JPH06175050A - 光制御素子及び撮像装置 - Google Patents
光制御素子及び撮像装置Info
- Publication number
- JPH06175050A JPH06175050A JP4331686A JP33168692A JPH06175050A JP H06175050 A JPH06175050 A JP H06175050A JP 4331686 A JP4331686 A JP 4331686A JP 33168692 A JP33168692 A JP 33168692A JP H06175050 A JPH06175050 A JP H06175050A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- mirror
- fixed
- light control
- control element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ミラーの支持部材のねじり剛性を低くするこ
とによりミラーを回転させてもミラー面が歪まない光制
御素子を得ることを目的とする。 【構成】 入射光を反射するミラー４、上記ミラー４を
回転できるように支持するフレキシブルピボット３１、
３２、上記フレキシブルピボット３１、３２を固定する
ビーム７、上記ビーム７に固定され上記ミラー４を駆動
する電極２１から構成される光制御素子３において、ミ
ラー４の支持部材として互いに垂直に接合した２枚の薄
板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピボッ
ト３１、３２を用いる。
とによりミラーを回転させてもミラー面が歪まない光制
御素子を得ることを目的とする。 【構成】 入射光を反射するミラー４、上記ミラー４を
回転できるように支持するフレキシブルピボット３１、
３２、上記フレキシブルピボット３１、３２を固定する
ビーム７、上記ビーム７に固定され上記ミラー４を駆動
する電極２１から構成される光制御素子３において、ミ
ラー４の支持部材として互いに垂直に接合した２枚の薄
板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピボッ
ト３１、３２を用いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、車両・船舶・航空機
等の移動体に搭載する撮像機器及びビデオカメラなどの
分野において有用な空間光変調器としての機能を有する
光制御素子及び、光制御素子を用いた撮像装置に関する
ものである。
等の移動体に搭載する撮像機器及びビデオカメラなどの
分野において有用な空間光変調器としての機能を有する
光制御素子及び、光制御素子を用いた撮像装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の光制御素子の構成例を示す
図である（特開平３−４−０６９３号公報参照）。図７
ａにおいて、１はミラー装置、２は面、３は複数個マト
リクス状に並べられ面状に配置された光制御素子であ
る。光制御素子３の詳細を示す図７ｂにおいて、４はミ
ラー、５と６はミラー４を支持するねじりヒンジ、７は
ねじりヒンジ５と６が固定されるビームである。
図である（特開平３−４−０６９３号公報参照）。図７
ａにおいて、１はミラー装置、２は面、３は複数個マト
リクス状に並べられ面状に配置された光制御素子であ
る。光制御素子３の詳細を示す図７ｂにおいて、４はミ
ラー、５と６はミラー４を支持するねじりヒンジ、７は
ねじりヒンジ５と６が固定されるビームである。
【０００３】図８は上記光制御素子の動作を示す図であ
る。ミラー４は、垂直面１１に対して、破線１２で示す
位置から破線１３で示す位置へ軸１４を中心に移動可能
である。「オン」状態の位置においては、ミラー４の縁
１５はランディング電極１６に接触する。ミラー４は適
切な電圧を制御電極１７に加えることによって、「オ
ン」位置へ移動させられる。この制御電極１７上の電圧
は正電極１８に加えられ、そしてインバータ１９を介し
て負電極２０に加えられる。差動バイアスが電極２１を
介してミラー４に加えられる。
る。ミラー４は、垂直面１１に対して、破線１２で示す
位置から破線１３で示す位置へ軸１４を中心に移動可能
である。「オン」状態の位置においては、ミラー４の縁
１５はランディング電極１６に接触する。ミラー４は適
切な電圧を制御電極１７に加えることによって、「オ
ン」位置へ移動させられる。この制御電極１７上の電圧
は正電極１８に加えられ、そしてインバータ１９を介し
て負電極２０に加えられる。差動バイアスが電極２１を
介してミラー４に加えられる。
【０００４】「オフ」状態の時は、ミラー４は、負電圧
