JPH06188474A - 積層圧電素子及びこれを用いたインクジェットヘッド - Google Patents
積層圧電素子及びこれを用いたインクジェットヘッドInfo
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- JPH06188474A JPH06188474A JP4337495A JP33749592A JPH06188474A JP H06188474 A JPH06188474 A JP H06188474A JP 4337495 A JP4337495 A JP 4337495A JP 33749592 A JP33749592 A JP 33749592A JP H06188474 A JPH06188474 A JP H06188474A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層圧電素子の不活性部による特性バラツキ
を、高精度加工を要求せずに実現する。またこうした積
層圧電素子をインクジェットヘッドに応用し、安価で印
字品質に優れたインクジェット記録装置を提供する。 【構成】 積層圧電素子に於て、電界の生じない不活性
部の幅Wsが、電界によって変位を発生する活性部の幅Wa
の１／２以上であることを特徴とする。また、こうした
積層圧電素子をインクジェットヘッドに応用する。
を、高精度加工を要求せずに実現する。またこうした積
層圧電素子をインクジェットヘッドに応用し、安価で印
字品質に優れたインクジェット記録装置を提供する。 【構成】 積層圧電素子に於て、電界の生じない不活性
部の幅Wsが、電界によって変位を発生する活性部の幅Wa
の１／２以上であることを特徴とする。また、こうした
積層圧電素子をインクジェットヘッドに応用する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気信号によって発生
する微細な変位と、その高速振動を応用した精密機器用
の積層圧電素子及び積層圧電素子が発生する圧力によっ
てインク滴を飛翔させ、記録紙等の記録媒体上にインク
像を形成するプリンタ等の画像記録装置に関する。さら
に詳細には、インクジェットヘッドに関する。
する微細な変位と、その高速振動を応用した精密機器用
の積層圧電素子及び積層圧電素子が発生する圧力によっ
てインク滴を飛翔させ、記録紙等の記録媒体上にインク
像を形成するプリンタ等の画像記録装置に関する。さら
に詳細には、インクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電材料と導電（弾性）材料を接合し、
電気信号によって発生する微細な変位、高速振動を応用
した工業製品は多く、クオーツ時計、超音波モータ、イ
ンクジェットヘッド等は、その応用例として知られてい
る。
電気信号によって発生する微細な変位、高速振動を応用
した工業製品は多く、クオーツ時計、超音波モータ、イ
ンクジェットヘッド等は、その応用例として知られてい
る。
【０００３】また、積層圧電素子をインクジェットヘッ
ドに応用した公知技術は、特開平１−１１５６３８号公
報に開示されている。これは、図６に示す様に積層圧電
素子１０を有し、前記積層振動子の振動面をノズル１開
口部に対向して配置したことを特徴とするドロップオン
デマンド型インクジェットヘッドである。
ドに応用した公知技術は、特開平１−１１５６３８号公
報に開示されている。これは、図６に示す様に積層圧電
素子１０を有し、前記積層振動子の振動面をノズル１開
口部に対向して配置したことを特徴とするドロップオン
デマンド型インクジェットヘッドである。
【０００４】さらに、積層圧電素子の不活性部に関する
公知技術は、特開平４−９１６６４号公報に開示されて
いる。これは、積層圧電素子の積層方向の外形形状を５
角形以上の多角形または、楕円形もしくは円形に形成
し、不活性部によるクランピング効果を抑制し、変位効
率を向上させるものである。
