JPH06175032A - 顕微鏡測光装置 - Google Patents

顕微鏡測光装置

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JPH06175032A
JPH06175032A JP4322014A JP32201492A JPH06175032A JP H06175032 A JPH06175032 A JP H06175032A JP 4322014 A JP4322014 A JP 4322014A JP 32201492 A JP32201492 A JP 32201492A JP H06175032 A JPH06175032 A JP H06175032A
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objective lens
lens
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condenser lens
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Kazuya Ito
一也 伊藤
Naoshi Kozu
尚士 神津
Hiroshi Kurosawa
浩 黒沢
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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    • G02B21/0096Microscopes with photometer devices

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Abstract

(57)【要約】 【目的】標本ステージの上下動機構を持たない顕微鏡に
おいて、1つの標本において測定ポイントを変える度に
必要となる対物レンズに対する標本の新たな測定ポイン
トの精密な焦点位置合わせと新たな測定ポイントに対す
る標本ステージの下方の透過測光照明用ユニットからの
透過測光用スポット光の精密な焦点合わせとを容易に素
早く行うことが出来る顕微鏡測光装置及び焦点合わせ機
構を提供することである。 【構成】対物レンズ54もしくは鏡筒98全体を上下し
て上下方向に固定されたステージ50上の標本52に焦
点合わせをする方式の顕微鏡において、対物レンズ54
もしくは鏡筒98全体の上下動に連動してコンデンサレ
ンズ58が上下動し常に対物レンズ54とコンデンサレ
ンズ58との間の間隔を一定に保ち適正な観察照明を可
能としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、対物レンズもしくは
鏡筒全体を上下して上下方向に固定されたステージ上の
標本に焦点合わせをする方式の顕微鏡において分光透過
率測定等に利用される顕微鏡測光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】上述した如き顕微鏡測光装置は例えば液
晶パネル用カラーフィルタまたは液晶素子等の分光透過
率測定等に利用され、特にステージが上下しない顕微鏡
上で大型の測定標本を小穴・直良型透過照明を用いて高
精度に分光測光する場合に便利である。勿論、単に高さ
の異なる標本をケーラー照明する場合でも有効である。
【0003】小穴・直良型光学系では投光側光学系と受
光側光学系とが標本を介して対称に配置され、投光側光
学系から微小スポット照明を測定対象となる標本に照射
することにより測定誤差の要因となるゴースト・フレア
を除去し高精度な分光測光が可能となっている。
【0004】図4には従来の顕微鏡測光装置の概要が示
されている。この従来の顕微鏡測光装置は、標本10が
載置された上下動可能な標本ステージ12と標本ステー
ジ12上の標本10の上方に上下動可能な対物レンズ1
4とを備えた顕微鏡において、標本ステージ12の下方
に設けられた全体照明ユニット16及び上下動可能な透
過測光照明用ユニット18を有している。上記従来の顕
微鏡測光装置はさらに、上記顕微鏡の鏡筒20の上方に
分光測光ユニット22を有している。
【0005】上述した従来の顕微鏡測光装置で標本ステ
ージ12上の標本10の分光透過率を測定するには、ま
ず最初に全体照明ユニット16で標本10の広い範囲を
照明している間に標本10の測定ポイントを対物レンズ
