JPH06190709A - 研磨盤 - Google Patents

研磨盤

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Publication number
JPH06190709A
JPH06190709A JP4349110A JP34911092A JPH06190709A JP H06190709 A JPH06190709 A JP H06190709A JP 4349110 A JP4349110 A JP 4349110A JP 34911092 A JP34911092 A JP 34911092A JP H06190709 A JPH06190709 A JP H06190709A
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JP
Japan
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drive shaft
hollow member
gear
bracket
shaft
Prior art date
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Pending
Application number
JP4349110A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Wada
達也 和田
Takeshi Shiotani
武志 塩谷
Koichi Miyamoto
功一 宮本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ryobi Ltd
Original Assignee
Ryobi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ryobi Ltd filed Critical Ryobi Ltd
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Priority to US08/172,554 priority patent/US5476409A/en
Priority to EP93310462A priority patent/EP0605202A1/en
Publication of JPH06190709A publication Critical patent/JPH06190709A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B21/00Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
    • B24B21/18Accessories
    • B24B21/22Accessories for producing a reciprocation of the grinding belt normal to its direction of movement
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/002Grinding heads

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 サンダが設けられた駆動軸の軸方向移動を可
能とするか、軸方向移動を規制するかの切換操作を操作
部の操作により容易に行なうことができるようにする。 【構成】 ハウジングの上部にはテーブルが固定され、
このテーブルに回転ピンを介して保持板が揺動可能に設
けられている。保持板にはブラケット5が固定されてい
る。ブラケット5には中空部材13が軸方向に移動可能
に設けられている。中空部材13には駆動軸18が回転
可能に軸支されている。駆動軸18は中空部材13と共
に軸方向に移動可能である。ブラケット5には突部5
f,5fが突設されており、この突部5f,5fに回転
軸59が回転可能に支持されている。回転軸59の一端
側にはフック61が固定されている。フック61の先端
部は中空部材13に形成された孔13bに係合されてい
る。回転軸59の他端側にはハンドル62が螺着されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は研磨盤に係り、特にサン
ダの回転軸方向への移動を規制することができる研磨盤
に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、サンダを回転させるとともに、
