JPH06177316A - Tabテープ実装用リードフレーム及びその実装方法 - Google Patents
Tabテープ実装用リードフレーム及びその実装方法Info
- Publication number
- JPH06177316A JPH06177316A JP4351212A JP35121292A JPH06177316A JP H06177316 A JPH06177316 A JP H06177316A JP 4351212 A JP4351212 A JP 4351212A JP 35121292 A JP35121292 A JP 35121292A JP H06177316 A JPH06177316 A JP H06177316A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- tab tape
- lead frame
- bonding
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ボンディング部のリードの厚さにばらつきが
ある場合でもリードフレームに確実にTABテープを実
装できるようにする。 【構成】 TABテープ16のアウターリード部20を
リードフレームのインナーリード10上にボンディング
して実装するTABテープ実装用リードフレームにおい
て、前記インナーリード10の前記TABテープ16を
接合する面とは反対側の面に、TABテープ16をボン
ディングする際に前記インナーリード10あるいは前記
アウターリード部20の厚さのばらつきを吸収する緩衝
作用を有するクッション体24を設けたことを特徴とす
る。
ある場合でもリードフレームに確実にTABテープを実
装できるようにする。 【構成】 TABテープ16のアウターリード部20を
リードフレームのインナーリード10上にボンディング
して実装するTABテープ実装用リードフレームにおい
て、前記インナーリード10の前記TABテープ16を
接合する面とは反対側の面に、TABテープ16をボン
ディングする際に前記インナーリード10あるいは前記
アウターリード部20の厚さのばらつきを吸収する緩衝
作用を有するクッション体24を設けたことを特徴とす
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はTABテープ実装用リー
ドフレーム及びその実装方法に関する。
ドフレーム及びその実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体チップの高集積化とともにこれを
搭載するリードフレームはますます多ピン化している
が、リードの多ピン化に対応する方法として半導体チッ
プの電極とインナーリード部分をTABテープによって
接続したリードフレームが提供されている。このリード
フレームはTABテープのアウターリード部をリードフ
レームのインナーリードに接合することによってTAB
テープを支持している。
搭載するリードフレームはますます多ピン化している
が、リードの多ピン化に対応する方法として半導体チッ
プの電極とインナーリード部分をTABテープによって
接続したリードフレームが提供されている。このリード
フレームはTABテープのアウターリード部をリードフ
レームのインナーリードに接合することによってTAB
テープを支持している。
【0003】TABテープは電気的絶縁性を有するベー
スフィルム上にリードパターンを形成するがリードフレ
ームのインナーリードとTABテープとを接続する場合
にはTABテープの1本1本のリードとリードフレーム
のインナーリードとを各々1本ずつ対応させて接合す
る。このTABテープのアウターリード部とリードフレ
ームのインナーリードとを接合する場合、通常は一括ボ
ンディングによってTABテープのすべてのリードをイ
ンナーリードに接合する。
スフィルム上にリードパターンを形成するがリードフレ
ームのインナーリードとTABテープとを接続する場合
にはTABテープの1本1本のリードとリードフレーム
のインナーリードとを各々1本ずつ対応させて接合す
る。このTABテープのアウターリード部とリードフレ
ームのインナーリードとを接合する場合、通常は一括ボ
ンディングによってTABテープのすべてのリードをイ
ンナーリードに接合する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】TABテープをリード
フレームに一括ボンディングする場合にはリードフレー
ムの下面をボンディング台で加熱しつつ支持する一方、
ボンディングツールでTABテープのアウターリード部
をリードフレームのインナーリードに押圧し、ボンディ
ングツールとボンディング台との間でTABテープとリ
ードフレームとを挟圧するようにして接合する。このよ
うにTABテープのアウターリード部はボンディングツ
ールの押圧力によってリードフレームのインナーリード
に密着して接合されるのであるが、リードフレームやT
