JPH06180296A - 表面検査装置の検査範囲設定方法 - Google Patents
表面検査装置の検査範囲設定方法Info
- Publication number
- JPH06180296A JPH06180296A JP35284092A JP35284092A JPH06180296A JP H06180296 A JPH06180296 A JP H06180296A JP 35284092 A JP35284092 A JP 35284092A JP 35284092 A JP35284092 A JP 35284092A JP H06180296 A JPH06180296 A JP H06180296A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- inspected
- signal
- period
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面検査装置の検査範囲設定において、機械
的故障を生じることなく、かつ被検査体の端部の検出精
度を上げて検査範囲を設定することができる検査範囲設
定方法を提供することを目的とする。 【構成】 搬送される被検査体１０５に光線を照射し、
該光線の反射方向に配置された受光センサ１０７の出力
変化により被検査体１０５の表面欠陥を検出するととも
に、被検査体１０５の検査範囲を設定して前記表面欠陥
を検出する表面検査装置外部に配置される撮像手段１０
９により被検査体１０５を撮像して映像信号を得、該映
像信号に基づいて前記検査範囲を設定するようにしたこ
とを特徴とする表面検査装置の検査範囲設定方法。
的故障を生じることなく、かつ被検査体の端部の検出精
度を上げて検査範囲を設定することができる検査範囲設
定方法を提供することを目的とする。 【構成】 搬送される被検査体１０５に光線を照射し、
該光線の反射方向に配置された受光センサ１０７の出力
変化により被検査体１０５の表面欠陥を検出するととも
に、被検査体１０５の検査範囲を設定して前記表面欠陥
を検出する表面検査装置外部に配置される撮像手段１０
９により被検査体１０５を撮像して映像信号を得、該映
像信号に基づいて前記検査範囲を設定するようにしたこ
とを特徴とする表面検査装置の検査範囲設定方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被検査体の表面欠陥
を検出する表面検査装置に係わり、特に被検査体の検査
範囲を設定する検査範囲設定方法に関する。
を検出する表面検査装置に係わり、特に被検査体の検査
範囲を設定する検査範囲設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】紙、金属等の被検査体の表面欠陥を検出
するには、例えばレーザ光線を搬送される被検査体に照
射し、該光線の反射方向に配置される受光センサの出力
変化に基づいて被検査体の表面欠陥を検出することが行
われている。この検出を行うものとしては、例えば飛点
方式の表面検査装置が挙げられる。該表面検査装置は、
レーザ光を回転ミラーで反射し、被検査体の搬送方向と
直角方向に走査する。その後、反射光を電気信号に変換
し、該電気信号の変化に基づき表面欠陥を検出する。
するには、例えばレーザ光線を搬送される被検査体に照
射し、該光線の反射方向に配置される受光センサの出力
変化に基づいて被検査体の表面欠陥を検出することが行
われている。この検出を行うものとしては、例えば飛点
方式の表面検査装置が挙げられる。該表面検査装置は、
レーザ光を回転ミラーで反射し、被検査体の搬送方向と
直角方向に走査する。その後、反射光を電気信号に変換
し、該電気信号の変化に基づき表面欠陥を検出する。
【０００３】さらに上記表面検査装置は、被検査体の検
査範囲を設定し、該検査範囲内の表面検査を行う。検査
範囲の設定方法としては、例えば被検査体両端付近にエ
ッジ検出センサを設置し、該センサを、搬送に伴い揺動
する被検査体の両端に追動させて検査範囲を設定する方
法がある。しかし上記方法は、エッジ検出センサが端部
に追動させるための可動部を有するために機械的故障が
発生し易く、さらに被検査体が、搬送に伴ってかなり広
い範囲に亘って動く場合は、センサの追動範囲も広く設
定しなければならないため、これに伴いセンサが大型化
してしまう。
査範囲を設定し、該検査範囲内の表面検査を行う。検査
範囲の設定方法としては、例えば被検査体両端付近にエ
ッジ検出センサを設置し、該センサを、搬送に伴い揺動
する被検査体の両端に追動させて検査範囲を設定する方
法がある。しかし上記方法は、エッジ検出センサが端部
に追動させるための可動部を有するために機械的故障が
発生し易く、さらに被検査体が、搬送に伴ってかなり広
い範囲に亘って動く場合は、センサの追動範囲も広く設
定しなければならないため、これに伴いセンサが大型化
してしまう。
【０００４】また他の検査範囲の設定方法として、上記
表面検査装置から走査光線を照射し、被検査体で反射さ
れる反射光線を受光して被検査体両端を検出し、検査範
囲を設定する方法がある。図８は受光した反射光線を電
気信号に変換したときの信号波形を示している。図８に
示されるように、被検査体に傷等の欠陥が発生している
場合は、該欠陥で反射光が変化するため、該欠陥部分を
被検査体の端部として検出してしまう場合がある（図８
（ａ））。
表面検査装置から走査光線を照射し、被検査体で反射さ
れる反射光線を受光して被検査体両端を検出し、検査範
囲を設定する方法がある。図８は受光した反射光線を電
気信号に変換したときの信号波形を示している。図８に
示されるように、被検査体に傷等の欠陥が発生している
場合は、該欠陥で反射光が変化するため、該欠陥部分を
被検査体の端部として検出してしまう場合がある（図８
（ａ））。
【０００５】さらに被検査体が搬送支持体で搬送支持さ
れ、該搬送支持位置で表面検査及び検査範囲の設定を行
う場合、搬送支持体の反射特性によっては、検査範囲を
設定する被検査体端部の信号の立ち上がりが明確でな
く、搬送支持体と被検査体との識別が困難となる場合が
ある（図８（ｂ））。また被検査体近傍に搬送支持体の
傷等がある場合は、該傷部分で反射光が変化して信号が
立ち上がり、該傷を被検査体の端部として検出してしま
う場合がある（図８（ｃ））。
れ、該搬送支持位置で表面検査及び検査範囲の設定を行