回転軸方向で往復移動させておいて、このサンダに被研
磨材を当てて、研磨作業を行なうといったものが広く知
られている。
【0003】しかし、作業によってはサンダの回転軸方
向への移動を希望しない場合があり、かかる場合にサン
ダの回転軸方向での往復移動を規制する方法が提案され
ている(USP1849868号)。
【0004】これは、駆動軸の外周にカム溝を形成し、
このカム溝に係合されるカムを有するリング部材を駆動
軸の外周に摺動可能に設けている。このリング部材はカ
バーで覆われることにより駆動軸に対する摺動が規制さ
れる。
【0005】そして、駆動軸を軸方向に往復移動させる
場合には、リング部材の駆動軸に対する摺動をカバーを
覆うことにより規制する。そして、駆動軸を回転させる
と、駆動軸はカム溝に沿って往復動する。また、駆動軸
の往復移動を規制する場合には、カバーを外し、取り除
くと、リング部材は駆動軸の回転のため、カムとカム溝
の係合により軸方向に摺動する。これにより駆動軸の軸
方向移動が規制される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の構造
のものにあっては、駆動軸を軸方向に移動させないよう
にした場合にでもカムとカム溝とは係合しており、摩擦
音が生じるといった問題点がある。また、切換え操作は
カバーを取付け、取外すことにより行われるため煩雑で
ある。
【0007】本発明は上述のような問題点に鑑みてなさ
れたもので、駆動軸の軸方向移動をさせない場合に、静
かで、しかも駆動軸の軸方向移動をさせるか否かの切換
え操作を容易に行なうことができる研磨盤を提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、駆動装置と、
この駆動装置によって回転される駆動軸と、この駆動軸
に設けられたサンダと、研磨作業時に上記駆動軸を軸方
向に移動させる移動機構部とを有する研磨盤において、
上記駆動軸を回転可能に支持し、かつ、軸方向に移動す
る上記駆動軸と共動可能なよう上記駆動軸の外周に設け
られた中空部材と、この中空部材に形成された孔と、こ
の孔に係合され、上記中空部材の軸方向移動を規制可能
な係合部材と、この係合部材を上記中空部材の軸方向移
動可能位置と軸方向移動規制位置との間で移動させる操
作部とを備えていることを特徴とする。
【0009】
【作用】サンダを回転軸方向に移動させたい場合には、
操作部を操作することにより、係合部材を軸方向移動可
能位置に位置させる。これにより、中空部材および駆動
軸は回転軸方向に移動可能な状態となる。この状態で、
駆動装置を駆動させ、駆動軸を回転させるとともに、移
動機構部により回転軸方向に往復移動させ、ひいてはサ
ンダを回転および往復移動させる。
【0010】また、サンダを回転軸方向へは移動させな
い場合には、操作部を操作することにより、係合部材を
軸方向移動規制位置に位置させる。これにより、中空部
材および駆動軸の回転軸方向への移動が規制される。こ
の状態で駆動装置を駆動させ、駆動軸を回転させ、ひい
てはサンダを回転させる。ただし、中空部材および駆動
軸の軸方向の往復移動が規制される。
【0011】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の一実施例
について説明する。図1は本発明における研磨盤の正面
断面図、図2は側面断面図である。なお、図2は駆動軸
を水平とした状態を示している。図1において、図中符
号1はハウジングであり、このハウジング1の上部には
テーブル2が固定されている。このテーブル2には開口
部2aが形成され、この開口部2aの相対向する側(図
1中左右両側)に回転ピン3,3を介して保持板4,4
が回転ピン3を中心として揺動可能に設けられている。
この保持板4,4間にブラケット5がねじ6,6によっ
て固定されている。このブラケット5にはモータ7が固
定されており、このモータ7のモータ軸7aにはプーリ
8,9が固定されている。さらに、上記保持板4,4間
にはハンドル軸10が架設されており、このハンドル軸
10はハウジング1に形成された円弧状のガイド孔1a
(図2参照)を貫通している。このハンドル軸10の図
1中右端側にはハンドル11が螺着されている。このハ
ンドル11を締付けることにより保持板4の揺動が規制
されるように構成されている。一方、ブラケット5の図
1中右側には図中上下方向に長い横断面半円形状を呈す
る凹部5aが形成されている。
【0012】図3はこの凹部5a近傍部の部分拡大断面
図である。凹部5aの内部には軸受12,12を介して