ABテープに厚さのばらつきがあると、ボンディングツ
ールの押圧力が各々のリードに均等に作用せず、TAB
テープのアウターリード部とリードフレームのインナー
リードとの接合強度にばらつきが生じたり、場合によっ
ては未着になったりするという問題点が生じる。
フレームに一括ボンディングする場合にはリードフレー
ムの下面をボンディング台で加熱しつつ支持する一方、
ボンディングツールでTABテープのアウターリード部
をリードフレームのインナーリードに押圧し、ボンディ
ングツールとボンディング台との間でTABテープとリ
ードフレームとを挟圧するようにして接合する。このよ
うにTABテープのアウターリード部はボンディングツ
ールの押圧力によってリードフレームのインナーリード
に密着して接合されるのであるが、リードフレームやT
ABテープに厚さのばらつきがあると、ボンディングツ
ールの押圧力が各々のリードに均等に作用せず、TAB
テープのアウターリード部とリードフレームのインナー
リードとの接合強度にばらつきが生じたり、場合によっ
ては未着になったりするという問題点が生じる。
【0005】ボンディングツールはTABテープのリー
ドをまとめて押圧するから、すべてのリードが均一の厚
さであれば各々のリードに所要のボンディング圧が作用
するのであるが、中に薄厚のリードがあったりするとそ
のリードに対しては必要なボンディング圧が作用せず、
また熱伝導率が低下して所定の接合強度が得られなくな
る。リード厚のばらつきが生じる原因は多くはめっきを
施した場合のめっきのつき方のばらつきによるものであ
る。このめっきによるばらつきはリードフレームのイン
ナーリード部分とTABテープのアウターリード部分の
両方に生じる。
ドをまとめて押圧するから、すべてのリードが均一の厚
さであれば各々のリードに所要のボンディング圧が作用
するのであるが、中に薄厚のリードがあったりするとそ
のリードに対しては必要なボンディング圧が作用せず、
また熱伝導率が低下して所定の接合強度が得られなくな
る。リード厚のばらつきが生じる原因は多くはめっきを
施した場合のめっきのつき方のばらつきによるものであ
る。このめっきによるばらつきはリードフレームのイン
ナーリード部分とTABテープのアウターリード部分の
両方に生じる。
【0006】一括ボンディングに際しては上記の厚さの
ばらつきが吸収できるようにTABテープとリードフレ
ームにある程度の圧力をかけてボンディングするように
しているのであるが、TABテープの場合にはリードの
厚さが数十μmと非常に薄いため材厚による緩衝作用が
小さく、僅かな厚さのばらつきがリードの接合性に影響
を与えるという問題点があった。そこで、本発明は上記
問題点を解消すべくなされたものであり、その目的とす
るところは、リードフレームにTABテープを実装する
際にTABテープを好適に接合して実装することのでき
るリードフレーム及びその実装方法を提供しようとする
ものである。
ばらつきが吸収できるようにTABテープとリードフレ
ームにある程度の圧力をかけてボンディングするように
しているのであるが、TABテープの場合にはリードの
厚さが数十μmと非常に薄いため材厚による緩衝作用が
小さく、僅かな厚さのばらつきがリードの接合性に影響
を与えるという問題点があった。そこで、本発明は上記
問題点を解消すべくなされたものであり、その目的とす
るところは、リードフレームにTABテープを実装する
際にTABテープを好適に接合して実装することのでき
るリードフレーム及びその実装方法を提供しようとする
ものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、TABテープの
アウターリード部をリードフレームのインナーリード上
にボンディングして実装するTABテープ実装用リード
フレームにおいて、前記インナーリードの前記TABテ
ープを接合する面とは反対側の面に、TABテープをボ
ンディングする際に前記インナーリードあるいは前記ア
ウターリード部の厚さのばらつきを吸収する緩衝作用を
有するクッション体を設けたことを特徴とする。また、
前記クッション体が電気的絶縁性を有する絶縁フィルム
によって形成され、該絶縁フィルムが複数の前記インナ
ーリード先端間をつないで接合されたことを特徴とす
る。また、TABテープのリードフレームへの実装方法
として、前記TABテープ実装用リードフレームをその
クッション体をボンディングツールのボンディング台側
にしてセットし、リードフレームのインナーリードにT
ABテープのアウターリード部を位置決めするととも
に、ボンディングツールのプレスツールで前記アウター
リード部を前記インナーリードに押圧することにより、
前記プレスツールと前記ボンディング台とで前記インナ
ーリードおよび前記アウターリード部および前記クッシ
ョン体を挟圧、加熱して前記アウターリード部を前記イ
ンナーリードに接合することを特徴とする。
するため次の構成を備える。すなわち、TABテープの
アウターリード部をリードフレームのインナーリード上
