JPH06174916A - カラ−フィルタおよびその製造方法 - Google Patents

カラ−フィルタおよびその製造方法

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JPH06174916A
JPH06174916A JP32805892A JP32805892A JPH06174916A JP H06174916 A JPH06174916 A JP H06174916A JP 32805892 A JP32805892 A JP 32805892A JP 32805892 A JP32805892 A JP 32805892A JP H06174916 A JPH06174916 A JP H06174916A
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JP
Japan
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shielding layer
light
color filter
transparent substrate
light shielding
Prior art date
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Application number
JP32805892A
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English (en)
Inventor
Teruyuki Midorikawa
輝行 緑川
Tadayoshi Kinoshita
忠良 木下
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Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明は、遮光層が外光を反射するのを抑制
することが出来、カラ−液晶表示装置に使用した時に、
表示パネルの画像品質の低下が防止されるカラ−フィル
タおよびその製造方法を提供することを目的とする。 【構成】この発明のカラ−フィルタおよびその製造方法
は、透明基板1上に遮光層2および着色層3を形成する
場合、予め、透明基板上に金属アルミニウムを成膜した
後、陽極酸化により無数の細孔を有するアルミニウム陽
極酸化膜5を形成し、その後、遮光層,着色層を順次形
成することにより、上記の目的を達成することが出来
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、マトリックス状ある
いはストライプ状の遮光層を有するカラ−フィルタおよ
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にカラ−液晶表示装置に用いられる
カラ−フィルタは、絶縁性の透明基板上に、例えばR
(赤),G(緑),B(青)の3原色の着色セルが交互
に配列された着色層と、この着色層の個々の着色セルの
間隙部分に設けられたいわゆるブラックマトリクスと呼
ばれる遮光層とを備えている。この遮光層は、着色セル
間の見た目の色を分離してカラ−画像表示品質を向上さ
せると共に、カラ−画像表示のコントラスト比の向上
や、TFT(薄膜トランジスタ)を用いたアクティブマ
トリックス型液晶表示素子の場合では、光電流によるT
FTの誤動作を防ぐために外部からのTFTへ照射しよ
うとする光を遮断するためなどの目的で設けられるもの
で、通常、光遮断性が良く、且つ見た目の色が黒に近い
材料が用いられる。
【0003】ところで従来のカラ−フィルタは図2に示
すように構成され、絶縁性の透明基板1上に金属クロム
(Cr)からなる遮光層2が所定パタ−ンに形成され、
この遮光層2同士の間隙に、例えばR(赤),G
(緑),B(青)の各色の着色セルが隣接するセル同士
の色が異なるように形成され、着色層3が形成されてい
る。この着色層3の上に、例えばITOからなる透明電
極4が形成されている。尚、カラ−液晶表示装置に使用
するに当たっては、透明電極4が液晶と接する面をラビ
ング配向処理して、配向膜が形成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来のカラ−フィルタにおいては、金属クロムからな
る遮光層2は光の遮断性の点では極めて優れているとい
う長所を有するものの、カラ−液晶表示装置に使用した
場合、遮光層2が外部から表示パネル全面に照射された
光を反射して、表示パネルの画像品質を低下させるとい
う問題があった。そこで、遮光層2の材質としては、照
射された光を反射するような金属クロムではなく、黒色
のカラ−レジストを用いることが考えられている。例え
ば、黒色のカラ−レジストとしては、富士ハントテクノ
ロジ−製の黒色レジストBK2000を用い、この黒色
レジストをスピンナ(スピンコ−タ)又はロ−ルコ−タ
を用いて透明基板1上に塗布し、その上に酸素遮断膜を
形成した後、露光および現像して所定のパタ−ン形成を
行なって遮光層2を形成する。
【0005】このような黒色のカラ−レジストを用いた
遮光層2は、金属膜でないため照射された光の反射が少
なく、蒸着装置のような煩雑な装置ではなく、一般的な
スピンナなどの簡易な装置で製造可能であり、従ってコ
ストを大幅に低減出来るという長所を有している。しか
し、光遮断性が十分でなく、膜厚を厚くせねばならず、
このように厚い膜厚の上に着色セルを積層し、更にその
上に透明電極や配向膜などを形成すると、配向膜の表面
は凹凸が顕著になり、これが原因で配向膜に配向処理を
施した時に配向欠陥が生じたり、液晶セルのセル間隙が
不均一になるという問題があった。
