JPH0618549A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

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Publication number
JPH0618549A
JPH0618549A JP17446892A JP17446892A JPH0618549A JP H0618549 A JPH0618549 A JP H0618549A JP 17446892 A JP17446892 A JP 17446892A JP 17446892 A JP17446892 A JP 17446892A JP H0618549 A JPH0618549 A JP H0618549A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
packing
acceleration sensor
piezoelectric ceramic
plate
electrode
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP17446892A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuo Ukechi
光雄 請地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Original Assignee
Japan Aviation Electronics Industry Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Japan Aviation Electronics Industry Ltd filed Critical Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Priority to JP17446892A priority Critical patent/JPH0618549A/ja
Publication of JPH0618549A publication Critical patent/JPH0618549A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電セラミックス振動板の振動特性に影響し
ないようにその電気的出力を取り出すと共に加速センサ
の生産性のよい組立構造を得る。 【構成】 導電性の第2抑え部材10の上面に、導電性
弾性の第2パッキン22がリング状に印刷形成されると
共に絶縁性のスペーサ23が第2パッキン22の外周を
囲むように取付けられる。第2パッキン22上に、両面
に第1及び第2電極2a,2bを有する圧電セラミック
ス振動板2が載置される。スペーサ23上に導電性の第
1抑え部材9が取付けられる。第1抑え部材の底面には
導電性弾性の第1パッキン21がリング状に印刷形成さ
れている。これにより振動板2の周辺部は、第1、第2
パッキンを介して第1、第2抑え部材9,10により弾
性的に挟持される。第1、第2抑え部材9,10にリー
ド線5,6がそれぞれ接続される。第1、第2パッキン
21,22は第1、第2電極2a,2b上にそれぞれ印
刷形成してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は両面に電極を有する圧
電セラミックス振動板を用いた加速度センサに関し、特
にその電気的出力の取り出しに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の加速度センサ1では図2Aに示す
ように上面に圧電セラミックス振動板2が貼り付けられ
た金属振動板3が、その周辺部を枠体4で支持される。
圧電セラミックス振動板2の上面の周辺部のPa点にリ
ード線5が、また金属振動板3の下面のPb点にリード
線6がそれぞれ半田付される。
【0003】従来の他の加速度センサ1では図2Bに示
すように、第1及び第2電極2a,2bが上面及び底面
にそれぞれ形成された圧電セラミックス振動板2がその
周辺部をシリコンゴムなどの弾性接着剤8で絶縁性の支
持体7に固定される。第1、第2電極2a,2bの周辺
部の対向するPa点及びPb点にリード線5,6がそれ
ぞれ半田付される。
【0004】従来の更に他の加速度センサ1では、図2
Cに示すように、両面に第1、第2電極を有する圧電セ
ラミックス振動板2がその周辺部を互に対向する抑え板
9,10で挟持される。振動板2の上面の周辺部と抑え
板9との間及び振動板2の下面の周辺部と抑え板10と
の間にはそれぞれ絶縁性弾性の第1、第2パッキン(O
リングなど)11,12が介在される。振動板2の第
1、第2電極2a,2bにリード線5,6の一端がそれ
ぞれ半田付されており、それらのリード線は抑え板9,
10の透孔又はスリットを通して外部に導出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の加速度センサで
は電気的出力を取り出すためにリード線を圧電セラミッ
クス振動板2の一面又は両面に半田付する構造であるた
め、その半田接続部分が振動板2の負荷(おもり)とし
て作用し、振動板の振動特性に影響を与える欠点があっ
た。また、加速度センサの出力特性のバラツキを小さく
するために、リード線の半田付位置や半田量を精度よく
制御する必要があるなどその生産性に問題があった。
【0006】この発明の目的はこれら従来の問題を解決
して、振動特性に影響を与えないような圧電セラミック
ス振動板の電気的出力の取り出し方法や加速度センサの
生産性のよい組立構造を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の加速度センサ
には、第1及び第2電極が圧電セラミックス平板の上面
及び底面にそれぞれ形成されて成る圧電セラミックス振
動板と、導電性を有し、前記振動板の周辺部を挟持する
第1及び第2抑え部材と、前記圧電セラミックス振動板
の周辺部の前記第1電極と前記第1抑え部材との間及び
前記第2電極と前記第2抑え部材との間にそれぞれ介在
される導電性弾性の第1及び第2パッキンとが設けられ
る。そして、前記振動板の電気的出力は、前記第1パッ
キン及び前記第1抑え部材を含む第1の経路と、前記第
2パッキン及び前記第2抑え部材を含む第2の経路とよ
り取り出される。
【0008】前記第1及び第2パッキンは、前記圧電セ
ラミックス平板の前記第1及び第2電極上か又は前記第
1及び第2抑え部材の内面にそれぞれ印刷形成すること
ができる。前記圧電セラミックス振動板の外周縁を囲む
