JPH06169050A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置の製造方法

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JPH06169050A
JPH06169050A JP34168292A JP34168292A JPH06169050A JP H06169050 A JPH06169050 A JP H06169050A JP 34168292 A JP34168292 A JP 34168292A JP 34168292 A JP34168292 A JP 34168292A JP H06169050 A JPH06169050 A JP H06169050A
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JP
Japan
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lead terminal
semiconductor device
lead
punch
holder
Prior art date
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JP34168292A
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English (en)
Inventor
Masahiko Tsumori
昌彦 津守
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Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置の信頼性を低下させることなく、
超弾性合金からなるリード端子を曲げ加工することがで
きる半導体装置の製造方法を提供する。 【構成】 フォーミングダイ11、フォーミングパンチ
13、およびストリッパブロック16にヒータ19を配
備して加熱する。パンチホルダ12を下降させると、こ
れに連動してカム18が回動し、フォーミングパンチ1
3を内側へ揺動変位させる。これにより、パッケージ本
体2から導出された超弾性合金製のリード端子3が、所
望の形態よりも過剰な形態まで変形する。パンチホルダ
12を上昇させると、リード端子3がスプリングバック
で若干弾性復帰し、所望の折り曲げ形態になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造方法
に係り、特に、超弾性合金からなるリードフレームを使
った例えば、表面実装型半導体装置などのリード端子の
曲げ加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、表面実装型半導体装置に使用され
るリードフレームは、42ALLOY(鉄−ニッケル合
金)や銅合金などで形成されている。しかし、最近の高
密度実装の要請により、表面実装型半導体装置のリード
端子は極めて微細化されており、上述の金属材料からな
るリードフレームを用いた場合、リード端子が変形し易
いという難点がある。
【0003】そこで、このような課題を解決するため
に、本出願人によって、超弾性合金からなるリードフレ
ームを使った半導体装置が提案されている(特願平4−
86508号)。超弾性合金は、図7(a)に示すよう
に、常温下では外部応力により変形しても、その外部応
力が除かれると、自力で元の形状に復元するという特性
を備えているので、リード端子の変形を有効に防止する
ことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな特性を有する超弾性合金を曲げ加工するには、この
合金を希望する形状に束縛した状態で、高温(例えば、
450〜500℃)で数十分加熱する必要がある。この
ような高温加熱を伴ったリード端子の曲げ加工を、モー
ルド成型後に行うと、モールド樹脂が劣化したり、半導
体素子のアルミニウム電極と金線との接続部などが劣化
あるいは破壊したりして、半導体装置の信頼性を低下さ
せるという問題を生じる。
【0005】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、半導体装置の信頼性を低下させること
なく、超弾性合金からなるリード端子を曲げ加工するこ
とができる半導体装置の製造方法を提供することを目的
としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために、図7(b)に示すような、超弾性合金
の特性に着目した。すなわち、超弾性合金を上述のよう
な高温下で束縛しなくても、例えば、80℃程度の加熱
下で弾性限度以上の外部応力を作用させ、続いて、除荷
した場合、超弾性合金は弾性的に復帰するが、外部応力
により生じたひずみの幾分かは永久ひずみとして残ると
いう特性を呈する。
【0007】上述した超弾性合金の特性に着目してなさ
れた本発明は、以下のような特徴を備えている。すなわ
ち、本発明は、超弾性合金からなるリードフレームを使
