JPH06188211A - 拡散装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 同時に処理する全てのウェハを均等に熱処理
可能な縦型拡散装置を提供する。 【構成】 反応管１を縦に配置して複数のウェハを同時
に酸化・拡散処理するバッチ式縦型拡散装置の構成を、
反応管を逆Ｕ字型に配置してウェハの出口１ｂ及び入口
１ａを別々に設置すると共に、入口から反応管内に先に
挿入されたウェハが出口から先に搬出されるように反応
管内に於てウェハを搬送するウェハ搬送手段を備えるも
のとする。これにより、下向きの入口部からウェハを挿
入し、下向きの出口部からウェハを順次引き出すことに
より、同時に処理する複数のウェハの反応管内に留まる
時間を均一にすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造に於
て、シリコンウェハなどを酸化・拡散処理する際に用い
られる縦型の拡散装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、縦型拡散装置では、図３に示すよ
うに、複数のウェハＷを重ねて搭載したボート３を反応
管１の下方から挿入し、処理終了後に反応管１の下方か
らボート３を引き出す方法を採っていた。尚、本発明に
関するものとして特開平２−２９４０２４号公報に記載
のものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法によると、反応管１の入り口と出口とが共通な
ため、反応管１内に先に挿入された上部のウェハＷが最
後に引き出されることとなり、ボート３上の搭載位置に
よって複数のウェハＷの熱処理量が異なるものとなって
しまうという問題があった。

【０００４】本発明は、このような従来技術の問題点を
解消するべく案出されたものであり、その主な目的は、
反応管内の複数のウェハの熱処理量を均等化し得る拡散
装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このような目的は、本発
明によれば、反応管を縦に配置して複数のウェハを同時
に酸化・拡散処理するバッチ式縦型拡散装置の構成を、
反応管を逆Ｕ字型に配置してウェハの出口及び入口を別
々に設置すると共に、反応管内に入口から先に挿入され
たウェハが出口から先に搬出されるように、反応管内に
てウェハを搬送するウェハ搬送手段を備えるものとする
ことによって達成される。

【０００６】

【作用】このようにすれば、ウェハ搬送手段によって反
応管内に入口部から先に挿入されたウェハは、反応管内
を順次搬送されて出口部から先に引き出されることとな
る。そのため、反応管内の全てのウェハの熱処理量を均
等化し得る。

【０００７】

【実施例】以下に添付の図面に示された実施例に基づい
て本発明を詳細に説明する。

【０００８】図１に示す本発明装置に於て、反応管１は
逆Ｕ字型をなしており、反応管１を均一に加熱するよう
に、その周囲に複数のヒータ２が設置されている。また
反応管１には、入口部１ａから出口部１ｂに渡って連続
したスリット１ｃが設けられている。そしてボート３を
搬送するための複数の腕部４がスリット１ｃを介して反
応管１内に延びている。

【０００９】反応管１のスリット１ｃに沿って腕部４を
移動するために、駆動機構５が設けられている。この動
機構５は、反応管１のスリット１ｃに沿って設けた複数
のリール５ａに耐熱性の無端ベルトまたは無端チェーン
５ｂを掛け、このチェーン５ｂをスプロケット５ｃを介
してモータ５ｄにて駆動するようになっている。そして
チェーン５ｂには、腕部４が等間隔に固定されており、
反応管１の入口部１ａの手前にて腕部４にボート３を係
合するようになっている。また駆動機構５は、複数の腕
部４を同時に駆動できるようになっており、入口部１ａ
から出口部１ｂを結ぶ周回軌道上を一定速度で循環する
ようになっている。尚、この駆動機構５は、他の構成で
あっても良いことは云うまでもない。

【００１０】ボート３の各端には、図示されていない突
起が形成されており、これが反応管１内に設けられた搬
送経路形成用ガイド６にはめ合わされている。このガイ
ド６に沿って反応管１内を移動することにより、ボート
３の傾き等が防止される。またボート３には、適宜な数
量のウェハ（図示せず）が積層して搭載される。

【００１１】ウェハを搭載したボート３は、入口部１ａ
に於て、反応管１のスリット１ｃに沿って移動する腕部
４に係合し、腕部４と共に反応管１内を移動する。そし
て必要とする条件でウェハに加熱処理を加えた後、出口
部１ｂから排出される。

【００１２】腕部４と共に搬送されたボート３は、出口
部１ｂから出たところで腕部４およびガイド６から外さ
れて拡散作業が終了する。そして出口部１ｂから排出さ
れたボート３は、腕部４から取り外され、新たなウェハ
を搭載したボート３が交換に取付けられ、再び入口部１
ａから反応管１内に搬送される。

【００１３】ここで１つのボートに搭載されるウェハの
枚数は、上下に連なるボート３同士の間隔や反応管１の
内幅を勘案して設定される。これによると、１つのボー
ト３に搭載可能なウェハの数量は従来のものに比して少
なくなるが、上記したように複数のボート３を循環させ
るようにしているので、反応管１内に多数のウェハを搬
入でき、かつボート３へのウェハの搭載並びに取り出し
時にも、並行して他のウェハを拡散処理できるので、多
数のウェハを同時に処理することができる。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
反応管内に最初に挿入されたウェハを最初に反応管から
引き出すことができるため、反応管内で同時に処理する
全てのウェハを均等に熱処理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に基づく縦型拡散装置の模式的な正面
図。

【図２】本発明に基づく縦型拡散装置の模式的な側面
図。

【図３】従来技術による拡散装置の模式図。

【符号の説明】

１ 反応管 １ａ 反応管入口部 １ｂ 反応管出口部 １ｃ スリット ２ ヒータ ３ ボート ４ ウェハ ５ 駆動機構 ５ａ リール ５ｂ チェーン ５ｃ スプロケット ５ｄ モータ ６ ガイド

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 反応管を縦に配置して複数のウェハを同
   時に酸化・拡散処理するバッチ式縦型拡散装置に於て、 前記反応管を逆Ｕ字型に配置して前記ウェハの出口及び
   入口を別々に設置すると共に、 前記反応管内に前記入口から先に挿入された前記ウェハ
   が前記出口から先に搬出されるように、前記反応管内に
   於て前記ウェハを搬送するためのウェハ搬送手段を備え
   たことを特徴とする拡散装置。