ように、絶縁性スペーサを配し、そのスペーサの上面及
び底面に前記第1及び第2抑え部材をそれぞれ取付ける
ことができる。
【0009】
【実施例】この発明の実施例を図1に、図2と対応する
部分に同じ符号を付して示す。圧電セラミックス振動板
2は従来と同様に圧電セラミックス平板の上面及び底面
に第1及び第2電極2a,2bをそれぞれ形成したもの
である。圧電セラミックス振動板2の周辺部は金属平板
などの導電性を有する第1及び第2抑え部材9,10に
より挟持される。圧電セラミックス振動板2の周辺部の
第1電極2aと第1抑え部材9との間及び第2電極2b
と第2抑え部材10との間に導電性ゴムなどの導電性弾
性の第1、第2パッキン(例えばOリング)21,22
がそれぞれ介在される。
【0010】第1、第2抑え部材9,10の周辺部にリ
ード線5,6がそれぞれ接続される。圧電セラミックス
振動板2の電気的出力は、第1パッキン21、第1抑え
部材9及びリード線5より成る第1の経路と、第2パッ
キン22、第2抑え部材10及びリード線6より成る第
2の経路より取り出される。第1及び第2パッキン2
1,22は、圧電セラミックス振動板2の第1及び第2
電極2a,2b上にそれぞれ印刷形成することができ
る。或いは図1Bに示すように、第1及び第2抑え部材
9,10の内面にそれぞれ印刷形成してもよい。
【0011】この実施例では、圧電セラミックス振動板
2の外周縁を囲むように絶縁性スペーサ23が配され、
第1及び第2抑え部材9,10がスペーサ23の上面及
び下面にそれぞれ接着又はねじ止めにより固定される。
圧電セラミックス振動板2はその周辺部が第1、第2抑
え部材9,10により第1、第2パッキン21,22を
介して弾性的に挟持される。
【0012】
【発明の効果】この発明の加速度センサでは、圧電セラ
ミックス振動板2の電気的出力を、導電性弾性の第1
(第2)パッキン21(22)及び導電性の第1(第
2)抑え部材9(10)の第1(第2)経路とから取り
出すことができる。このようにこの発明では従来のよう
にリード線を直接圧電セラミックス振動板2に半田付す
る必要はなく、振動板2の周辺部を第1、第2パッキン
を介して弾性的に保持すると共にそれら第1、第2パッ
キンを通じて電気的出力が取り出される。
【0013】またこの発明の加速度センサは従来のよう
に振動板のリード線半田付位置や半田量を精度よく制御
するような必要はなく、単に振動板の周辺部を第1、第
2パッキンを介して抑え部材で挟持すればよいので生産
性が頗るよい。特に第1、第2パッキンを振動板又は抑
え部材に印刷形成した場合にはいっそう顕著である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す図で、Aはその断面
図、BはAの部分分解斜視図。
【図2】従来の加速度センサの断面図。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1及び第2電極が圧電セラミックス平
    板の上面及び底面にそれぞれ形成されて成る圧電セラミ
    ックス振動板と、 導電性を有し、前記振動板の周辺部を挟持する第1及び
    第2抑え部材と、 前記圧電セラミックス振動板の周辺部の前記第1電極と
    前記第1抑え部材との間及び前記第2電極と前記第2抑
    え部材との間にそれぞれ介在される導電性弾性の第1及
    び第2パッキンとを具備し、 前記振動板の電気的出力を、前記第1パッキン及び前記
    第1抑え部材を含む第1の経路と、前記第2パッキン及
    び前記第2抑え部材を含む第2の経路とより取り出すこ
    とを特徴とする、 加速度センサ。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2パッキンが、前記圧電
    セラミックス平板の前記第1及び第2電極上か又は前記
    第1及び第2抑え部材の内面にそれぞれ印刷形成されて
    いることを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
  3. 【請求項3】 前記圧電セラミックス振動板の外周縁を
    囲むように絶縁性スペーサが配され、そのスペーサの上
    面及び底面に前記第1及び第2抑え部材がそれぞれ取付
    けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の加
    速度センサ。
JP17446892A 1992-07-01 1992-07-01 加速度センサ Withdrawn JPH0618549A (ja)

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JP17446892A JPH0618549A (ja) 1992-07-01 1992-07-01 加速度センサ

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JPH0618549A true JPH0618549A (ja) 1994-01-25

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ID=15979014

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JP17446892A Withdrawn JPH0618549A (ja) 1992-07-01 1992-07-01 加速度センサ

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JP (1) JPH0618549A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10185939A (ja) * 1996-12-24 1998-07-14 Tamagawa Seiki Co Ltd ガスレートセンサ
JP2012078272A (ja) * 2010-10-05 2012-04-19 Sensatec Co Ltd 衝撃センサ

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JPH10185939A (ja) * 1996-12-24 1998-07-14 Tamagawa Seiki Co Ltd ガスレートセンサ
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A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19991005