14の光軸下に移動させるとともに標本ステージ12の
上下動摘み12aで対物レンズ14に対する焦点位置合
わせを行う。次に全体照明ユニット16からの光をシャ
ッタで遮蔽するとともに透過測光照明用ユニット18に
より上記測定ポイントに透過測光用スポット光を照射す
る。透過測光用スポット光は透過測光照明用ユニット1
8のコンデンサレンズ30を上下させることにより上記
測定ポイントに焦点合わせされる。焦点合わせされた後
に標本10の測定ポイントを通過した透過測光用スポッ
ト光は対物レンズ14を通過して分光測光ユニット22
に導かれ、分光測光ユニット22で測光される。この測
光の結果に基いた分光測光ユニット22からの出力は制
御装置24を介してコンピュータ26で演算され上記測
定ポイントの分光透過率が算定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した如き従来の顕
微鏡測光装置では、標本10が撓んでいたり標本ステー
ジ12の標本載置面の平面精度が良くないと、1つの標
本10において測定ポイントを変える度に標本ステージ
12の上方に位置した対物レンズ14に対する標本10
の新たな測定ポイントの焦点位置合わせが必要であるが
新たな測定ポイントに対する標本ステージ12の下方の
透過測光照明用ユニット18からの透過測光用スポット
光の焦点合わせは、対物レンズ14とコンデンサレンズ
30間が一定である必要はない。
【0007】しかし液晶パネルが例えば300mm×4
00mm程度まで大型化している現在では、標本ステー
ジ12の精密上下動機構を組み込んだ顕微鏡の作成が困
難になって来ているために、従来のピント合わせ方式が
採用出来ない。
【0008】この発明は上記事情の下でなされ、この発
明の目的は、標本ステージの上下動機構を持たず対物レ
ンズもしくは鏡筒全体を上下して上下方向に固定された
ステージ上の標本に焦点合わせをする方式の顕微鏡にお
いて、1つの標本において測定ポイントを変えた時に標
本の新たな測定ポイントに対する対物レンズの精密な焦
点位置合わせが必要となった場合に、標本ステージの下
方の透過測光照明用ユニットからの透過測光用スポット
光の精密な焦点合わせを容易に素早く行うことが出来る
顕微鏡測光装置及び精密な焦点合わせ機構を提供するこ
とである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
為にこの発明に従った顕微鏡測光装置は、対物レンズも
しくは鏡筒全体を上下して上下方向に固定されたステー
ジ上の標本に焦点合わせをする方式の顕微鏡において、
対物レンズもしくは鏡筒全体の上下動に連動してコンデ
ンサレンズが上下動し常に対物レンズとコンデンサレン
ズとの間の間隔を一定に保ち適正な観察照明を可能とす
ることを特徴としている。また、対物レンズとコンデン
サレンズ間の距離を高精度に維持するための上下動機構
を特徴としている。
【0010】
【作用】対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して上下方
向に固定されたステージ上の標本に焦点合わせをする方
式の顕微鏡の対物レンズもしくは鏡筒全体の上下動に連
動してコンデンサレンズが精密に上下動し、常に対物レ
ンズとコンデンサレンズとの間の間隔が一定に保たれ適
正な観察照明が得られる。
【0011】
【実施例】以下この発明の一実施例を添付の図面中の図
1乃至図3を参照しながら詳細に説明する。図1には、
この発明の一実施例に従った顕微鏡測光装置の要部が概
略的に示されている。
【0012】上記要部は、顕微鏡の標本ステージ50の
上方で標本ステージ50上に載置された標本52に対向
している対物レンズ54を上下に移動させる為の対物レ
ンズ上下機構56と、標本ステージ50の下方で標本ス
テージ50上に載置された標本52に対向しているコン
デンサレンズ58を上下に移動させる為のコンデンサレ
ンズ上下機構60と、対物レンズ上下機構56及びコン
デンサレンズ上下機構60の動作を制御する為の制御ユ
ニット62と、を備えている。コンデンサレンズ58は
標本52の測定ポイントに対してスポット光を照射する
透過測光照明用ユニットの一部である。
【0013】対物レンズ上下機構56は、パルスモータ
64と、パルスモータ64の出力軸にカップリング66
を介して連結され上記出力軸の回転を前後運動に変換す
るマイクロねじ移動調整機構68と、マイクロねじ移動
調整機構68の前後運動を上下動に変換する180度回