公知技術は、特開平４−９１６６４号公報に開示されて
いる。これは、積層圧電素子の積層方向の外形形状を５
角形以上の多角形または、楕円形もしくは円形に形成
し、不活性部によるクランピング効果を抑制し、変位効
率を向上させるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特開平４−９１６６４
号公報に開示されているように、活性部に対する不活性
部の大きさを加工精度の範囲で最小になるように外形形
状を設定することによって変位効率を向上させることが
できる。しかしながら、複数の積層圧電素子を配列して
構成される超音波モータやオンデマンド型インクジェッ
トヘッドにおいては、配列される積層圧電素子ごとの変
位バラツキを最小にし、製品の生産性を向上させること
が重要な課題である。
号公報に開示されているように、活性部に対する不活性
部の大きさを加工精度の範囲で最小になるように外形形
状を設定することによって変位効率を向上させることが
できる。しかしながら、複数の積層圧電素子を配列して
構成される超音波モータやオンデマンド型インクジェッ
トヘッドにおいては、配列される積層圧電素子ごとの変
位バラツキを最小にし、製品の生産性を向上させること
が重要な課題である。
【０００６】図７（ａ）（ｂ）は、積層圧電素子の変形
挙動とその課題の説明図である。
挙動とその課題の説明図である。
【０００７】図７（ａ）に示す様に、積層圧電素子１０
は、圧電効果によって変位を発生する活性部１１が、圧
電効果を生じない不活性部１２に挟まれる形状に形成さ
れる。活性部１１には、セグメント電極１５と共通電極
１６が櫛歯状に積層され、これらの電極に電圧が印加さ
れると、積層圧電素子１０は図７（ａ）の破線Ａに示す
ような変形挙動を示し、変形体積ΔVaを発生する。この
活性部１１は、積層圧電素子１０の内部に構成される
為、外形形状を均一に加工しても図７（ｂ）に示す様
に、一方の不活性部の幅Ws1ともう一方の不活性部の幅W
s2がアンバランスに形成される可能性がある。このよう
な積層圧電素子１０の変形挙動は破線Bに示す様にな
り、変形体積ΔVbを発生する。（ａ）に示す活性部の幅
Waと（ｂ）に示す活性部の幅Waが同一であっても、こう
した不活性部のバラツキによってΔVaとΔVbは、異なっ
た量を示してしまう。
は、圧電効果によって変位を発生する活性部１１が、圧
電効果を生じない不活性部１２に挟まれる形状に形成さ
れる。活性部１１には、セグメント電極１５と共通電極
１６が櫛歯状に積層され、これらの電極に電圧が印加さ
れると、積層圧電素子１０は図７（ａ）の破線Ａに示す
ような変形挙動を示し、変形体積ΔVaを発生する。この
活性部１１は、積層圧電素子１０の内部に構成される
為、外形形状を均一に加工しても図７（ｂ）に示す様
に、一方の不活性部の幅Ws1ともう一方の不活性部の幅W
s2がアンバランスに形成される可能性がある。このよう
な積層圧電素子１０の変形挙動は破線Bに示す様にな
り、変形体積ΔVbを発生する。（ａ）に示す活性部の幅
Waと（ｂ）に示す活性部の幅Waが同一であっても、こう
した不活性部のバラツキによってΔVaとΔVbは、異なっ
た量を示してしまう。
【０００８】本発明は、こうした積層圧電素子の不活性
部の幅Waによるバラツキによる変形体積のバラツキを抑
制し、低価格で品質の安定した積層圧電素子を提供する
ことを目的とするものである。さらには、こうした積層
圧電素子をオンデマンド型インクジェットヘッドに応用
し、低価格で印字品質に優れた画像記録装置を提供する
ことである。
部の幅Waによるバラツキによる変形体積のバラツキを抑
制し、低価格で品質の安定した積層圧電素子を提供する
ことを目的とするものである。さらには、こうした積層
圧電素子をオンデマンド型インクジェットヘッドに応用
し、低価格で印字品質に優れた画像記録装置を提供する
ことである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電材料と導