を制御電極１７に加えて、破線１３で示す位置へ回転さ
せる。
を制御電極１７に加えて、破線１３で示す位置へ回転さ
せる。
【０００５】ミラー装置１は、上記光制御素子３が複数
個マトリクス状に並べられ、面状に配置されており、各
々のミラーが個々にまたは同時に制御可能である。
個マトリクス状に並べられ、面状に配置されており、各
々のミラーが個々にまたは同時に制御可能である。
【０００６】次に撮像装置についてであるが、図９に従
来の撮像装置の構成例を示す。図において、４１は撮像
素子、４２は撮像素子４１を内蔵した撮像部、４３は撮
像部４２が固定されるフレーム、４４はフレーム４３に
固定されたジャイロ、４５はフレーム４３に支持された
軸受け、４６は撮像部４２の視軸に対して垂直な１つの
軸に関して回転可能な状態で軸受け４５に支持された可
動ミラー、４７はフレーム４３に支持され可動ミラー４
７を駆動するモータ、４８はジャイロ４４からの信号を
基にモータ４６を制御する電子制御装置、４９は可動ミ
ラー４６のフレーム４３に対する角度を検出する角度セ
ンサ、５０はフレーム４３に固定された固定ミラーであ
る。
来の撮像装置の構成例を示す。図において、４１は撮像
素子、４２は撮像素子４１を内蔵した撮像部、４３は撮
像部４２が固定されるフレーム、４４はフレーム４３に
固定されたジャイロ、４５はフレーム４３に支持された
軸受け、４６は撮像部４２の視軸に対して垂直な１つの
軸に関して回転可能な状態で軸受け４５に支持された可
動ミラー、４７はフレーム４３に支持され可動ミラー４
７を駆動するモータ、４８はジャイロ４４からの信号を
基にモータ４６を制御する電子制御装置、４９は可動ミ
ラー４６のフレーム４３に対する角度を検出する角度セ
ンサ、５０はフレーム４３に固定された固定ミラーであ
る。
【０００７】図１０は上記撮像装置の動作を示すブロッ
ク図である。フレーム４３の動揺をジャイロ４４により
検出し、そのジャイロ信号を基に可動ミラー４６の空間
に対する動揺がゼロとなるように電子制御装置４８でモ
ータ４７を制御し、可動ミラー４６を駆動させる。電子
制御装置４８の指令値に対する可動ミラー４６の指向誤
差をジャイロ４４の積分値と角度センサ４９の測定値の
差により検出し、電子制御装置４８でフィードバックす
ることにより、撮像装置全体の動揺に伴う画像振れを防
止することができる。
ク図である。フレーム４３の動揺をジャイロ４４により
検出し、そのジャイロ信号を基に可動ミラー４６の空間
に対する動揺がゼロとなるように電子制御装置４８でモ
ータ４７を制御し、可動ミラー４６を駆動させる。電子
制御装置４８の指令値に対する可動ミラー４６の指向誤
差をジャイロ４４の積分値と角度センサ４９の測定値の
差により検出し、電子制御装置４８でフィードバックす
ることにより、撮像装置全体の動揺に伴う画像振れを防
止することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の光制御素子は、
電荷を帯びたミラーを電気的吸引力により回転させる
と、ミラーを支持しているねじりヒンジが薄板であるた
めねじり剛性が高く、その結果としてミラー面が歪むこ
とがミラー面のより高精度な反射面の制御の妨げとなっ
ていた。
電荷を帯びたミラーを電気的吸引力により回転させる
と、ミラーを支持しているねじりヒンジが薄板であるた
めねじり剛性が高く、その結果としてミラー面が歪むこ
とがミラー面のより高精度な反射面の制御の妨げとなっ
ていた。
【０００９】また従来の撮像装置は、画像を空間的に安
定させる機構がモータ駆動タイプの１つのみであること
により、空間安定化精度の向上の妨げとなる軸受けの摩
耗トルクの影響が残るため、移動体に搭載する撮像機器
などにおいて画像追尾処理を行うのに必要なレベル、ま
たはビデオカメラなどにおいて目視により認識できない
レベル、つまり撮像素子の１／２画素以下に画像の振れ
を抑えることにより画像の振れが残っていることが画像
から判断できないレベルに、撮像装置の動揺に伴う画像
の振れを抑えることができないという問題があった。
定させる機構がモータ駆動タイプの１つのみであること
により、空間安定化精度の向上の妨げとなる軸受けの摩
耗トルクの影響が残るため、移動体に搭載する撮像機器
などにおいて画像追尾処理を行うのに必要なレベル、ま
たはビデオカメラなどにおいて目視により認識できない
レベル、つまり撮像素子の１／２画素以下に画像の振れ
を抑えることにより画像の振れが残っていることが画像
から判断できないレベルに、撮像装置の動揺に伴う画像
の振れを抑えることができないという問題があった。
【００１０】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、ミラーの支持部材のねじり剛
