JPH0616009B2 - 塵埃測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、クリーンルーム内の塵埃濃度の測定等に利用
される塵埃測定装置に関する。

（従来の技術） 一般に、微粒子計数器等の塵埃測定装置は、クリーンル
ーム内の塵埃濃度の測定等、気体内の塵埃濃度の測定に
用いられる。

このような従来の塵埃測定装置は、吸引装置に接続され
測定対象となる塵埃を含む気体を採取するためのサンプ
リング管と、この気体内の塵埃濃度を、例えばレーザ光
等を用いて測定する測定装置とから構成されている。

なお、被測定気体を採取するためのサンプリング管等
は、例えばウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなる柔
軟な樹脂製配管によって構成されているものが多い。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述の従来の塵埃測定装置では、サンプ
リング管がウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなる絶
縁性の配管によって構成されているため、内部を流通す
る気体との摩擦等によりこの配管が帯電し、測定対象の
塵埃がこの配管内に付着して、正確な塵埃濃度を測定す
ることができないという問題がある。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもの
で、静電気により塵埃がサンプリング管内に付着するこ
とを防止することができ、従来に比べて正確に塵埃濃度
を測定することのできる塵埃測定装置を提供しようとす
るものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、サンプリング配管により気体を採取
し、気体中の塵埃濃度を測定する塵埃測定装置におい
て、前記サンプリング配管の周囲に、放電を生じさせる
ことによって前記サンプリング配管の静電気を除去し、
前記サンプリング配管の内部を流通する被測定気体に含
まれる塵埃が静電気による影響を受けることを防止する
除電手段を設けたことを特徴とする。

（作 用） 本発明の塵埃測定装置では、サンプリング配管の周囲
に、放電を生じさせることによってサンプリング配管の
静電気を除去し、サンプリング配管の内部を流通する被
測定気体に含まれる塵埃が静電気による影響を受けるこ
とを防止する除電手段を備えている。この除電手段は、
例えば、サンプリング管の周囲に所定間隔を設けて配置
された複数の棒状の放電体からなり、これらの放電体に
それぞれ交流電圧を印加して放電を生じさせ、サンプリ
ング管の周囲の雰囲気をイオン化することによりサンプ
リング管内の静電気を除去するように構成されている。

したがって、静電気により塵埃がサンプリング管内等に
付着することを防止することができ、従来に比べて正確
に塵埃濃度を測定することができる。

（実施例） 以下本発明の塵埃測定装置を図面を参照して一実施例に
ついて説明する。

この実施例の塵埃測定装置１は、吸引装置を備えレーザ
光等を用いて塵埃濃度をカウントする測定装置２と、例
えばウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなり測定装置
２に接続されて被測定気体を採取するサンプリング管３
と、このサンプリング管３に配置された除電装置４とか
ら構成されている。

除電装置４は、第２図および第３図に示すように、サン
プリング管３の周囲を囲んで、例えば正三角形の各頂点
に位置するように配置された3体の放電体５およびこれ
らの放電体５を固定するためのアルミニウム板等からな
る複数の環状固定部材６と、これらの放電体５に高電圧
を供給する電源装置（交流）７とから構成されている。

なお、3体の放電体５のほぼ中心に配置されるサンプリ
ング管３と各放電体５との間隔は、例えば30mm〜50mm程
度となるように各放電体５が固定されている。

これらの放電体５は、例えば板厚が3mm程度のアルミニ
ウム板等からなり中心側の面に開口８ａを形成された直
方体形状の容器状部材８と、この容器状部材８内のほぼ
中央部に長手方向に平行するように配置開口８ａ側へ向
けて突出する多数の針状部材９ａを連設された棒状部材
９とから構成されている。

なお、容器状部材８は、幅ｂ例えば25mm、厚さｃ例えば
15mm、長さは例えば1000mm程度の容器状に形成されてい
る。また、棒状部材９は、例えば直径5mm〜10mm程度の
ステンレス丸棒状を芯材９ｂとし、この芯材９ｂに直径
例えば0.3mm、長さ例えば5mm程度のステンレス等からな
る針状部材９ａを間隔例えば10mm〜15mm程度で芯材９ｂ
の長手方向に一列に並べて固定し、針状部材９ａ部分を
除いて周囲を例えば硬質塩化ビニル等の絶縁性部材９ｃ
で被覆した構成とされている。