にボンディングして実装するTABテープ実装用リード
フレームにおいて、前記インナーリードの前記TABテ
ープを接合する面とは反対側の面に、TABテープをボ
ンディングする際に前記インナーリードあるいは前記ア
ウターリード部の厚さのばらつきを吸収する緩衝作用を
有するクッション体を設けたことを特徴とする。また、
前記クッション体が電気的絶縁性を有する絶縁フィルム
によって形成され、該絶縁フィルムが複数の前記インナ
ーリード先端間をつないで接合されたことを特徴とす
る。また、TABテープのリードフレームへの実装方法
として、前記TABテープ実装用リードフレームをその
クッション体をボンディングツールのボンディング台側
にしてセットし、リードフレームのインナーリードにT
ABテープのアウターリード部を位置決めするととも
に、ボンディングツールのプレスツールで前記アウター
リード部を前記インナーリードに押圧することにより、
前記プレスツールと前記ボンディング台とで前記インナ
ーリードおよび前記アウターリード部および前記クッシ
ョン体を挟圧、加熱して前記アウターリード部を前記イ
ンナーリードに接合することを特徴とする。
【0008】
【作用】リードフレームをボンディングツールのボンデ
ィング台にセットし、TABテープをリードフレームの
インナーリードに対して位置決めし、プレスツールでT
ABテープのアウターリード部を押圧することによって
ボンディングする。ボンディングツールでリードフレー
ムとTABテープを挟圧してボンディング圧を加えた際
にクッション体の緩衝作用によってリードフレームのイ
ンナーリードの厚さあるいはTABテープのアウターリ
ード部の厚さのばらつきを吸収し、どのリードに対して
も所要のボンディング圧でボンディングする。これによ
って、所定の接合強度でTABテープを確実にリードフ
レームに実装することができる。
ィング台にセットし、TABテープをリードフレームの
インナーリードに対して位置決めし、プレスツールでT
ABテープのアウターリード部を押圧することによって
ボンディングする。ボンディングツールでリードフレー
ムとTABテープを挟圧してボンディング圧を加えた際
にクッション体の緩衝作用によってリードフレームのイ
ンナーリードの厚さあるいはTABテープのアウターリ
ード部の厚さのばらつきを吸収し、どのリードに対して
も所要のボンディング圧でボンディングする。これによ
って、所定の接合強度でTABテープを確実にリードフ
レームに実装することができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームにTABテープを実装した実施例を示す。図で10
はリードフレームのインナーリード、12はリードフレ
ームのダイパッド、14はダイパッド12上にダイ付け
した半導体チップである。TABテープ16はそのイン
ナーリード部18が半導体チップ14にボンディングさ
れて接続されるとともにアウターリード部20がインナ
ーリード10の上面にボンディングされる。22はTA
Bテープ16のベースフィルムである。
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームにTABテープを実装した実施例を示す。図で10
はリードフレームのインナーリード、12はリードフレ
ームのダイパッド、14はダイパッド12上にダイ付け
した半導体チップである。TABテープ16はそのイン
ナーリード部18が半導体チップ14にボンディングさ
れて接続されるとともにアウターリード部20がインナ
ーリード10の上面にボンディングされる。22はTA
Bテープ16のベースフィルムである。
【0010】本発明に係るリードフレームはリードフレ
ームのインナーリード部分でTABテープを接合する面
とは反対側の面にクッション体を付着させることを特徴
とする。図1に示す実施例ではクッション体として電気
的絶縁性を有する絶縁フィルム24を設けている。この
絶縁フィルム24はテープ状に形成し、リードフレーム
のインナーリード10間に貼着することによってリード
フレームのインナーリード10先端のばらつきを防止す
るとともにTABテープ16をリードフレームのインナ
ーリード10にボンディングする際にクッション性を付
与するものである。
ームのインナーリード部分でTABテープを接合する面
とは反対側の面にクッション体を付着させることを特徴
とする。図1に示す実施例ではクッション体として電気
的絶縁性を有する絶縁フィルム24を設けている。この
絶縁フィルム24はテープ状に形成し、リードフレーム
のインナーリード10間に貼着することによってリード
フレームのインナーリード10先端のばらつきを防止す
るとともにTABテープ16をリードフレームのインナ
ーリード10にボンディングする際にクッション性を付
与するものである。
【0011】30はボンディングツールのボンディング
台、32はプレスツールである。リードフレームは図の
ようにボンディング台30上にセットするから前記絶縁
