JPH06190708A

JPH06190708A - 研磨盤

Info

Publication number: JPH06190708A
Application number: JP34910992A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Wada; 達也和田; Mitsumasa Sato; 光政佐藤; Shoji Takahashi; 省次高橋; Koichi Miyamoto; 功一宮本
Original assignee: Ryobi Ltd
Current assignee: Ryobi Ltd
Priority date: 1992-12-28
Filing date: 1992-12-28
Publication date: 1994-07-12

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】ベルトサンダとスピンドルサンダを選択的に
使用でき、設定角度も任意に設定でき、使用時駆動軸を
軸線方向に往復移動できるようにする。【構成】固定テーブル２に保持板４，４を揺動可能に
設け、これに、モータ７を取付けたブラケット５を固定
する。保持板４，４間にはハンドル軸１０をハウジング
１の円弧状のガイド孔を貫通して架設し、一端にはハン
ドル１１を螺着する。ブラケット５には駆動軸１８を設
け、モータ７との間にベルト２０，２５を張設する。プ
ーリ保持体２１にはプーリ１９とは若干径の異なるプー
リ２４を回転可能に設け、カム部２４ａを形成し、プー
リ１９にはこれとの当接部１９ａを形成する。駆動ロー
ラ２７と、従動ローラ５０との間にベルトサンダ３８を
張設する。スピンドルサンダを使用する際には駆動ロー
ラ２７に代えて、スピンドルサンダを駆動軸１８に固定
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は研磨盤に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、サンダを回転させ、このサンダ
に被研磨材を当てて、研磨作業を行なう研磨盤が広く知
られている。

【０００３】このような研磨盤においては種々のものが
提案されている。例えばプーリとカムを使用して駆動軸
を回転させるとともに、軸方向に往復移動させ、スピン
ドルサンダを回転させるといったものがある（ＵＳＰ２
４２６０２８号）。また、歯車を使用して駆動軸を回転
させ、カムとカム溝とを利用して駆動軸を軸方向に往復
移動させるといったものがある（ＵＳＰ１８４９８６８
号）。さらに、ベルトサンダとスピンドルサンダとの両
サンダを選択的に使用することができ、駆動軸を傾斜す
ることができるものがある（ＵＳＰ４９３９８７０
号）。また、ベルトサンダ専用の研磨盤において、ベル
トをテーブル面に対して垂直な位置から平行な位置まで
傾斜させることができるものがある（ＭＥＴＡＢＯ社製
製品）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ＵＳＰ２４
２６０２８号記載のものにあっては、スピンドルサンダ
専用であってベルトサンダについては使用することがで
きない。また、ＵＳＰ１８４９８６８号記載のものにあ
っては、駆動軸の回転機構、軸方向への往復移動機構は
部品点数が多くなり、構造が複雑となる。さらに、ＵＳ
Ｐ４９３９８７０号記載のものにあっては、ベルトサン
ダの使用時にのみ、従動ローラが軸方向に移動するもの
であり、スピンドルサンダの使用時には軸方向に往復移
動しない。また、ベルトの傾斜量は最大４５°までであ
る。また、ＭＥＴＡＢＯ社製製品については、スピンド
ルサンダを使用することはできない。

【０００５】本発明は上述のような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、ベルトサンダとスピンドルサンダの両
サンダを選択的に使用することができ、どちらのサンダ
を使用している場合にあっても軸方向への移動が可能な
研磨盤を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、ハウジング
と、このハウジングの上面部に設けられるとともに被加
工材を載置可能なテーブルと、上記ハウジング内に収納
された駆動装置と、この駆動装置によって回転される駆
動軸とを有する研磨盤において、上記駆動軸は上記テー
ブルのテーブル面に対する傾斜角度が位置調節可能に設
けられ、研磨作業時に上記駆動軸を軸線方向に移動させ
る移動機構部が設けられ、上記駆動軸には駆動ローラ又
はスピンドルサンダとが所望により交換可能に設けら
れ、上記駆動ローラを取付けた際には、この駆動ローラ
と軸線方向が平行な従動ローラが着脱可能に設けられ、
この従動ローラと上記駆動ローラとの間にベルトサンダ
が張設されること；移動機構部は、駆動軸に設けられ、
この駆動軸と一体に回転可能な第一回転部材と、この第
一回転部材と相対向して上記第一回転部材とは回転数が
相違するように回転可能に設けられた第二回転部材とを
有し、この第一回転部材と第二回転部材のそれぞれ相対
向する面部の一方にはカム部が形成され、他方にはこの
カム部に当接可能な当接部が形成されていることを特徴
とする。

