JPH0617321Y2 - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH0617321Y2 JPH0617321Y2 JP1987158874U JP15887487U JPH0617321Y2 JP H0617321 Y2 JPH0617321 Y2 JP H0617321Y2 JP 1987158874 U JP1987158874 U JP 1987158874U JP 15887487 U JP15887487 U JP 15887487U JP H0617321 Y2 JPH0617321 Y2 JP H0617321Y2
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- Japan
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- shaped
- solid
- filter
- mark
- marks
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- Expired - Lifetime
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本考案はＣＣＤ等の電荷転送素子を用いた固体撮像装置
に関し、特にＣＣＤ素子とその上に載置するフィルタと
の位置合わせマークに関するものである。
に関し、特にＣＣＤ素子とその上に載置するフィルタと
の位置合わせマークに関するものである。
(ロ)従来の技術 固体撮像素子にフィルタを設ける場合、両者の位置関係
は極めて重要であり、ＣＣＤ素子表面に色分離フィルタ
を貼り合せるとき画素との対応を正確にするために位置
合わせマークを用いる。
は極めて重要であり、ＣＣＤ素子表面に色分離フィルタ
を貼り合せるとき画素との対応を正確にするために位置
合わせマークを用いる。
従来のＣＣＤペレットおよびフィルタは第３図(a)(b)に
示す構造であった。ＣＣＤペレット(11)には、ＣＣＤペ
レットの撮像部となる感光部(12)、外部への電極取り出
し域となるボンディングパッド(13)、なるべく画素に影
響しない部分に複数個設けた位置合わせマーク(14)とが
設けられている。フィルタ(15)には、透明硝子基板の一
面にＣＣＤ感光部(12)に相当する位置の各画素に対応し
てストライプまたはドット状フィルタ(16)、ＣＣＤペレ
ットとフィルタ(15)の貼り合わせのとき用いる位置合わ
せマーク(17)とが設けられる。位置合わせマーク(14)(1
7)は、ＣＣＤペレット(11)とフィルタ(15)の平行をとる
ために少なくとも一対を設けられる。
示す構造であった。ＣＣＤペレット(11)には、ＣＣＤペ
レットの撮像部となる感光部(12)、外部への電極取り出
し域となるボンディングパッド(13)、なるべく画素に影
響しない部分に複数個設けた位置合わせマーク(14)とが
設けられている。フィルタ(15)には、透明硝子基板の一
面にＣＣＤ感光部(12)に相当する位置の各画素に対応し
てストライプまたはドット状フィルタ(16)、ＣＣＤペレ
ットとフィルタ(15)の貼り合わせのとき用いる位置合わ
せマーク(17)とが設けられる。位置合わせマーク(14)(1
7)は、ＣＣＤペレット(11)とフィルタ(15)の平行をとる
ために少なくとも一対を設けられる。
第３図(a)(b)に示す位置合わせマーク(14)(17)は、ＣＣ
Ｄペレット(11)とフィルタ(15)との位置合わせすると
き、フィルタ(15)の位置合わせマーク(17)の中にＣＣＤ
ペレット(11)の位置合わせマーク(14)を入れ且つ余白が
上下左右とも等しくなる様に位置合わせをする。
Ｄペレット(11)とフィルタ(15)との位置合わせすると
き、フィルタ(15)の位置合わせマーク(17)の中にＣＣＤ
ペレット(11)の位置合わせマーク(14)を入れ且つ余白が
上下左右とも等しくなる様に位置合わせをする。
第４図に示す位置合わせマーク(14)(17)は、ＣＣＤペレ
ット(11)の位置合わせマーク(14)の四角をフィルタ(15)
の位置合わせマーク(17)の×印の中央に位置させる様に
位置合わせを行う。
ット(11)の位置合わせマーク(14)の四角をフィルタ(15)
の位置合わせマーク(17)の×印の中央に位置させる様に
位置合わせを行う。
(ハ)考案が解決しようとする問題点 しかしながら、一般にＣＣＤペレット(11)は１０mm角程
度と大きく、フィルタ(15)も同程度に大きく、精密な位
置合わせが難しい。
度と大きく、フィルタ(15)も同程度に大きく、精密な位
置合わせが難しい。
第３図(a)(b)に示す位置合わせマーク(14)(17)では、Ｃ
ＣＤペレット(11)の位置合わせマーク(14)をフィルタ(1
5)の位置合わせマーク(17)の中央に肉眼で合わせている
ので、精度の良い位置合わせはできない問題点がある。
