JPS63208742A - 塵埃測定装置 - Google Patents
塵埃測定装置Info
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- JPS63208742A JPS63208742A JP4238987A JP4238987A JPS63208742A JP S63208742 A JPS63208742 A JP S63208742A JP 4238987 A JP4238987 A JP 4238987A JP 4238987 A JP4238987 A JP 4238987A JP S63208742 A JPS63208742 A JP S63208742A
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 35
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- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、クリーンルーム内の塵埃濃度の測定等に利用
される塵埃測定装置に関する。
される塵埃測定装置に関する。
（従来の技術）
一般に、微粒子計数器等の塵埃測定装置は、クリーンル
ーム内の塵埃濃度の測定等、気体内の塵埃濃度の測定に
用いられる。
ーム内の塵埃濃度の測定等、気体内の塵埃濃度の測定に
用いられる。
このような従来の塵埃測定装置は、吸引装置に接続され
測定対象となる塵埃を含む気体を採取するためのサンプ
リング管と、この気体内の塵埃濃度を、例えばレーザ光
等を用いて測定する測定装置とから構成されている。
測定対象となる塵埃を含む気体を採取するためのサンプ
リング管と、この気体内の塵埃濃度を、例えばレーザ光
等を用いて測定する測定装置とから構成されている。
なお、被測定気体を採取するためのサンプリング管等は
、例えばウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなる柔軟
な樹脂製配管によって構成されているものが多い。
、例えばウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなる柔軟
な樹脂製配管によって構成されているものが多い。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上述の従来の塵埃測定装置では、サンプ
リング管がウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなる絶
縁性の配管によって構成されているため、内部を流通す
る気体との摩擦等によりこの配管が帯電し、測定対象の
塵埃がこの配管内に付着して、正確な塵埃濃度を測定す
ることができないという問題がある。
リング管がウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなる絶
縁性の配管によって構成されているため、内部を流通す
る気体との摩擦等によりこの配管が帯電し、測定対象の
塵埃がこの配管内に付着して、正確な塵埃濃度を測定す
ることができないという問題がある。
本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、静電気により塵埃がサンプリング管内に付着すること
を防止することができ、従来に比べて正確に塵埃濃度を
測定することのできる塵埃測定装置を提供しようとする
ものである。
、静電気により塵埃がサンプリング管内に付着すること
を防止することができ、従来に比べて正確に塵埃濃度を
測定することのできる塵埃測定装置を提供しようとする
ものである。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段）
すなわち本発明は、気体を採取し、気体中の塵埃濃度を
測定する塵埃測定装置において、被測定気体に含まれる
塵埃が静電気による影響を受けることを防ぐ除電手段を
備えたことを特徴とする。
測定する塵埃測定装置において、被測定気体に含まれる
塵埃が静電気による影響を受けることを防ぐ除電手段を
備えたことを特徴とする。
（作 用）
本発明の塵埃測定装置では、被測定気体に含まれる塵埃
が静電気による影響を受けることを防ぐ除電手段を備え
ている。この除電手段は、例えば、サンプリング管の周
囲に所定間隔を設けて配置された複数の棒状の放電体か
らなり、これらの放電体にそれぞれ交流電圧を印加して
