JPH0619300U - ワイヤ電極型除電器 - Google Patents
ワイヤ電極型除電器Info
- Publication number
- JPH0619300U JPH0619300U JP6389792U JP6389792U JPH0619300U JP H0619300 U JPH0619300 U JP H0619300U JP 6389792 U JP6389792 U JP 6389792U JP 6389792 U JP6389792 U JP 6389792U JP H0619300 U JPH0619300 U JP H0619300U
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- JP
- Japan
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- wire electrode
- wire
- static eliminator
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワイヤ電極の放電による金属微粒子の飛散を
防止できるとともに、ワイヤ電極が耐放電性・耐腐食性
・耐熱性・耐薬品性・耐放射線性等の優れた特性を有す
る除電器を提供する。 【構成】 導電性金属ワイヤの表面にセラミックスコー
テング層を形成して被覆保護する。
防止できるとともに、ワイヤ電極が耐放電性・耐腐食性
・耐熱性・耐薬品性・耐放射線性等の優れた特性を有す
る除電器を提供する。 【構成】 導電性金属ワイヤの表面にセラミックスコー
テング層を形成して被覆保護する。
Description
【０００１】
本考案は導電性金属ワイヤを電極としたワイヤ電極型除電器に関する。
【０００２】
従来のこの型の除電器では、一般に、電極となる導電性ワイヤとして、ステン レスやタングステン等の硬質かつ耐腐食性金属のワイヤをいわゆる裸線のまま使 用していた。
【０００３】
しかし、硬質金属であるとはいえ、ワイヤ表面が放電により破壊されて金属微 粒子となって飛散し、半導体製造や精密部品の製造等においては不良品を発生さ せるなどの弊害をもたらし、またワイヤ電極自体も放電磨耗や表面劣化により寿 命が短い等の問題点があった。
【０００４】 本考案の目的は、ワイヤ電極の放電による金属微粒子の飛散を防止できるとと もに、ワイヤ電極が耐放電性・耐腐食性・耐熱性・耐薬品性・耐放射線性等の優 れた特性を有する除電器を提供することにある。
【０００５】
本考案による除電器は、電極である導電性金属ワイヤの表面にセラミックスコ ーテング層を形成したことを特徴とする。
【０００６】
導電性金属ワイヤの表面は、耐放電性・耐腐食性・耐熱性・耐薬品性・耐放射 線性等の優れたセラミックスコーテング層（絶縁層）で被覆保護されているため 、放電によりワイヤ電極から金属微粒子が飛散することがないのに加え、耐久性 の優れたワイヤ電極となる。
【０００７】
以下、本考案の一実施例について説明する。 図１は本考案による除電器の一例で、断面Ｕ字状の金属製ケーシング１内の両 端に絶縁ブロック２・３を嵌合固着し、これら絶縁ブロック２・３間にワイヤ電 極４を張架している。ケーシング１はアースされ、ワイヤ電極４の一端は、ケー ブル５及び電流制限用抵抗６を介して高電圧電源（図示せず）に接続され、ワイ ヤ電極４には高電圧が印加される。
【０００８】 ワイヤ電極４の横断面構造は図２又は図３或いは図４のようになっている。図 ２は、導電性金属ワイヤ（導体）７の表面にＡｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 によるセラミ ックスコーテング層８を例えば液相法により形成したものである。図３は、導電 性金属ワイヤ７の表面にニッケルによる中間層９を形成し、更にその表面にＳｉ Ｏ2 によるセラミックスコーテング層１０を液相法により形成したものである。 図４は、導電性金属ワイヤ７の表面にステンレスによる中間層１１を形成し、更 にその表面にＳｉＯ2 によるセラミックスコーテング層１２を化学気相蒸着法に より形成したものである。
【０００９】 図２・図３・図４のいずれの場合も、導電性金属ワイヤ７はセラミックスコー テング層８・１０・１２で被覆保護されているため、導電性金属ワイヤ７の金属 としては、ステンレスやタングステン等の硬質かつ耐腐食性金属に限らず、銅や アルミニウム等の腐食性及び硬度が比較的劣る金属でも使用できる。これらの金 属を使用した場合には、比較的柔軟であるため、加工性が良いとともに、自由な 線形のワイヤ電極にすることができる。
【００１０】
本考案による除電器によれば、ワイヤ電極の金属ワイヤの表面がセラミックス コーテング層によって被覆保護されているため、金属ワイヤ表面からの放電によ る金属微粒子の飛散を防止できる。
【００１１】 また、セラミックスコーテング層は耐放電性・耐腐食性・耐熱性・耐薬品性・ 耐放射線性等が優れているため、耐久性の優れたワイヤ電極とすることができる 。
【００１２】 更に、金属ワイヤをこのようなセラミックスコーテング層で保護するため、金 属ワイヤの金属としては、ステンレスやタングステン等の硬質かつ耐腐食性金属 に限らず、銅やアルミニウム等の腐食性及び硬度が比較的劣る金属でも使用でき 、これらの金属を使用した場合には、比較的柔軟であるため、加工性が良いとと もに、自由な線形のワイヤ電極にすることができる。
【図１】本考案による除電器の一例の斜視図である。
【図２】同除電器のワイヤ電極の第１例の横断面図であ
る。
る。
【図３】ワイヤ電極の第２例の横断面図である。
【図４】ワイヤ電極の第３例の横断面図である。
１ ケーシング ２・３ 絶縁ブロック ４ ワイヤ電極 ５ ケーブル ６ 電流制限抵抗 ７ 導電性金属ワイヤ ８・１０・１２ セラミックスコーテング層 ９・１１ 中間層
Claims (1)
- 【請求項１】導電性金属ワイヤを電極としたワイヤ電極
型除電器において、前記金属ワイヤの表面にセラミック
スコーテング層を形成したことを特徴とするワイヤ電極
型除電器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6389792U JPH0619300U (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | ワイヤ電極型除電器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6389792U JPH0619300U (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | ワイヤ電極型除電器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0619300U true JPH0619300U (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=13242560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6389792U Pending JPH0619300U (ja) | 1992-08-21 | 1992-08-21 | ワイヤ電極型除電器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619300U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210020202A (ko) * | 2019-08-13 | 2021-02-24 | 한국에너지기술연구원 | 전기분무공정을 이용한 기판 코팅 방법 및 그를 이용하여 제조한 전극 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04106897A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空間に存在する帯電物品の除電設備 |
-
1992
- 1992-08-21 JP JP6389792U patent/JPH0619300U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04106897A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 清浄空間に存在する帯電物品の除電設備 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210020202A (ko) * | 2019-08-13 | 2021-02-24 | 한국에너지기술연구원 | 전기분무공정을 이용한 기판 코팅 방법 및 그를 이용하여 제조한 전극 |
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