JPH06167414A - 加振装置または振動除去装置 - Google Patents
加振装置または振動除去装置Info
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- JPH06167414A JPH06167414A JP5189833A JP18983393A JPH06167414A JP H06167414 A JPH06167414 A JP H06167414A JP 5189833 A JP5189833 A JP 5189833A JP 18983393 A JP18983393 A JP 18983393A JP H06167414 A JPH06167414 A JP H06167414A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 定盤のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向および回転軸Ｘθ、
Ｙθ、Ｚθ方向の加振または振動除去を正確になしうる
６自由度の加振装置または振動除去装置を提供する。 【構成】 定盤１に振動が生じると、Ｚ軸方向の振動は
検出センサの信号和ｚＳ１＋ｚＳ２＋ｚＳ３＋ｚＳ４で
検出され、またＸθ方向の振動は、（ｚＳ１＋ｚＳ４）
−（ｚＳ２＋ｚＳ３）で検出され、さらにＹθ方向の振
動は、（ｚＳ１＋ｚＳ２）−（ｚＳ３＋ｚＳ４）で検出
される。Ｙ軸方向の振動は振動センサの信号和ｙＳ１＋
ｙＳ２で、またＺθ方向の振動は、ｙＳ２−ｙＳ１で検
出される。Ｘ軸方向の振動は振動センサＸＳの検出信号
変位ｘＳで検出される。そして振動制御手段２は、振動
を与える場合は定盤１が所望の振動となるよう、また定
盤１の除振を行う場合はそれぞれの振動がゼロになるよ
うアクチュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４、Ｙ
Ａ１、ＹＡ２、ＸＡをそれぞれ駆動する。
Ｙθ、Ｚθ方向の加振または振動除去を正確になしうる
６自由度の加振装置または振動除去装置を提供する。 【構成】 定盤１に振動が生じると、Ｚ軸方向の振動は
検出センサの信号和ｚＳ１＋ｚＳ２＋ｚＳ３＋ｚＳ４で
検出され、またＸθ方向の振動は、（ｚＳ１＋ｚＳ４）
−（ｚＳ２＋ｚＳ３）で検出され、さらにＹθ方向の振
動は、（ｚＳ１＋ｚＳ２）−（ｚＳ３＋ｚＳ４）で検出
される。Ｙ軸方向の振動は振動センサの信号和ｙＳ１＋
ｙＳ２で、またＺθ方向の振動は、ｙＳ２−ｙＳ１で検
出される。Ｘ軸方向の振動は振動センサＸＳの検出信号
変位ｘＳで検出される。そして振動制御手段２は、振動
を与える場合は定盤１が所望の振動となるよう、また定
盤１の除振を行う場合はそれぞれの振動がゼロになるよ
うアクチュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４、Ｙ
Ａ１、ＹＡ２、ＸＡをそれぞれ駆動する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定器等が振動によっ
て受ける影響を確認する振動試験において目標とする振
動を定盤に与え、または無振動で行う必要のある実験等
において定盤の不要な振動の除去を行う６自由度の加振
装置または振動除去装置に関する。
て受ける影響を確認する振動試験において目標とする振
動を定盤に与え、または無振動で行う必要のある実験等
において定盤の不要な振動の除去を行う６自由度の加振
装置または振動除去装置に関する。
【０００２】
【従来技術】一般に、加振装置は測定器等に所望の振動
を与えることによりその振動が測定結果に及ぼす影響を
調べたり、物体が真の剛体でない場合に物体壁面及び物
体内部の柔軟部の振動による破壊状態等の検査を行うた
めに用いられ、また振動除去装置は無振動で行う必要の
ある実験等、例えば光学素子を用いた実験や半導体製造
装置の露光過程等においてこれらの装置に生じる振動を
除去するために用いられる。
を与えることによりその振動が測定結果に及ぼす影響を
調べたり、物体が真の剛体でない場合に物体壁面及び物
体内部の柔軟部の振動による破壊状態等の検査を行うた
めに用いられ、また振動除去装置は無振動で行う必要の
ある実験等、例えば光学素子を用いた実験や半導体製造
装置の露光過程等においてこれらの装置に生じる振動を
除去するために用いられる。
【０００３】そして、従来の６自由度の加振装置または
振動除去装置では、アクチュエータの配置方法として、
（１）図７に示すように、駆動用としてＸ軸方向に１
個、Ｘ軸の回転軸Ｘθ方向に２個、Ｙ軸方向に１個、Ｙ
軸の回転軸Ｙθ方向に２個、重力方向であるＺ軸方向に
４個、Ｚ軸の回転軸Ｚθ方向に２個のアクチュエータを
配置する構成や、（２）図８に示すように、駆動用とし
てＸ軸方向に１個、Ｘθ方向に２個、Ｙ軸方向に１個、
Ｙθ方向に２個、Ｚ軸方向に１個、Ｚθ方向に２個のア
クチュエータを配置する構成が採られている。また振動
センサの配置方法としては、図９に示すようにＸ軸方向
に１個、Ｘθ方向に２個、Ｙ軸方向に１個、Ｙθ方向に
２個、Ｚ軸方向に１個、Ｚθ方向に２個の振動センサを
配置する構成が採られている。そして、上記アクチュエ
ータの配置（１）、（２）に、上記振動センサの配置を
組み合せることで、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向およびＸθ、Ｙ
θ、Ｚθ方向の振動を検出し、所望の振動を与える加振
装置として、また振動の除去を行う振動除去装置として
機能する。
振動除去装置では、アクチュエータの配置方法として、
（１）図７に示すように、駆動用としてＸ軸方向に１
個、Ｘ軸の回転軸Ｘθ方向に２個、Ｙ軸方向に１個、Ｙ
軸の回転軸Ｙθ方向に２個、重力方向であるＺ軸方向に
４個、Ｚ軸の回転軸Ｚθ方向に２個のアクチュエータを
配置する構成や、（２）図８に示すように、駆動用とし
てＸ軸方向に１個、Ｘθ方向に２個、Ｙ軸方向に１個、
Ｙθ方向に２個、Ｚ軸方向に１個、Ｚθ方向に２個のア
クチュエータを配置する構成が採られている。また振動
センサの配置方法としては、図９に示すようにＸ軸方向
に１個、Ｘθ方向に２個、Ｙ軸方向に１個、Ｙθ方向に
２個、Ｚ軸方向に１個、Ｚθ方向に２個の振動センサを
配置する構成が採られている。そして、上記アクチュエ
ータの配置（１）、（２）に、上記振動センサの配置を
組み合せることで、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向およびＸθ、Ｙ