中空部材13が収納されている。この中空部材13は図
中上下方向に移動可能である。また、この中空部材13
の外周適所にはリング部材14が設けられ、このリング
部材14と凹部5aの内周部に形成されたフランジ部5
bとの間にばね15が介在せしめられている。このばね
15の付勢力により中空部材13は図中下方に付勢され
ている。さらに、中空部材13には図中上下方向に延び
る縦孔13aが形成されており、この縦孔13a内にブ
ラケット5に固定されたロックプレート16が係合する
ことにより、中空部材13の回転が規制される。また、
中空部材13の内部には軸受17,17を介して駆動軸
18が回転可能に設けられている。この駆動軸18の図
中下端部にはプーリ19が固定されており、図1におい
て、このプーリ19とモータ軸7aに固定されたプーリ
8との間にベルト20が張設されている。また、図3に
おいて、凹部5aの下端部にはプーリ保持体21が固定
されており、このプーリ保持体21に固定されたシャフ
ト22に軸受23を介してプーリ24が回転可能に設け
られている。図1において、このプーリ24とモータ軸
7aに固定されたプーリ9との間にベルト25が張設さ
れている。ここで、プーリ19とプーリ24との外径は
若干異なっている。また、図3においてプーリ24のプ
ーリ19と対向する側にはカム24aが形成されてお
り、プーリ19にはこのカム24aに当接される当接部
19aが形成されている。このとき、プーリ19とプー
リ24との外径が異なっていることから、プーリ19,
24の回転に伴ない、当接部19aとカム24aとの当
接位置が変化し、プーリ19ひいては駆動軸18が図3
中上下方向に往復動する。一方、駆動軸18の図中上方
にはスペーサ26を介して駆動ローラ27が嵌め込ま
れ、ナット28によって固定されている。また、駆動軸
18の中間部にはロックリング29が固定されており、
このロックリング29に係脱可能なロックピン30が凹
部5aに左右方向移動可能に設けられている。このロッ
クピン30にはボタン31が接続され、このボタン31
のON−OFF操作により、ロックピン30がロックリ
ング29に係脱しうる。このロックピン30がロックリ
ング29に係合することにより、駆動軸18の回転が規
制される。また、凹部5aの下部には軸受カバー32が
設けられており、軸受12を覆っている。一方、テーブ
ル2の外側部には係合部材33が配設され、この係合部
材33に形成されたねじ部(図示せず)がテーブル2の
側板部を貫通し、固定ハンドル34に埋設されたナット
35に螺合している。この係合部材33に前後レール3
6に形成された溝部36aが係合され、固定ハンドル3
4を締付けることにより、前後レール36がテーブル2
の側面部に設定されている。なお、図1において、図中
左側にも同様の構成により、前後レール36が保持され
ている。
【0013】図1において、ブラケット5の上面部には
定盤37が着脱可能に設けられている。この定盤37は
エンドレス状のベルトサンダ38の移動をガイドするも
のであり、被研磨材(図示せず)をベルトサンダ38に
押し付けた際に、ベルトサンダ38が撓んで研磨作業が
十分に行なわれないといったことを防止するためのもの
である。この定盤37には定盤位置決め用のピン39が
設けられており、このピン39が挿入可能な挿入穴5c
がブラケット5の適所に形成されている。そして、この
定盤37は定盤固定機構部40によってブラケット5に
固定されている。
【0014】図4は図1中左上部の部分拡大図である。
定盤37にはローラブラケット44がねじ(図示せず)
によって固定されている。図中符号44aは、このねじ
挿入用のねじ穴である。また、ローラブラケット44に
はローラ保持用の保持体45が図中左右方向に移動可能
に設けられている。この保持体45の図中右端部にはレ
バー46の端部に形成された支点部46bが枢着されて
おり、この支点部46bを中心として回動可能に設けら
れている。また、保持体45とローラブラケット44の
図中右側板との間にはばね47が保持体45の突出部4
5aに巻装された状態で設けられている。そして、この
ばね47により保持体45が図中左方に付勢されてい
る。さらに、保持体45の図中左側には上板部45bと
底板部45cとが形成されており、この上板部45bと
底板部45cとの間にはシャフト48が固定されてい
る。このシャフト48には軸受49,49を介して従動
ローラ50が回転可能に設けられている。また、ローラ
ブラケット44の上板部44bにはローラ傾斜ねじ51
が螺着されており、保持体45の上板部45bに当接さ
れている。ここで、このローラ傾斜ねじ51の軸線位置