う場合、搬送支持体の反射特性によっては、検査範囲を
設定する被検査体端部の信号の立ち上がりが明確でな
く、搬送支持体と被検査体との識別が困難となる場合が
ある（図８（ｂ））。また被検査体近傍に搬送支持体の
傷等がある場合は、該傷部分で反射光が変化して信号が
立ち上がり、該傷を被検査体の端部として検出してしま
う場合がある（図８（ｃ））。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、表面検
査の検査範囲を設定する方法としては、被検査体両端部
に該両端部に追動可能なエッジ検出センサを設置して、
検査範囲を設定する第１の方法、及び表面検査装置によ
る被検査体の走査により被検査体の端部を検出して検査
範囲を設定する第２の方法がある。
査の検査範囲を設定する方法としては、被検査体両端部
に該両端部に追動可能なエッジ検出センサを設置して、
検査範囲を設定する第１の方法、及び表面検査装置によ
る被検査体の走査により被検査体の端部を検出して検査
範囲を設定する第２の方法がある。
【０００７】しかし第１の方法は、エッジ検出センサが
可動部を有するため機械的故障が発生し易く、また被検
査体の端部の追動範囲を広く設定しようとすると、セン
サが大型化してしまうという問題がある。また第２の方
法は、被検査体に発生した欠陥を端部として検出してし
まい、また搬送支持体の反射特性によっては、搬送支持
体と被検査体との識別が困難であったり、搬送支持体の
傷等を被検査体の端部として検出してしまう場合が生
じ、被検査体の端部の検出精度に問題があった。
可動部を有するため機械的故障が発生し易く、また被検
査体の端部の追動範囲を広く設定しようとすると、セン
サが大型化してしまうという問題がある。また第２の方
法は、被検査体に発生した欠陥を端部として検出してし
まい、また搬送支持体の反射特性によっては、搬送支持
体と被検査体との識別が困難であったり、搬送支持体の
傷等を被検査体の端部として検出してしまう場合が生
じ、被検査体の端部の検出精度に問題があった。
【０００８】そこでこの発明は、上記事情に鑑みて成さ
れたもので、機械的故障を生じることなく、かつ被検査
体の端部の検出精度を上げて検査範囲を設定することが
できる検査範囲設定方法を提供することを目的とする。
れたもので、機械的故障を生じることなく、かつ被検査
体の端部の検出精度を上げて検査範囲を設定することが
できる検査範囲設定方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる検査範
囲設定方法は、搬送される被検査体に光線を照射し、該
光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化によ
り前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被検
査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表面
検査装置の検査範囲設定方法において、前記表面検査装
置外部に配置される撮像手段により前記被検査体を撮像
して映像信号を得、該映像信号に基づいて前記検査範囲
を設定するようにしたものである。
囲設定方法は、搬送される被検査体に光線を照射し、該
光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化によ
り前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被検
査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表面
検査装置の検査範囲設定方法において、前記表面検査装
置外部に配置される撮像手段により前記被検査体を撮像
して映像信号を得、該映像信号に基づいて前記検査範囲
を設定するようにしたものである。
【００１０】また搬送される被検査体に光線を照射し、
該光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化に
より前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被
検査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表
面検査装置の検査範囲設定方法において、基準物体に光
線を照射し、前記受光センサから出力される検査信号を
得るとともに、該信号とは異なる周期で動作する撮像手
段により前記基準物体を撮像して映像信号を得、前記検
査信号の前記被検査体に相当する第１の出力期間と、前
記映像信号の前記被検査体に相当する第２の出力期間と
で設定される出力期間比を、前記映像信号のトリガパル
スから前記第２の出力期間までのブランキング期間に乗
じて得られる期間を、前記第１の出力期間から得るよう
に仮想パルスを想定し、前記検査信号のトリガパルスと
前記仮想パルスとで設定される期間に前記出力期間比を
考慮して得られる期間を、前記映像信号のトリガパルス
から得るように整合パルスを設定して前記検査信号と前
記映像信号との位置を整合し、前記検査信号に整合した
前記映像信号に基づいて前記検査範囲を設定するように
したものである。
該光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化に
より前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被
検査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表
面検査装置の検査範囲設定方法において、基準物体に光
線を照射し、前記受光センサから出力される検査信号を
得るとともに、該信号とは異なる周期で動作する撮像手
段により前記基準物体を撮像して映像信号を得、前記検
査信号の前記被検査体に相当する第１の出力期間と、前
記映像信号の前記被検査体に相当する第２の出力期間と
で設定される出力期間比を、前記映像信号のトリガパル
スから前記第２の出力期間までのブランキング期間に乗
じて得られる期間を、前記第１の出力期間から得るよう
に仮想パルスを想定し、前記検査信号のトリガパルスと
前記仮想パルスとで設定される期間に前記出力期間比を
考慮して得られる期間を、前記映像信号のトリガパルス