【0006】この発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、遮光層が外光を反射するのを抑制することが出来、
カラ−液晶表示装置に使用した時に、表示パネルの画像
品質の低下が防止されるカラ−フィルタおよびその製造
方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明は、透明基板上
に遮光層および着色層が形成されてなるカラ−フィルタ
において、透明基板と遮光層との間に無数の細孔を有す
るアルミニウム陽極酸化膜が形成されてなるカラ−フィ
ルタである。
【0008】又、この発明は、透明基板上に遮光層およ
び着色層を形成する場合、予め、透明基板上に金属アル
ミニウムを成膜した後、陽極酸化により無数の細孔を有
するアルミニウム陽極酸化膜を形成し、その後、遮光
層,着色層を順次形成するカラ−フィルタの製造方法で
ある。
【0009】
【作用】この発明によれば、遮光層が外部から表示パネ
ル前面に照射された光を反射して表示パネルの画像品質
を低下させることを防止し、光遮断性が良く且つ膜厚が
厚くなることを抑えて配向欠陥などの問題が生じること
はない。
【0010】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の一実施例
を詳細に説明する。
【0011】この発明によるカラ−フィルタは図1に示
すように構成され、従来例(図2)と同一箇所は同一符
号を付すことにする。即ち、図中の符号1はガラス等か
らなる絶縁性の透明基板である。この透明基板1上に、
全面に亘って無数の細孔を有するアルミニウム陽極酸化
膜5が形成されている。このアルミニウム陽極酸化膜5
上に、金属クロムからなる遮光層2が所定パタ−ン例え
ばストライプ状に形成される。従って、遮光層2と遮光
層2が存在しない開口部とが存在することになる。この
場合、アルミニウム陽極酸化膜5が細孔を有しているた
め、遮光層2は凹凸となる。これら遮光層2および開口
部の上には、従来例と同様にR(赤),G(緑),B
(青)の3原色の着色セルからなる着色層3が形成さ
れ、この着色層3上に透明電極4が形成される。尚、ア
ルミニウム陽極酸化膜5が有している無数の細孔は、厚
さ方向に出来る亀裂ではない。次に、この発明のカラ−
フィルタの製造方法について、説明する。
【0012】先ず、周知の方法によりガラスからなる透
明基板1を用意し、この透明基板1上に、全面に亘って
金属アルミニウムをスパッタリング法や蒸着法などによ
り成膜する。その後、蓚酸水溶液,硫酸水溶液などの溶
液中にて陽極酸化を行なうことにより、透明基板1上に
無数の細孔を有するアルミニウム陽極酸化膜5を膜厚1
μm以下に形成する。次に、このアルミニウム陽極酸化
膜5上に、周知の方法により金属クロムからなる遮光層
2と、R(赤),G(緑),B(青)の3原色の着色セ
ルからなる着色層3とを順次形成する。最後に、この着
色層3上に周知の方法により透明電極4を形成する。
尚、アルミニウム陽極酸化膜5の形成は、上記以外の他
の酸化方法を用いても良い。
【0013】この実施例では、上記のように透明基板1
と遮光層2との間に無数の細孔を有するアルミニウム陽
極酸化膜5が形成されているので、その上に形成される
遮光層2は細孔のために凹凸となる。従って、カラ−液
晶表示装置に使用した場合、表示パネル前面より入射し
た光が細孔に沿って形成された遮光層2で乱反射され
る。その結果、見掛け上の反射光強さを下げることが出
来る。又、遮光層2はクロム,ニッケル等の金属で良い
ため、極めて薄い膜厚にて十分な光遮断性が得られる。
それ故、配向膜に配向欠陥などが発生するといった問題
点も解消される。 (変形例)
【0014】アルミニウム陽極酸化膜5は、上記実施例
のように金属アルミニウムを透明基板1上の全面に成膜
した後、公知のフォトリソグラフィ技術を用いて、遮光
層2と同一パタ−ンに形成しても良い。この場合、アル
ミニウム陽極酸化膜5と遮光層2とを付着させた後、エ
ッチングで遮光層2と同じパタ−ンに除去する。尚、エ
ッチング液をそれに適する材料にする。アルミニウム陽
極酸化膜5の厚さは薄い膜厚にて十分な反射光強さ軽減
効果が得られるため、アルミニウム陽極酸化膜5を遮光
層2と同一パタ−ンに形成した場合でも、配向膜に配向
欠陥などが発生するといった問題点を解消することが出
来る。
【0015】
【発明の効果】この発明によれば、透明基板と遮光層と
の間に無数の細孔を有するアルミニウム陽極酸化膜が形
成されているので、遮光層が外光を反射するのを抑制す
ることが出来る。従って、カラ−液晶表示装置に使用し
た時に、表示パネルの画像品質の低下が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に係るカラ−フィルタを示
す断面図。
【図2】従来のカラ−フィルタを示す断面図。
【符号の説明】
1…透明基板、2…遮光層、3…着色層、4…透明電
極、5…アルミニウム陽極酸化膜。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板上に遮光層および着色層が形成
    されてなるカラ−フィルタにおいて、 上記透明基板と上記遮光層との間に無数の細孔を有する
    アルミニウム陽極酸化膜が形成されてなることを特徴と
    するカラ−フィルタ。
  2. 【請求項2】 透明基板上に遮光層および着色層を形成
    するカラ−フィルタの製造方法において、 予め、上記透明基板上に金属アルミニウムを成膜した
    後、陽極酸化により無数の細孔を有するアルミニウム陽
    極酸化膜を形成し、その後、上記遮光層,着色層を順次
    形成することを特徴とするカラ−フィルタの製造方法。
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