フィルム24はボンディング台30に接する側に位置す
る。ボンディング台30はリードフレームのインナーリ
ード10およびTABテープ16を加熱するため所定温
度に熱せられる。したがって、絶縁フィルム24は所要
の耐熱性を有する材料とする必要がある。絶縁フィルム
24としては、たとえば、ポリイミド等の耐熱性材が使
用できる。
台、32はプレスツールである。リードフレームは図の
ようにボンディング台30上にセットするから前記絶縁
フィルム24はボンディング台30に接する側に位置す
る。ボンディング台30はリードフレームのインナーリ
ード10およびTABテープ16を加熱するため所定温
度に熱せられる。したがって、絶縁フィルム24は所要
の耐熱性を有する材料とする必要がある。絶縁フィルム
24としては、たとえば、ポリイミド等の耐熱性材が使
用できる。
【0012】リードフレームは上記のようにTABテー
プを接合する面とは反対側のインナーリード10の面に
絶縁フィルム24を接合した状態で製品化される。この
リードフレームを用いて半導体装置とする場合は次のよ
うにして行う。まず、リードフレームのダイパッド12
にTABテープが接続された半導体チップ14をダイ付
けする。TABテープのインナーリード部18と半導体
チップ14とのボンディングは、半導体チップ14の各
々のバンプとインナーリード部18とを一括してボンデ
ィングする方法による。
プを接合する面とは反対側のインナーリード10の面に
絶縁フィルム24を接合した状態で製品化される。この
リードフレームを用いて半導体装置とする場合は次のよ
うにして行う。まず、リードフレームのダイパッド12
にTABテープが接続された半導体チップ14をダイ付
けする。TABテープのインナーリード部18と半導体
チップ14とのボンディングは、半導体チップ14の各
々のバンプとインナーリード部18とを一括してボンデ
ィングする方法による。
【0013】次に、TABテープ16のアウターリード
部20をリードフレームのインナーリード10に接合す
る。このボンディングの場合は、図1に示すようにボン
ディング台30にリードフレームをセットするととも
に、ボンディング台30とプレスツール32間でリード
フレームのインナーリード10およびTABテープのア
ウターリード部20を挟圧するようにプレスツール32
でTABテープのアウターリード部20を押圧する。リ
ードフレームのインナーリード10およびTABテープ
のアウターリード部20は加熱および加圧されることに
よって接合される。
部20をリードフレームのインナーリード10に接合す
る。このボンディングの場合は、図1に示すようにボン
ディング台30にリードフレームをセットするととも
に、ボンディング台30とプレスツール32間でリード
フレームのインナーリード10およびTABテープのア
ウターリード部20を挟圧するようにプレスツール32
でTABテープのアウターリード部20を押圧する。リ
ードフレームのインナーリード10およびTABテープ
のアウターリード部20は加熱および加圧されることに
よって接合される。
【0014】上記絶縁フィルム24はボンディング台3
0とプレスツール24間に介在してそのクッション性に
よってリードフレームのインナーリード10の厚さある
いはTABテープ16のアウターリード部20の厚さの
ばらつきを吸収するように作用する。リードフレームの
インナーリード10およびTABテープのアウターリー
ド部20に厚さのばらつきがあってボンディング圧が有
効に作用しない部分があるような場合でも、絶縁フィル
ム24のクッション性によって厚さのばらつきを吸収し
て均等にボンディング圧を作用させることが可能とな
り、所要のボンディング強度を得ることができる。ボン
ディング時には絶縁フィルム24を介してリードフレー
ムおよびTABテープが加熱されて接合される。各々の
リードに対してボンディング圧を効果的に作用させるこ
とにより熱伝導も有効になされて確実にボンディングで
きる。また、クッション体はリードフレームのインナー
リードを形成するエッチング工程またはプレス工程の後
にインナーリードに設けるので後工程においてインナー
リードの変形を防止する効果がある。
0とプレスツール24間に介在してそのクッション性に
よってリードフレームのインナーリード10の厚さある
いはTABテープ16のアウターリード部20の厚さの
ばらつきを吸収するように作用する。リードフレームの
インナーリード10およびTABテープのアウターリー
ド部20に厚さのばらつきがあってボンディング圧が有
効に作用しない部分があるような場合でも、絶縁フィル
ム24のクッション性によって厚さのばらつきを吸収し
て均等にボンディング圧を作用させることが可能とな
り、所要のボンディング強度を得ることができる。ボン
ディング時には絶縁フィルム24を介してリードフレー
ムおよびTABテープが加熱されて接合される。各々の
リードに対してボンディング圧を効果的に作用させるこ
とにより熱伝導も有効になされて確実にボンディングで
