子を検出する場合にも本発明を使
用することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく走
査電子顕微鏡における自動画像調整方法は、特定の視野
において、特定方向への電子ビームの走査ごとの信号を
積算し、積算データから積算信号強度の大きい部分が集
中している走査領域を判定し、該判定した走査領域に特
定視野を限定し、その後限定された特定視野で電子ビー
ムの試料への照射条件をステップ状に変化させ、各ステ
ップ状の照射条件ごとに試料への電子ビームの照射に基
づいて得られた信号を評価して最適照射条件を選定し、
該最適条件に電子ビームの照射条件を設定する自動画像
調整ステップを行うようにしたので、画像評価信号のＳ
／Ｎ比が増大し、自動画像調整の精度・成功確率を向上
させることができる。
査電子顕微鏡における自動画像調整方法は、特定の視野
において、特定方向への電子ビームの走査ごとの信号を
積算し、積算データから積算信号強度の大きい部分が集
中している走査領域を判定し、該判定した走査領域に特
定視野を限定し、その後限定された特定視野で電子ビー
ムの試料への照射条件をステップ状に変化させ、各ステ
ップ状の照射条件ごとに試料への電子ビームの照射に基
づいて得られた信号を評価して最適照射条件を選定し、
該最適条件に電子ビームの照射条件を設定する自動画像
調整ステップを行うようにしたので、画像評価信号のＳ
／Ｎ比が増大し、自動画像調整の精度・成功確率を向上
させることができる。
【図１】従来の走査電子顕微鏡を示す図である。
【図２】本発明を実施するための走査電子顕微鏡の一例
を示す図である。
を示す図である。
【図３】図２に示した走査電子顕微鏡を用いる本発明の
一実施例を説明するための図である。
一実施例を説明するための図である。
【図４】図２に示した走査電子顕微鏡を用いる本発明の
一実施例を説明するための図である。
一実施例を説明するための図である。
【図５】本発明を実施するための走査電子顕微鏡の他の
例を示す図である。
例を示す図である。
【図６】図５に示した走査電子顕微鏡を用いる本発明の
一実施例を説明するための図である。
一実施例を説明するための図である。
【図７】図５に示した走査電子顕微鏡を用いる本発明の
一実施例を説明するための図である。
一実施例を説明するための図である。
１ 電子銃 ２ 集束レンズ ３ 対物レンズ ４ 試料 ５ 偏向器 ６ 走査信号発生回路 ７ ２次電子検出器 ８ ＡＤ変換器 ９ 画像メモリー １０ 処理回路 １１ コンピュータ １２ 表示装置 １３ 励磁電源 １４ ＤＡ変換器 １５ 信号局在判定ユニット １６ 微分回路 １７ 絶対値回路 １８ 積分回路
Claims (3)
- 【請求項１】 特定の視野において、電子ビームの試料
への照射条件をステップ状に変化させ、各ステップ状の
照射条件ごとに試料への電子ビームの照射に基づいて得
られた信号を評価して最適照射条件を選定し、該最適条
件に電子ビームの照射条件を設定する自動画像調整ステ
ップを行い、その後該特定視野の走査像を得るようにし
た走査電子顕微鏡において、特定方向への電子ビームの
走査ごとの信号を積算し、積算データから積算信号強度
の大きい部分が集中している走査領域を判定し、該判定
した走査領域に特定視野を限定して前記自動画像調整ス
テップを行うようにした走査電子顕微鏡における自動画
像調整方法。 - 【請求項２】 特定の視野の２次元的電子ビーム走査に
基づいて得られた信号を画像メモリーに記憶させ、Ｘ，
Ｙ両方向について各走査位置ごとに信号を積算し、Ｘ，
Ｙ両方向について積算データから積算信号強度の大きい
部分が集中している走査領域を判定するようにした請求
項１記載の走査電子顕微鏡における自動画像調整方法。 - 【請求項３】 特定の視野の２次元的電子ビーム走査に
基づいて得られた信号について、一水平走査ごとに信号
を積算し、垂直走査方向について積算データから積算信
号強度の大きい部分が集中している走査領域を判定する
ようにした請求項１記載の走査電子顕微鏡における自動
画像調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4345698A JP3037006B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 走査電子顕微鏡における自動画像調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4345698A JP3037006B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 走査電子顕微鏡における自動画像調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196117A true JPH06196117A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3037006B2 JP3037006B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=18378363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4345698A Expired - Fee Related JP3037006B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 走査電子顕微鏡における自動画像調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3037006B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013243128A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-12-05 | Fei Co | 適応走査を有する走査顕微鏡 |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP4345698A patent/JP3037006B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013243128A (ja) * | 2012-05-17 | 2013-12-05 | Fei Co | 適応走査を有する走査顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3037006B2 (ja) | 2000-04-24 |
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