電材料とを交互に積層して成る積層圧電素子に於て、電
界の生じない不活性部の幅Wsが、電界によって変位を発
生する活性部の幅Waの１／２以上であることを特徴とす
る。
電材料とを交互に積層して成る積層圧電素子に於て、電
界の生じない不活性部の幅Wsが、電界によって変位を発
生する活性部の幅Waの１／２以上であることを特徴とす
る。
【００１０】また、インクを吐出するノズルと、これに
連通する圧力室と、前記圧力室に圧力を発生させる圧力
発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印
加手段とを有するインクジェットヘッドに於て、電界の
生じない不活性部の幅Wsが、電界によって変位を発生す
る活性部の幅Waの１／２以上であることを特徴とする積
層圧電素子を前記圧力発生素子として用いる事を特徴と
する。
連通する圧力室と、前記圧力室に圧力を発生させる圧力
発生素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印
加手段とを有するインクジェットヘッドに於て、電界の
生じない不活性部の幅Wsが、電界によって変位を発生す
る活性部の幅Waの１／２以上であることを特徴とする積
層圧電素子を前記圧力発生素子として用いる事を特徴と
する。
【００１１】さらに、前記インクジェットヘッドを構成
する前記積層圧電素子の表面に導電材料からなるセグメ
ント電極と共通電極が形成されることを特徴とする。
する前記積層圧電素子の表面に導電材料からなるセグメ
ント電極と共通電極が形成されることを特徴とする。
【００１２】そして、前記インクジェットヘッドを構成
する前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と
比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材に
て保持されることを特徴とする。
する前記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と
比重に対して同等以上のヤング率と比重を有する部材に
て保持されることを特徴とする。
【００１３】また、前記インクジェットヘッドを構成す
るベース基板が、電気的絶縁材料、もしくは表面に電気
的絶縁処理を施されて成ることを特徴とする。
るベース基板が、電気的絶縁材料、もしくは表面に電気
的絶縁処理を施されて成ることを特徴とする。
【００１４】
【作用】電界の生じない不活性部の幅Wsが、電界によっ
て変位を発生する活性部の幅Waの１／２以上であること
により、加工バラツキが変位挙動に及ぼす影響を少なく
した積層圧電素子を提供することができる。
て変位を発生する活性部の幅Waの１／２以上であること
により、加工バラツキが変位挙動に及ぼす影響を少なく
した積層圧電素子を提供することができる。
【００１５】また、こうした積層圧電素子をインクジェ
ットヘッドに応用することによって低価格、且つ印字品
質に優れた画像記録装置を提供することができる。
ットヘッドに応用することによって低価格、且つ印字品
質に優れた画像記録装置を提供することができる。
【００１６】
【実施例】以下に第１の実施例の詳細を図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１７】図１は、第１の実施例を示す積層圧電素子
の構造説明斜視図である。積層圧電素子１０は、導電材
料からなるセグメント電極１５と、共通電極１６が圧電
材料層２１をはさんで積層成型されるものである。導電
材料には銀パラジウムが用いられ、積層方向の厚さｔe
は、３〜５μｍ程度に構成される。また、圧電材料層２
１には、チタン酸ジルコン酸鉛のパウダーが燒結成型さ
れ、積層方向の厚さｔpは、２０〜５０μｍ程度に構成
される。積層圧電素子１０の表面に露出するセグメント
電極１５と共通電極１６に電圧が印加されると、積層圧
電素子１０は破線Ｃに示すような変形挙動を示し、変形