転したL字形状のアーム部材70(以下L字形状アーム
部材という)と、を含んでいる。L字形状アーム部材7
0は曲折部70aが例えば図示しない顕微鏡の支持フレ
ームに回動自在に支持されており、下方延出部の下端に
配置された回転リング70bをマイクロねじ移動調整機
構68のマイクロねじの先端に当接させるよう軽く付勢
されている。マイクロねじ移動調整機構68がマイクロ
ねじを前進させると前進したマイクロねじにより下方延
出部の下端の回転リング70bを押圧されたL字形状ア
ーム部材70は水平延出部の延出端に配置された回転リ
ング70cを上方向に移動させるよう曲折部70aを中
心に回動する。マイクロねじ移動調整機構68がマイク
ロねじを後退させるとL字形状アーム部材70は上記付
勢により下方延出部の下端の回転リング70bをマイク
ロねじに追従させ水平延出部の延出端に配置された回転
リング70cを下方向に移動させるよう曲折部70aを
中心に回動する。
【0014】L字形状アーム部材70の水平延出部の延
出端の回転リング70c上には対物レンズ54を支持し
た対物レンズ支持台72が載置されており、対物レンズ
支持台72は例えば図示しない顕微鏡の支持フレームの
一部に上下動自在に支持されている。対物レンズ支持台
72はL字形状アーム部材70の水平延出部の延出端の
上下動により図示しない顕微鏡の支持フレームの一部に
対して上下に移動され、標本ステージ50上に載置され
た標本52に対する対物レンズ54の焦点合わせを行
う。
【0015】コンデンサレンズ上下機構60は対物レン
ズ上下機構56と同様な構造を含んでいる。即ち、パル
スモータ74と、パルスモータ74の出力軸にカップリ
ング76を介して連結され上記出力軸の回転を前後運動
に変換するマイクロねじ移動調整機構78と、マイクロ
ねじ移動調整機構78の前後運動を上下動に変換する1
80度回転したL字形状のアーム部材80(以下L字形
状アーム部材という)と、を含んでいる。
【0016】L字形状アーム部材80は曲折部80aが
例えば図示しない顕微鏡の支持フレームの一部82に回
動自在に支持されており、下方延出部の下端に配置され
た回転リング80bをマイクロねじ移動調整機構78の
マイクロねじの先端に当接させるよう軽く付勢されてい
る。マイクロねじ移動調整機構78がマイクロねじを前
進させると前進したマイクロねじにより下方延出部の下
端の回転リング80bを押圧されたL字形状アーム部材
80は水平延出部の延出端に配置された回転リング80
cを上方向に移動させるよう曲折部80aを中心に回動
する。マイクロねじ移動調整機構78がマイクロねじを
後退させるとL字形状アーム部材80は上記付勢により
下方延出部の下端の回転リング80bをマイクロねじに
追従させ水平延出部の延出端に配置された回転リング8
0cを下方向に移動させるよう曲折部80aを中心に回
動する。
【0017】L字形状アーム部材80の水平延出部の延
出端の回転リング80c上にはコンデンサレンズ58を
支持したコンデンサレンズ支持台84が載置されてお
り、コンデンサレンズ支持台84は上記支持フレームの
一部82に上下動自在に支持されている。コンデンサレ
ンズ支持台84はL字形状アーム部材80の水平延出部
の延出端の上下動により上記支持フレームの一部82に
対して上下に移動され、標本ステージ50上に載置され
た標本52に対するコンデンサレンズ58の焦点合わせ
を行う。即ち、標本52の測定ポイントに対して透過測
光照明用ユニットからコンデンサレンズ58を介して照
射されるスポット光の焦点合わせが行われる。
【0018】対物レンズ上下機構56のパルスモータ6
4,カップリング66,マイクロねじ移動調整機構6
8,そしてL字形状アーム部材70は、コンデンサレン
ズ上下機構60のパルスモータ74,カップリング7
6,マイクロねじ移動調整機構78,そしてL字形状ア
ーム部材80と全く同一である。よって対物レンズ上下
機構56のパルスモータ64が1パルス分所定の方向に
回転した時の対物レンズ54の上下方向における移動方
向及び移動距離とコンデンサレンズ上下機構60のパル
スモータ74が1パルス分所定の方向に回転した時のコ
ンデンサレンズ58の上下方向における移動方向及び移
動距離とは全く同一である。
【0019】対物レンズ上下機構56のパルスモータ6
4とコンデンサレンズ上下機構60のパルスモータ74
とはモータドライバ86を介して制御ユニット62に連
結されている。制御ユニット62にはさらに操作ユニッ