は上記シャフト48の軸線位置とはずれている。これ
は、シャフト48に設けられた従動ローラ50をローラ
傾斜ねじ51の調節により傾斜させるためである。さら
に、保持体45の本体部45dとローラブラケット44
の上板部44bとの間にはばね52が介在されており、
保持体45を常時図中上方に付勢せしめることにより、
保持体45の上板部45bがローラ傾斜ねじ51の先端
に当接されるように構成されている。そして、このよう
に設けられた従動ローラ50と、図1において駆動ロー
ラ27との間にベルトサンダ38が張設されている。
【0015】図6は本発明における研磨盤の部分平面図
である。ブラケット5の図中右側には突部5e,5eが
形成されており、この突部5e,5eにベルトカバー5
3が載置され、ピン54,54によって固定されてい
る。このベルトカバー53はベルトサンダ38の背面側
(図6中右側)を覆うものであり、ピン54,54によ
ってブラケット5とは容易に着脱しうるように構成され
ている。さらに、駆動ローラ27の近傍には切粉を集塵
するためのダスト集塵装置(図示せず)に接続された接
続管55が配設されている。
【0016】一方、図2において、テーブル2にはガイ
ド板固定ねじ56が取付けられており、このガイド板固
定ねじ56には被研磨材をガイドするガイド板57が設
けられている。このガイド板57はガイド板固定ねじ5
6の軸線を中心として回動可能であり、被研磨材のベル
トサンダ38等への当接角度の調節ができるように構成
されている。また、ガイド板57は図2中左右方向への
位置調節も可能なように構成されている。一方、中空部
材13の中央部には中空部材昇降規制機構部58が配設
されている。
【0017】図7乃至図9は中空部材昇降規制機構部5
8を示した図である。図7において、ブラケット5には
突部5f,5fが突設されており、この突部5f,5f
に回転軸59が回転可能に支持されている。この回転軸
59の一端側にはキー60,60(図9参照)によって
同時に回転しうるようにフック61が固定されている。
このフック61の先端部は中空部材13に形成された孔
13b(図9参照)に係合されている。さらに、回転軸
59の他端側にはハンドル62が螺着されており、この
ハンドル62の操作よって回転軸59が回転しうる。さ
らに、このハンドル62は図2において、ハウジング1
に形成されたガイド孔1bより外方に突出しており、操
作が容易になしうるように構成されている。一方、図8
において、ブラケット5の突部5fには板状の弾性体6
3がねじ64,64によって固定されている。この弾性
体63は図8(b)中下方に付勢しており、回転軸59
に形成された平坦部59a,59aに押圧されている。
そして、この平坦部59a,59aに弾性体63が押圧
されることにより、回転軸59の回転が規制されること
となる。
【0018】図10乃至図12は駆動軸18の駆動機構
の他の実施例を示す図である。なお、図11は図10中
XI−XI矢視図、図12は図10中 XII−XII 矢視図であ
る。図11中符号71はモータであり、このモータ71
のモータ軸71aには歯部71bが形成されている。な
お、このモータ軸71aはブラケット5に設けられた軸
受72に軸支されている。また、モータ軸71aの歯部
71bにはブラケット5に保持された第一歯車73が噛
合され、この第一歯車73には第二歯車74が噛合され
ている。この第二歯車74には駆動軸18に固定された
第三歯車75が噛合されている。また、駆動軸18の先
端部(図11中右端部)には第四歯車76が固定されて
いる。一方、図12において、ブラケット5には歯車保
持体77がねじ78によって固定されており、この歯車
保持体77とブラケット5との間にはシャフト79が設
けられている。このシャフト79には第五歯車80が回
転可能に保持され、第四歯車76に噛合している。ま
た、この第五歯車80には第六歯車81が噛合されてい
る。この第六歯車81は歯車保持体77に軸受82を介
して設けられており、第四歯車76の歯数よりも若干多
くの歯数を有している。この第六歯車81の図中上面部
にはカム81aが形成されており、第四歯車76の図中
下面部には上記カム81aに当接する当接部76aが形
成されている。このとき、駆動軸18の回転に伴ない、
第四歯車76が回転すると、第五歯車80を介して第六
歯車81も回転する。ところが、第四歯車76と第六歯
車81の歯数が若干異なることにより、第四歯車76と
第六歯車81とは位相差を生じることとなる。このた
め、カム81aに当接する当接部81aの位置が異なる
ことにより、駆動軸18は図3中上下方向に上下動する