放電を生じさせ、サンプリング管の周囲の雰囲気をイオ
ン化することによりサンプリング管内の静電気を除去す
るよう構成されている。
が静電気による影響を受けることを防ぐ除電手段を備え
ている。この除電手段は、例えば、サンプリング管の周
囲に所定間隔を設けて配置された複数の棒状の放電体か
らなり、これらの放電体にそれぞれ交流電圧を印加して
放電を生じさせ、サンプリング管の周囲の雰囲気をイオ
ン化することによりサンプリング管内の静電気を除去す
るよう構成されている。
したがって、静電気により塵埃がサンプリング管内等に
付着することと防止することができ、従来に比べて正確
に塵埃濃度を測定することができる。
付着することと防止することができ、従来に比べて正確
に塵埃濃度を測定することができる。
（実施例）
以下本発明の塵埃測定装置を図面を９照して一実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
この実施例の塵埃測定装置１は、吸引装置を備えレーザ
光等を用いて塵埃濃度をカウントする測定装置２と、例
えばウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなり測定装置
２に接続されて被測定気体を採取するサンプリング管３
と、このサンプリング管３に配置された除電装置４とか
ら構成されている。
光等を用いて塵埃濃度をカウントする測定装置２と、例
えばウレタン樹脂、塩化ビニル樹脂等からなり測定装置
２に接続されて被測定気体を採取するサンプリング管３
と、このサンプリング管３に配置された除電装置４とか
ら構成されている。
除電装置ｔ１は、第２図および第３図に示すように、サ
ンプリング管３の周囲を囲んで、例えば正三角形の各頂
点に位置するよう配置された３体の放電体５およびこれ
らの放電体５を固定するためのアルミニウム板等からな
る複数の環状固定部材６と、これらの放電体５に高電圧
を供給する電源装置（交流）７とから構成されている。
ンプリング管３の周囲を囲んで、例えば正三角形の各頂
点に位置するよう配置された３体の放電体５およびこれ
らの放電体５を固定するためのアルミニウム板等からな
る複数の環状固定部材６と、これらの放電体５に高電圧
を供給する電源装置（交流）７とから構成されている。
なお、３体の放電体５のほぼ中心に配置されるサンプリ
ング管３と各放電体５との間隔は、例えば３０ｎｎ〜５
０ｎｎ程度となるよう各放電体５が固定されている。
ング管３と各放電体５との間隔は、例えば３０ｎｎ〜５
０ｎｎ程度となるよう各放電体５が固定されている。
これらの放電体５は、例えば板厚が３ｉｎ程度のアルミ
ニウム板等からなり中心側の面に開口８ａを形成された
直方体形状の容器状部材８と、この容器状部材８内のほ
ぼ中央部に長手方向に平行するように配置され開口８ａ
側へ向けて突出する多数の針状部材９ａを連設された棒
状部材９とから構成されている。
ニウム板等からなり中心側の面に開口８ａを形成された
直方体形状の容器状部材８と、この容器状部材８内のほ
ぼ中央部に長手方向に平行するように配置され開口８ａ
側へ向けて突出する多数の針状部材９ａを連設された棒
状部材９とから構成されている。
なお、容器状部材８は、幅す例えば２５ｍｍ、厚さＣ例
えば１５ｎｎ、長さは例えば１１０００ｎ程度の容器状
に形成されている。また、棒状部材９は、例えば直径５
１１〜１０１１程度のステンレス丸棒等を芯材９ｂとし
、この芯材９ｂに直径例えば０．３ｉｎ、長さ例えば５
ｉｎ程度のステンレス等からなる針状部材９ａを間隔例
えば１０ＩＩ１１〜１５１１Ｉｌ程度で芯材９ｂの長平
方向に一列に並べて固定し、針状部材９ａ部分を除いて
周囲を例えば硬質塩化ビニル等の絶縁性部材９Ｃで被覆
した構成とされている。
えば１５ｎｎ、長さは例えば１１０００ｎ程度の容器状
に形成されている。また、棒状部材９は、例えば直径５
１１〜１０１１程度のステンレス丸棒等を芯材９ｂとし
、この芯材９ｂに直径例えば０．３ｉｎ、長さ例えば５
ｉｎ程度のステンレス等からなる針状部材９ａを間隔例
えば１０ＩＩ１１〜１５１１Ｉｌ程度で芯材９ｂの長平
方向に一列に並べて固定し、針状部材９ａ部分を除いて
周囲を例えば硬質塩化ビニル等の絶縁性部材９Ｃで被覆
した構成とされている。
そして、容器状部材８は、電源装置７のアース側に接続
され、針状部材９ａには、芯材９ｂを介して電源装置７
から例えば７キロボルト程度の交流電圧が印加され、針
状部材９ａと、容器状部材８の開口８ａ端部との間でコ