性を低くすることによりミラーを回転させてもミラー面
が歪まない光制御素子を、また摩擦トルクを低減するこ
とにより空間安定化精度が向上する撮像装置を得ること
を目的とする。
るためになされたもので、ミラーの支持部材のねじり剛
性を低くすることによりミラーを回転させてもミラー面
が歪まない光制御素子を、また摩擦トルクを低減するこ
とにより空間安定化精度が向上する撮像装置を得ること
を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の１自由度の光
制御素子は、ミラーを支持する部材としてフレキシブル
ピボットを用いたものである。
制御素子は、ミラーを支持する部材としてフレキシブル
ピボットを用いたものである。
【００１２】またこの発明の自由度２の光制御素子は、
ミラーを２軸に回転可能に支持するためにフレームとフ
レキシブルピボットを追加したものである。
ミラーを２軸に回転可能に支持するためにフレームとフ
レキシブルピボットを追加したものである。
【００１３】この発明の撮像装置は、既知の光制御素子
から構成されるミラー装置を固定ミラーの位置に配置し
たものである。
から構成されるミラー装置を固定ミラーの位置に配置し
たものである。
【００１４】この発明の撮像装置は、上記自由度１の光
制御素子から構成されるミラー装置を固定ミラーの位置
に配置したものである。
制御素子から構成されるミラー装置を固定ミラーの位置
に配置したものである。
【００１５】またこの発明の撮像装置は、上記自由度２
の光制御素子から構成されるミラー装置を固定ミラーの
位置に配置したものである。
の光制御素子から構成されるミラー装置を固定ミラーの
位置に配置したものである。
【００１６】
【作用】この発明の自由度１の光制御素子は、ミラーを
支持しているフレキシブルピボットのねじり剛性が低い
ため、１つの軸に関して、ミラー面が歪むことなくミラ
ーを回転させる作用がある。
支持しているフレキシブルピボットのねじり剛性が低い
ため、１つの軸に関して、ミラー面が歪むことなくミラ
ーを回転させる作用がある。
【００１７】またこの発明の自由度２の光制御素子は、
直交する２つの軸に関して、同様にミラー面が歪むこと
なくミラー面を回転させる作用がある。
直交する２つの軸に関して、同様にミラー面が歪むこと
なくミラー面を回転させる作用がある。
【００１８】この発明の撮像装置では、ジャイロ信号を
基にモータにより駆動された可動ミラーで空間的に１次
安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度センサ信号
を基に制御される既知の光制御素子から構成されたミラ
ー装置で２次安定化することにより、１つの軸方向の画
像の振れを抑える作用がある。
基にモータにより駆動された可動ミラーで空間的に１次
安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度センサ信号
を基に制御される既知の光制御素子から構成されたミラ
ー装置で２次安定化することにより、１つの軸方向の画
像の振れを抑える作用がある。
【００１９】またこの発明の撮像装置は、ジャイロ信号
を基にモータで駆動された可動ミラーにより空間的に１
次安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度センサ信
号を基に制御される上記自由度１の光制御素子から構成
されたミラー装置で２次安定化することにより、１つの
軸方向の画像の振れを抑える作用がある。
を基にモータで駆動された可動ミラーにより空間的に１
次安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度センサ信
号を基に制御される上記自由度１の光制御素子から構成
されたミラー装置で２次安定化することにより、１つの
軸方向の画像の振れを抑える作用がある。
【００２０】さらにこの発明の撮像装置は、ジャイロ信
号を基にモータで駆動された可動ミラーにより空間的に
１次安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度センサ
信号を基に制御される自由度２の光制御素子から構成さ
れたミラー装置で２次安定化することにより、直交する
２つの軸方向の画像の振れを抑える作用がある。
号を基にモータで駆動された可動ミラーにより空間的に
１次安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度センサ
信号を基に制御される自由度２の光制御素子から構成さ
れたミラー装置で２次安定化することにより、直交する
２つの軸方向の画像の振れを抑える作用がある。
【００２１】
実施例１．図１はこの発明の実施例における光制御素子