ト88が連結されており、操作ユニット88を操作する
ことにより、対物レンズ上下機構56及びコンデンサレ
ンズ上下機構60の夫々を単独で操作することも出来る
し、また対物レンズ上下機構56とコンデンサレンズ上
下機構60とを同時に同様に操作することも出来る。
【0020】即ち、まず最初は対物レンズ上下機構56
及びコンデンサレンズ上下機構60の夫々を単独で操作
することにより標本ステージ50上の標本52に対する
対物レンズ54の焦点合わせと透過測光照明用ユニット
からコンデンサレンズ58を介して照射されるスポット
光の焦点合わせとを夫々別個に行う。その後は対物レン
ズ上下機構56とコンデンサレンズ上下機構60とを同
時に同様に操作し、1つの標本52において測定ポイン
トを変える度に標本52に対する対物レンズ54の焦点
合わせを行うことにより透過測光照明用ユニットからコ
ンデンサレンズ58を介して照射されるスポット光の焦
点合わせも自動的に同時に行えるようにする。
【0021】図2には、図1に示された顕微鏡測光装置
を組み込んだ顕微鏡の全体の構成が概略的に示されてい
る。図2では図1に示された部材と同じ部材には同じ参
照符号を記し、その詳細な説明は省略する。図2には、
図1では省略されていた顕微鏡のフレ−ム90が示され
ている。
【0022】フレ−ム90には大型の標本ステージ50
が固定されていて、標本ステージ50の下方で透過測光
照明用ユニットのコンデンサレンズ58を上下動自在に
支持しているフレ−ム90の一部82の周囲には、透過
測光照明用ユニットの本体92,ランプ94,及び安定
化電源96やコンデンサレンズ上下機構60が配置され
ている。
【0023】フレ−ム90は標本ステージ50の上方に
も延出しており、上端部に対物レンズ上下機構56を支
持している。フレ−ム90の上端部にはさらに、対物レ
ンズ54の鏡筒98及び鏡筒98から分光アダプタ99
により分光された分光測光装置100が支持されてい
る。
【0024】透過測光照明用ユニットの本体92,分光
アダプタ99,そして分光測光装置100は分光測光用
制御器102を介して分光測光用コンピュータ104に
接続されている。
【0025】対物レンズ54の鏡筒98及び透過測光照
明用ユニットのコンデンサレンズ58を上下動自在に支
持しているフレ−ム90の一部82には標本ステージ5
0上の標本52を透過測光照明用ユニットからコンデン
サレンズ58を介して標本52の測定ポイントに照射さ
れるスポット光よりもはるかに広い範囲を照らし鏡筒9
8の末端の接眼レンズ106で観察する為の広範囲照明
用光源108がグラスファイバ110を介して連結され
ている。なお広範囲照明用光源108からの光は前述し
た如く、透過測光照明用ユニットからのスポット光を利
用して標本52の測定ポイントの分光測光を分光測光装
置100により行う場合には、選択的に遮蔽される。
【0026】図3には、対物レンズ上下機構56及びコ
ンデンサレンズ上下機構60の為の図1及び図2に示さ
れた制御ユニット62における種々の操作スイッチの配
置が概略的に示されている。
【0027】制御ユニット62は、顕微鏡の標本ステー
ジ50への標本52の積載及び標本ステージ50からの
標本52の取り退きの容易の為に対物レンズ上下機構5
6及びコンデンサレンズ上下機構60の夫々を同時に駆
動して対物レンズ54及びコンデンサレンズ58の夫々
を標本ステージ50からもっとも遠い位置まで移動させ
る為の退避スイッチ112と、対物レンズ上下機構56
及びコンデンサレンズ上下機構60の夫々を単独で操作
する為の単独操作モードと対物レンズ上下機構56の動
作にコンデンサレンズ上下機構60の動作を連動させる
為の連動操作モードとの間で選択的にモード切り替えを
行う為のモード切り替えスイッチ114と、を含んでい
る。
【0028】制御ユニット62はさらに、対物レンズ上
下機構56の上下動操作の為の1対の対物レンズ上下ス
イッチ116a,116bと、コンデンサレンズ上下機
構60の上下動操作の為の1対のコンデンサレンズ上下
スイッチ118a,118bと、を含んでいる。
【0029】モード切り替えスイッチ114で単独操作
モードが設定された時には、1対の対物レンズ上下スイ
ッチ116a,116b及び1対のコンデンサレンズ上
下スイッチ118a,118bの夫々を使用して対物レ
ンズ54及びコンデンサレンズ58の夫々を単独で別個
に上下動させることが出来る。