った半導体装置の製造方法であって、パッケージ本体か
ら導出されたリード端子を前記パッケージ本体を形成す
るモールド樹脂のガラス転移点よりも低い温度で加熱
し、前記加熱状態下で前記リード端子に外部応力を加え
て、前記リード端子が所望の折り曲げ形態よりも過剰な
形態になるまで変形させ、次に前記外部応力を取り除く
ことにより前記リード端子を弾性復帰させて所望の折り
曲げ形態とする。
【0008】
【作用】本発明の作用は次のとおりである。すなわち、
本発明によれば、モールド樹脂のガラス転移点よりも低
い温度でリード端子を加熱し、この加熱下でリード端子
に外部応力を加えてリード端子を所望の形態よりも過剰
な形態まで変形させ、次にこの外部応力を取り除いてい
るので、リード端子は前記外部応力が加えられたときの
変形状態から元の状態に向かって弾性的に若干復元し、
最終的には所望の折り曲げ形態の永久ひずみが残存する
ことになる。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図5は、後述する本実施例装置の加工対象であ
るワークの部分外観斜視図である。このワークWは、半
導体素子が組み込まれた、超弾性合金からなるリードフ
レーム1に、パッケージ本体2がモールド成型された
後、リード端子3を相互に連結していたダムバーが切断
除去されたものである。リードフレーム1を形成する超
弾性合金としては、例えば、Ni−Ti、Cu−Al−
Ni、Au−Cd、Ag−Cd、Cu−Zn−Al、C
u−Sn、Fe−Pt、Fe−Pd、In−Tl、Ni
−Alなどの合金がある。
【0010】図1は、上述したワークWのリード端子部
を折り曲げ加工するための折り曲げ加工装置の概略構成
を示している。自動化された工程において、ワークW
は、この折り曲げ加工装置の上手側に位置するダムバー
切断装置で処理された後、適宜な搬送機構によって折り
曲げ加工装置に搬入される。
【0011】実施例に係る折り曲げ加工装置は次のよう
に構成されている。ダイホルダ10上にフォーミングダ
イ11が配備されている。フォーミングダイ11の上面
には、パッケージ本体2から導出されたリード端子3の
基端部を支持する支持突片11aが一体に形成されてい
る。支持突片11aの外壁面は、リード端子3の所望の
折り曲げ角度よりも急峻な傾斜角度になるように設定さ
れている。
【0012】昇降自在なパンチホルダ12に、一対のフ
ォーミングパンチ13が支軸14によって揺動自在に支
持されている。一対のフォーミングパンチ13の間に、
パンチホルダ12に昇降自在に取り付けられ、コイルバ
ネ15によって下方に付勢されたストリッパブロック1
6がある。フォーミングパンチ13の外側に、カム軸1
7でそれぞれ回動自在に支持された一対のカム18が配
備されている。パンチホルダ12とカム軸17は図示し
ないギヤ機構などで連結されており、パンチホルダ12
の下降に伴って、カム軸17が回転駆動される。なお、
フォーミングパンチ13は、図示しないバネ材により外
側へそれぞれ付勢され、カム18に当接している。
【0013】フォーミングダイ11、フォーミングパン
チ13、およびストリッパブロック16は、ヒータ19
で加熱されている。加熱温度は、パッケージ本体2のモ
ールド樹脂のガラス転移点(約150℃)よりも低い温
度に設定される。モールド樹脂のガラス転移点よりも高
い温度に設定すると、モールド樹脂の劣化や、封止され
た半導体素子の信頼性を低下させるおそれがある。本実
施例では、加熱温度を80℃程度に設定している。
【0014】上述した折り曲げ加工装置にワークWが搬
入されるとき、フォーミングダイ11の支持突片11a
とストリッパブロック16との間に間隙ができるよう
に、パンチホルダ12が上昇している。フォーミングダ
イ11上にワークWが搬入されると、パンチホルダ12
が下降し、支持突片11aとストリッパブロック16と
でリード端子3の基端部がクランプされる(図1の状
態)。パンチホルダ12がさらに下降すると、フォーミ
ングパンチ13がリード端子3に作用して、これを下方
に折り曲げる。パンチホルダ12がさらに下降すると、
カム18が始動することにより、フォーミングパンチ1
3が内側へ揺動変位する。これにより、リード端子3が
支持突片11aの外側壁面に押し付けられ、所望の折り
曲げ形態よりも過剰な形態にまで変形する。
【0015】次に、パンチホルダ12が上昇することに
より、カム18が逆転してフォーミングパンチ13が元
の状態に揺動復帰し、さらにパンチホルダ12が上昇す
ることにより、ストリッパブロック16によるクランプ
が解除される。パンチホルダ12の上昇にともないリー
ド端子3に加えられていた外部応力が無くなるので、リ
ード端子3が、いわゆるスプリングバックの作用によ
り、元の状態へ向けて若干弾性的に復帰する。しかし、
リード端子3は加熱下で折り曲げ加工されているので永
久ひずみが残り、リード端子3が所望の形態に加工され
る。この様子を図6に示す。図中の破線は、フォーミン
グパンチ13で外部応力が加えられることにより、リー
ド端子3が過剰に変形された状態であり、前記外部応力