【０００７】

【作用】請求項１記載の研磨盤にあって、スピンドルサ
ンダを使用する場合には、駆動軸にスピンドルサンダを
取付ける。そして、スピンドルサンダを取付けた駆動軸
を所望角度に傾斜させる。駆動装置を作動させ、駆動軸
およびスピンドルサンダを回転させる。また、このとき
移動機構部によって駆動軸ひいてはスピンドルサンダが
軸線方向に往復移動する。

【０００８】また、ベルトサンダを使用する場合には、
駆動軸に駆動ローラを取付ける。また、従動ローラを設
け、この従動ローラと駆動ローラとの間にベルトサンダ
を張設する。そして、駆動軸を所望角度に傾斜させる。
駆動装置を作動させ、駆動軸を回転させると駆動ローラ
を介してベルトサンダが回転する。また、このとき移動
機構部によって駆動軸ひいては駆動ローラが軸線方向に
往復移動し、ベルトサンダは駆動ローラ側で揺動する。

【０００９】請求項２記載の研磨盤にあって、駆動軸の
軸線方向への往復移動は、駆動軸に設けられた第一回転
部材と、この第一回転部材と相対向して設けられ、回転
数の相違する第二回転部材との間隔が、それぞれに形成
されたカム部と当接部とによって変化するため駆動軸が
軸線方向に往復移動する。

【００１０】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の一実施例
について説明する。図１は本発明における研磨盤の正面
断面図、図２は側面断面図である。図１において、図中
符号１はハウジングであり、このハウジング１の上部に
はテーブル２が固定されている。このテーブル２には開
口部２ａが形成され、この開口部２ａの相対向する側
（図１中左右両側）に回転ピン３，３を介して保持板
４，４が回転ピン３を中心として揺動可能に設けられて
いる。この保持板４，４間にブラケット５がねじ６，６
によって固定されている。このブラケット５にはモータ
７が固定されており、このモータ７のモータ軸７ａには
プーリ８，９が固定されている。さらに、上記保持板
４，４間にはハンドル軸１０が架設されており、このハ
ンドル軸１０はハウジング１に形成された円弧状のガイ
ド孔１ａ（図２参照）を貫通している。このハンドル軸
１０の図１中右端側にはハンドル１１が螺着されてい
る。このハンドル１１を締付けることにより保持板４の
揺動が規制されるように構成されている。一方、ブラケ
ット５の図１中右側には図中上下方向に長い横断面半円
形状を呈する凹部５ａが形成されている。