から得るように整合パルスを設定して前記検査信号と前
記映像信号との位置を整合し、前記検査信号に整合した
前記映像信号に基づいて前記検査範囲を設定するように
したものである。
【００１１】
【作用】この発明に係わる前記手段において、表面検査
装置には、例えば飛点方式による表面検査装置が用いら
れる。該装置は、搬送される被検査体にレーザ光線を照
射し、被検査体表面に傷等の欠陥が発生している場合
は、該光線の反射方向に配置された受光センサから出力
される検査信号が変化するので、この変化により被検査
体の表面欠陥を検出する。
装置には、例えば飛点方式による表面検査装置が用いら
れる。該装置は、搬送される被検査体にレーザ光線を照
射し、被検査体表面に傷等の欠陥が発生している場合
は、該光線の反射方向に配置された受光センサから出力
される検査信号が変化するので、この変化により被検査
体の表面欠陥を検出する。
【００１２】撮像手段には、ＣＣＤ（電荷結合素子）カ
メラが好ましく用いられる。ＣＣＤカメラで被検査体を
撮像すると、得られる映像信号は被検査体に相当する出
力期間の輝度レベルが他の部分と異なっている。従っ
て、異なる輝度レベルの出力期間（ハイレベル若しくは
ローレベル）を検出することにより、被検査体を識別で
きる。
メラが好ましく用いられる。ＣＣＤカメラで被検査体を
撮像すると、得られる映像信号は被検査体に相当する出
力期間の輝度レベルが他の部分と異なっている。従っ
て、異なる輝度レベルの出力期間（ハイレベル若しくは
ローレベル）を検出することにより、被検査体を識別で
きる。
【００１３】表面検査装置は、上記輝度レベルの出力期
間を検出し、この期間を検査範囲として表面検査を行
う。また基準物体とは、検査信号及び映像信号を表示さ
せたときに、表示波形に基づいて基準物体の少なくとも
両端が明確に識別できるものである。検査信号と映像信
号との周期が異なる場合は、映像信号を検査信号に整合
させる。整合方法は、まず基準物体に光線を照射して得
られる検査信号と、基準物体を撮像して得られる映像信
号とを同時に表示させ、検査信号の基準物体に相当する
出力期間と映像信号の基準物体に相当する出力期間との
出力期間比を設定する。出力期間比は、被検査体の幅が
変わっても一定である。
間を検出し、この期間を検査範囲として表面検査を行
う。また基準物体とは、検査信号及び映像信号を表示さ
せたときに、表示波形に基づいて基準物体の少なくとも
両端が明確に識別できるものである。検査信号と映像信
号との周期が異なる場合は、映像信号を検査信号に整合
させる。整合方法は、まず基準物体に光線を照射して得
られる検査信号と、基準物体を撮像して得られる映像信
号とを同時に表示させ、検査信号の基準物体に相当する
出力期間と映像信号の基準物体に相当する出力期間との
出力期間比を設定する。出力期間比は、被検査体の幅が
変わっても一定である。
【００１４】映像信号を検査信号に整合させるために、
整合パルスを映像信号のトリガパルスから所定期間を経
て設定する。該所定期間は、検査信号のトリガパルスの
時間軸上に仮想パルスを想定し、仮想パルスから検査信
号の基準物体に相当する第１の出力期間までのブランキ
ング期間と、第１の出力期間との比が、映像信号のトリ
ガパルスから映像信号の基準物体に相当する第２の出力
期間までのブランキング期間と、第２の出力期間との比
に等しいことを利用して得られる。
整合パルスを映像信号のトリガパルスから所定期間を経
て設定する。該所定期間は、検査信号のトリガパルスの
時間軸上に仮想パルスを想定し、仮想パルスから検査信
号の基準物体に相当する第１の出力期間までのブランキ
ング期間と、第１の出力期間との比が、映像信号のトリ
ガパルスから映像信号の基準物体に相当する第２の出力
期間までのブランキング期間と、第２の出力期間との比
に等しいことを利用して得られる。
【００１５】そして検査信号のトリガパルスと仮想パル
スとで設定される期間に、周期を考慮して第２の出力期
間と第１の出力期間とで設定される出力期間比を乗じる
ことにより前記所定期間が得られる。なお検査信号と映
像信号との周期が等しい場合は、単に各信号のトリガを
同一時刻に設定すれば良い。
スとで設定される期間に、周期を考慮して第２の出力期
間と第１の出力期間とで設定される出力期間比を乗じる
ことにより前記所定期間が得られる。なお検査信号と映
像信号との周期が等しい場合は、単に各信号のトリガを
同一時刻に設定すれば良い。
【００１６】被検査体を撮像する場合、撮像位置を例え
ば搬送ローラ位置に設定した場合は、被検査体と搬送ロ
ーラとの識別が困難な場合がある。この場合は、撮像位
置を照明する。照明方式は、撮像手段と同一側に照明手
段が配置される反射方式、若しくは被検査体を介して撮
像手段と反対側に照明手段が配置される透過方式の何れ
でも良い。
ば搬送ローラ位置に設定した場合は、被検査体と搬送ロ
ーラとの識別が困難な場合がある。この場合は、撮像位
置を照明する。照明方式は、撮像手段と同一側に照明手
段が配置される反射方式、若しくは被検査体を介して撮
像手段と反対側に照明手段が配置される透過方式の何れ
でも良い。
【００１７】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１は表面検査装置の概略構成図を示してい
る。スキャナ１０１から照射された光線は、搬送ローラ
１０３位置に達し、図中矢印方向に搬送される被検査体
１０５の表面を走査する。被検査体１０５は、搬送に伴
い振動を生じる。従って、振動の少ない搬送ローラ１０
３位置で被検査体１０５の表面を走査することにより、
表面検査精度の低下を防いでいる。
明する。図１は表面検査装置の概略構成図を示してい
る。スキャナ１０１から照射された光線は、搬送ローラ
１０３位置に達し、図中矢印方向に搬送される被検査体
１０５の表面を走査する。被検査体１０５は、搬送に伴
い振動を生じる。従って、振動の少ない搬送ローラ１０
３位置で被検査体１０５の表面を走査することにより、
表面検査精度の低下を防いでいる。
【００１８】該光線は、被検査体１０５で反射され、反
射方向に配置された受光センサ１０７で受光されて光電
変換される。被検査体１０５の表面に傷等の欠陥が生じ
ていると、被検査体１０５の反射光のうち該欠陥に対応
する部分の電気信号も変化する。従って、この変化を検
知することにより、表面欠陥を検出することができる。