が取り除かれることにより、弾性復帰して実線で示した
ような所望の形態になる。
【0016】リード端子3が折り曲げ加工されたワーク
Wは、図3に示したようなリード端子切断装置に搬入さ
れる。ダイホルダ20上には昇降自在のストリッパブロ
ック21があり、コイルバネ22によって上方へ付勢さ
れている。ストリッパブロック21の両側にカットパン
チ23がそれぞれ配備されている。ストリッパブロック
21の上方には、昇降自在のリードカットダイ24があ
る。
【0017】ワークWがストリッパブロック21上に搬
入されると、図4に示すように、リードカットダイ24
が下降し、ストリッパブロック21と協働してリード端
子3の先端部をクランプする。リードカットダイ24が
さらに下降すると、ストリッパブロック21がコイルバ
ネ22のバネ力に抗して下降し、カットパンチ23とリ
ードカットダイ24とによって、リード端子3の先端部
が切断される。
【0018】本実施例において、カットパンチ23はリ
ード端子3の下側から作用するので、切断バリはリード
端子3の上面に発生する。したがって、この表面実装型
半導体装置を基板上に実装する場合、リード端子と基板
上の配線パターンとの間に切断バリが介在してリード端
子が浮くということがなく、ハンダ付け接続を確実に行
うことができる。
【0019】なお、上述の実施例に係る折り曲げ加工装
置では、リード端子3の下方への折り曲げと内側への折
り曲げとを、パンチホルダ12の一回の下降動作によっ
て行ったが、リード端子3の下方への折り曲げと、内側
への折り曲げとを、個別の装置で行うようにしてもよ
い。
【0020】また、実施例では、パッケージ本体2の対
向側辺からリード端子3が導出されたフラットパッケー
ジを例に採って説明したが、本発明はこれに限らず、パ
ッケージ本体の周囲4側辺からリード端子が導出された
QFP(Quad Flat Package)にも適用することができ
る。
【0021】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、パッケージ本体から導出された超弾性合金製
のリード端子を、パッケージ本体を形成するモールド樹
脂のガラス転移点よりも低い温度で加熱しながら外部応
力を加えて、リード端子を過剰に折り曲げ変形させ、前
記外部応力を取り除いたときのスプリングバックを利用
して、リード端子を所望の形態に加工しているので、モ
ールド成型された半導体装置を高温に曝す必要がなく、
半導体装置の信頼性を確保しつつ、超弾性合金からなる
リード端子を所望の形態に折り曲げ加工することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に係るリード端子の折り曲げ加工装置の
概略構成を示した図である。
【図2】折り曲げ加工装置でリード端子を過剰に変形さ
せた状態を示す図である。
【図3】実施例に係るリード端子切断装置の概略構成を
示した図である。
【図4】リード端子切断装置でリード端子を切断した状
態を示す図である。
【図5】ワークの部分外観斜視図である。
【図6】スプリングバックを利用した折り曲げ加工の説
明図である。
【図7】(a)は常温下における超弾性合金の応力−ひ
ずみ特性図である。(b)は加熱下における超弾性合金
の応力−ひずみ特性図である。
【符号の説明】
W…ワーク 1…リードフレーム 2…パッケージ本体 3…リード端子 10…ダイホルダ 11…フォーミングダイ 11a…支持突片 12…パンチホルダ 13…フォーミングパンチ 16…ストリッパブロック 18…カム 19…ヒータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超弾性合金からなるリードフレームを使
    った半導体装置の製造方法であって、パッケージ本体か
    ら導出されたリード端子を前記パッケージ本体を形成す
    るモールド樹脂のガラス転移点よりも低い温度で加熱
    し、前記加熱状態下で前記リード端子に外部応力を加え
    て、前記リード端子が所望の折り曲げ形態よりも過剰な
    形態になるまで変形させ、次に前記外部応力を取り除く
    ことにより前記リード端子を弾性復帰させて所望の折り
    曲げ形態とすることを特徴とする半導体装置の製造方
    法。
JP34168292A 1992-11-27 1992-11-27 半導体装置の製造方法 Pending JPH06169050A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005046907A (ja) * 2003-07-30 2005-02-24 Hitachi Hybrid Network Co Ltd 切断装置及び電子部品形成装置
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CN110355303A (zh) * 2019-07-05 2019-10-22 中航富士达科技股份有限公司 一种半硬同轴射频电缆防回弹高精度弯曲成型装置
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