そして、容器状部材８は、電源装置７のアース側に接続
され、針状部材９ａには、芯材９ｂを介して電源装置７
から例えば7キロボルト程度の交流電圧が印加され、針
状部材９ａと、容器状部材８の開口８ａ端部との間でコ
ロナ放電が生じるよう構成されている。

そして、このコロナ放電によりサンプリング管３周囲の
雰囲気をイオン化し、サンプリング管３に電荷を供給し
て、電気的に中和する。

この作用は、静電誘導によりサンプリング管３壁を通じ
て内部にまで及び、サンプリング管３内部も電気的に中
和される。

上記構成のこの実施例の塵埃測定装置１は、測定室１０
内に配置された被測定物１１からの発塵量を測定するた
めの発塵量測定装置等に配置される。

そして、ブロワ１２により、導入配管１３および、測定
室１０上部に設置されたフィルタ１４を介して、測定室
１０内の被測定物１１に清浄化空気を吹き付け、測定室
１０を通過し被測定物１１から発生した塵埃を含む空気
を、測定室１０下部にベルマウスレデューサ１５を介し
接続された排気配管１６内から、サンプリング管３によ
って採取し、測定装置２によって塵埃濃度をカンウント
する。この時、除電装置４が作動され、サンプリング管
３内の静電気が除去される。

なお、フィルタ１４は、上部に配置されたプレフィルタ
１４ａと、下部に配置された超高性能エアフィルタ１４
ｂとから構成されている。また、排気配管１６のサンプ
リング配管３が配置された部位の下流側には、例えばオ
リフィス１７ａと圧力計１７ｂ等からなる流量測定手段
が配置されている。この流量測定手段により、吸引によ
るサンプリング管３先端部の気体の流速が、排気配管１
６内の気体の流速とはほぼ等しくなるようブロワ１２に
よる送風量を制御して気体採取部分において乱流等が生
じないようにする。

すなわち、この実施例の塵埃測定装置では、サンプリン
グ管３を囲むように配置された3体の放電体５において
コロナ放電を生じさせ、サンプリング管３周囲の雰囲気
をイオン化して、サンプリング管３内部の静電気を除去
する。したがって、サンプリング管３内部に測定対象の
塵埃が付着することを防止することができ、正確に塵埃
濃度を測定することができる。

第４図に示す実施例においては、超高性能エアフィルタ
１４ｂの下流に除電装置４ａを配設し、ベルマウスレデ
ューサ１５、排気配管１６が金属材料である場合にアー
ス１８を取り付けたものである。

第５図に示す実施例においては、ベルマウスレデューサ
１５と排気配管１６に除電装置４ｂ配設したもので非金
属な材質を使用した場合にも対応できる。

上記第４図および第５図に示す実施例においては、被測
定物、配管等に発塵粒子が付着することを防止するもの
であり、特に帯電性の高い高分子材料等の測定をする場
合には高い精度の測定を行うことができる。

［発明の効果］ 上述のように、本発明の塵埃測定装置では、静電気によ
り塵埃がサンプリング管内に付着することを防止するこ
とができ、従来に比べて正確に塵埃量を測定することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は発塵量測定装置に配置された本発明の一実施例
の塵埃測定装置の構成を示す図、第２図は第１図の要部
を示す斜視図、第３図は第２図の断面図、第４図および
第５図は他の実施例の塵埃測定装置の構成を示す図であ
る。 １……塵埃測定装置、２……測定装置、３……サンプリ
ング管、４……除電装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深尾 仁 東京都新宿区西新宿１丁目25番１号 大成 建設株式会社内 (72)発明者 今福 正幸 東京都新宿区西新宿１丁目25番１号 大成 建設株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−95226（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】サンプリング配管により気体を採取し、気
   体中の塵埃濃度を測定する塵埃測定装置において、 前記サンプリング配管の周囲に、放電を生じさせること
   によって前記サンプリング配管の静電気を除去し、前記
   サンプリング配管の内部を流通する被測定気体に含まれ
   る塵埃が静電気による影響を受けることを防止する除電
   手段を設けたことを特徴とする塵埃測定装置。
2. 【請求項２】前記サンプリング配管が樹脂製の配管から
   構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の塵埃測定装置。