θ、Ｚθ方向の振動を検出し、所望の振動を与える加振
装置として、また振動の除去を行う振動除去装置として
機能する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
（１）のアクチュエータの配置方法では、アクチュエー
タの発生力の合成力を定盤の重心に非常に近い位置に作
用させ得るのであるが、アクチュエータの数が多くな
り、また一般にアクチュエータはそのサイズが大きいこ
とから、定盤に対するアクチュエータの正確な作用点が
特定できず、定盤の重心を正確に駆動できないという問
題があった。
（１）のアクチュエータの配置方法では、アクチュエー
タの発生力の合成力を定盤の重心に非常に近い位置に作
用させ得るのであるが、アクチュエータの数が多くな
り、また一般にアクチュエータはそのサイズが大きいこ
とから、定盤に対するアクチュエータの正確な作用点が
特定できず、定盤の重心を正確に駆動できないという問
題があった。
【０００５】また、前記（２）のアクチュエータの配置
方法では、アクチュエータの数を減らすことが出来る
が、前記（１）のアクチュエータの配置方法と同様な問
題点に加え、Ｚ軸方向のアクチュエータの数が少ないた
め荷重に対して駆動力に余裕をとることができず結果と
して加振または振動除去の正確な制御が困難であった。
さらに、図９のように振動センサを配置する場合には、
アクチュエータの占める容積との関係上、振動センサと
アクチュエータとを一直線上に配置するのが困難である
ため、振動の検出位置とアクチュエータの駆動位置とが
異なり加振または振動除去の正確な制御が容易ではなか
った。そして、かかる振動センサの配置では、６自由度
の検出に最小限必要な振動センサの数が６個であるのに
対して、９個のセンサを使用しなければならず低コスト
化が困難となるという問題があった。
方法では、アクチュエータの数を減らすことが出来る
が、前記（１）のアクチュエータの配置方法と同様な問
題点に加え、Ｚ軸方向のアクチュエータの数が少ないた
め荷重に対して駆動力に余裕をとることができず結果と
して加振または振動除去の正確な制御が困難であった。
さらに、図９のように振動センサを配置する場合には、
アクチュエータの占める容積との関係上、振動センサと
アクチュエータとを一直線上に配置するのが困難である
ため、振動の検出位置とアクチュエータの駆動位置とが
異なり加振または振動除去の正確な制御が容易ではなか
った。そして、かかる振動センサの配置では、６自由度
の検出に最小限必要な振動センサの数が６個であるのに
対して、９個のセンサを使用しなければならず低コスト
化が困難となるという問題があった。
【０００６】本発明は、これらの問題を解消するために
創案されたものであって、アクチュエータと振動センサ
をそれぞれＸ軸方向に１個、Ｙ軸方向に２個、垂直Ｚ軸
方向に４個の計７個を配設することによって、定盤の
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向および回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の
加振または振動除去を正確になしうる６自由度の加振装
置または振動除去装置を提供することを目的とする。
創案されたものであって、アクチュエータと振動センサ
をそれぞれＸ軸方向に１個、Ｙ軸方向に２個、垂直Ｚ軸
方向に４個の計７個を配設することによって、定盤の
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向および回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の
加振または振動除去を正確になしうる６自由度の加振装
置または振動除去装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の構成を図１に基
づいて説明する。上記目的を達成するために、本発明に
おける加振装置または振動除去装置は、定盤１に設置さ
れた振動センサにより定盤の振動を検出し、その信号を
用いてアクチュエータを駆動することにより、定盤の直
交Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向とそれぞれの回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚ
θ方向の６自由度の振動を能動的に制御するものであっ
て、それぞれＸ軸方向に１個（ＸＡ，ＸＳ）、Ｙ軸方向
に２個（ＹＡ１、ＹＡ２、ＹＳ１、ＹＳ２）、Ｚ軸方向
に４個（ＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４、ＺＳ１、Ｚ
Ｓ２、ＺＳ３、ＺＳ４）配設したアクチュエータ及び振
動センサと、前記Ｘθ方向の振動と前記Ｙθ方向の振動
を前記Ｚ軸方向に配設した４個のアクチュエータ（ＺＡ
１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４）と振動センサ（ＺＳ１、
ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４）を用いて、また前記Ｚθ軸の
振動を前記Ｙ軸方向に配設した２個のアクチュエータ
（ＹＡ１、ＹＡ２）と振動センサ（ＹＳ１、ＹＳ２）を
用いて制御する振動制御手段２と、を備えたことを特徴
とする。
づいて説明する。上記目的を達成するために、本発明に
おける加振装置または振動除去装置は、定盤１に設置さ
れた振動センサにより定盤の振動を検出し、その信号を
用いてアクチュエータを駆動することにより、定盤の直
交Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向とそれぞれの回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚ
θ方向の６自由度の振動を能動的に制御するものであっ
て、それぞれＸ軸方向に１個（ＸＡ，ＸＳ）、Ｙ軸方向
に２個（ＹＡ１、ＹＡ２、ＹＳ１、ＹＳ２）、Ｚ軸方向
に４個（ＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４、ＺＳ１、Ｚ
Ｓ２、ＺＳ３、ＺＳ４）配設したアクチュエータ及び振
動センサと、前記Ｘθ方向の振動と前記Ｙθ方向の振動
を前記Ｚ軸方向に配設した４個のアクチュエータ（ＺＡ