きる。また、クッション体はリードフレームのインナー
リードを形成するエッチング工程またはプレス工程の後
にインナーリードに設けるので後工程においてインナー
リードの変形を防止する効果がある。
【0015】なお、上記実施例ではクッション体として
電気的絶縁性を有する絶縁フィルム24を用いたが、ク
ッション体は厚さのばらつきを吸収できる緩衝作用を有
するものであればよく種々材料が使用可能である。たと
えば、接着剤シート、接着剤付きテープ、ワニス等が使
用できる。また、リードフレームのインナーリードにク
ッション体を設ける場合も、貼着、印刷、ポッティング
等の各種方法が利用できる。
電気的絶縁性を有する絶縁フィルム24を用いたが、ク
ッション体は厚さのばらつきを吸収できる緩衝作用を有
するものであればよく種々材料が使用可能である。たと
えば、接着剤シート、接着剤付きテープ、ワニス等が使
用できる。また、リードフレームのインナーリードにク
ッション体を設ける場合も、貼着、印刷、ポッティング
等の各種方法が利用できる。
【0016】
【発明の効果】本発明に係るTABテープ実装用リード
フレーム及びその実装方法によれば、上述したように、
リードフレームに確実にTABテープを実装することが
でき、ボンディング部のリードの厚さ等のばらつきによ
って接合したリードで所定の接合強度が得られないとい
った問題が生じることを防止することができる等の著効
を奏する。
フレーム及びその実装方法によれば、上述したように、
リードフレームに確実にTABテープを実装することが
でき、ボンディング部のリードの厚さ等のばらつきによ
って接合したリードで所定の接合強度が得られないとい
った問題が生じることを防止することができる等の著効
を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】TABテープ実装用リードフレームにTABテ
ープを実装した様子を示す説明図である。
ープを実装した様子を示す説明図である。
10 インナーリード 12 ダイパッド 14 半導体チップ 16 TABテープ 18 インナーリード部 20 アウターリード部 22 ベースフィルム 24 絶縁フィルム 30 ボンディング台 32 プレスツール
Claims (3)
- 【請求項1】 TABテープのアウターリード部をリー
ドフレームのインナーリード上にボンディングして実装
するTABテープ実装用リードフレームにおいて、 前記インナーリードの前記TABテープを接合する面と
は反対側の面に、TABテープをボンディングする際に
前記インナーリードあるいは前記アウターリード部の厚
さのばらつきを吸収する緩衝作用を有するクッション体
を設けたことを特徴とするTABテープ実装用リードフ
レーム。 - 【請求項2】 クッション体が電気的絶縁性を有する絶
縁フィルムによって形成され、該絶縁フィルムが複数の
インナーリード先端間をつないで接合されたことを特徴
とする請求項1記載のTABテープ実装用リードフレー
ム。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載のTABテープ実装
用リードフレームをそのクッション体をボンディングツ
ールのボンディング台側にしてセットし、 リードフレームのインナーリードにTABテープのアウ
ターリード部を位置決めするとともに、ボンディングツ
ールのプレスツールで前記アウターリード部を前記イン
ナーリードに押圧することにより、前記プレスツールと
前記ボンディング台とで前記インナーリードおよび前記
アウターリード部および前記クッション体を挟圧、加熱
して前記アウターリード部を前記インナーリードに接合
することを特徴とするTABテープのリードフレームへ
の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4351212A JPH06177316A (ja) | 1992-12-07 | 1992-12-07 | Tabテープ実装用リードフレーム及びその実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4351212A JPH06177316A (ja) | 1992-12-07 | 1992-12-07 | Tabテープ実装用リードフレーム及びその実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06177316A true JPH06177316A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18415811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4351212A Pending JPH06177316A (ja) | 1992-12-07 | 1992-12-07 | Tabテープ実装用リードフレーム及びその実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06177316A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129674A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Nec Kyushu Ltd | Tab型半導体装置用リードフレーム |