の構成図である。図において、１〜４と７は上記従来装
置と同一のものである。光制御素子３の詳細を示す図１
ｂにおいて、３１と３２はミラー４を１つの軸に関して
回転できるように支持する、互いに垂直に接合した２枚
の薄板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピ
ボットでビーム７に固定されている。
の構成図である。図において、１〜４と７は上記従来装
置と同一のものである。光制御素子３の詳細を示す図１
ｂにおいて、３１と３２はミラー４を１つの軸に関して
回転できるように支持する、互いに垂直に接合した２枚
の薄板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピ
ボットでビーム７に固定されている。
【００２２】この実施例における光制御素子はフレキシ
ブルピボット３１、３２を結ぶことにより決定される軸
に関して、上記従来装置と同様に１つの軸に関してミラ
ー４の回転制御が可能である。さらにこの実施例では、
ミラー４が回転しても支持部材であるフレキシブルピボ
ット３１、３２のねじり剛性が低いためミラー４が歪ま
ない作用がある。
ブルピボット３１、３２を結ぶことにより決定される軸
に関して、上記従来装置と同様に１つの軸に関してミラ
ー４の回転制御が可能である。さらにこの実施例では、
ミラー４が回転しても支持部材であるフレキシブルピボ
ット３１、３２のねじり剛性が低いためミラー４が歪ま
ない作用がある。
【００２３】実施例２．図２はこの発明の実施例におけ
る光制御素子の構成図である。図において、４、７は上
記従来装置と、また３１、３２は実施例１と同一のもの
である。３３は第１のフレキシブルピボット３１、３２
を支持するフレーム、３４と３５はフレーム３３を支持
する互いに垂直に接合した２枚の薄板から構成されたね
じり剛性の低い第２のフレキシブルピボットであり、第
１のフレキシブルピボット３１と第１のフレキシブルピ
ボット３２を結ぶ軸と第２のフレキシブルピボット３４
と第２のフレキシブルピボット３５を結ぶ軸は直交して
いる。
る光制御素子の構成図である。図において、４、７は上
記従来装置と、また３１、３２は実施例１と同一のもの
である。３３は第１のフレキシブルピボット３１、３２
を支持するフレーム、３４と３５はフレーム３３を支持
する互いに垂直に接合した２枚の薄板から構成されたね
じり剛性の低い第２のフレキシブルピボットであり、第
１のフレキシブルピボット３１と第１のフレキシブルピ
ボット３２を結ぶ軸と第２のフレキシブルピボット３４
と第２のフレキシブルピボット３５を結ぶ軸は直交して
いる。
【００２４】この実施例における光制御素子の動作は第
１のフレキシブルピボット３１、３２を結ぶ軸と、第２
のフレキシブルピボット３４、３５を結ぶ軸に関して、
上記従来装置と同様の駆動方式によりミラー４の回転制
御が可能である。さらにこの実施例では、ミラー４が回
転しても支持部材である第１のフレキシブルピボット３
１、３２のねじり剛性が低いためミラー４が歪まない作
用がある。つまり、実施例１では１軸に関して歪むこと
なく回転可能であったミラーが、実施例２では互いに直
交する２軸に関して同様の動作が可能となる。
１のフレキシブルピボット３１、３２を結ぶ軸と、第２
のフレキシブルピボット３４、３５を結ぶ軸に関して、
上記従来装置と同様の駆動方式によりミラー４の回転制
御が可能である。さらにこの実施例では、ミラー４が回
転しても支持部材である第１のフレキシブルピボット３
１、３２のねじり剛性が低いためミラー４が歪まない作
用がある。つまり、実施例１では１軸に関して歪むこと
なく回転可能であったミラーが、実施例２では互いに直
交する２軸に関して同様の動作が可能となる。
【００２５】実施例３．図３はこの発明の実施例におけ
る撮像装置の構成図である。図において、４１〜４９は
上記従来装置と同一のものである。５１は既知の光制御
素子が複数個マトリクス状に並べられ面状に配置された
ことにより構成されかつフレーム４３に固定されたミラ
ー装置、５２はフレーム４３に固定されミラー装置５１
を制御する第２の電子制御装置である。
る撮像装置の構成図である。図において、４１〜４９は
上記従来装置と同一のものである。５１は既知の光制御
素子が複数個マトリクス状に並べられ面状に配置された
ことにより構成されかつフレーム４３に固定されたミラ
ー装置、５２はフレーム４３に固定されミラー装置５１
を制御する第２の電子制御装置である。
【００２６】図４はこの実施例における撮像装置の動作
を示す図である。フレーム４３の動揺をジャイロ４４に
より検出し、そのジャイロ信号を基に可動ミラー４６の
空間に対する動揺がゼロとなるように第１の電子制御装
置４８でモータ４７を制御し、可動ミラー４６を駆動さ