【００１１】図３はこの凹部５ａ近傍部の部分拡大断面
図である。凹部５ａの内部には軸受１２，１２を介して
中空部材１３が収納されている。この中空部材１３は図
中上下方向に移動可能である。また、この中空部材１３
の外周適所にはリング部材１４が設けられ、このリング
部材１４と凹部５ａの内周部に形成されたフランジ部５
ｂとの間にばね１５が介在せしめられている。このばね
１５の付勢力により中空部材１３は図中下方に付勢され
ている。さらに、中空部材１３には図中上下方向に延び
る縦孔１３ａが形成されており、この縦孔１３ａ内にブ
ラケット５に固定されたロックプレート１６が係合する
ことにより、中空部材１３の回転が規制される。また、
中空部材１３の内部には軸受１７，１７を介して駆動軸
１８が回転可能に設けられている。この駆動軸１８の図
中下端部にはプーリ１９が固定されており、図１におい
て、このプーリ１９とモータ軸２ａに固定されたプーリ
８との間にベルト２０が張設されている。また、図３に
おいて、凹部５ａの下端部にはプーリ保持体２１が固定
されており、このプーリ保持体２１に固定されたシャフ
ト２２に軸受２３を介してプーリ２４が回転可能に設け
られている。図１において、このプーリ２４とモータ軸
２ａに固定されたプーリ９との間にベルト２５が張設さ
れている。ここで、プーリ１９とプーリ２４との外径は
若干異なっている。また、図３においてプーリ２４のプ
ーリ１９と対向する側にはカム２４ａが形成されてお
り、プーリ１９にはこのカム２４ａに当接される当接部
１９ａが形成されている。このとき、プーリ１９とプー
リ２４との外径が異なっていることから、プーリ１９，
２４の回転に伴ない、当接部１９ａとカム２４ａとの当
接位置が変化し、プーリ１９ひいては駆動軸１８が図３
中上下方向に往復動する。一方、駆動軸１８の図中上方
にはスペーサ２６を介して駆動ローラ２７が嵌め込ま
れ、ナット２８によって固定されている。また、駆動軸
１８の中間部にはロックリング２９が固定されており、
このロックリング２９に係脱可能なロックピン３０が凹
部５ａに左右方向移動可能に設けられている。このロッ
クピン３０にはボタン３１が接続され、このボタン３１
のＯＮ−ＯＦＦ操作により、ロックピン３０がロックリ
ング２９に係脱しうる。このロックピン３０がロックリ
ング２９に係合することにより、駆動軸１８の回転が規
制される。また、凹部５ａの下部には軸受カバー３２が
設けられており、軸受１２を覆っている。一方、テーブ
ル２の外側部には係合部材３３が配設され、この係合部
材３３に形成されたねじ部（図示せず）がテーブル２の
側板部を貫通し、固定ハンドル３４に埋設されたナット
３５に螺合している。この係合部材３３に前後レール３
６に形成された溝部３６ａが係合され、固定ハンドル３
４を締付けることにより、前後レール３６がテーブル２
の側面部に設定されている。この前後レール３６が、他
の工作機械のテーブル等に上述と同様の構成により形成
された係合部材（図示せず）と連結されることにより、
他の工作機械と本発明における研磨盤とを一体化させる
ことができ、システムの組合せの自由度が拡がり、汎用
性を持たせることができる。なお、図１において、図中
左側にも同様の構成により、前後レール３６が保持され
る。

【００１２】図１において、ブラケット５の上面部には
定盤３７が着脱可能に設けられている。この定盤３７は
エンドレス状のベルトサンダ３８の移動をガイドするも
のであり、被研磨材（図示せず）をベルトサンダ３８に
押し付けた際に、ベルトサンダ３８が撓んで研磨作業が
十分に行なわれないといったことを防止するためのもの
である。この定盤３７には定盤位置決め用のピン３９が
設けられており、このピン３９が挿入可能な挿入穴５ｃ
がブラケット５の適所に形成されている。そして、この
定盤３７は定盤固定機構部４０によってブラケット５に
固定されている。

【００１３】図４は図１中左上部の部分拡大図である。
定盤３７にはローラブラケット４４がねじ（図示せず）
によって固定されている。図中符号４４ａは、このねじ
挿入用のねじ穴である。また、ローラブラケット４４に
はローラ保持用の保持体４５が図中左右方向に移動可能
に設けられている。この保持体４５の図中右端部にはレ
バー４６の端部に形成された支点部４６ｂが枢着されて
おり、この支点部４６ｂを中心として回動可能に設けら
れている。また、保持体４５とローラブラケット４４の
図中右側板との間にはばね４７が保持体４５の突出部４
５ａに巻装された状態で設けられている。そして、この
ばね４７により保持体４５が図中左方に付勢されてい
る。さらに、保持体４５の図中左側には上板部４５ｂと
底板部４５ｃとが形成されており、この上板部４５ｂと
底板部４５ｃとの間にはシャフト４８が固定されてい
る。このシャフト４８には軸受４９，４９を介して従動
ローラ５０が回転可能に設けられている。また、ローラ
ブラケット４４の上板部４４ｂにはローラ傾斜ねじ５１
が螺着されており、保持体４５の上板部４５ｂに当接さ
れている。ここで、このローラ傾斜ねじ５１の軸線位置
は上記シャフト４８の軸線位置とはずれている。これ
は、シャフト４８に設けられた従動ローラ５０をローラ
傾斜ねじ５１の調節により傾斜させるためである。さら
に、保持体４５の本体部４５ｄとローラブラケット４４
の上板部４４ｂとの間にはばね５２が介在されており、
保持体４５を常時図中上方に付勢せしめることにより、
保持体４５の上板部４５ｂがローラ傾斜ねじ５１の先端
に当接されるように構成されている。そして、このよう
に設けられた従動ローラ５０と、図１において駆動ロー
ラ２７との間にベルトサンダ３８が張設されている。