こととなる。
【0019】このように構成された研磨盤の作用につい
て以下に詳述する。まず、図13に示すようにベルトサ
ンダ38を立てた状態で使用する際について説明する。
図2において、ハンドル11を緩め、ガイド孔1aに沿
って移動せしめ、適当な位置に位置せしめ、締結させる
ことにより、図3においてハンドル11に取付けられた
ハンドル軸10を介して保持板4もまた回転ピン3を中
心として回転し、ブラケット5も回転する。これによ
り、駆動ローラ27および従動ローラ50(図1参照)
を立設させることができる。その後、ローラブラケット
44を備えた定盤37をブラケット5に固定する。この
定盤37は図1において、定盤37に固定されたピン3
9をブラケット5の挿入穴5cに挿入し、定盤固定機構
部40によってブラケット5に固定される。その後、図
5のように、レバー46の側面46cがローラブラケッ
ト44の図中右側面に当接するように立てた状態で駆動
ローラ27(図1参照)と従動ローラ50との間にベル
トサンダ38を架けわたし、レバー46を支点部46b
を中心として図5中時計方向に回動させる。すると、レ
バー46の先端46aがローラブラケット44の右側面
を摺動しながらレバー46が回動する。そして、保持体
45が図中左方に移動し、ひいては従動ローラ50が図
中左方に移動することにより、ベルトサンダ38が緊張
される(図4)。さらに、ベルトサンダ38の張設後、
図6において、ベルトカバー53をピン54,54によ
ってブラケット5に固定する。その後、図1において、
モータ7を駆動させ、モータ軸7aを介してプーリ8,
9を回転させる。このプーリ8,9の回転に伴ない、ベ
ルト20,25を介してプーリ19,24が回転する。
このプーリ19の回転に伴ない、駆動軸18も回転し、
さらには駆動ローラ27も回転する。この駆動ローラ2
7の回転により、ベルトサンダ38が従動ローラ50と
の間で移動する。一方、上記プーリ19とプーリ24と
ではその外径が若干異なっていることから、2つのプー
リ19,24の回転数は異なるものとなる。そのため、
図3において、プーリ19の当接部19aと、プーリ2
4のカム24aとの当接位置が変わるため、プーリ19
が図3中上下方向に移動することとなる。これに伴ない
駆動軸18を介して駆動ローラ27もが上下動する。こ
のため、ベルトサンダ38の一方側が上下動し、研磨効
率を向上させることができる。この状態で、被研磨材
(図示せず)をガイド板57(図2参照)でガイドさせ
ながらベルトサンダ38に当接させることにより、ベル
トサンダ38による研磨作業を行なうことができる。
【0020】なお、駆動ローラ27の上下動に伴ない、
中空部材13もが上下動する。そのため、この中空部材
13の上下動を規制することにより駆動ローラ27の上
下動をも規制することができる。駆動ローラ27の上下
動を所望しない場合について以下に詳述する。
【0021】図9において、この図9(a)は中空部材
13が図中上下動可能な状態を示している。すなわち、
中空部材13は図においては上方に移動しうる状態にあ
る。この状態で、図7において、ハンドル62を操作
し、回転軸59を回転させる。この回転軸59の回転に
伴ない、フック61が図9において、時計方向に回転
し、このフック61が孔13bに係合しているため中空
部材13を上方に移動せしめる(図9(b))。この中
空部材13の上方への移動に伴ない、図3において、駆
動ローラ27を備えた駆動軸18もが上方に移動する。
このため、プーリ19の当接部19aがプーリ24のカ
ム24aから離間する。したがって、プーリ19とプー
リ24とが回転しても、プーリ19は図3中上下動する
ことがなく、ひいては駆動ローラ27も上下動しない。
また、このとき当接部19aとカム24aとが離間する
ため、当接部19aとカム24aとの当接による摩擦音
が生じず、静かである。
【0022】また、図2においてハンドル11を操作し
てブラケット5(図1参照)を適宜、傾斜させることに
より、図14に示すように、ベルトサンダ38の作業面
をテーブル2の面と平行にすることができる。このよう
にした場合には平面の研磨に特に有効である。
【0023】さらに、図15に示すようなスピンドルサ
ンダ91を使用して研磨する場合には、上述したベルト
カバー53(図6参照)、ベルトサンダ38(図6参
照)、定盤37(図6参照)を上述とは逆の順序で取外
す。さらに、図3においてナット28を外し、駆動ロー
ラ27を駆動軸18から外す。その後、駆動軸18にス
ピンドルサンダ91を挿入し、ナット28で締付け固定