射方向に配置された受光センサ１０７で受光されて光電
変換される。被検査体１０５の表面に傷等の欠陥が生じ
ていると、被検査体１０５の反射光のうち該欠陥に対応
する部分の電気信号も変化する。従って、この変化を検
知することにより、表面欠陥を検出することができる。
【００１９】表面検査の検査範囲は、ＣＣＤ１０９で被
検査体１０５を撮像して得られる映像信号に基づいて設
定する。ＣＣＤ１０９の撮像位置は、表面検査位置（搬
送ローラ１０３位置）若しくは搬送上流方向近傍であ
る。ＣＣＤ１０９の撮像位置を、表面検査位置に限定し
なかったのは、被検査体１０５に多少の振動が生じてい
ても、検査範囲設定では許容誤差範囲内に含まれるから
である。
検査体１０５を撮像して得られる映像信号に基づいて設
定する。ＣＣＤ１０９の撮像位置は、表面検査位置（搬
送ローラ１０３位置）若しくは搬送上流方向近傍であ
る。ＣＣＤ１０９の撮像位置を、表面検査位置に限定し
なかったのは、被検査体１０５に多少の振動が生じてい
ても、検査範囲設定では許容誤差範囲内に含まれるから
である。
【００２０】なお被検査体１０５の識別が困難な場合
は、撮像位置を照明する。撮像位置を照明する場合は、
少なくとも被検査体１０５の両端が照明されていれば良
い。以下、図２及び図３を参照して表面検査の検査範囲
設定方法について説明する。まず表面検査前の処理を説
明する。表面検査を行う前に、少なくとも端部が正確に
識別可能な基準物体をスキャナ１０１で走査して受光セ
ンサ１０７から基準検査信号を得、さらにＣＣＤ１０９
で撮像して基準映像信号を得る。
は、撮像位置を照明する。撮像位置を照明する場合は、
少なくとも被検査体１０５の両端が照明されていれば良
い。以下、図２及び図３を参照して表面検査の検査範囲
設定方法について説明する。まず表面検査前の処理を説
明する。表面検査を行う前に、少なくとも端部が正確に
識別可能な基準物体をスキャナ１０１で走査して受光セ
ンサ１０７から基準検査信号を得、さらにＣＣＤ１０９
で撮像して基準映像信号を得る。
【００２１】図２は、上記基準映像信号及び基準検査信
号の各波形を示しており、各信号の周期は、例えば、そ
れぞれ２０ｍｓ及び０．３３ｍｓである。スキャナ１０
１のスタートパルスＳＰI は、走査光を得るための回転
ミラー（図示せず）の回転に同期して生成される。図２
に示されるように、スタートパルスＳＰI からブランキ
ング期間ＢＬRIを経て基準検査信号の出力期間ＳRIが表
れ、スタートパルスＳＰV からブランキング期間ＢＬRV
を経て基準映像信号の出力期間ＳRVが表れる。
号の各波形を示しており、各信号の周期は、例えば、そ
れぞれ２０ｍｓ及び０．３３ｍｓである。スキャナ１０
１のスタートパルスＳＰI は、走査光を得るための回転
ミラー（図示せず）の回転に同期して生成される。図２
に示されるように、スタートパルスＳＰI からブランキ
ング期間ＢＬRIを経て基準検査信号の出力期間ＳRIが表
れ、スタートパルスＳＰV からブランキング期間ＢＬRV
を経て基準映像信号の出力期間ＳRVが表れる。
【００２２】基準検査信号及び基準映像信号は、それぞ
れ信号周期が異なるので、出力期間ＳRI及びＳRVもそれ
ぞれ異なる。被検査体を変えると、各信号の出力期間も
それぞれ変化するが、変化率は共に等しい。従って、出
力期間比ＳRI／ＳRVは、被検査体が変わっても一定であ
る。出力期間比ＳRI／ＳRVは、各信号を波形表示手段に
表示させることにより得られる。出力期間比ＳRI／ＳRV
は、計算によっても得られるが、スキャナ１０１、受光
センサ１０７、及びＣＣＤ１０９が複雑に配置されてい
ると、配置角度等を考慮しなければならない為、複雑な
計算が必要となる。
れ信号周期が異なるので、出力期間ＳRI及びＳRVもそれ
ぞれ異なる。被検査体を変えると、各信号の出力期間も
それぞれ変化するが、変化率は共に等しい。従って、出
力期間比ＳRI／ＳRVは、被検査体が変わっても一定であ
る。出力期間比ＳRI／ＳRVは、各信号を波形表示手段に
表示させることにより得られる。出力期間比ＳRI／ＳRV
は、計算によっても得られるが、スキャナ１０１、受光
センサ１０７、及びＣＣＤ１０９が複雑に配置されてい
ると、配置角度等を考慮しなければならない為、複雑な
計算が必要となる。
【００２３】以下、表面検査範囲設定と表面検査との動
作を合わせるための操作について説明する。まず出力期
間ＳRIより期間ＢＬ' RI前に仮想パルスＳＰ’I を想定
する。これは、スタートパルスＳＰI の位置に合わされ
た後述するＣＣＤ１０９のスタートパルスＳＰ' V を設
定するためである。このとき期間ＢＬ' RI、ＢＬRV、Ｓ
RI、及びＳRVの関係は（１）式に示される。
作を合わせるための操作について説明する。まず出力期
間ＳRIより期間ＢＬ' RI前に仮想パルスＳＰ’I を想定
する。これは、スタートパルスＳＰI の位置に合わされ
た後述するＣＣＤ１０９のスタートパルスＳＰ' V を設
定するためである。このとき期間ＢＬ' RI、ＢＬRV、Ｓ
RI、及びＳRVの関係は（１）式に示される。
【００２４】 ＢＬRV：ＢＬ' RI＝ＳRV：ＳRI …（１） すなわち ＢＬ' RI＝ＢＬRV×ＳRI／ＳRV …（２） （２）式に示されるように、期間ＢＬ' RIは、ブランキ
ング期間ＢＬRVに出力期間比ＳRI／ＳRVを乗じたもので
あり、出力期間比ＳRI／ＳRVは上述のように一定値であ
る。
ング期間ＢＬRVに出力期間比ＳRI／ＳRVを乗じたもので
あり、出力期間比ＳRI／ＳRVは上述のように一定値であ
る。
【００２５】つぎに基準検査信号と基準映像信号との位
置の整合を得るために、ＣＣＤ１０９のトリガとなるス
タートパルスＳＰV から所定時間を経て整合パルスであ
るスタートパルスＳＰ’V を設定する。該所定期間は、
パルスＳＰI から仮想パルスＳＰ’I までの期間に周期
を考慮した期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRIであ
る。 以下、図３を参照して表面検査時の処理を説明す
る。先の図１で説明したように、表面検査範囲を設定す
るために、ＣＣＤ１０９で被検査体１０５を撮像して表
面映像信号を得、スキャナ１０１で被検査体１０５を走
査して、受光センサ１０７から表面検査信号を得る。
置の整合を得るために、ＣＣＤ１０９のトリガとなるス