【００１４】図６は本発明における研磨盤の部分平面図
である。ブラケット５の図中右側には突部５ｅ，５ｅが
形成されており、この突部５ｅ，５ｅにベルトカバー５
３が載置され、ピン５４，５４によって固定されてい
る。このベルトカバー５３はベルトサンダ３８の背面側
（図６中右側）を覆うものであり、ピン５４，５４によ
ってブラケット５とは容易に着脱しうるように構成され
ている。さらに、駆動ローラ２７の近傍には切粉を集塵
するためのダスト集塵装置（図示せず）に接続された接
続管５５が配設されている。

【００１５】一方、図２において、テーブル２にはガイ
ド板固定ねじ５６が取付けられており、このガイド板固
定ねじ５６には被研磨材をガイドするガイド板５７が設
けられている。このガイド板５７はガイド板固定ねじ５
６の軸線を中心として回動可能であり、被研磨材のベル
トサンダ３８等への当接角度の調節ができるように構成
されている。また、ガイド板５７は図２中左右方向への
位置調節も可能なように構成されている。一方、中空部
材１３の中央部にはこの中空部材１３の昇降移動を規制
する中空部材昇降規制機構部５８が配設されている。

【００１６】図７乃至図９は駆動軸１８の駆動機構の他
の実施例を示す図である。なお、図８は図７中VIII−VI
II矢視図、図９は図７中IX−IX矢視図である。図８中符
号７１はモータであり、このモータ７１のモータ軸７１
ａには歯部７１ｂが形成されている。なお、このモータ
軸７１ａはブラケット５に設けられた軸受７２に軸支さ
れている。また、モータ軸７１ａの歯部７１ｂにはブラ
ケット５に保持された第一歯車７３が噛合され、この第
一歯車７３には第二歯車７４が噛合されている。この第
二歯車７４には駆動軸１８に固定された第三歯車７５が
噛合されている。また、駆動軸１８の先端部（図８中右
端部）には第四歯車７６が固定されている。一方、図９
において、ブラケット５には歯車保持体７７がねじ７８
によって固定されており、この歯車保持体７７とブラケ
ット５との間にはシャフト７９が設けられている。この
シャフト７９には第五歯車８０が回転可能に保持され、
第四歯車７６に噛合している。また、この第五歯車８０
には第六歯車８１が噛合されている。この第六歯車８１
は歯車保持体７７に軸受８２を介して設けられており、
第四歯車７６の歯数よりも若干多くの歯数を有してい
る。この第六歯車８１の図中上面部にはカム８１ａが形
成されており、第四歯車７６の図中下面部には上記カム
８１ａに当接する当接部７６ａが形成されている。この
とき、駆動軸１８の回転に伴ない、第四歯車７６が回転
すると、第五歯車８０を介して第六歯車８１も回転す
る。ところが、第四歯車７６と第六歯車８１の歯数が若
干異なることにより、第四歯車７６と第六歯車８１とは
位相差を生じることとなる。このため、カム８１ａに当
接する当接部８１ａの位置が異なることにより、駆動軸
１８は図３中上下方向に上下動することとなる。