せる。第１の電子制御装置４８の指令値に対する可動ミ
ラー４６の指向誤差をジャイロ４４の積分値と角度セン
サ４９の測定値の差により検出し、第１の電子制御装置
４８にフィードバックするまでは上記従来装置と同様で
ある。さらに、この実施例では可動ミラー４６の指向誤
差を第２の電子制御装置５２に入力し、第２電子制御装
置５２が画像の空間に対する制御がゼロとなるように、
既知の光制御素子３から構成されるミラー装置５１を図
５に示すごとく光制御素子３の構成要素であるミラー４
を回転制御する。つまり、撮像装置全体の動揺に伴う１
次元的な画像の振れを、１段階目としてモータ駆動の可
動ミラー４６で、２段階目として光制御素子３のミラー
４で抑える作用がある。また、ジャイロ４４の積分値と
角度センサ４９の測定値の差により検出した、第１の電
子制御装置４８の指令値に対する可動ミラー４６の指向
誤差を第１の電子制御装置４８にフィードバックさせな
くても同様の作用が得られる。
を示す図である。フレーム４３の動揺をジャイロ４４に
より検出し、そのジャイロ信号を基に可動ミラー４６の
空間に対する動揺がゼロとなるように第１の電子制御装
置４８でモータ４７を制御し、可動ミラー４６を駆動さ
せる。第１の電子制御装置４８の指令値に対する可動ミ
ラー４６の指向誤差をジャイロ４４の積分値と角度セン
サ４９の測定値の差により検出し、第１の電子制御装置
４８にフィードバックするまでは上記従来装置と同様で
ある。さらに、この実施例では可動ミラー４６の指向誤
差を第２の電子制御装置５２に入力し、第２電子制御装
置５２が画像の空間に対する制御がゼロとなるように、
既知の光制御素子３から構成されるミラー装置５１を図
５に示すごとく光制御素子３の構成要素であるミラー４
を回転制御する。つまり、撮像装置全体の動揺に伴う１
次元的な画像の振れを、１段階目としてモータ駆動の可
動ミラー４６で、２段階目として光制御素子３のミラー
４で抑える作用がある。また、ジャイロ４４の積分値と
角度センサ４９の測定値の差により検出した、第１の電
子制御装置４８の指令値に対する可動ミラー４６の指向
誤差を第１の電子制御装置４８にフィードバックさせな
くても同様の作用が得られる。
【００２７】この実施例においては、既知の光制御素子
から構成されるミラー装置と述べたが、実施例１記載の
光制御素子から構成されるミラー装置を用いることもで
きる。
から構成されるミラー装置と述べたが、実施例１記載の
光制御素子から構成されるミラー装置を用いることもで
きる。
【００２８】実施例４．図６はこの発明の実施例におけ
る撮像装置の構成図である。図において、４１〜４９は
上記従来装置と同一のものである。５４は第１の軸受け
４５を支持する第２のフレーム、５５は第１のフレーム
４３に支持され第２のフレーム５４を第１の軸受け４５
の回転軸と直交する軸回りに回転可能なように支持する
第２の軸受け、５６は第２のフレーム５４を第２の軸受
けの回転軸回りに駆動する第２のモータ、５７は第２の
フレーム５４の第１のフレーム４３に対する角度を検出
する第２の角度センサ、５８は実施例２記載の光制御素
子が複数個マトリクス状に並べられ面状に配置されたこ
とにより構成されかつ第１のフレーム４３に固定された
ミラー装置、５９は第１のフレーム４３に固定されミラ
ー装置５８を制御する第２の電子制御装置である。
る撮像装置の構成図である。図において、４１〜４９は
上記従来装置と同一のものである。５４は第１の軸受け
４５を支持する第２のフレーム、５５は第１のフレーム
４３に支持され第２のフレーム５４を第１の軸受け４５
の回転軸と直交する軸回りに回転可能なように支持する
第２の軸受け、５６は第２のフレーム５４を第２の軸受
けの回転軸回りに駆動する第２のモータ、５７は第２の
フレーム５４の第１のフレーム４３に対する角度を検出
する第２の角度センサ、５８は実施例２記載の光制御素
子が複数個マトリクス状に並べられ面状に配置されたこ
とにより構成されかつ第１のフレーム４３に固定された
ミラー装置、５９は第１のフレーム４３に固定されミラ
ー装置５８を制御する第２の電子制御装置である。
【００２９】この実施例における撮像装置では互いに直
交する２つの軸に関して実施例３の作用が得られる。す
なわち、まず撮像装置全体の動揺に伴う２次元的な画像
の振れを、１段階目として互いに直交する第１の軸受け
４５の回転軸と第２の軸受け５５の回転軸に関して実施
例３に示す制御方法により第１のモータ４７と第２のモ
ータ５６で抑える。次に、２段階目として互いに直交す
る実施例２記載の光制御素子の構成要素である第１のフ
レキシブルピボット３１、３２を結ぶ軸と、第２のフレ
キシブルピボット３４、３５を結ぶ軸に関して同様に実
施例３に示す制御方法により光制御素子３のミラー４で