ＣＤペレット(11)の位置合わせマーク(14)をフィルタ(1
5)の位置合わせマーク(17)の中央に肉眼で合わせている
ので、精度の良い位置合わせはできない問題点がある。
第４図に示す位置合わせマーク(14)(17)では、フィルタ
(15)の位置合わせマーク(17)のパターン幅を狭くするた
めに傾めのパターンニングが必要となり、現在のＣＡＤ
技術ではこの位置合わせマーク(17)の端部が階段状の凹
凸を形成して精度の良い位置合わせをできない問題点も
ある。
(15)の位置合わせマーク(17)のパターン幅を狭くするた
めに傾めのパターンニングが必要となり、現在のＣＡＤ
技術ではこの位置合わせマーク(17)の端部が階段状の凹
凸を形成して精度の良い位置合わせをできない問題点も
ある。
(ニ)問題点を解決するための手段 本考案は斯上した問題点に鑑みてなされ、２個のＬ字状
マークと２個の逆Ｌ字状のマークを用いることにより、
従来の欠点を大幅に改善した固体撮像装置を実現するも
のである。
マークと２個の逆Ｌ字状のマークを用いることにより、
従来の欠点を大幅に改善した固体撮像装置を実現するも
のである。
(ホ)作用 本考案に依れば、斜め方向に平行移動した２個のＬ字状
マークと２個の逆Ｌ字状マークを用いてＣＣＤペレット
とフィルタとの位置合わせを行うので、斜め方向の位置
合わせ精度を得られ、極めて高精度の位置合わせを実現
できる。
マークと２個の逆Ｌ字状マークを用いてＣＣＤペレット
とフィルタとの位置合わせを行うので、斜め方向の位置
合わせ精度を得られ、極めて高精度の位置合わせを実現
できる。
(ヘ)実施例 本考案によるＣＣＤペレットおよびフィルタは第１図
(a)(b)に示す構造を有する。ＣＣＤペレット(1)には、
撮像部となる感光部(2)、外部への電極取り出し域とな
るボンディングパッド(3)、なるべく画素に影響しない
周辺部分に複数個設けた傾め方向に平行移動した２個の
Ｌ字状マーク(4)とが設けられている。フィルタ(5)に
は、透明硝子基板の一面にＣＣＤ感光部(2)に相当する
位置の各画素に対応してストライプまたはドット状フィ
ルタ(6)、ＣＣＤペレット(1)とフィルタ(5)の貼り合わ
せのとき用いる傾め方向に平行移動した２個の逆Ｌ字状
マーク(7)とが設けられている。
(a)(b)に示す構造を有する。ＣＣＤペレット(1)には、
撮像部となる感光部(2)、外部への電極取り出し域とな
るボンディングパッド(3)、なるべく画素に影響しない
周辺部分に複数個設けた傾め方向に平行移動した２個の
Ｌ字状マーク(4)とが設けられている。フィルタ(5)に
は、透明硝子基板の一面にＣＣＤ感光部(2)に相当する
位置の各画素に対応してストライプまたはドット状フィ
ルタ(6)、ＣＣＤペレット(1)とフィルタ(5)の貼り合わ
せのとき用いる傾め方向に平行移動した２個の逆Ｌ字状
マーク(7)とが設けられている。
第２図はＣＣＤペレット(1)およびフィルタ(5)に設けた
Ｌ字状マーク(4)と逆Ｌ字状マーク(7)の部分拡大図であ
る。実線で示すのがＣＣＤペレット(1)に設けたＬ字状
マーク(4)であり、点線で示すのがフィルタ(5)に設けた
逆Ｌ字状マーク(7)である。Ｌ字状マーク(4)および逆Ｌ
字状マーク(7)の夫々のセルは同一のサイズに形成さ
れ、外辺は一辺の長さに形成され、４５°傾め方向に
√だけ平行移動されている。対応する２個のＬ字状
マーク(4)と逆Ｌ字状マーク(7)は第２図に示す如く、位
置合わせされる。即ち、Ｌ字状マーク(4)と逆Ｌ字状マ
ーク(7)の先端部分を重ねて、傾め方向にずれた２個の
ロ字状の正方形にする。この結果、正方形の中空部が８
ヶ所で夫々合同になる様に位置合わせを行い、更にＬ字
状マーク(4)の角と逆Ｌ字状マーク(7)の角とが４ケ所
（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで図示）で接することを確認すれば良
い。従って水平方向および垂直方向のパターンのみで、
傾め方向の位置合わせ精度を実現できる。特にＬ字状マ
ーク(4)および逆Ｌ字状マーク(7)を四角に設けることに
より、対角線方向の位置合わせ精度を実現できる。
Ｌ字状マーク(4)と逆Ｌ字状マーク(7)の部分拡大図であ
る。実線で示すのがＣＣＤペレット(1)に設けたＬ字状
マーク(4)であり、点線で示すのがフィルタ(5)に設けた
逆Ｌ字状マーク(7)である。Ｌ字状マーク(4)および逆Ｌ
字状マーク(7)の夫々のセルは同一のサイズに形成さ
れ、外辺は一辺の長さに形成され、４５°傾め方向に
√だけ平行移動されている。対応する２個のＬ字状
マーク(4)と逆Ｌ字状マーク(7)は第２図に示す如く、位
置合わせされる。即ち、Ｌ字状マーク(4)と逆Ｌ字状マ
ーク(7)の先端部分を重ねて、傾め方向にずれた２個の
ロ字状の正方形にする。この結果、正方形の中空部が８
ヶ所で夫々合同になる様に位置合わせを行い、更にＬ字
状マーク(4)の角と逆Ｌ字状マーク(7)の角とが４ケ所