体積ΔＶを発生する。
の構造説明斜視図である。積層圧電素子１０は、導電材
料からなるセグメント電極１５と、共通電極１６が圧電
材料層２１をはさんで積層成型されるものである。導電
材料には銀パラジウムが用いられ、積層方向の厚さｔe
は、３〜５μｍ程度に構成される。また、圧電材料層２
１には、チタン酸ジルコン酸鉛のパウダーが燒結成型さ
れ、積層方向の厚さｔpは、２０〜５０μｍ程度に構成
される。積層圧電素子１０の表面に露出するセグメント
電極１５と共通電極１６に電圧が印加されると、積層圧
電素子１０は破線Ｃに示すような変形挙動を示し、変形
体積ΔＶを発生する。
【００１８】図２は、第１の実施例を説明する、活性部
の幅Waと不活性部の幅Wsの比率（Ws/Wa）と、変形体積
ΔＶの関係図である。積層圧電素子１０の厚さDpと、活
性部の幅Waを一定とした時、Ws／WaとΔＶの関係は、大
きく３つの領域に分類することができる。Iに示す領域
（Ws／Wa≦１／１０）は不活性部の幅Wsが活性部の幅Wa
に対して非常に小さい場合である。IIに示す領域（１／
１０≦Ws／Wa≦１／２）は不活性部の幅Wsによる抗力が
活性部の幅Waによる発生力に対して敏感に作用する場合
である。また、IIIに示す領域（Ws／Wa≧１／２）は、
不活性部の幅Wsの増加に対して抗力が変化しなくなる領
域である。本発明の目的は、活性部の幅Waに対して、不
活性部の幅Wsのバラツキが体積変化量ΔＶに及ぼす影響
を小さくすることにあるので、領域Iと、領域IIIが有効
であると考えられる。単に変形体積ΔＶで判断すれば、
領域Iのほうが領域IIIに比べ30%程度効率が高い。しか
しながら、実際の積層圧電素子において、不活性部の幅
Wsは、その加工精度から0.2〜0.4mm程度が要求されるた
め、領域Iを確保しようとすると、少なくとも2〜4mm程
度の活性部の幅Waが要求される。よって、全体的に大き
な体積の積層圧電素子になってしまい、静電容量も大き
くなってしまう。しかしながら、領域IIIを用いた場
合、画像記録装置等の小型化が容易になること。材料コ
ストが非常に安くなること。静電容量が小さくなること
によって、電圧印加時の駆動電流が小さくなり、積層圧
電素子を駆動する電気回路素子の部品コストを安くでき
ることなど多くの効果がある。
の幅Waと不活性部の幅Wsの比率（Ws/Wa）と、変形体積
ΔＶの関係図である。積層圧電素子１０の厚さDpと、活
性部の幅Waを一定とした時、Ws／WaとΔＶの関係は、大
きく３つの領域に分類することができる。Iに示す領域
（Ws／Wa≦１／１０）は不活性部の幅Wsが活性部の幅Wa
に対して非常に小さい場合である。IIに示す領域（１／
１０≦Ws／Wa≦１／２）は不活性部の幅Wsによる抗力が
活性部の幅Waによる発生力に対して敏感に作用する場合
である。また、IIIに示す領域（Ws／Wa≧１／２）は、
不活性部の幅Wsの増加に対して抗力が変化しなくなる領
域である。本発明の目的は、活性部の幅Waに対して、不
活性部の幅Wsのバラツキが体積変化量ΔＶに及ぼす影響
を小さくすることにあるので、領域Iと、領域IIIが有効
であると考えられる。単に変形体積ΔＶで判断すれば、
領域Iのほうが領域IIIに比べ30%程度効率が高い。しか
しながら、実際の積層圧電素子において、不活性部の幅
Wsは、その加工精度から0.2〜0.4mm程度が要求されるた
め、領域Iを確保しようとすると、少なくとも2〜4mm程
度の活性部の幅Waが要求される。よって、全体的に大き
な体積の積層圧電素子になってしまい、静電容量も大き
くなってしまう。しかしながら、領域IIIを用いた場
合、画像記録装置等の小型化が容易になること。材料コ
ストが非常に安くなること。静電容量が小さくなること
によって、電圧印加時の駆動電流が小さくなり、積層圧
電素子を駆動する電気回路素子の部品コストを安くでき
ることなど多くの効果がある。
【００１９】図３は、第１の実施例を説明する積層圧電
素子の部分断面図である。具体的に、活性部の幅Waを0.