抑える。
交する２つの軸に関して実施例３の作用が得られる。す
なわち、まず撮像装置全体の動揺に伴う２次元的な画像
の振れを、１段階目として互いに直交する第１の軸受け
４５の回転軸と第２の軸受け５５の回転軸に関して実施
例３に示す制御方法により第１のモータ４７と第２のモ
ータ５６で抑える。次に、２段階目として互いに直交す
る実施例２記載の光制御素子の構成要素である第１のフ
レキシブルピボット３１、３２を結ぶ軸と、第２のフレ
キシブルピボット３４、３５を結ぶ軸に関して同様に実
施例３に示す制御方法により光制御素子３のミラー４で
抑える。
【００３０】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような効果を有する。
れているので、以下に記載されるような効果を有する。
【００３１】１つの軸、あるいは直交する２つの軸に関
して、ミラー面が歪むことなくミラーを回転させること
ができる光制御素子が得られる効果がある。また、ジャ
イロ信号を基にモータにより１次元的に、または２次元
的に１次安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度セ
ンサ信号を基に制御された光制御素子により２次安定化
することにより、より１次元的な、または２次元的な振
れを抑えられた画像が得られる効果がある。
して、ミラー面が歪むことなくミラーを回転させること
ができる光制御素子が得られる効果がある。また、ジャ
イロ信号を基にモータにより１次元的に、または２次元
的に１次安定化された入射光を、ジャイロ信号と角度セ
ンサ信号を基に制御された光制御素子により２次安定化
することにより、より１次元的な、または２次元的な振
れを抑えられた画像が得られる効果がある。
【図１】この発明の実施例１における光制御素子の構成
図である。
図である。
【図２】この発明の実施例２における光制御素子の構成
図である。
図である。
【図３】この発明の実施例３における撮像装置の構成図
である。
である。
【図４】この発明の実施例３における撮像装置の動作を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図５】この発明の実施例３における撮像装置の動作を
示す図である。
示す図である。
【図６】この発明の実施例５における撮像装置の構成図
である。
である。
【図７】従来の光制御素子の構成図である。
【図８】従来の光制御素子の動作を示す図である。
【図９】従来の撮像装置の構成図である。
【図１０】従来の撮像装置の動作を示すブロック図であ
る。
る。
１ ミラー装置 ２ 面 ３ 光制御素子 ４ ミラー ５ ねじりヒンジ ６ ねじりヒンジ ７ ビーム １１ 垂直面 １２ 破線 １３ 破線 １４ 軸 １５ 縁 １６ ランディング電極 １７ 制御電極 １８ 正電極 １９ インバータ ２０ 負電極 ２１ 電極 ３１ フレキシブルピボット ３２ フレキシブルピボット ３３ フレーム ３４ 第２のフレキシブルピボット ３５ 第２のフレキシブルピボット ４１ 撮像素子 ４２ 撮像部 ４３ フレーム ４４ ジャイロ ４５ 軸受け ４６ 可動ミラー ４７ モータ ４８ 第１の電子制御装置 ４９ 角度センサ ５０ 固定ミラー ５１ ミラー装置 ５２ 第２の電子制御装置 ５４ 第２のフレーム ５５ 第２の軸受け ５６ 第２のモータ ５７ 第２の角度センサ ５８ ミラー装置 ５９ 第２の電子制御装置
Claims (5)
- 【請求項１】 複数個マトリクス状に並べられかつ面状
に配置された光制御素子において、入射光を反射するミ
ラー、上記ミラーを１つの軸に関して回転できるように
支持する互いに垂直に接合した２枚の薄板から構成され
た、ねじり剛性の低いフレキシブルピボット、上記フレ
キシブルピボットを固定するビーム、上記ビームに固定
され上記ミラーを駆動する電極とを具備したことを特徴
とする光制御素子。 - 【請求項２】 複数個マトリクス状に並べられ、かつ面
状に配置された光制御素子において、入射光を反射する
ミラー、上記ミラーを１つの軸に関して回転できるよう
に支持する互いに垂直に接合した２枚の薄板から構成さ
れた、ねじり剛性の低い第１のフレキシブルピボット、
上記第１のフレキシブルピボットを固定するフレーム、
上記フレームを上記ミラーの回転軸と垂直な１つの軸に
関して回転できるように上記フレームを支持する互いに
垂直に接合した２枚の薄板から構成された、ねじり剛性
の低い第２のフレキシブルピボット、上記第２のフレキ
シブルピボットを固定するビーム、上記ビームに固定さ
れ上記ミラーを駆動する電極とを具備したことを特徴と
する光制御素子。 - 【請求項３】 内蔵された撮像素子を用いて画像を電気
信号に変換する撮像部、上記撮像部が固定されるフレー