【００１７】このように構成された研磨盤の作用につい
て以下に詳述する。まず、図１０に示すようにベルトサ
ンダ３８を立てた状態で使用する際について説明する。
図２において、ハンドル１１を緩め、ガイド孔１ａに沿
って移動せしめ、適当な位置に位置せしめ、締結させる
ことにより、図３においてハンドル１１に取付けられた
ハンドル軸１０を介して保持板４もまた回転ピン３を中
心として回転し、ブラケット５も回転する。これによ
り、駆動ローラ２７および従動ローラ５０（図１参照）
を立設させることができる。その後、ローラブラケット
４４を備えた定盤３７をブラケット５に固定する。この
定盤３７の固定手段は図１において、定盤３７に固定さ
れたピン３９をブラケット５の挿入穴５ｃに挿入し、定
盤固定機構部４０によってブラケット５に固定される。
そして、図５のように、レバー４６の側面４６ｃがロー
ラブラケット４４の図中右側面に当接する立てた状態で
駆動ローラ２７（図１参照）と従動ローラ５０との間に
ベルトサンダ３８を架けわたし、レバー４６を支点部４
６ｂを中心として図５中時計方向に回動させる。する
と、保持体４５が図中左方に移動し、ひいては従動ロー
ラ５０が図中左方に移動することにより、ベルトサンダ
３８が緊張される（図４）。さらに、ベルトサンダ３８
の張設後、図５において、ベルトカバー５３をピン５
４，５４によってブラケット５に固定する。その後、図
１において、モータ７を駆動させ、モータ軸７ａを介し
てプーリ８，９を回転させる。このプーリ８，９の回転
に伴ない、ベルト２０，２５を介してプーリ１９，２４
が回転する。このプーリ１９の回転に伴ない、駆動軸１
８も回転し、さらには駆動ローラ２７も回転する。この
駆動ローラ２７の回転により、ベルトサンダ３８が従動
ローラ５０との間で移動する。一方、上記プーリ１９と
プーリ２４とではその外径が若干異なっていることか
ら、２つのプーリ１９，２４の回転数は異なるものとな
る。そのため、図３において、プーリ１９の当接部１９
ａと、プーリ２４のカム２４ａとの当接位置が変わるた
め、プーリ１９が図３中上下方向に移動することとな
る。これに伴ない駆動軸１８を介して駆動ローラ２７も
が上下動する。このため、ベルトサンダ３８の一方側が
上下動し、研磨効率を向上させることができる。この状
態で、被研磨材（図示せず）をガイド板５７（図２参
照）でガイドさせながらベルトサンダ３８に当接させる
ことにより、ベルトサンダ３８による研磨作業を行なう
ことができる。

【００１８】なお、駆動ローラ２７の上下動に伴ない、
中空部材１３もが上下動する。そのため、この中空部材
１３の上下動を規制することにより駆動ローラ２７の上
下動をも規制することができる。すなわち、駆動ローラ
２７の上下動を所望しない場合には中空部材昇降規制機
構部５８（図２参照）を操作し、中空部材１３の上下動
を規制し、ひいては駆動ローラ２７の上下動を規制す
る。

【００１９】また、図２においてハンドル１１を操作し
てブラケット５（図１参照）を適宜、傾斜させることに
より、図１１に示すように、ベルトサンダ３８の作業面
をテーブル２の面と平行にすることができる。このよう
にした場合には平面の研磨に特に有効である。

【００２０】さらに、図１２に示すようなスピンドルサ
ンダ９１を使用して研磨する場合には、上述したベルト
カバー５３（図６参照）、ベルトサンダ３８（図６参
照）、定盤３７（図６参照）を上述とは逆の順序で取外
す。さらに、図３においてナット２８を外し、駆動ロー
ラ２７を駆動軸１８から外す。その後、駆動軸１８にス
ピンドルサンダ９１を挿入し、ナット２８で締付け固定
する（図１３）。この状態で、モータ７（図１参照）を
作動させ、上述のベルトサンダ３８の場合と同様の機構
においてスピンドルサンダ９１を回転、上下動させる。
なお、スピンドルサンダ９１の上下動を所望しない場合
にあっては、上述した中空部材昇降規制機構部５８（図
２参照）によって、中空部材１３の昇降を規制し、ひい
てはスピンドルサンダ９１の上下動を規制することがで
きる。

【００２１】このように本発明における研磨盤ではベル
トサンダ３８と、スピンドルサンダ９１の両方のサンダ
を使用することができ、研磨盤に汎用性をもたせること
ができる。

