JPS6195226A - 微粒子計測システム - Google Patents
微粒子計測システムInfo
- Publication number
- JPS6195226A JPS6195226A JP21674584A JP21674584A JPS6195226A JP S6195226 A JPS6195226 A JP S6195226A JP 21674584 A JP21674584 A JP 21674584A JP 21674584 A JP21674584 A JP 21674584A JP S6195226 A JPS6195226 A JP S6195226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piping
- air
- sample
- sample air
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2205—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling with filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N2001/222—Other features
- G01N2001/2223—Other features aerosol sampling devices
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、クリーンルーム関連の微粒子計測システムに
関するものである。
関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、半導体関連の伸びはめまぐるしいものがあるが、
それに伴いクリーンルーム等における無塵化が望まれて
いる。そのため、クリーンルーム内の塵等の微粒子を計
測する微粒子計測システムが必要となってきた。従来の
微粒子計測システムを第３図に基づいて説明する。同図
において、サンプルエア配管２の一゛端は微粒子計測器
に接続され、他端のサンプルエア吸引口１よりエアを吸
引する構成としている。このサンプルエア配管２が１０
〜１５ｍ以上長くなるか、あるいは曲部が多い場合、微
粒子がサンプルエア配管２内に拡散付着、沈着を起こし
、正確な微粒子計測ができないという問題点を有してい
た。
それに伴いクリーンルーム等における無塵化が望まれて
いる。そのため、クリーンルーム内の塵等の微粒子を計
測する微粒子計測システムが必要となってきた。従来の
微粒子計測システムを第３図に基づいて説明する。同図
において、サンプルエア配管２の一゛端は微粒子計測器
に接続され、他端のサンプルエア吸引口１よりエアを吸
引する構成としている。このサンプルエア配管２が１０
〜１５ｍ以上長くなるか、あるいは曲部が多い場合、微
粒子がサンプルエア配管２内に拡散付着、沈着を起こし
、正確な微粒子計測ができないという問題点を有してい
た。
発明の目的
本発明は上記問題点を解消し、サンプルエア配管内での
微粒子拡散付着、沈着を防止し、サンプルエア配管を長
くすることができ、微粒子計測システムを提供すること
を目的とする。
微粒子拡散付着、沈着を防止し、サンプルエア配管を長
くすることができ、微粒子計測システムを提供すること
を目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するために本発明の微粒子計測システム
は、サンプルエア吸引口よりサンプルエアを取込み、微
粒子計測器へ送り込むエアサンプル配管と、このエアサ
ンプル配管の吸引口近傍で分岐し、微粒子計測器側のエ
アサンプル配管の一部と合流した循環配管と、この循環
配管の一部にそれぞれ設けられたエアポンプと、イオン
発生部とを備え前記エアサンプル配管および循環配管の
内壁を前記イオン発生部からのイオンと同一電極に分極
させ、前記エアサンプル配管と循環配管の合流部にはフ
ィルタを設け、このフィルタも前記イオンと同一電極に
分極させた構成である０以上の構成によれば、吸引口よ
り吸引された微粒子とイオン発生部よシ発生させたイオ
ンとをサンプルエア配管と循環配管との分岐点で混合し
、微粒子を帯電させるため、この帯電した微粒子と同一
電極に分極させたエアサンプル配管内壁と帯電微粒子は
電気的に反発し、エアサンプル配管内の拡散付着、沈着
を防止できるものである。
は、サンプルエア吸引口よりサンプルエアを取込み、微
粒子計測器へ送り込むエアサンプル配管と、このエアサ
ンプル配管の吸引口近傍で分岐し、微粒子計測器側のエ
アサンプル配管の一部と合流した循環配管と、この循環
配管の一部にそれぞれ設けられたエアポンプと、イオン
発生部とを備え前記エアサンプル配管および循環配管の
内壁を前記イオン発生部からのイオンと同一電極に分極
させ、前記エアサンプル配管と循環配管の合流部にはフ
ィルタを設け、このフィルタも前記イオンと同一電極に
分極させた構成である０以上の構成によれば、吸引口よ
り吸引された微粒子とイオン発生部よシ発生させたイオ
ンとをサンプルエア配管と循環配管との分岐点で混合し
、微粒子を帯電させるため、この帯電した微粒子と同一
電極に分極させたエアサンプル配管内壁と帯電微粒子は
電気的に反発し、エアサンプル配管内の拡散付着、沈着
を防止できるものである。
実施例の説明
本発明の一実施例の微粒子計測システムを第１図、第２
図に基づいて説明する。なお、従来の微粒子計測システ
ムと同一の構成要素に対しては、同一番号を付けて説明
を省略する。第１図において、サンプルエア配管２のサ
ンプルエア吸引口１の近傍で分岐し、イオン発生部４お
よびエアポンプ了を介して再びサンプルエア配管２の微
粒子計測器３側に合流する循環配管６を設けている。こ
の合成部には表面が分極したフィルタを取付けている。
図に基づいて説明する。なお、従来の微粒子計測システ
ムと同一の構成要素に対しては、同一番号を付けて説明
を省略する。第１図において、サンプルエア配管２のサ
ンプルエア吸引口１の近傍で分岐し、イオン発生部４お
よびエアポンプ了を介して再びサンプルエア配管２の微
粒子計測器３側に合流する循環配管６を設けている。こ
の合成部には表面が分極したフィルタを取付けている。
以上の構成をした微粒子計測システムについて、以下動
作を説明する。サンプルエア吸引口１からサンプル空気
は吸引されサンプルエア配管２内に入る。このときエア
ポンプ７は矢印方向に空気を循環させるように動作する
。よってサンプルエア配管２のサンプルエア吸引口１近
傍の分岐点において、イオン発生部４から送られてきた
イオンとサンプルエアとが混合し、サンプルエア内の微
粒子にイオンが付着し帯電する。サンプルエア配管２の
内筒２Ａは、あらかじめ帯電した微粒子すなわち流入イ
オンと同一電極に分極されており、帯電した微粒子は、
電気的反発力によりサンプルエア配管２に拡散付着、沈
着することなく、微粒子計測器３に送られ計測される。