タートパルスＳＰV から所定時間を経て整合パルスであ
るスタートパルスＳＰ’V を設定する。該所定期間は、
パルスＳＰI から仮想パルスＳＰ’I までの期間に周期
を考慮した期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRIであ
る。 以下、図３を参照して表面検査時の処理を説明す
る。先の図１で説明したように、表面検査範囲を設定す
るために、ＣＣＤ１０９で被検査体１０５を撮像して表
面映像信号を得、スキャナ１０１で被検査体１０５を走
査して、受光センサ１０７から表面検査信号を得る。
【００２６】表面検査信号は、スタートパルスＳＰI か
らブランキング期間ＢＬI を経て出力期間ＳI を有す
る。検査範囲である被検査体１０５の一端及び他端は、
それぞれブランキング期間ＢＬI 、及びブランキング期
間ＢＬI と出力期間ＳI との和ＢＬI ＋ＳI で設定され
る。従って、ＣＣＤ１０９の撮像により、期間ＢＬI と
期間ＢＬI ＋ＳI とを設定する。
らブランキング期間ＢＬI を経て出力期間ＳI を有す
る。検査範囲である被検査体１０５の一端及び他端は、
それぞれブランキング期間ＢＬI 、及びブランキング期
間ＢＬI と出力期間ＳI との和ＢＬI ＋ＳI で設定され
る。従って、ＣＣＤ１０９の撮像により、期間ＢＬI と
期間ＢＬI ＋ＳI とを設定する。
【００２７】一方、表面映像信号は、スタートパルスＳ
Ｐ’V から期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRIとブ
ランキング期間ＢＬV とを経て出力期間ＳV を有する。
表面検査範囲である被検査体１０９の一端及び他端は、
それぞれ期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRIとブラ
ンキング期間ＢＬV との和、及び期間（ＢＬRI−ＢＬ'
RI）×ＳRV／ＳRIとブランキング期間ＢＬV と出力期間
との和で設定される。
Ｐ’V から期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRIとブ
ランキング期間ＢＬV とを経て出力期間ＳV を有する。
表面検査範囲である被検査体１０９の一端及び他端は、
それぞれ期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRIとブラ
ンキング期間ＢＬV との和、及び期間（ＢＬRI−ＢＬ'
RI）×ＳRV／ＳRIとブランキング期間ＢＬV と出力期間
との和で設定される。
【００２８】ここで図２に示した基準検査信号及び基準
映像信号と、図３に示した表面検査信号及び表面映像信
号の各期間の関係は、（３）式に示される。 ＢＬV ＋（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRI：ＢＬI ＝ＳRV：ＳRI ＢＬV ＋（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRI＋ＳV ：ＢＬI ＋ＳI ＝ＳRV：ＳRI…（３） すなわち ＢＬI ＝（ＢＬRI−ＢＬ' RI）＋ＢＬV ×ＳRI／ＳRV …（４） ＢＬI ＋ＳI ＝（ＢＬRI−ＢＬ' RI） ＋（ＢＬV ＋ＳV ）×ＳRI／ＳRV …（５） （４）式に示されるように、ブランキング期間ＢＬ
I は、スキャナ１０１のスタートパルスＳＰI から仮想
パスルＳＰ' I までの期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）とブラ
ンキング期間ＢＬV に出力期間比ＳRI／ＳRVを乗じた期
間との和で設定される。
映像信号と、図３に示した表面検査信号及び表面映像信
号の各期間の関係は、（３）式に示される。 ＢＬV ＋（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRI：ＢＬI ＝ＳRV：ＳRI ＢＬV ＋（ＢＬRI−ＢＬ' RI）×ＳRV／ＳRI＋ＳV ：ＢＬI ＋ＳI ＝ＳRV：ＳRI…（３） すなわち ＢＬI ＝（ＢＬRI−ＢＬ' RI）＋ＢＬV ×ＳRI／ＳRV …（４） ＢＬI ＋ＳI ＝（ＢＬRI−ＢＬ' RI） ＋（ＢＬV ＋ＳV ）×ＳRI／ＳRV …（５） （４）式に示されるように、ブランキング期間ＢＬ
I は、スキャナ１０１のスタートパルスＳＰI から仮想
パスルＳＰ' I までの期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）とブラ
ンキング期間ＢＬV に出力期間比ＳRI／ＳRVを乗じた期
間との和で設定される。
【００２９】また（５）式に示されるように、ブランキ
ング期間ＢＬI と出力期間ＳI との和は、期間（ＢＬRI
−ＢＬ' RI）と、ブランキング期間ＢＬV と出力期間Ｓ
V との和に出力期間比ＳRI／ＳRVを乗じた期間との和で
設定される。ここで期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）及び出力
期間比ＳRI／ＳRVは定数値であるので、ＣＣＤ１０９の
表面映像信号に基づき、被検査体１０５の各端部が検出
されるまでの期間ＢＬV 及びＢＬV ＋ＳV が判れば、検
査範囲を設定することができる。
ング期間ＢＬI と出力期間ＳI との和は、期間（ＢＬRI
−ＢＬ' RI）と、ブランキング期間ＢＬV と出力期間Ｓ
V との和に出力期間比ＳRI／ＳRVを乗じた期間との和で
設定される。ここで期間（ＢＬRI−ＢＬ' RI）及び出力
期間比ＳRI／ＳRVは定数値であるので、ＣＣＤ１０９の
表面映像信号に基づき、被検査体１０５の各端部が検出
されるまでの期間ＢＬV 及びＢＬV ＋ＳV が判れば、検
査範囲を設定することができる。
【００３０】以下、図４及び図５を参照して検査範囲で
ある被検査体１０５の一端部及び他端部に相当する期間
ＢＬV 及びＢＬV ＋ＳV の検出方法について説明する。
図４は期間ＢＬV 及びＢＬV ＋ＳV を検出するブロック
図を示し、図５は各出力部の波形を示している。ＣＣＤ
１０９の表面映像信号は、図５（ａ）に示されるように
被検査体１０５に相当する輝度レベルがローレベルにな
っており、被検査体１０５以外に相当する輝度レベルが
ハイレベルになっている。これは被検査体１０５を介し
てＣＣＤ１０９の反対側に照明（図示せず）を配置した