【0030】また、モード切り替えスイッチ114で連
動操作モードが設定された時には、1対の対物レンズ上
下スイッチ116a,116bを操作して対物レンズ上
下機構56により対物レンズ54を上下させることに対
応して、1対のコンデンサレンズ上下スイッチ118
a,118bを操作しなくとも、コンデンサレンズ上下
機構60によりコンデンサレンズ58もまた対物レンズ
54の上方向への移動距離及び下方向への移動距離と同
じ方向に同じ距離だけ移動させることが出来る。
【0031】上述した実施例において、対物レンズ54
側にオートフォーカスユニットを組み込むと、制御ユニ
ット62におけるモード切り替えスイッチ114は不要
になり、ひいては1対の対物レンズ上下スイッチ116
a,116b及び1対のコンデンサレンズ上下スイッチ
118a,118bの夫々も不要となる。
【0032】この場合には、退避モード解除スイッチま
たは測定スタートスイッチを設け、このスイッチをオン
状態とすることにより、標本52に対する対物レンズ5
4の焦点合わせがオートフォーカスユニットを介して対
物レンズ上下機構56により行われると同時に制御ユニ
ット62を介してコンデンサレンズ上下機構60により
透過測光照明用ユニットからコンデンサレンズ58を介
して照射されるスポット光の焦点合わせも自動的に行わ
れる。
【0033】また上述した実施例では、対物レンズ上下
機構56とコンデンサレンズ上下機構60の両者が夫々
同じパルスモータ64,74を含んでいて、これらのパ
ルスモータ64,74を制御ユニット62により選択的
に同じく制御していたが、対物レンズ上下機構56とコ
ンデンサレンズ上下機構60とを機械的なリンク機構に
より連結し対物レンズ54及びコンデンサレンズ58の
両者を同時に同じ方向に同じ距離移動させるようにして
も良い。
【0034】
【発明の効果】以上詳述した如く、この発明の顕微鏡測
光装置は、対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して上下
方向に固定されたステージ上の標本に精密な焦点合わせ
が可能であるばかりでなく従来よりもはるかに大型の例
えば液晶基板やカラーフィルターの如き標本の測光を容
易かつ高精度におこなうことが出来る。
【0035】さらにこの発明の顕微鏡測光装置では対物
レンズもしくは鏡筒全体の上下動に連動してコンデンサ
レンズが上下動し常に対物レンズとコンデンサレンズと
の間の間隔を一定に保ち適正な観察照明を可能としたの
で、1つの標本において測定ポイントを変える度に必要
となる対物レンズに対する標本の新たな測定ポイントの
焦点位置合わせと新たな測定ポイントに対する標本ステ
ージの下方の透過測光照明用ユニットからの透過測光用
スポット光の焦点合わせとを容易に素早く行うことが出
来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に従った顕微鏡測光装置の
要部を概略的に示す図。
【図2】図1に示された顕微鏡測光装置を組み込んだ顕
微鏡の全体の構成を概略的に示す図。
【図3】対物レンズ上下機構及びコンデンサレンズ上下
機構の為の図1及び図2に示された制御ユニットにおけ
る種々の操作スイッチの配置を概略的に示す図。
【図4】従来の顕微鏡測光装置の概要を示す図である。
【符号の説明】
50…標本ステージ、52…標本、54…対物レンズ、
56…対物レンズ上下機構、58…コンデンサレンズ、
60…コンデンサレンズ上下機構、62…制御ユニッ
ト、64…パルスモータ、66…カップリング、68…
マイクロねじ移動調整機構、70…L字形状アーム部
材、70a…曲折部、70b…回転リング、70c…回
転リング、72…対物レンズ支持台、74…パルスモー
タ、76…カップリング、78…マイクロねじ移動調整
機構、80…L字形状アーム部材、80a…曲折部、8
0b…回転リング、80c…回転リング、82…支持フ
レームの一部、84…コンデンサレンズ支持台、86…
モータドライバ、88…操作ユニット、90…フレ−
ム、92…透過測光照明用ユニットの本体、94…ラン
プ、96…安定化電源、98…鏡筒、99…分光アダプ
タ、100…分光測光装置、102…分光測光用制御
器、104…分光測光用コンピュータ、106…接眼レ
ンズ、108…広範囲照明用光源、110…グラスファ
イバ、112…退避スイッチ、114…モード切り替え
スイッチ、116a,116b…対物レンズ上下スイッ
チ、118a,118b…コンデンサレンズ上下スイッ