１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４）と振動センサ（ＺＳ１、
ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４）を用いて、また前記Ｚθ軸の
振動を前記Ｙ軸方向に配設した２個のアクチュエータ
（ＹＡ１、ＹＡ２）と振動センサ（ＹＳ１、ＹＳ２）を
用いて制御する振動制御手段２と、を備えたことを特徴
とする。
【０００８】
【作用】定盤１において振動が生じると、Ｚ軸方向の振
動は検出センサＺＳ１、ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４の信号
和ｚＳ１＋ｚＳ２＋ｚＳ３＋ｚＳ４で検出され、またＸ
θ方向の振動は、（ｚＳ１＋ｚＳ４）−（ｚＳ２＋ｚＳ
３）で検出され、さらにＹθ方向の振動は、（ｚＳ１＋
ｚＳ２）−（ｚＳ３＋ｚＳ４）で検出される。Ｙ軸方向
の振動は振動センサＹＳ１、ＹＳ２の信号和ｙＳ１＋ｙ
Ｓ２で、また、Ｚθ方向の振動は、ｙＳ２−ｙＳ１で検
出される。Ｘ軸方向の振動は振動センサＸＳの検出信号
ｘＳで検出される。そして振動制御手段２はこれらの６
自由度方向の検出信号を用い、加振装置として使用する
場合は定盤１が所望の振動となるよう、また、振動除去
装置として使用する場合は定盤１の振動がゼロになるよ
う、アクチュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４、
ＹＡ１、ＹＡ２、ＸＡをそれぞれ駆動する。
動は検出センサＺＳ１、ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４の信号
和ｚＳ１＋ｚＳ２＋ｚＳ３＋ｚＳ４で検出され、またＸ
θ方向の振動は、（ｚＳ１＋ｚＳ４）−（ｚＳ２＋ｚＳ
３）で検出され、さらにＹθ方向の振動は、（ｚＳ１＋
ｚＳ２）−（ｚＳ３＋ｚＳ４）で検出される。Ｙ軸方向
の振動は振動センサＹＳ１、ＹＳ２の信号和ｙＳ１＋ｙ
Ｓ２で、また、Ｚθ方向の振動は、ｙＳ２−ｙＳ１で検
出される。Ｘ軸方向の振動は振動センサＸＳの検出信号
ｘＳで検出される。そして振動制御手段２はこれらの６
自由度方向の検出信号を用い、加振装置として使用する
場合は定盤１が所望の振動となるよう、また、振動除去
装置として使用する場合は定盤１の振動がゼロになるよ
う、アクチュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４、
ＹＡ１、ＹＡ２、ＸＡをそれぞれ駆動する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に基づいて説
明する。
明する。
【００１０】１は定盤で、加振装置として使用する場合
は振動検査を行うべき測定器等が載置され、また振動除
去装置として使用する場合は、無振動で行う必要のある
実験等、例えば光学素子を用いた実験や露光過程を行う
半導体製造装置等が載置される。定盤１の下部には定盤
１の振動の検出を行う振動センサ及び定盤１に所定の付
勢力を与えるアクチュエータが配設されている。振動セ
ンサはＺ軸方向の振動を検出する４つのセンサＺＳ１、
ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４とＹ軸方向の振動を検出する２
つのセンサＹＳ１、ＹＳ２、及びＸ軸方向の振動を検出
するセンサＸＳの計７個によって構成され、またアクチ
ュエータはＺ軸方向に定盤を付勢する４つのアクチュエ
ータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４とＹ軸方向に定盤
を付勢する２つのアクチュエータＹＡ１、ＹＡ２、及び
Ｘ軸方向に定盤を付勢するアクチュエータＸＡの７個に
よって構成される。ここで図１で示されるように、アク
チュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４は定盤１と
垂直方向すなわちＺ軸方向に、またアクチュエータＹＡ
１，ＹＡ２は定盤１の短辺方向すなわちＹ軸方向に、さ
らにアクチュエータＸＡは定盤１の長辺方向すなわちＸ
軸方向に定盤１を付勢するよう配置されている。そし
て、これらの振動センサ及びアクチュエータはそれぞれ
軸方向に一直線上になるよう配設されている。
は振動検査を行うべき測定器等が載置され、また振動除
去装置として使用する場合は、無振動で行う必要のある
実験等、例えば光学素子を用いた実験や露光過程を行う
半導体製造装置等が載置される。定盤１の下部には定盤
１の振動の検出を行う振動センサ及び定盤１に所定の付
勢力を与えるアクチュエータが配設されている。振動セ
ンサはＺ軸方向の振動を検出する４つのセンサＺＳ１、
ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４とＹ軸方向の振動を検出する２
つのセンサＹＳ１、ＹＳ２、及びＸ軸方向の振動を検出
するセンサＸＳの計７個によって構成され、またアクチ
ュエータはＺ軸方向に定盤を付勢する４つのアクチュエ
ータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４とＹ軸方向に定盤
を付勢する２つのアクチュエータＹＡ１、ＹＡ２、及び
Ｘ軸方向に定盤を付勢するアクチュエータＸＡの７個に
よって構成される。ここで図１で示されるように、アク
チュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４は定盤１と
垂直方向すなわちＺ軸方向に、またアクチュエータＹＡ
１，ＹＡ２は定盤１の短辺方向すなわちＹ軸方向に、さ
らにアクチュエータＸＡは定盤１の長辺方向すなわちＸ
軸方向に定盤１を付勢するよう配置されている。そし
て、これらの振動センサ及びアクチュエータはそれぞれ
軸方向に一直線上になるよう配設されている。
【００１１】図２は定盤１の下部に配設された振動セン
サとアクチュエータの一実施例を示したもので、Ｓは定
盤１に埋設された振動センサで、Ａは定盤１に埋設され
た磁性体Ａ２とマグネットＡ１によって凹設された遊嵌
孔Ａ４にコイルＡ３が遊嵌されることによって構成され
た電磁式アクチュエータである。なお、大重量の制御を
行うためアクチュエータは空気圧や油圧式によるもので
もよく、また大重量の制御を可能としまた広範囲の周波
数にわたって振動の制御を可能とするため空気圧アクチ
ュエータと電磁式アクチュエータとを組み合わせたもの
を用いてもよい。 図３は電磁式アクチュエータと空気
圧アクチュエータ（空気バネと空気ダンパにより構成）