透過方式の撮像を行っているためである。
ある被検査体１０５の一端部及び他端部に相当する期間
ＢＬV 及びＢＬV ＋ＳV の検出方法について説明する。
図４は期間ＢＬV 及びＢＬV ＋ＳV を検出するブロック
図を示し、図５は各出力部の波形を示している。ＣＣＤ
１０９の表面映像信号は、図５（ａ）に示されるように
被検査体１０５に相当する輝度レベルがローレベルにな
っており、被検査体１０５以外に相当する輝度レベルが
ハイレベルになっている。これは被検査体１０５を介し
てＣＣＤ１０９の反対側に照明（図示せず）を配置した
透過方式の撮像を行っているためである。
【００３１】表面映像信号は、微分回路４０１に入力さ
れて微分され、図５（ｂ）に示される波形になる。微分
回路４０１の出力は、２値化回路４０３ａ、４０３ｂに
入力される。２値化回路４０３ａには、被検査体１０５
の一端に対応する負極の閾値が設定されており、２値化
回路４０３ｂには、被検査体１０５の他端に対応する正
極の閾値が設定されている。２値化回路４０３ａ、４０
３ｂは、それぞれ入力信号を上記閾値と比較し、入力信
号が閾値よりも大きいときはハイレベルに設定し、小さ
いときはローレベルに設定して、図５（ｃ）、（ｄ）に
示されるパルス波形を出力する。２値化回路４０３ａ、
４０３ｂの出力は、それぞれカウンタ４０５ａ、４０５
ｂに入力される。
れて微分され、図５（ｂ）に示される波形になる。微分
回路４０１の出力は、２値化回路４０３ａ、４０３ｂに
入力される。２値化回路４０３ａには、被検査体１０５
の一端に対応する負極の閾値が設定されており、２値化
回路４０３ｂには、被検査体１０５の他端に対応する正
極の閾値が設定されている。２値化回路４０３ａ、４０
３ｂは、それぞれ入力信号を上記閾値と比較し、入力信
号が閾値よりも大きいときはハイレベルに設定し、小さ
いときはローレベルに設定して、図５（ｃ）、（ｄ）に
示されるパルス波形を出力する。２値化回路４０３ａ、
４０３ｂの出力は、それぞれカウンタ４０５ａ、４０５
ｂに入力される。
【００３２】カウンタ４０５ａ、４０５ｂは、図５
（ｅ）に示されるＣＣＤ１０９のスタートパルスＳＰ’
V が入力されると、クロックＣＬＫに基づき、それぞれ
被検査体１０５の一端に対応する図５（ｃ）に示される
パルス、及び他端に対応する図５（ｄ）に示されるパル
スが入力されるまでカウントを行う。このときスタート
パルスＳＰ’V からスタートパルスＳＰV までの期間
（ＢＬRI−ＢＬ' RI）ＳRV／ＳRIは定数値で設定されて
いるので、カウント動作は該期間の経過後に行われる。
（ｅ）に示されるＣＣＤ１０９のスタートパルスＳＰ’
V が入力されると、クロックＣＬＫに基づき、それぞれ
被検査体１０５の一端に対応する図５（ｃ）に示される
パルス、及び他端に対応する図５（ｄ）に示されるパル
スが入力されるまでカウントを行う。このときスタート
パルスＳＰ’V からスタートパルスＳＰV までの期間
（ＢＬRI−ＢＬ' RI）ＳRV／ＳRIは定数値で設定されて
いるので、カウント動作は該期間の経過後に行われる。
【００３３】カウンタ４０５ａ、４０５ｂの出力は、そ
れぞれラッチ回路４０７ａ、４０７ｂに入力されてラッ
チされた後、分周回路４０９ａ、４０９ｂに入力され
る。分周回路４０９ａ、４０９ｂには、ＣＣＤ１０９の
動作周期をスキャナ１０１の動作周期に変換するための
分周値Ｎが設定されており、該分周値Ｎに基づき、図５
（ｅ）に示されるスタートパルスＳＰ’V から被検査体
１０５の一端及び他端までの期間を１／Ｎカウントす
る。分周回路４０９ａ、４０９ｂの出力は、それぞれ図
５（ｆ）、（ｇ）で示される。
れぞれラッチ回路４０７ａ、４０７ｂに入力されてラッ
チされた後、分周回路４０９ａ、４０９ｂに入力され
る。分周回路４０９ａ、４０９ｂには、ＣＣＤ１０９の
動作周期をスキャナ１０１の動作周期に変換するための
分周値Ｎが設定されており、該分周値Ｎに基づき、図５
（ｅ）に示されるスタートパルスＳＰ’V から被検査体
１０５の一端及び他端までの期間を１／Ｎカウントす
る。分周回路４０９ａ、４０９ｂの出力は、それぞれ図
５（ｆ）、（ｇ）で示される。
【００３４】以上の処理により、被検査体１０５の一端
と他端と対応する期間が得られる。図６は、表面検査信
号と図５に示したブロック図で処理された表面映像信号
との関係を示している。図６に示されるように、設定さ
れたＣＣＤ１０９のスタートパルスＳＰ' V と、スキャ
ナ１０１のスタートパルスＳＰI との位置は整合されて
おり、スタートパルスＳＰV から期間ＢＬV ／Ｎを経た
のちに、検査範囲を設定する被検査体１０５の一端を示
すパルスが立ち上がる。さらにまたスタートパルスＳＰ
V から期間（ＢＬV ＋ＳV ）／Ｎを経たのちに、検査範
囲を設定する被検査体１０５の他端を示すパルスが立ち
上がる。
と他端と対応する期間が得られる。図６は、表面検査信
号と図５に示したブロック図で処理された表面映像信号
との関係を示している。図６に示されるように、設定さ
れたＣＣＤ１０９のスタートパルスＳＰ' V と、スキャ
ナ１０１のスタートパルスＳＰI との位置は整合されて
おり、スタートパルスＳＰV から期間ＢＬV ／Ｎを経た
のちに、検査範囲を設定する被検査体１０５の一端を示
すパルスが立ち上がる。さらにまたスタートパルスＳＰ
V から期間（ＢＬV ＋ＳV ）／Ｎを経たのちに、検査範
囲を設定する被検査体１０５の他端を示すパルスが立ち
上がる。
【００３５】以上説明した処理の流れは図７に示され
る。すなわちＣＣＤ１０９により被検査体１０５が撮像
され、表面映像信号が図４に示した微分回路４０１に入
力される（Ｓ７０１）。つぎに表面映像信号は、２値化
回路４０３ａ、４０３ｂに入力され、被検査体１０５の
両端部が強調されるように微分されたのち、所定の閾値
により２値化され両端部信号が生成される（Ｓ７０
２）。
る。すなわちＣＣＤ１０９により被検査体１０５が撮像
され、表面映像信号が図４に示した微分回路４０１に入
力される（Ｓ７０１）。つぎに表面映像信号は、２値化
回路４０３ａ、４０３ｂに入力され、被検査体１０５の
両端部が強調されるように微分されたのち、所定の閾値
により２値化され両端部信号が生成される（Ｓ７０
２）。
【００３６】その後、カウンタ４０５ａ、４０５ｂによ
り、被検査体１０５の一端及び他端までの期間をカウン
トし、検査範囲信号を生成する（Ｓ７０３）。さらに、