作を説明する。サンプルエア吸引口１からサンプル空気
は吸引されサンプルエア配管２内に入る。このときエア
ポンプ７は矢印方向に空気を循環させるように動作する
。よってサンプルエア配管２のサンプルエア吸引口１近
傍の分岐点において、イオン発生部４から送られてきた
イオンとサンプルエアとが混合し、サンプルエア内の微
粒子にイオンが付着し帯電する。サンプルエア配管２の
内筒２Ａは、あらかじめ帯電した微粒子すなわち流入イ
オンと同一電極に分極されており、帯電した微粒子は、
電気的反発力によりサンプルエア配管２に拡散付着、沈
着することなく、微粒子計測器３に送られ計測される。
循環配管６よりサンプルエア配管２内にイオンと一諸に
流出した循環空気は、微粒子計測器３側に分岐した循環
配管６の吸入口に取付けられ、流入イオンと同一電極に
表面が分極したフィルタ６を通って循環配管６に送られ
る。この場合、流入イオンはフィルタ６の電気的反発力
により、循環配管６内には流入せず、全量が微粒子計測
器３に送られる。循環空気は、再びエアポンプ７により
、イオン発生部４を通って、イオンとともにサンプルエ
ア配管２の流入口側に送られる。まだイオン発生部４か
ら送り出されるイオンは、循環配管６の内筒６Ａも、発
生したイオンと同一電極に分極されているため、電気的
反発力により、循環配管内筒６Ａに付着することなくサ
ンプルエア配管２内に送られる。なお、イオン発生部４
は、イオンさえ発生できればどのようなものでも良く、
その−例を第２図に示す。第２図において、８は荷電部
であり、９は電極板である。
流出した循環空気は、微粒子計測器３側に分岐した循環
配管６の吸入口に取付けられ、流入イオンと同一電極に
表面が分極したフィルタ６を通って循環配管６に送られ
る。この場合、流入イオンはフィルタ６の電気的反発力
により、循環配管６内には流入せず、全量が微粒子計測
器３に送られる。循環空気は、再びエアポンプ７により
、イオン発生部４を通って、イオンとともにサンプルエ
ア配管２の流入口側に送られる。まだイオン発生部４か
ら送り出されるイオンは、循環配管６の内筒６Ａも、発
生したイオンと同一電極に分極されているため、電気的
反発力により、循環配管内筒６Ａに付着することなくサ
ンプルエア配管２内に送られる。なお、イオン発生部４
は、イオンさえ発生できればどのようなものでも良く、
その−例を第２図に示す。第２図において、８は荷電部
であり、９は電極板である。
発明の効果
このように本発明によれば、吸引するサンプルエアの微
粒子をを帯電させ、・しかもサンプルエア配管の内筒を
同一電極に分極させているため、電気的反発力により、
微粒子が配管内に拡散付着、沈着することを防、止でき
サンプルエア配管を長くのばすことができる。
粒子をを帯電させ、・しかもサンプルエア配管の内筒を
同一電極に分極させているため、電気的反発力により、
微粒子が配管内に拡散付着、沈着することを防、止でき
サンプルエア配管を長くのばすことができる。
第１図は本発明の一実施例における計測システムの断面
図、第２図はイオン発生部の一例を示す断面図、第３図
は従来微粒子計測システムのブロック図である。 １・・・・・・サンプルエア吸引口、２・・・・・・サ
ンプルエア配管、２Ａ、６Ａ・・・・・・内筒、３・・
・・・・微粒子計測器、４・・・・・・イオン発生部、
５・・・・・・フィルタ、６・・・・・・循環配管、７
・・・・・・エアポンプ。
図、第２図はイオン発生部の一例を示す断面図、第３図
は従来微粒子計測システムのブロック図である。 １・・・・・・サンプルエア吸引口、２・・・・・・サ
ンプルエア配管、２Ａ、６Ａ・・・・・・内筒、３・・
・・・・微粒子計測器、４・・・・・・イオン発生部、
５・・・・・・フィルタ、６・・・・・・循環配管、７
・・・・・・エアポンプ。
Claims (1)
- サンプルエア吸引口よりサンプルエアを取込み、微粒子
計測器へ送り込むエアサンプル配管と、このエアサンプ
ル配管の吸引口近傍で分岐し、微粒子計測器側のエアサ
ンプル配管の一部と合流した循環配管と、この循環配管
の一部にそれぞれ設けられたエアポンプと、イオン発生
部とを備え、前記エアサンプル配管および循環配管の内
壁を前記イオン発生部からのイオンと同一電極に分極さ
せ、前記エアサンプル配管と循環配管の合流部にはフィ
ルタを設け、このフィルタも前記イオンと同一電極に分
極させた微粒子計測システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21674584A JPS6195226A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 微粒子計測システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21674584A JPS6195226A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 微粒子計測システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195226A true JPS6195226A (ja) | 1986-05-14 |
Family
ID=16693262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21674584A Pending JPS6195226A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 微粒子計測システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6195226A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208742A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Tokyo Electron Ltd | 塵埃測定装置 |
| JP2002277010A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | 空調ダクト装置 |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP21674584A patent/JPS6195226A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208742A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Tokyo Electron Ltd | 塵埃測定装置 |
| JP2002277010A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | 空調ダクト装置 |
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