5mmにする時、不活性部の幅Wsは、第１の発明の特徴か
らWs≧0.25mmになる。比較的大きな公差±0.25mmを設定
すると、Ws=0.5±0.25mmになる。こうした場合、図３に
示すように、不活性部の幅Wsが、Ws1(=0.25mm)〜Ws2(=
0.75mm)まで変化しても、同様な変形挙動Ｃを示し、均
一な変形体積ΔＶ（但し、図１に示す積層圧電素子の厚
さDpが一定である場合。）を得ることが可能である。こ
のように、積層圧電素子自体の体積を小さくても、厳し
い加工精度を要求せずに均一な特性を確保することがで
きる。
素子の部分断面図である。具体的に、活性部の幅Waを0.
5mmにする時、不活性部の幅Wsは、第１の発明の特徴か
らWs≧0.25mmになる。比較的大きな公差±0.25mmを設定
すると、Ws=0.5±0.25mmになる。こうした場合、図３に
示すように、不活性部の幅Wsが、Ws1(=0.25mm)〜Ws2(=
0.75mm)まで変化しても、同様な変形挙動Ｃを示し、均
一な変形体積ΔＶ（但し、図１に示す積層圧電素子の厚
さDpが一定である場合。）を得ることが可能である。こ
のように、積層圧電素子自体の体積を小さくても、厳し
い加工精度を要求せずに均一な特性を確保することがで
きる。
【００２０】以下に、第２の実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００２１】図４は、第２の実施例を示すインクジェッ
トヘッドの構成説明図である。図４に示す２は、複数の
ノズル１を形成したノズル形成基板である。ノズル１の
開口面積とノズル形成基板２の厚さは、インク吐出特性
に大きな影響を及ぼす。よって、優れた印字品質を確保
するには、複数のノズル間に於けるこれらのバラツキを
低く抑えるために、極めて高い加工精度が要求される。
このため、ノズル形成基板２は、精密プレス法、ニッケ
ルの電鋳法、または、シリコンウエハのエッチング加工
等により形成される。このノズル形成基板２と貼り合わ
される流路基板３は、圧力室４、セグメントインク供給
路５、共通インク室６、及びインク供給パイプ７の連通
口を形成して成る部材である。流路基板３がノズル形成
基板２と貼り合わされる際は、ノズル１が圧力室４の中
央部に位置するように接合される。流路基板３の底面に
は、ベース基板８上に配列される積層圧電素子１０が、
それぞれの圧力室４に対応して接合される。第１の特徴
はこの積層圧電素子１０が、第１の実施例による積層圧
電素子１０であることである。
トヘッドの構成説明図である。図４に示す２は、複数の
ノズル１を形成したノズル形成基板である。ノズル１の
開口面積とノズル形成基板２の厚さは、インク吐出特性
に大きな影響を及ぼす。よって、優れた印字品質を確保
するには、複数のノズル間に於けるこれらのバラツキを
低く抑えるために、極めて高い加工精度が要求される。
このため、ノズル形成基板２は、精密プレス法、ニッケ
ルの電鋳法、または、シリコンウエハのエッチング加工
等により形成される。このノズル形成基板２と貼り合わ
される流路基板３は、圧力室４、セグメントインク供給
路５、共通インク室６、及びインク供給パイプ７の連通
口を形成して成る部材である。流路基板３がノズル形成
基板２と貼り合わされる際は、ノズル１が圧力室４の中
央部に位置するように接合される。流路基板３の底面に
は、ベース基板８上に配列される積層圧電素子１０が、
それぞれの圧力室４に対応して接合される。第１の特徴
はこの積層圧電素子１０が、第１の実施例による積層圧
電素子１０であることである。
【００２２】また、第２の特徴によれば、積層圧電素子
１０の表面に図１に示すセグメント電極１５と共通電極
１６が形成されているので、駆動回路１７からのセグメ
ント信号２５と、共通信号２６を容易に接続することが
できる。さらに第３の特徴は、積層圧電素子１０の一端
が、積層圧電素子１０のヤング率と比重に対して同等以
上のヤング率と比重を有するベース基板８に保持される
ことである。ベース基板８は、剛体であることが理想で
あり、具体的には音響インピーダンス（ヤング率×比
重）が大きいことが望ましい。よって、本発明によるベ
ース基板８は、第２の発明の第３の特徴により、十分に
大きなヤング率と比重を有しているので、圧力室４に対
して効率よく変形体積を伝達することができる。さら
に、第４の特徴によれば、ベース基板８が、電気的絶縁
材料、もしくは表面に電気的絶縁処理を施されて成るこ
とを特徴とするので、ベース基板８の表面に、図１に示
す電極１４ｓと電極１４ｃを容易に構成することができ
る。
１０の表面に図１に示すセグメント電極１５と共通電極
１６が形成されているので、駆動回路１７からのセグメ
ント信号２５と、共通信号２６を容易に接続することが
できる。さらに第３の特徴は、積層圧電素子１０の一端
が、積層圧電素子１０のヤング率と比重に対して同等以
上のヤング率と比重を有するベース基板８に保持される
ことである。ベース基板８は、剛体であることが理想で
あり、具体的には音響インピーダンス（ヤング率×比
重）が大きいことが望ましい。よって、本発明によるベ
ース基板８は、第２の発明の第３の特徴により、十分に
大きなヤング率と比重を有しているので、圧力室４に対