（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで図示）で接することを確認すれば良
い。従って水平方向および垂直方向のパターンのみで、
傾め方向の位置合わせ精度を実現できる。特にＬ字状マ
ーク(4)および逆Ｌ字状マーク(7)を四角に設けることに
より、対角線方向の位置合わせ精度を実現できる。
(ト)考案の効果 本考案に依れば、２個のＬ字状マーク(4)と逆Ｌ字状マ
ーク(7)を組み合わせて、ＣＣＤペレット(1)の四角に設
ければ、両マーク(4)(7)の中空の正方形を８ケ所で確認
でき、両マーク(4)(7)の角の接点を４ケ所で確認でき、
極めて高精度の位置合わせを実現できる利点を有する。
ーク(7)を組み合わせて、ＣＣＤペレット(1)の四角に設
ければ、両マーク(4)(7)の中空の正方形を８ケ所で確認
でき、両マーク(4)(7)の角の接点を４ケ所で確認でき、
極めて高精度の位置合わせを実現できる利点を有する。
また２個のＬ字状マーク(4)および逆Ｌ字状マーク(7)を
傾め方向に平行移動して配置することにより、ななめマ
ークなしで傾め方向の位置合わせ精度を得られる利点を
有する。
傾め方向に平行移動して配置することにより、ななめマ
ークなしで傾め方向の位置合わせ精度を得られる利点を
有する。
第１図(a)(b)は本考案の位置合わせパターンを有するＣ
ＣＤペレットとフィルタを説明する上面図、第２図は本
考案の位置合わせパターンを用いた位置合わせを説明す
る上面図、第３図(a)(b)は従来の位置合わせパターンを
有するＣＣＤペレットとフィルタを説明する上面図、第
４図は従来の他の位置合わせパターンを説明する上面図
である。 (1)はＣＣＤペレット、(2)は感光部、(3)はボンディン
グパッド、(4)はＬ字状マーク、(5)はフィルタ、(6)は
ストライプまたはドット状フィルタ、(7)は逆Ｌ字状マ
ークである。
ＣＤペレットとフィルタを説明する上面図、第２図は本
考案の位置合わせパターンを用いた位置合わせを説明す
る上面図、第３図(a)(b)は従来の位置合わせパターンを
有するＣＣＤペレットとフィルタを説明する上面図、第
４図は従来の他の位置合わせパターンを説明する上面図
である。 (1)はＣＣＤペレット、(2)は感光部、(3)はボンディン
グパッド、(4)はＬ字状マーク、(5)はフィルタ、(6)は
ストライプまたはドット状フィルタ、(7)は逆Ｌ字状マ
ークである。
Claims (1)
- 【請求項１】固体撮像素子とその上に設けられるフィル
タとを有する固体撮像装置において、前記固体撮像素子
上面の複数ヶ所に、四辺形の隣り合う２辺を成す第１の
Ｌ字状マーク及びその四辺形の対角線方向にその対角線
の長さだけ平行移動した第２のＬ字状マークよりなる第
１の位置合わせマークが設けられ、前記フィルタの前記
固体撮像素子上面の前記第１の位置合わせマークと対応
する位置に、前記第１及び第２のＬ字状マークと同一形
状を成すと共に前記第１及び第２のＬ字状マークとそれ
ぞれ向かい合わせに配置される第１及び第２の逆Ｌ字状
マークよりなる第２の位置合わせマークが設けられるこ
とを特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158874U JPH0617321Y2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987158874U JPH0617321Y2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0163149U JPH0163149U (ja) | 1989-04-24 |
| JPH0617321Y2 true JPH0617321Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=31439596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987158874U Expired - Lifetime JPH0617321Y2 (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617321Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115038945A (zh) | 2020-02-28 | 2022-09-09 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置 |
-
1987
- 1987-10-16 JP JP1987158874U patent/JPH0617321Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0163149U (ja) | 1989-04-24 |
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