を組み合わせた場合の一実施例を示したものである。８
０は円柱上の形状をした基台であり、その内部に中空部
を有し、その中空部は一方が絞られた貫通孔８３が貫設
された分離壁８５によって第一室８１と第２室８２の２
室に区分けされている。そして第一室８１の円柱側面に
エア入出力部８６が形成されここから空気が第一室８１
に供給される。そして第一室８１の上部は第一室８１の
側壁に端部が固定された弾性体８４でおおわれており、
これらにより第一室８１は空気バネ８０ａを構成してい
る。弾性体８４はその下部を弾性支持体８８で支持され
ることにより駆動軸９２の載置部が平面状形状に保たれ
る。また第２室８２は分離壁８５の貫通孔８３を介して
圧入された空気によって所定圧力に保たれることにより
全体として空気ダンパ８０ｂを構成している。また８７
は基台８０の上部に定盤１の駆動軸９２を載置するため
の支持部である。
サとアクチュエータの一実施例を示したもので、Ｓは定
盤１に埋設された振動センサで、Ａは定盤１に埋設され
た磁性体Ａ２とマグネットＡ１によって凹設された遊嵌
孔Ａ４にコイルＡ３が遊嵌されることによって構成され
た電磁式アクチュエータである。なお、大重量の制御を
行うためアクチュエータは空気圧や油圧式によるもので
もよく、また大重量の制御を可能としまた広範囲の周波
数にわたって振動の制御を可能とするため空気圧アクチ
ュエータと電磁式アクチュエータとを組み合わせたもの
を用いてもよい。 図３は電磁式アクチュエータと空気
圧アクチュエータ（空気バネと空気ダンパにより構成）
を組み合わせた場合の一実施例を示したものである。８
０は円柱上の形状をした基台であり、その内部に中空部
を有し、その中空部は一方が絞られた貫通孔８３が貫設
された分離壁８５によって第一室８１と第２室８２の２
室に区分けされている。そして第一室８１の円柱側面に
エア入出力部８６が形成されここから空気が第一室８１
に供給される。そして第一室８１の上部は第一室８１の
側壁に端部が固定された弾性体８４でおおわれており、
これらにより第一室８１は空気バネ８０ａを構成してい
る。弾性体８４はその下部を弾性支持体８８で支持され
ることにより駆動軸９２の載置部が平面状形状に保たれ
る。また第２室８２は分離壁８５の貫通孔８３を介して
圧入された空気によって所定圧力に保たれることにより
全体として空気ダンパ８０ｂを構成している。また８７
は基台８０の上部に定盤１の駆動軸９２を載置するため
の支持部である。
【００１２】９０は図１で示された定盤１で、その上部
に物体を載置するためのテーブル９１、下部に空気バネ
８０ａと空気ダンパ８０ｂの付勢力をテーブル９１に伝
えるための駆動軸９２、及び駆動軸９２の端部にはコイ
ル９３ｂを遊嵌するための遊嵌孔９４を有する。この定
盤９０は空気バネ８０ａの非駆動時には基台１の支持部
８７に載置され、駆動時には空気バネ８０ａの付勢力に
よって弾性部８４を介して支えられる。
に物体を載置するためのテーブル９１、下部に空気バネ
８０ａと空気ダンパ８０ｂの付勢力をテーブル９１に伝
えるための駆動軸９２、及び駆動軸９２の端部にはコイ
ル９３ｂを遊嵌するための遊嵌孔９４を有する。この定
盤９０は空気バネ８０ａの非駆動時には基台１の支持部
８７に載置され、駆動時には空気バネ８０ａの付勢力に
よって弾性部８４を介して支えられる。
【００１３】９３はコイルアクチュエータで、基台８０
に立設され、定盤１の遊嵌孔９４に遊嵌されたコイル９
３ｂと定盤１の遊嵌孔９４の側壁に埋設されたマグネッ
ト９３ａ及び磁性体９３ｃから構成される。このコイル
アクチュエータ９３はコイル９３ｂに供給される所定電
流によって発生する電磁力によって定盤１の駆動軸９２
を付勢する。以上空気バネ８０ａ、空気ダンパ８０ｂお
よびコイルアクチュエータ９３は図１で示されたアクチ
ュエータに該当するものである。
に立設され、定盤１の遊嵌孔９４に遊嵌されたコイル９
３ｂと定盤１の遊嵌孔９４の側壁に埋設されたマグネッ
ト９３ａ及び磁性体９３ｃから構成される。このコイル
アクチュエータ９３はコイル９３ｂに供給される所定電
流によって発生する電磁力によって定盤１の駆動軸９２
を付勢する。以上空気バネ８０ａ、空気ダンパ８０ｂお
よびコイルアクチュエータ９３は図１で示されたアクチ
ュエータに該当するものである。
【００１４】図１において、２は振動制御手段で定盤１
の下部に配設された複数の振動センサの信号を受けて、
６自由度の振動を演算しその演算結果に基づいて定盤１
の６自由度の振動を制御する。例えば、加振装置として
使用する場合はぞれぞれの振動センサにより検出された
６自由度の振動が予め設定された所望の振動となるよう
アクチュエータを駆動制御し、また振動除去装置として
使用する場合はぞれぞれの振動センサにより検出された
６自由度の振動とは逆の方向にアクチュエータを駆動制
御する。
の下部に配設された複数の振動センサの信号を受けて、
６自由度の振動を演算しその演算結果に基づいて定盤１
の６自由度の振動を制御する。例えば、加振装置として
使用する場合はぞれぞれの振動センサにより検出された
６自由度の振動が予め設定された所望の振動となるよう
アクチュエータを駆動制御し、また振動除去装置として
使用する場合はぞれぞれの振動センサにより検出された
６自由度の振動とは逆の方向にアクチュエータを駆動制
御する。
【００１５】ここで、振動制御手段２の動作を図４のフ
ローチャートを用いて説明する。まず、Ｓ１で振動セン
サＺＳ１，ＺＳ２，ＺＳ３，ＺＳ４の信号、ｚＳ１、ｚ
Ｓ２、ｚＳ３、ｚＳ４を取り込んだ後、Ｓ２へ進んでＺ
軸方向の振動制御を行う。Ｚ軸方向の振動は振動センサ
ＺＳ１，ＺＳ２，ＺＳ３，ＺＳ４の和信号として検出
し、具体的には以下に示す駆動信号Ｚｓをそれぞれのア
クチュエータに供給する。 Ｚｓ＝Ｄｚ（ｔ）−Ｋ
（ｚＳ１＋ｚＳ２＋ｚＳ３＋ｚＳ４） Ｋは比例定数であって、Ｄｚ（ｔ）はＺ軸方向の目標と
する振動を与える関数でｔは時間を示す。なお、本発明
を振動除去装置として使用する場合は、Ｄｚ（ｔ）＝０
となり振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢される
こととなる。
ローチャートを用いて説明する。まず、Ｓ１で振動セン
サＺＳ１，ＺＳ２，ＺＳ３，ＺＳ４の信号、ｚＳ１、ｚ
Ｓ２、ｚＳ３、ｚＳ４を取り込んだ後、Ｓ２へ進んでＺ
軸方向の振動制御を行う。Ｚ軸方向の振動は振動センサ
ＺＳ１，ＺＳ２，ＺＳ３，ＺＳ４の和信号として検出
し、具体的には以下に示す駆動信号Ｚｓをそれぞれのア