分周回路４０９ａ、４０９ｂにより、ＣＣＤ１０９の動
作周期がスキャナ１０１の動作周期に一致するように変
換される（Ｓ７０４）。そして加算回路４１１ａ、４１
１ｂにより、ＣＣＤ１０９の動作とスキャナ１０１の動
作とを合わせるために、ＣＣＤ１０９のスタートパルス
を所定期間ずらし、新たに設定されたスタートパルスに
基づいて、表面検査範囲が設定される（Ｓ７０５）。
り、被検査体１０５の一端及び他端までの期間をカウン
トし、検査範囲信号を生成する（Ｓ７０３）。さらに、
分周回路４０９ａ、４０９ｂにより、ＣＣＤ１０９の動
作周期がスキャナ１０１の動作周期に一致するように変
換される（Ｓ７０４）。そして加算回路４１１ａ、４１
１ｂにより、ＣＣＤ１０９の動作とスキャナ１０１の動
作とを合わせるために、ＣＣＤ１０９のスタートパルス
を所定期間ずらし、新たに設定されたスタートパルスに
基づいて、表面検査範囲が設定される（Ｓ７０５）。
【００３７】以上説明した実施例では、スタートパルス
ＳＰ' V は、スタートパルスＳＰVの前に設定されてい
るが、スタートパルスＳＰV の後に設定することもでき
る。この場合、期間（ＢＬRI−ＢＬ' RV）は負極性にな
る。また以上説明した実施例では、表面検査範囲を、Ｃ
ＣＤ１０９と照明とが被検査体１０５を介してそれぞれ
反対側に配置された透過方式による撮像により設定する
場合について説明した。しかし表面検査範囲を、ＣＣＤ
１０９と照明とがそれぞれ同一側に配置された反射方式
による撮像により設定することもできる。この場合、図
５（ａ）に示した映像信号は、被検査体１０５に相当す
る輝度レベルがハイレベルになり、被検査体１０５以外
に相当する輝度レベルがロ−レベルになる。
ＳＰ' V は、スタートパルスＳＰVの前に設定されてい
るが、スタートパルスＳＰV の後に設定することもでき
る。この場合、期間（ＢＬRI−ＢＬ' RV）は負極性にな
る。また以上説明した実施例では、表面検査範囲を、Ｃ
ＣＤ１０９と照明とが被検査体１０５を介してそれぞれ
反対側に配置された透過方式による撮像により設定する
場合について説明した。しかし表面検査範囲を、ＣＣＤ
１０９と照明とがそれぞれ同一側に配置された反射方式
による撮像により設定することもできる。この場合、図
５（ａ）に示した映像信号は、被検査体１０５に相当す
る輝度レベルがハイレベルになり、被検査体１０５以外
に相当する輝度レベルがロ−レベルになる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明した発明によれば、表面検査装
置外部に配置される撮像手段で被検査体を撮像し、得ら
れる映像信号に基づいて検査範囲を設定している。従っ
て、検査範囲を正確に設定することができる。また撮像
手段が固定された状態で検査範囲の設定を行うため、被
検査体の一端及び他端を追動することに起因する機械的
故障の発生もなく、また追動範囲の確保に起因する装置
の大型化も回避することができる。
置外部に配置される撮像手段で被検査体を撮像し、得ら
れる映像信号に基づいて検査範囲を設定している。従っ
て、検査範囲を正確に設定することができる。また撮像
手段が固定された状態で検査範囲の設定を行うため、被
検査体の一端及び他端を追動することに起因する機械的
故障の発生もなく、また追動範囲の確保に起因する装置
の大型化も回避することができる。
【００３９】撮像手段による検査範囲設定と、表面検査
装置による表面検査との動作を合わせる場合は、撮像手
段の表面映像信号と表面検査装置の表面検査信号とを同
時に表示させる。そして各信号の各期間の比例関係か
ら、被検査体の幅が変わっても一定である値を得、この
値に基づいて表面映像信号のトリガを設定することによ
り容易に検査範囲設定と表面検査との動作を合わせるこ
とができる。
装置による表面検査との動作を合わせる場合は、撮像手
段の表面映像信号と表面検査装置の表面検査信号とを同
時に表示させる。そして各信号の各期間の比例関係か
ら、被検査体の幅が変わっても一定である値を得、この
値に基づいて表面映像信号のトリガを設定することによ
り容易に検査範囲設定と表面検査との動作を合わせるこ
とができる。
【図１】この発明の一実施例を示す概略構成図。
【図２】図１に示したスキャナ１０１の走査周期とＣＣ
Ｄ１０９の撮像周期との整合方法を説明する波形図。
Ｄ１０９の撮像周期との整合方法を説明する波形図。
【図３】図１に示したスキャナ１０１の走査周期とＣＣ
Ｄ１０９の撮像周期との整合方法を説明する波形図。
Ｄ１０９の撮像周期との整合方法を説明する波形図。
【図４】検査範囲を画成する被検査体１０５の各端部を
検出するためのブロック図。
検出するためのブロック図。
【図５】図４に示したブロック図の各出力を示す波形
図。
図。
【図６】時間軸変換された表面映像信号と表面検査信号
との関係を示す波形図。
との関係を示す波形図。
【図７】図４に示したブロック図の処理の流れを示すフ
ローチャート。
ローチャート。
【図８】表面検査に係わる光電変換後の信号波形を示す
波形図。
波形図。
１０１ スキャナ １０３ 搬送ローラ １０５ 被検査体 １０７ 受光センサ １０９ ＣＣＤ ４０１ 微分回路 ４０３ａ、４０３ｂ ２値化回路 ４０５ａ、４０５ｂ カウンタ ４０７ａ、４０７ｂ ラッチ回路 ４０９ａ、４０９ｂ 分周回路
Claims (3)
- 【請求項１】 搬送される被検査体に光線を照射し、該
光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化によ
り前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被検
査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表面
検査装置の検査範囲設定方法において、 前記表面検査装置外部に配置される撮像手段により前記
被検査体を撮像して映像信号を得、該映像信号に基づい
て前記検査範囲を設定するようにしたことを特徴とする
表面検査装置の検査範囲設定方法。 - 【請求項２】 搬送される被検査体に光線を照射し、該
光線の反射方向に配置された受光センサの出力変化によ
り前記被検査体の表面欠陥を検出するとともに、該被検
査体の検査範囲を設定して前記表面欠陥を検出する表面
検査装置の検査範囲設定方法において、 基準物体に光線を照射し、前記受光センサから出力され