ム、上記フレームに固定され上記フレームの動揺を検出
するジャイロ、上記フレームに固定された軸受け、上記
撮像部の視軸に対して垂直な１つの軸に関して回転可能
な状態で上記軸受けにより支持された可動ミラー、上記
フレームに支持され上記可動ミラーを駆動するモータ、
上記ジャイロからの信号を基に上記可動ミラーの空間に
対する動揺がゼロとなるように上記モータを制御する第
１の電子制御装置、上記フレームに固定され上記可動ミ
ラーの上記フレームに対する角度を検出する角度セン
サ、上記可動ミラーからの入射光を上記撮像部に反射す
る位置で上記フレームに固定され自由度１の光制御素子
を複数個平面状に並べて成す反射光制御ミラー、上記第
１の電子制御装置の指令値に対する上記可動ミラーの指
向誤差がゼロとなるように上記ジャイロ信号の積分値と
上記角度センサの測定値の差を基に上記光制御素子を制
御する第２の電子制御装置とを具備したことを特徴とす
る撮像装置。 - 【請求項４】 自由度１の光制御素子として請求項第１
項記載の光制御素子を用いたことを特徴とする請求項第
３項記載の撮像装置。 - 【請求項５】 内蔵された撮像素子を用いて画像を電気
信号に変換する撮像部、上記撮像部が固定される第１の
フレーム、上記第１のフレームに固定され上記第１のフ
レームの動揺を検出するジャイロ、上記第１のフレーム
に固定された第１の軸受け、上記撮像部の視軸に対して
垂直な１つの軸に関して回転可能な状態で上記第１の軸
受けにより支持された第２のフレーム、上記第２のフレ
ームに固定された第２の軸受け、上記第１の軸受けの回
転軸に対して直交する軸に関して回転可能な状態で上記
第２の軸受けにより支持された可動ミラー、上記第１の
フレームに固定され上記第２のフレームを駆動する第１
のモータ、上記第２のフレームに固定され上記可動ミラ
ーを駆動する第２のモータ、上記ジャイロからの信号を
基に上記第２のフレームと上記可動ミラーの空間に対す
る動揺がゼロとなるように上記第１のモータ及び上記第
２のモータを制御する第１の電子制御装置、上記第１の
フレームに固定され上記第２のフレームの上記第１のフ
レームに対する角度を検出する第１の角度センサ、上記
第２のフレームに固定され上記可動ミラーの上記第２の
フレームに対する角度を検出する第２の角度センサ、上
記可動ミラーからの入射光を上記撮像部に反射する位置
で上記第２のフレームに固定され請求項２記載の光制御
素子を複数個平面状に並べて成す反射光制御ミラー、上
記第１の電子制御装置の指令値に対する上記第２のフレ
ームと上記可動ミラーの指向誤差がゼロとなるように上
記ジャイロ信号の積分値と上記第１及び第２の角度セン
サの測定値の差を基に上記光制御素子を制御する第２の
電子制御装置とを具備したことを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4331686A JPH06175050A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 光制御素子及び撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4331686A JPH06175050A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 光制御素子及び撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06175050A true JPH06175050A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18246449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4331686A Pending JPH06175050A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 光制御素子及び撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06175050A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003140063A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-14 | Fujitsu Ltd | 光スイッチの駆動装置 |
| WO2005080859A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Hitachi, Ltd. | 車両用ヘッドライト及び車両運転支援装置 |