クチュエータに供給する。 Ｚｓ＝Ｄｚ（ｔ）−Ｋ
（ｚＳ１＋ｚＳ２＋ｚＳ３＋ｚＳ４） Ｋは比例定数であって、Ｄｚ（ｔ）はＺ軸方向の目標と
する振動を与える関数でｔは時間を示す。なお、本発明
を振動除去装置として使用する場合は、Ｄｚ（ｔ）＝０
となり振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢される
こととなる。
【００１６】Ｓ３では定盤１のＸθ方向の振動制御を行
う。Ｘθ方向の振動は、Ｚ１とＺ４の和信号からＺ２と
Ｚ３の和信号を引いた信号、（ｚＳ１＋ｚＳ４）−（ｚ
Ｓ２＋ｚＳ３）で検出できる。すなわち、図５は、定盤
１をＸ軸方向から観察した略図であり、ｚＳ１＋ｚＳ４
は右端点Ｒの振動成分ｄＲの略２倍をまた、ｚＳ２＋ｚ
Ｓ３は左端点Ｌの振動成分ｄＬを略２倍したものを表す
ため、（ｚＳ１＋ｚＳ４）−（ｚＳ２＋ｚＳ３）の値は
Ｘθ方向の振動成分に略比例した値を表すこととなる。
したがって、Ｘθ方向の振動制御はアクチュエータＺＡ
１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４を用いて以下に示す駆動信
号Ｘθｓ１をＺＡ１、ＺＡ４にまたＸθｓ２をＺＡ２、
ＺＡ３に供給する。 Ｘθｓ１＝Ｄｘθ（ｔ）−Ｋ１｛（ｚＳ１＋ｚＳ４）−
（ｚＳ２＋ｚＳ３）｝ Ｘθｓ２＝−Ｄｘθ（ｔ）＋Ｋ１｛（ｚＳ１＋ｚＳ４）
−（ｚＳ２＋ｚＳ３） ｝ Ｋ１は比例定数であって、Ｄｘθ（ｔ）はＸθ方向
の目標とする振動を与える関数である。なお、本発明を
振動除去装置として使用する場合は、Ｄｘθ（ｔ）＝０
となりＸθの振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢
されることとなる。 Ｓ４では定盤１のＹθ方向の振動
制御を行う。Ｓ３と同様の原理でＹθ方向の振動は、ｚ
Ｓ１とｚＳ２の和信号からｚＳ３とｚＳ４の和信号を引
いた信号、（ｚＳ１＋ｚＳ２）−（ｚＳ３＋ｚＳ４）で
検出できる。したがって、Ｙθ方向の振動制御はアクチ
ュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４を用いて以下
に示す駆動信号Ｙθｓ１をＺＡ１、ＺＡ２にまたＹθｓ
２をＺＡ３、ＺＡ４に供給する。 Ｙθｓ１＝Ｄｙθ（ｔ）−Ｋ２｛（ｚＳ１＋ｚＳ２）−
（ｚＳ３＋ｚＳ４）｝ Ｙθｓ２＝−Ｄｙθ（ｔ）＋Ｋ２｛（ｚＳ１＋ｚＳ２）
−（ｚＳ３＋ｚＳ４） ｝ Ｋ２は比例定数であって、Ｄｙθ（ｔ）はＹθ方向
の目標とする振動を与える関数である。なお、本発明を
振動除去装置として使用する場合は、Ｄｙθ（ｔ）＝０
となりＹθの振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢
されることとなる。 次にＳ５で振動センサＹＳ１，Ｙ
Ｓ２の信号を取り込んだ後、Ｓ６へ進んでＹ軸方向の振
動制御を行う。Ｙ軸方向の振動は振動センサＹＳ１，Ｙ
Ｓ２の和信号ｙｓ１＋ｙｓ２として検出し、具体的には
以下に示す駆動信号Ｙｓをそれぞれのアクチュエータに
供給する。 Ｙｓ＝Ｄｙ（ｔ）−Ｋ３（ｙＳ１＋ｙＳ２） Ｋ３は比例定数であって、Ｄｙ（ｔ）はＹ軸方向の目標
とする振動を与える関数でｔは時間を示す。なお、本発
明を振動除去装置として使用する場合は、Ｄｙ（ｔ）＝
０となり振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢され
ることとなる。 Ｓ７では定盤のＺθ方向の振動制御を
行う。Ｚθ方向の振動は、ＹＳ２とＹＳ１の差信号すな
わち、ｙＳ２−ｙＳ１で検出できる。すなわち、図６
は、定盤１をＺ軸方向から観察した略図であり、ｙＳ２
は右端点Ｒの振動成分ｄＲをまた、ＹＳ１は左端点Ｌの
振動成分ｄＬを表すため、ｙＳ２−ｙＳ１の値はＺθ方
向の振動成分に略比例した値を表すこととなる。したが
って、Ｚθ方向の振動制御はアクチュエータＹＡ１、Ｙ
Ａ２を用いて以下に示す駆動信号Ｚθｓ１、Ｚθｓ２を
ＹＡ１、ＹＡ２に供給する。 Ｚθｓ１＝Ｄｚθ（ｔ）−Ｋ４（ｙＳ２−ｙＳ１） Ｚθｓ２＝−Ｄｚθ（ｔ）＋Ｋ４（ｙＳ２−ｙＳ１） Ｋ４は比例定数であって、Ｄｚθ（ｔ）はＺθ方向の目
標とする振動を与える関数である。なお、本発明を振動
除去装置として使用する場合は、Ｄｚθ（ｔ）＝０とな
りＺθの振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢され
ることとなる。次にＳ８で振動センサＸＳの信号を取り
込んだ後、Ｓ９へ進んでＸ軸方向の振動制御を行う。Ｘ
軸方向の振動はそのＸＳの信号を制御する方向にアクチ
ュエータＸＡを駆動する。具体的には以下に示す駆動信
号Ｘｓをそれぞれのアクチュエータに供給する。 Ｘｓ＝Ｄｘ（ｔ）−Ｋ５・ｘＳ Ｋ５は比例定数であって、Ｄｘ（ｔ）はＸ軸方向の目標
とする振動を与える関数でｔは時間を示す。なお、本発
明を振動除去装置として使用する場合は、Ｄｘ（ｔ）＝
０となり振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢され
ることとなる。 以上の実施例においては、それぞれ６
自由度の振動制御を別個に行ったが、Ｚ軸方向の振動を
検出する振動センサＺＳ１、ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４を
用いるＺ軸方向、Ｘθ方向、Ｙθ方向の制御を同時に行
うことも可能である。この場合、図４に示すフローチャ
ートのＳ２、Ｓ３、Ｓ４の制御に変えて、アクチュエー
タＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４に対して以下の駆動
信号を出力する。 ｚｓ１＝Ｚｓ＋Ｘθｓ１＋Ｙθｓ１ ｚｓ２＝Ｚｓ＋Ｘθｓ２＋Ｙθｓ１ ｚｓ３＝Ｚｓ＋Ｘθｓ２＋Ｙθｓ２ ｚｓ４＝Ｚｓ＋Ｘθｓ１＋Ｙθｓ２ 同様にＹ軸方向を検出するセンサＹＳ１、ＹＳ２を用い
るＹ軸方向、Ｚθ方向、の制御を同時に制御することも
可能である。この場合、図４に示すフローチャートのＳ
６、Ｓ７の制御に変えて、アクチュエータＹＡ１、ＹＡ
２に対して以下の駆動信号を出力する。 ｙｓ１＝Ｙｓ＋Ｚθｓ１ ｙｓ２＝Ｙｓ＋Ｚθｓ２ 以上の実施例で示したように本発明によればＸ軸方向に
１個、Ｙ軸方向に２個、Ｚ軸方向に４個の計７個のアク
チュエータと振動センサによって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の