る検査信号を得るとともに、該信号とは異なる周期で動
作する撮像手段により前記基準物体を撮像して映像信号
を得、 前記検査信号の前記被検査体に相当する第１の出力期間
と前記映像信号の前記被検査体に相当する第２の出力期
間とで設定される出力期間比に基づいて前記検査信号に
整合した前記映像信号の整合パルスを設定し、前記検査
信号に整合した前記映像信号に基づいて前記検査範囲を
設定するようにしたことを特徴とする表面検査装置の検
査範囲設定方法。 - 【請求項３】 前記出力期間比に、前記映像信号のトリ
ガパルスから前記第２の出力期間までのブランキング期
間に乗じて得られる期間を、前記第１の出力期間から得
るように仮想パルスを想定し、 前記検査信号のトリガパルスと前記仮想パルスとで設定
される期間に前記出力期間比を考慮して得られる期間
を、前記映像信号のトリガパルスから得るように整合パ
ルスを設定して前記検査信号と前記映像信号との位置を
整合し、 前記検査信号に整合した前記映像信号に基づいて前記検
査範囲を設定するようにしたことを特徴とする請求項２
記載の表面検査装置の検査範囲設定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35284092A JPH06180296A (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 表面検査装置の検査範囲設定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35284092A JPH06180296A (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 表面検査装置の検査範囲設定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06180296A true JPH06180296A (ja) | 1994-06-28 |
Family
ID=18426801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35284092A Pending JPH06180296A (ja) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | 表面検査装置の検査範囲設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06180296A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001318059A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-16 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 欠陥検査装置 |
-
1992
- 1992-12-14 JP JP35284092A patent/JPH06180296A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001318059A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-16 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 欠陥検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR850000855B1 (ko) | 흠(hurt)검사 장치 | |
| JP3751660B2 (ja) | 規則的パターンの欠陥検査装置 | |
| JPH06180296A (ja) | 表面検査装置の検査範囲設定方法 | |
| JP3224083B2 (ja) | 板ガラスの欠点検出方法およびその装置 | |
| EP0540018A2 (en) | A cylindrical container inner surface tester based on an image processing technology | |
| JPS61176838A (ja) | 透明または半透明の板状体の欠点検査方法 | |
| JP2000214102A (ja) | 異物検出装置および異物検出装置を含むプロセスライン | |
| JPH10185830A (ja) | 透明シート検査装置 | |
| JPH0763699A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP3340879B2 (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 | |
| JPH02113375A (ja) | 傷検出装置 | |
| JPH01214743A (ja) | 光学検査装置 | |
| JPS5927859B2 (ja) | ガラスビン胴部の欠陥検査装置 | |
| JPH05164702A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH0749930B2 (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JP2001091470A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS5868651A (ja) | 感光性フイルムの表面検査装置 | |
| JPS5940242A (ja) | 瓶類のスカツフ検査装置 | |
| JP2701872B2 (ja) | 面付パターンの欠陥検査装置 | |
| JPS58744A (ja) | 瓶類の検査方法 | |
| JPS6216372B2 (ja) | ||
| JPH07111405B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0663979B2 (ja) | ヒビ、ワレの検出装置 | |
| JPH02201208A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0399209A (ja) | 実装基板検査装置 |