【００２２】次に、図７乃至図９に示した歯車伝達機構
によって、駆動軸１８を回転させる際の作用について説
明する。図８において、モータ７１を駆動させると、モ
ータ軸７１ａが回転し、このモータ軸７１ａの歯部７１
ｂに噛合された第一歯車７３が回転する。この第一歯車
７３の回転により、第二歯車７４を介して第三歯車７５
が回転する。この第三歯車７５の回転により駆動軸１８
に固定されていることから、第三歯車７５の回転により
駆動軸１８が回転する。一方、この駆動軸１８に伴な
い、第四歯車７６が回転し、この第四歯車７６に噛合さ
れた第五歯車８０（図９）も回転する。この図９におい
て、第五歯車８０が回転すると、第六歯車８１が回転す
る。このとき、第四歯車７６と第六歯車８１とでは歯数
が若干異なっていることから、２つの歯車の回転数は異
なることとなる。そのため、第四歯車７６の当接部７６
ａが第六歯車８１のカム８１ａに当接する位置が異なる
ものとなり、第四歯車７６が図９中上下方向に移動す
る。この第四歯車７６の上下動に伴ない、駆動軸１８も
上下動し、この駆動軸１８の移動に伴ない駆動ローラ２
７（図１参照）も上下動する。

【００２３】この場合においても、上述した中空部材昇
降規制機構部５８（図２参照）により駆動軸１８の上下
動を規制することができる。

【００２４】

【発明の効果】本発明は上述のように構成したことによ
り、ベルトサンダとスピンドルサンダの両方のサンダを
選択的に使用することができる。また、サンダの傾斜角
度も任意に設定することができる。さらに、どちらのサ
ンダの場合であっても駆動軸を簡易な構造で軸線方向に
往復移動させることができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における研磨盤の正面断面図である。

【図２】本発明における研磨盤の側面断面図である。

【図３】本発明における研磨盤の凹部近傍の部分拡大断
面図である。

【図４】本発明における研磨盤の従動ローラ近傍の部分
拡大断面図である。

【図５】本発明における研磨盤の従動ローラ近傍の部分
拡大断面図である。

【図６】本発明における研磨盤の部分平面図である。

【図７】本発明における研磨盤の駆動軸の駆動機構の他
の実施例を示す図である。

【図８】本発明における研磨盤の駆動軸の駆動機構の他
の実施例を示す図である。

【図９】本発明における研磨盤の駆動軸の駆動機構の他
の実施例を示す図である。

【図１０】本発明における研磨盤の斜視図である。

【図１１】本発明における研磨盤の斜視図である。

【図１２】本発明における研磨盤に使用されるスピンド
ルサンダの正面図である。

【図１３】本発明における研磨盤の斜視図である。

【符号の説明】

１…ハウジング２…テーブル７…モータ（駆動装置）１８…駆動軸１９…プーリ（第一回転部材）１９ａ…当接部（移動機構部）２４…プーリ（第二回転部材）２４ａ…カム部（移動機構部）２７…駆動ローラ３８…ベルトサンダ５０…従動ローラ７１…モータ７６…第四歯車（第一回転部材）７６ａ…当接部（移動機構部）８１…第六歯車（第二回転部材）８１ａ…カム部（移動機構部）９１…スピンドルサンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者宮本功一東京都千代田区外神田３丁目15番１号リョービ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ハウジングと、このハウジングの上面部
に設けられるとともに被加工材を載置可能なテーブル
と、上記ハウジング内に収納された駆動装置と、この駆
動装置によって回転される駆動軸とを有する研磨盤にお
いて、上記駆動軸は上記テーブルのテーブル面に対する
傾斜角度が位置調節可能に設けられ、研磨作業時に上記
駆動軸を軸線方向に移動させる移動機構部が設けられ、
上記駆動軸には駆動ローラ又はスピンドルサンダとが所
望により交換可能に設けられ、上記駆動ローラを取付け
た際には、この駆動ローラと軸線方向が平行な従動ロー
ラが着脱可能に設けられ、この従動ローラと上記駆動ロ
ーラとの間にベルトサンダが張設されることを特徴とす
る研磨盤。
【請求項２】移動機構部は、駆動軸に設けられ、この
駆動軸と一体に回転可能な第一回転部材と、この第一回
転部材と相対向して上記第一回転部材とは回転数が相違
するように回転可能に設けられた第二回転部材とを有
し、この第一回転部材と第二回転部材のそれぞれ相対向
する面部の一方にはカム部が形成され、他方にはこのカ
ム部に当接可能な当接部が形成されていることを特徴と
する請求項１記載の研磨盤。