振動および回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の加振制御まあ
は振動除去制御を正確になしえ、また重力方向であるＺ
軸方向のアクチュエータの数が多いので、大荷重に対し
ても駆動力に余裕があるため安定した制御が可能にな
る。
う。Ｘθ方向の振動は、Ｚ１とＺ４の和信号からＺ２と
Ｚ３の和信号を引いた信号、（ｚＳ１＋ｚＳ４）−（ｚ
Ｓ２＋ｚＳ３）で検出できる。すなわち、図５は、定盤
１をＸ軸方向から観察した略図であり、ｚＳ１＋ｚＳ４
は右端点Ｒの振動成分ｄＲの略２倍をまた、ｚＳ２＋ｚ
Ｓ３は左端点Ｌの振動成分ｄＬを略２倍したものを表す
ため、（ｚＳ１＋ｚＳ４）−（ｚＳ２＋ｚＳ３）の値は
Ｘθ方向の振動成分に略比例した値を表すこととなる。
したがって、Ｘθ方向の振動制御はアクチュエータＺＡ
１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４を用いて以下に示す駆動信
号Ｘθｓ１をＺＡ１、ＺＡ４にまたＸθｓ２をＺＡ２、
ＺＡ３に供給する。 Ｘθｓ１＝Ｄｘθ（ｔ）−Ｋ１｛（ｚＳ１＋ｚＳ４）−
（ｚＳ２＋ｚＳ３）｝ Ｘθｓ２＝−Ｄｘθ（ｔ）＋Ｋ１｛（ｚＳ１＋ｚＳ４）
−（ｚＳ２＋ｚＳ３） ｝ Ｋ１は比例定数であって、Ｄｘθ（ｔ）はＸθ方向
の目標とする振動を与える関数である。なお、本発明を
振動除去装置として使用する場合は、Ｄｘθ（ｔ）＝０
となりＸθの振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢
されることとなる。 Ｓ４では定盤１のＹθ方向の振動
制御を行う。Ｓ３と同様の原理でＹθ方向の振動は、ｚ
Ｓ１とｚＳ２の和信号からｚＳ３とｚＳ４の和信号を引
いた信号、（ｚＳ１＋ｚＳ２）−（ｚＳ３＋ｚＳ４）で
検出できる。したがって、Ｙθ方向の振動制御はアクチ
ュエータＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４を用いて以下
に示す駆動信号Ｙθｓ１をＺＡ１、ＺＡ２にまたＹθｓ
２をＺＡ３、ＺＡ４に供給する。 Ｙθｓ１＝Ｄｙθ（ｔ）−Ｋ２｛（ｚＳ１＋ｚＳ２）−
（ｚＳ３＋ｚＳ４）｝ Ｙθｓ２＝−Ｄｙθ（ｔ）＋Ｋ２｛（ｚＳ１＋ｚＳ２）
−（ｚＳ３＋ｚＳ４） ｝ Ｋ２は比例定数であって、Ｄｙθ（ｔ）はＹθ方向
の目標とする振動を与える関数である。なお、本発明を
振動除去装置として使用する場合は、Ｄｙθ（ｔ）＝０
となりＹθの振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢
されることとなる。 次にＳ５で振動センサＹＳ１，Ｙ
Ｓ２の信号を取り込んだ後、Ｓ６へ進んでＹ軸方向の振
動制御を行う。Ｙ軸方向の振動は振動センサＹＳ１，Ｙ
Ｓ２の和信号ｙｓ１＋ｙｓ２として検出し、具体的には
以下に示す駆動信号Ｙｓをそれぞれのアクチュエータに
供給する。 Ｙｓ＝Ｄｙ（ｔ）−Ｋ３（ｙＳ１＋ｙＳ２） Ｋ３は比例定数であって、Ｄｙ（ｔ）はＹ軸方向の目標
とする振動を与える関数でｔは時間を示す。なお、本発
明を振動除去装置として使用する場合は、Ｄｙ（ｔ）＝
０となり振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢され
ることとなる。 Ｓ７では定盤のＺθ方向の振動制御を
行う。Ｚθ方向の振動は、ＹＳ２とＹＳ１の差信号すな
わち、ｙＳ２−ｙＳ１で検出できる。すなわち、図６
は、定盤１をＺ軸方向から観察した略図であり、ｙＳ２
は右端点Ｒの振動成分ｄＲをまた、ＹＳ１は左端点Ｌの
振動成分ｄＬを表すため、ｙＳ２−ｙＳ１の値はＺθ方
向の振動成分に略比例した値を表すこととなる。したが
って、Ｚθ方向の振動制御はアクチュエータＹＡ１、Ｙ
Ａ２を用いて以下に示す駆動信号Ｚθｓ１、Ｚθｓ２を
ＹＡ１、ＹＡ２に供給する。 Ｚθｓ１＝Ｄｚθ（ｔ）−Ｋ４（ｙＳ２−ｙＳ１） Ｚθｓ２＝−Ｄｚθ（ｔ）＋Ｋ４（ｙＳ２−ｙＳ１） Ｋ４は比例定数であって、Ｄｚθ（ｔ）はＺθ方向の目
標とする振動を与える関数である。なお、本発明を振動
除去装置として使用する場合は、Ｄｚθ（ｔ）＝０とな
りＺθの振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢され
ることとなる。次にＳ８で振動センサＸＳの信号を取り
込んだ後、Ｓ９へ進んでＸ軸方向の振動制御を行う。Ｘ
軸方向の振動はそのＸＳの信号を制御する方向にアクチ
ュエータＸＡを駆動する。具体的には以下に示す駆動信
号Ｘｓをそれぞれのアクチュエータに供給する。 Ｘｓ＝Ｄｘ（ｔ）−Ｋ５・ｘＳ Ｋ５は比例定数であって、Ｄｘ（ｔ）はＸ軸方向の目標
とする振動を与える関数でｔは時間を示す。なお、本発
明を振動除去装置として使用する場合は、Ｄｘ（ｔ）＝
０となり振動方向と逆方向にアクチュエータが付勢され
ることとなる。 以上の実施例においては、それぞれ６
自由度の振動制御を別個に行ったが、Ｚ軸方向の振動を
検出する振動センサＺＳ１、ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ４を
用いるＺ軸方向、Ｘθ方向、Ｙθ方向の制御を同時に行
うことも可能である。この場合、図４に示すフローチャ
ートのＳ２、Ｓ３、Ｓ４の制御に変えて、アクチュエー
タＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ４に対して以下の駆動
信号を出力する。 ｚｓ１＝Ｚｓ＋Ｘθｓ１＋Ｙθｓ１ ｚｓ２＝Ｚｓ＋Ｘθｓ２＋Ｙθｓ１ ｚｓ３＝Ｚｓ＋Ｘθｓ２＋Ｙθｓ２ ｚｓ４＝Ｚｓ＋Ｘθｓ１＋Ｙθｓ２ 同様にＹ軸方向を検出するセンサＹＳ１、ＹＳ２を用い
るＹ軸方向、Ｚθ方向、の制御を同時に制御することも
可能である。この場合、図４に示すフローチャートのＳ
６、Ｓ７の制御に変えて、アクチュエータＹＡ１、ＹＡ
２に対して以下の駆動信号を出力する。 ｙｓ１＝Ｙｓ＋Ｚθｓ１ ｙｓ２＝Ｙｓ＋Ｚθｓ２ 以上の実施例で示したように本発明によればＸ軸方向に
１個、Ｙ軸方向に２個、Ｚ軸方向に４個の計７個のアク
チュエータと振動センサによって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の
振動および回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の加振制御まあ
は振動除去制御を正確になしえ、また重力方向であるＺ
軸方向のアクチュエータの数が多いので、大荷重に対し
ても駆動力に余裕があるため安定した制御が可能にな
る。