して効率よく変形体積を伝達することができる。さら
に、第４の特徴によれば、ベース基板８が、電気的絶縁
材料、もしくは表面に電気的絶縁処理を施されて成るこ
とを特徴とするので、ベース基板８の表面に、図１に示
す電極１４ｓと電極１４ｃを容易に構成することができ
る。
【００２３】図５は、第２の実施例のインクジェットヘ
ッドによるインクジェットラインプリンタの主要部説明
図である。第１の実施例による積層圧電素子は、困難な
生産技術と長い生産時間を必要とせずに、低コストで、
均一な品質を確保することができるので、図４に示した
インクジェットヘッドをさらに大型にすることが容易で
ある。具体的にはプラテン１７と同等な幅のインクジェ
ットラインヘッド２０を構成することによって図５に示
す様なラインプリンタを実現することができる。本ライ
ンプリンタは、プラテン１７に転写媒体１８を巻き付
け、この表面にインクジェットラインヘッドから吐出さ
れるインク画像を形成した後、記録紙等にインク画像を
転写させるものである。こうした転写システムによって
非常に印字品質に優れた画像記録装置を実現することが
できる。
ッドによるインクジェットラインプリンタの主要部説明
図である。第１の実施例による積層圧電素子は、困難な
生産技術と長い生産時間を必要とせずに、低コストで、
均一な品質を確保することができるので、図４に示した
インクジェットヘッドをさらに大型にすることが容易で
ある。具体的にはプラテン１７と同等な幅のインクジェ
ットラインヘッド２０を構成することによって図５に示
す様なラインプリンタを実現することができる。本ライ
ンプリンタは、プラテン１７に転写媒体１８を巻き付
け、この表面にインクジェットラインヘッドから吐出さ
れるインク画像を形成した後、記録紙等にインク画像を
転写させるものである。こうした転写システムによって
非常に印字品質に優れた画像記録装置を実現することが
できる。
【００２４】
【発明の効果】以上の様に本発明によれば、容易な加工
で均一な特性の積層圧電素子を実現することができる。
また、実用性が低いと考えられていたインクジェットラ
インヘッドを非常に高い歩留まりで実現することができ
るので、より低価格で高性能な画像記録装置を提供する
ことができる。
で均一な特性の積層圧電素子を実現することができる。
また、実用性が低いと考えられていたインクジェットラ
インヘッドを非常に高い歩留まりで実現することができ
るので、より低価格で高性能な画像記録装置を提供する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す積層圧電素子の構
造説明斜視図である。
造説明斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施例を説明する、活性部の幅
Waと不活性部の幅Wsの比率（Ws／Wa）と、変形体積ΔＶ
の関係図である。
Waと不活性部の幅Wsの比率（Ws／Wa）と、変形体積ΔＶ
の関係図である。
【図３】本発明の第１の実施例を説明する積層圧電素子
の部分断面図である。
の部分断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示すインクジェットヘ
ッドの構成説明図である。
ッドの構成説明図である。
【図５】本発明の第２の実施例を説明するインクジェッ
トラインプリンタの主要部説明図である。
トラインプリンタの主要部説明図である。
【図６】従来例のインクジェットヘッド主要部の構造説
明図である。
明図である。
【図７】従来の積層圧電素子の変形挙動とその課題の説
明図である。
明図である。
１ ノズル ２ ノズル形成基板 ３ 流路基板 ４ 圧力室 ８ ベース基板 １０ 積層圧電素子 １１ 活性部 １２ 不活性部 ２０ インクジェットラインヘッド
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電材料と導電材料とを交互に積層して
成る積層圧電素子に於て、電界の生じない不活性部の幅
Wsが、電界によって変位を発生する活性部の幅Waの１／
２以上であることを特徴とする積層圧電素子。 - 【請求項２】 インクを吐出するノズルと、これに連通
する圧力室と、前記圧力室に圧力を発生させる圧力発生
素子と、前記圧力発生素子に電圧を印加する電圧印加手
段とを有するインクジェットヘッドに於て、請求項１記
載の積層圧電素子を前記圧力発生素子として用いる事を
特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記インクジェットヘッドを構成する前
記積層圧電素子の表面に導電材料からなるセグメント電
極と共通電極が形成されることを特徴とする請求項２記
載のインクジェットヘッド。 - 【請求項４】 前記インクジェットヘッドを構成する前
記積層圧電素子が、該積層圧電素子のヤング率と比重に
対して同等以上のヤング率と比重を有する部材にて保持
されることを特徴とする請求項２及び３記載のインクジ
ェットヘッド。 - 【請求項５】 前記インクジェットヘッドを構成するベ
ース基板が、電気的絶縁材料、もしくは表面に電気的絶
縁処理を施されて成ることを特徴とする請求項２、３及