| CN112068275A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 西安应用光学研究所 | 一种光学元件背部柔性支撑结构 |
| US11266879B2 (en) | 2020-02-24 | 2022-03-08 | Hiwin Technologies Corp. | Adaptive active training system |
-
1992
- 1992-12-11 JP JP4331686A patent/JPH06175050A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003140063A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-14 | Fujitsu Ltd | 光スイッチの駆動装置 |
| WO2005080859A1 (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-01 | Hitachi, Ltd. | 車両用ヘッドライト及び車両運転支援装置 |
| EP1722159A1 (en) * | 2004-02-25 | 2006-11-15 | Hitachi, Ltd. | Vehicle headlight and vehicle operation support apparatus |
| EP1722159A4 (en) * | 2004-02-25 | 2008-01-23 | Hitachi Ltd | HEADLIGHT AND VEHICLE OPERATION SUPPORD APPARATUS |
| US11266879B2 (en) | 2020-02-24 | 2022-03-08 | Hiwin Technologies Corp. | Adaptive active training system |
| CN112068275A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 西安应用光学研究所 | 一种光学元件背部柔性支撑结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0661871B1 (en) | Image sensing unit mounted in an eyeball assembly separately from the camera unit | |
| US6397008B2 (en) | Driving system with elastically supporting units | |
| JP2007041455A (ja) | 光学装置の像振れ補正装置 | |
| US10288895B2 (en) | Optical device and optical apparatus | |
| JPH06175050A (ja) | 光制御素子及び撮像装置 | |
| JPH0746460A (ja) | 車載用撮影装置 | |
| JPS6266774A (ja) | 撮像装置の像偏向装置 | |
| JP4144827B2 (ja) | 像安定化装置 | |
| JPH10104681A (ja) | 像安定化装置 | |
| JPS6399680A (ja) | 撮影装置 | |
| JP2612371B2 (ja) | 画振れ補正装置 | |
| JP2000221421A (ja) | 光制御素子および撮像装置 | |
| JP2868227B2 (ja) | カメラの像ブレ補正装置および補正レンズ駆動装置 | |
| JP2888550B2 (ja) | 光束偏向装置 | |
| JP2012088357A (ja) | 画像投影装置 | |
| JP2706973B2 (ja) | カメラの像ブレ補正装置 | |
| US5890019A (en) | Optical axis angle variation mechanism optical axis angle variation apparatus and image stabilizer | |
| JP3206075B2 (ja) | 振れ防止装置 | |
| JP4443881B2 (ja) | 撮像装置 | |
| JPH08220454A (ja) | 光制御素子および光空間伝送装置 | |
| JPH02183216A (ja) | 手振れ補正装置 | |
| JPH07203282A (ja) | 撮像装置 | |
| JP2503925Y2 (ja) | カメラの防振装置 | |
| JPH03270576A (ja) | 撮影装置 | |
| JP2733424B2 (ja) | 像ブレ防止装置及び光束偏向装置 |