チ。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年4月2日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0004
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】図4には従来の顕微鏡測光装置の概要が示
されている。この従来の顕微鏡測光装置は、標本10が
載置された上下動可能な標本ステージ12と標本ステー
ジ12上の標本10の上方に上下動可能な対物レンズ
14とを備えた顕微鏡において、標本ステージ12の下
方に設けられた全体照明ユニット16及び上下動可能な
透過測光照明用ユニット18を有している。上記従来の
顕微鏡測光装置はさらに、上記顕微鏡の鏡筒20の上方
に分光測光ユニット22を有している。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0006
【補正方法】変更
【補正内容】
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した如き従来の顕
微鏡測光装置では、標本10が撓んでいたり標本ステー
ジ12の標本載置面の平面精度が良くないと、1つの標
本10において測定ポイントを変える度に標本ステージ
12の上方に位置した対物レンズ14に対する標本10
の新たな測定ポイントの焦点位置合わせが必要であるが
新たな測定ポイントに対する標本ステージ12の下方の
透過測光照明用ユニット18からの透過測光用スポット
光の焦点合わせは、対物レンズ14とコンデンサレンズ
30間が一定であるため必要はない。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】
【作用】対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して上下方
向に固定されたステージ上の標本に焦点合わせをする方
式の顕微鏡の対物レンズもしくは鏡筒全体の上下動に連
動してコンデンサレンズが精密に上下動し、常に対物レ
ンズとコンデンサレンズとの間の間隔が一定に保たれ適
正な観察照明及び小穴・直良照明が得られる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】フレ−ム90は標本ステージ50の上方に
も延出しており、上端部に対物レンズ上下機構56を支
持している。フレ−ム90の上端部にはさらに、対物レ
ンズ54の鏡筒98に、分光アダプタ99を介して分光
測光装置100が支持されている。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】上述した実施例において、対物レンズ54
側にオートフォーカスユニットを組み込むと、制御ユニ
ット62におけるモード切り替えスイッチ114は不要
になり、ひいては1対の対物レンズ上下スイッチ116
a,116b及び1対のコンデンサレンズ上下スイッチ
118a,118bの夫々も不要となる。つまり、対物
レンズ54とコンデンサレンズ58との間の距離をあら
かじめ設定しなければならないし、対物レンズ54をオ
ートフォーカスユニットにより自動的に焦点合わせを行
った後、あらかじめ設定された値に従ってコンデンサレ
ンズ58の焦点を自動的に合わせる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して
    上下方向に固定されたステージ上の標本に焦点合わせを
    する方式の顕微鏡において、対物レンズもしくは鏡筒全
    体の上下動に連動してコンデンサレンズが上下動し常に
    対物レンズとコンデンサレンズとの間の間隔を一定に保
    ち適正な観察照明を可能とすることを特徴とした顕微鏡
    測光装置。
  2. 【請求項2】 対物レンズもしくは鏡筒全体を上下する
    機構及びコンデンサレンズを上下する機構の夫々は、モ
    ータと、該モータを制御する制御手段と、該モータの出
    力軸に駆動されるマイクロねじ移動調整機構と、を備
    え、マイクロねじ移動調整機構におけるマイクロねじの
    移動速度をてこ機構により減速したことを特徴とする請
    求項1記載の顕微鏡測光装置。
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