する(図16)。この状態で、モータ7(図1参照)を
作動させ、上述のベルトサンダ38の場合と同様の機構
においてスピンドルサンダ91を回転、上下動させる。
なお、スピンドルサンダ91の上下動を所望しない場合
にあっては、上述した中空部材昇降規制機構部58(図
2、図7乃至図9参照)によって、中空部材13の昇降
を規制し、ひいてはスピンドルサンダ91の上下動を規
制することができる。
【0024】次に、図10乃至図12に示した歯車伝達
機構によって、駆動軸18を回転させる際の作用につい
て説明する。図11において、モータ71を駆動させる
と、モータ軸71aが回転し、このモータ軸71aの歯
部71bに噛合された第一歯車73が回転する。この第
一歯車73の回転により、第二歯車74を介して第三歯
車75が回転する。この第三歯車75の回転により駆動
軸18に固定されていることから、第三歯車75の回転
により駆動軸18が回転する。一方、この駆動軸18に
伴ない、第四歯車76が回転し、この第四歯車76に噛
合された第五歯車80(図12)も回転する。この図1
5において、第五歯車80が回転すると、第六歯車81
が回転する。このとき、第四歯車76と第六歯車81と
では歯数が若干異なっていることから、2つの歯車の回
転数は異なることとなる。そのため、第四歯車76の当
接部76aが第六歯車81のカム81aに当接する位置
が異なるものとなり、第四歯車76が図15中上下方向
に移動する。この第四歯車76の上下動に伴ない、駆動
軸18も上下動し、この駆動軸18の移動に伴ない駆動
ローラ27(図1参照)も上下動する。
【0025】この場合においても、上述した中空部材昇
降規制機構部58(図2、図7乃至図9参照)により駆
動軸18の上下動を規制することができる。
【0026】
【発明の効果】本発明は上述のように構成したことによ
り、駆動軸の軸方向移動をさせるか否かの切換え操作は
操作部で容易に行なうことができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における研磨盤の正面断面図である。
【図2】本発明における研磨盤の側面断面図である。
【図3】本発明における研磨盤の凹部近傍の部分拡大断
面図である。
【図4】本発明における研磨盤の従動ローラ近傍の部分
拡大断面図である。
【図5】本発明における研磨盤の従動ローラ近傍の部分
拡大断面図である。
【図6】本発明における研磨盤の部分平面図である。
【図7】本発明における中空部材昇降規制機構部を示す
図である。
【図8】本発明における中空部材昇降規制機構部を示す
図である。
【図9】本発明における中空部材昇降規制機構部を示す
図である。
【図10】本発明における研磨盤の駆動軸の駆動機構の
他の実施例を示す図である。
【図11】本発明における研磨盤の駆動軸の駆動機構の
他の実施例を示す図である。
【図12】本発明における研磨盤の駆動軸の駆動機構の
他の実施例を示す図である。
【図13】本発明における研磨盤の斜視図である。
【図14】本発明における研磨盤の斜視図である。
【図15】本発明における研磨盤に使用されるスピンド
ルサンダの正面図である。
【図16】本発明における研磨盤の斜視図である。
【符号の説明】
7 …モータ(駆動装置) 13 …中空部材 13b…孔 18 …駆動軸 19a…当接部(移動機構部) 24a…カム部(移動機構部) 59 …回転軸(操作部) 61 …フック(係合部材) 62 …ハンドル(操作部) 71 …モータ(駆動装置) 76a…当接部(移動機構部) 81a…カム部(移動機構部)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 駆動装置と、この駆動装置によって回転
    される駆動軸と、この駆動軸に設けられたサンダと、研
    磨作業時に上記駆動軸を軸方向に移動させる移動機構部
    とを有する研磨盤において、上記駆動軸を回転可能に支
    持し、かつ、軸方向に移動する上記駆動軸と共動可能な
    よう上記駆動軸の外周に設けられた中空部材と、この中
    空部材に形成された孔と、この孔に係合され、上記中空
    部材の軸方向移動を規制可能な係合部材と、この係合部
    材を上記中空部材の軸方向移動可能位置と軸方向移動規
    制位置との間で移動させる操作部とを備えていることを
    特徴とする研磨盤。
JP4349110A 1992-12-28 1992-12-28 研磨盤 Pending JPH06190709A (ja)

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