US7154166B2 (en) * | 2001-08-15 | 2006-12-26 | Texas Instruments Incorporated | Low profile ball-grid array package for high power |
-
1992
- 1992-12-07 JP JP4351212A patent/JPH06177316A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09129674A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Nec Kyushu Ltd | Tab型半導体装置用リードフレーム |
US7154166B2 (en) * | 2001-08-15 | 2006-12-26 | Texas Instruments Incorporated | Low profile ball-grid array package for high power |
US7350293B2 (en) | 2001-08-15 | 2008-04-01 | Texas Instruments Incorporated | Low profile ball-grid array package for high power |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5221642A (en) | Lead-on-chip integrated circuit fabrication method | |
US5140404A (en) | Semiconductor device manufactured by a method for attaching a semiconductor die to a leadframe using a thermoplastic covered carrier tape | |
US5177032A (en) | Method for attaching a semiconductor die to a leadframe using a thermoplastic covered carrier tape | |
US6559523B2 (en) | Device for attaching a semiconductor chip to a chip carrier | |
JP3227357B2 (ja) | リード付き基板の接合方法 | |
JPH06177316A (ja) | Tabテープ実装用リードフレーム及びその実装方法 | |
US5142450A (en) | Non-contact lead design and package | |
JP3022910B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS60120543A (ja) | 半導体装置およびそれに用いるリ−ドフレ−ム | |
JP2954118B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JPS6386530A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0236556A (ja) | ピングリッドアレイおよび半導体素子塔載方法 | |
JPH0547833A (ja) | Tabチツプの搭載用基板 | |
JP3513793B2 (ja) | 圧着介在用テープ構造 | |
JP3408971B2 (ja) | フリップチップ実装用キャリア | |
JP3041318B2 (ja) | 半導体装置のボンディング装置 | |
KR100673943B1 (ko) | 리드프레임 고정장치 | |
JP3287233B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH07283265A (ja) | ボンディング用加熱装置 | |
JP3029023B2 (ja) | ボンディングツール | |
JPH0897246A (ja) | 半導体チップのボンディング方法及び加圧ヘッド構造 | |
KR950008237B1 (ko) | 반도체 패키지 제조방법 | |
KR100229223B1 (ko) | 리드 온 칩형 반도체 패키지 | |
JP3343062B2 (ja) | 部分メッキ装置 | |
JP2789817B2 (ja) | ボンディング装置及びボンディング装置の調整方法 |