び４記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33749592A JP3306937B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33749592A JP3306937B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188474A true JPH06188474A (ja) | 1994-07-08 |
| JP3306937B2 JP3306937B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=18309193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33749592A Expired - Lifetime JP3306937B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3306937B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996000151A1 (fr) * | 1994-06-23 | 1996-01-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Actionneur piezo-electrique pour tete d'impression a jet d'encre et son procede de fabrication |
| US5965970A (en) * | 1995-05-08 | 1999-10-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Diaphragm structure |
| JP2005005680A (ja) * | 2003-05-21 | 2005-01-06 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
| WO2013183594A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-12 | 三井化学株式会社 | 圧電デバイス、および圧電デバイスの製造方法 |
-
1992
- 1992-12-17 JP JP33749592A patent/JP3306937B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996000151A1 (fr) * | 1994-06-23 | 1996-01-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Actionneur piezo-electrique pour tete d'impression a jet d'encre et son procede de fabrication |
| US5945773A (en) * | 1994-06-23 | 1999-08-31 | Citizen Watch Co., Ltd. | Piezoelectric actuator for ink-jet printer and method of manufacturing the same |
| US5965970A (en) * | 1995-05-08 | 1999-10-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Diaphragm structure |
| JP2005005680A (ja) * | 2003-05-21 | 2005-01-06 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
| WO2013183594A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-12 | 三井化学株式会社 | 圧電デバイス、および圧電デバイスの製造方法 |
| CN104335376A (zh) * | 2012-06-05 | 2015-02-04 | 三井化学株式会社 | 压电器件及压电器件的制造方法 |
| JPWO2013183594A1 (ja) * | 2012-06-05 | 2016-01-28 | 三井化学株式会社 | 圧電デバイス、および圧電デバイスの製造方法 |
| US9966526B2 (en) | 2012-06-05 | 2018-05-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | Piezoelectric device and process for producing piezoelectric device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3306937B2 (ja) | 2002-07-24 |
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