【００１７】制御方法に関して上記実施例では比例制御
を行ったが、本発明の場合これらに限定されるものでは
なく、例えば最適レギュレータを用いてもよいし、ＰＩ
Ｄ制御方式をとってもよく、振動を十分制御できる制御
方法であればよい。
を行ったが、本発明の場合これらに限定されるものでは
なく、例えば最適レギュレータを用いてもよいし、ＰＩ
Ｄ制御方式をとってもよく、振動を十分制御できる制御
方法であればよい。
【００１８】本発明の実施例で示した振動センサについ
ては、例えば加速度センサでも、速度センサでもよく、
信号を微分あるいは積分して用いてもよい。
ては、例えば加速度センサでも、速度センサでもよく、
信号を微分あるいは積分して用いてもよい。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば水平Ｘ軸方向に１個、Ｙ
軸方向に２個、垂直Ｚ軸方向に４個の計７個のアクチュ
エータと振動センサによって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の振動
および回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の加振制御まあは振
動除去制御を正確になしえ、また重力方向であるＺ軸方
向のアクチュエータの数が多いので、大荷重に対しても
駆動力に余裕があるため安定した制御が可能になる。
軸方向に２個、垂直Ｚ軸方向に４個の計７個のアクチュ
エータと振動センサによって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の振動
および回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の加振制御まあは振
動除去制御を正確になしえ、また重力方向であるＺ軸方
向のアクチュエータの数が多いので、大荷重に対しても
駆動力に余裕があるため安定した制御が可能になる。
【００２０】また、定盤の振動は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向お
よびＸθ、Ｙθ、Ｚθ方向の６自由度であり、振動セン
サは６個が最小の個数であるが、その個数に究めて近い
７個のセンサで６自由度の振動制御をなし得るため、構
造が簡単でかつ低価格な加振装置または振動除去装置の
提供が可能となる。
よびＸθ、Ｙθ、Ｚθ方向の６自由度であり、振動セン
サは６個が最小の個数であるが、その個数に究めて近い
７個のセンサで６自由度の振動制御をなし得るため、構
造が簡単でかつ低価格な加振装置または振動除去装置の
提供が可能となる。
【００２１】さらに、上述したようにアクチュエータの
数が少ないためスペース的に余裕ができ、アクチュエー
タと振動センサを一直線上に配置することが容易とな
る。これにより振動の検出方向とアクチュエータの駆動
方向とが一致し正確かつ迅速な振動制御を行うことが可
能となる。
数が少ないためスペース的に余裕ができ、アクチュエー
タと振動センサを一直線上に配置することが容易とな
る。これにより振動の検出方向とアクチュエータの駆動
方向とが一致し正確かつ迅速な振動制御を行うことが可
能となる。
【図１】本発明の一実施例のアクチュエータおよびセン
サを７個配置した例を示す図である。
サを７個配置した例を示す図である。
【図２】定盤の下部に配設された振動センサとアクチュ
エータの一実施例を示した図である。
エータの一実施例を示した図である。
【図３】電磁式アクチュエータと空気圧アクチュエータ
（空気バネと空気ダンパにより構成）を組み合わせた場
合の一実施例を示したものである。
（空気バネと空気ダンパにより構成）を組み合わせた場
合の一実施例を示したものである。
【図４】本発明の振動制御手段の動作を示したフローチ
ャートである。
ャートである。
【図５】Ｘ軸方向から定盤を観察しＸθ方向の振動成分
を示したものである。
を示したものである。
【図６】Ｚ軸方向から定盤を観察しＹθ方向の振動成分
を示したものである。
を示したものである。
【図７】アクチュエータを１２個使用した従来の加振装
置または振動除去装置を示す図である。
置または振動除去装置を示す図である。
【図８】アクチュエータを９個使用した従来の加振装置
または振動除去装置を示す図である。
または振動除去装置を示す図である。
【図９】振動センサを９個使用した従来の加振装置また
は振動除去装置を例を示す図である。
は振動除去装置を例を示す図である。
１・・・・・定盤 ２・・・・・振動制御手段 ＸＳ、ＹＳ１、ＹＳ２、ＺＳ１、ＺＳ２、ＺＳ３、ＺＳ
４・・振動センサ ＸＡ、ＹＡ１、ＹＡ２、ＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ
４・・アクチュエータ
４・・振動センサ ＸＡ、ＹＡ１、ＹＡ２、ＺＡ１、ＺＡ２、ＺＡ３、ＺＡ
４・・アクチュエータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 19/02 Ｄ 7314−3Ｈ Ｇ１２Ｂ 9/08 Ｂ 6947−2Ｆ (72)発明者 小林 清人 京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会 社島津製作所三条工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 振動センサにより定盤の振動を検出し、
その信号を用いてアクチュエータを駆動することによっ
て定盤の水平直交Ｘ、Ｙ軸方向と、垂直Ｚ軸方向及びそ
れぞれの回転軸Ｘθ、Ｙθ、Ｚθ方向の６自由度の振動
を能動的に付加または除去する加振装置または振動除去
装置において、 Ｘ軸方向に１個、Ｙ軸方向に２個、Ｚ軸方向に４個それ
ぞれ配設したアクチュエータ及び振動センサと、 前記Ｘθ方向の振動と前記Ｙθ方向の振動を前記Ｚ軸方
向に配設した４個のアクチュエータと振動センサを用い
て、また前記Ｚθ方向の振動を前記Ｙ軸方向に配設した
２個のアクチュエータと振動センサを用いて付加または
除去する振動制御手段と、 を備えたことを特徴とする加振装置または振動除去装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18983393A JP3282302B2 (ja) | 1992-09-30 | 1993-07-30 | 加振装置または振動除去装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-261845 | 1992-09-30 | ||
| JP26184592 | 1992-09-30 | ||
| JP18983393A JP3282302B2 (ja) | 1992-09-30 | 1993-07-30 | 加振装置または振動除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06167414A true JPH06167414A (ja) | 1994-06-14 |
| JP3282302B2 JP3282302B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=26505715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18983393A Expired - Fee Related JP3282302B2 (ja) | 1992-09-30 | 1993-07-30 | 加振装置または振動除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3282302B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5750897A (en) * | 1995-06-14 | 1998-05-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Active anti-vibration apparatus and method of manufacturing the same |
| JP2008002681A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | センサ／アクチュエータ整合が改善された能動振動絶縁システム |
| US7478710B2 (en) | 2004-05-09 | 2009-01-20 | Rami Ben-Maimon | Vacuum pump vibration isolator |
| KR101290919B1 (ko) * | 2010-08-04 | 2013-07-29 | 구라시키 가코 가부시키가이샤 | 제진 장치 |
| JP2013533810A (ja) * | 2011-05-31 | 2013-08-29 | コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ | ５自由度運動誤差補正機能を有する能動補正型ステージおよびその運動誤差補正方法 |
| CN104344884A (zh) * | 2013-07-26 | 2015-02-11 | 珠海格力电器股份有限公司 | 传感器的安装保护装置和空调器的振动检测装置 |
| AU2019429490B2 (en) * | 2019-02-13 | 2021-08-26 | Anhui University of Science and Technology | Six-degree-of-freedom series-parallel electromagnetic vibration test stand |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6587487B2 (ja) | 2015-09-30 | 2019-10-09 | 倉敷化工株式会社 | アクティブ除振装置及びそのセンサの設置方法 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP18983393A patent/JP3282302B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5750897A (en) * | 1995-06-14 | 1998-05-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Active anti-vibration apparatus and method of manufacturing the same |
| US7478710B2 (en) | 2004-05-09 | 2009-01-20 | Rami Ben-Maimon | Vacuum pump vibration isolator |
| JP2008002681A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | センサ／アクチュエータ整合が改善された能動振動絶縁システム |
| KR101290919B1 (ko) * | 2010-08-04 | 2013-07-29 | 구라시키 가코 가부시키가이샤 | 제진 장치 |
| JP2013533810A (ja) * | 2011-05-31 | 2013-08-29 | コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ | ５自由度運動誤差補正機能を有する能動補正型ステージおよびその運動誤差補正方法 |
| US9079279B2 (en) | 2011-05-31 | 2015-07-14 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Actively compensated stage having 5-DOF motion error compensation and motion error compensating method thereof |
| CN104344884A (zh) * | 2013-07-26 | 2015-02-11 | 珠海格力电器股份有限公司 | 传感器的安装保护装置和空调器的振动检测装置 |
| AU2019429490B2 (en) * | 2019-02-13 | 2021-08-26 | Anhui University of Science and Technology | Six-degree-of-freedom series-parallel electromagnetic vibration test stand |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3282302B2 (ja) | 2002-05-13 |
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