ロナ放電が生じるよう構成されている。
され、針状部材９ａには、芯材９ｂを介して電源装置７
から例えば７キロボルト程度の交流電圧が印加され、針
状部材９ａと、容器状部材８の開口８ａ端部との間でコ
ロナ放電が生じるよう構成されている。
そして、このコロナ放電によりサンプリング管３周囲の
雰囲気をイオン化し、サンプリング管３に電荷を供給し
て、電気的に中和する。
雰囲気をイオン化し、サンプリング管３に電荷を供給し
て、電気的に中和する。
この作用は、静電誘導によりサンプリング管３壁を通じ
て内部にまで及び、サンプリング管３内部も電気的に中
和される。
て内部にまで及び、サンプリング管３内部も電気的に中
和される。
上記構成のこの実施例の塵埃測定装置１は、測定室１０
内に配置された被測定物１１からの発塵量を測定するた
めの発ａｊｉ測定装置等に配置される。
内に配置された被測定物１１からの発塵量を測定するた
めの発ａｊｉ測定装置等に配置される。
そして、ブロワ１２により、導入配管１３および、測定
室１０上部に配置されたフィルタ１４を介して、測定室
１０内の被測定物１１に清浄化空気を吹き付け、測定室
１０を通過し被測定物１１から発生した塵埃を含む空気
を、測定室１ｏ下部にベルマウスレデューサ１５を介し
接続された排気配管１６内から、サンプリング管３によ
って採取し、測定装置２によって塵埃濃度をカウントす
る。この時、除電袋？１４が作動され、サンプリング管
３内の静電気が除去される。
室１０上部に配置されたフィルタ１４を介して、測定室
１０内の被測定物１１に清浄化空気を吹き付け、測定室
１０を通過し被測定物１１から発生した塵埃を含む空気
を、測定室１ｏ下部にベルマウスレデューサ１５を介し
接続された排気配管１６内から、サンプリング管３によ
って採取し、測定装置２によって塵埃濃度をカウントす
る。この時、除電袋？１４が作動され、サンプリング管
３内の静電気が除去される。
なお、フィルタ１４は、上部に配置されたプレフィルタ
１４ａと、下部に配置された超高性能エアフィルタ１４
ｂとから構成されている。また、排気配管１６のサンプ
リング配管３が配置された部位の下流側には、例えばオ
リフィス１７ａと圧力計１７ｂ等からなる流量測定手段
が配置されている。この流星測定手段により、吸引によ
るサンプリング管３先端部の気体の流速が、排気配管１
６内の気体の流速とほぼ等しくなるようブロワ１２によ
る送風量を制御して気体採取部分において乱流等が生じ
ないようにする。
１４ａと、下部に配置された超高性能エアフィルタ１４
ｂとから構成されている。また、排気配管１６のサンプ
リング配管３が配置された部位の下流側には、例えばオ
リフィス１７ａと圧力計１７ｂ等からなる流量測定手段
が配置されている。この流星測定手段により、吸引によ
るサンプリング管３先端部の気体の流速が、排気配管１
６内の気体の流速とほぼ等しくなるようブロワ１２によ
る送風量を制御して気体採取部分において乱流等が生じ
ないようにする。
すなわち、この実施例の塵埃測定装置では、サンプリン
グ管３を囲むように配置された３体の放電体５において
コロナ放電を生じさせ、サンプリング管３周囲の雰囲気
をイオン化して、サンプリング管３内部の静電気を除去
する。したがって、サンプリング管３内部に測定対象の
塵埃が付着することを防止することができ、正確に塵埃
濃度を測定することができる。
グ管３を囲むように配置された３体の放電体５において
コロナ放電を生じさせ、サンプリング管３周囲の雰囲気
をイオン化して、サンプリング管３内部の静電気を除去
する。したがって、サンプリング管３内部に測定対象の
塵埃が付着することを防止することができ、正確に塵埃
濃度を測定することができる。
第４図に示す実施例においては、超高性能エアフィルタ
１４ｂの下流に除電装置ｆｆ４ａを配設し、ベルマウス
レデューサ１５、排気配管１６が金属材料である場合に
アース１８を取り付けたものである。
１４ｂの下流に除電装置ｆｆ４ａを配設し、ベルマウス
レデューサ１５、排気配管１６が金属材料である場合に
アース１８を取り付けたものである。
第５図に示す実施例においては、ベルマウスレデューサ
１５と排気配管１６に除電装置４ｂ配設したもので非金
属な材質を使用した場合にも対応できる。
１５と排気配管１６に除電装置４ｂ配設したもので非金
属な材質を使用した場合にも対応できる。
上記第４図および第５図に示す実施例においては、被測
定物、配管等に発塵粒子が付着することを防止するもの
であり、特に帯電性の高い高分子材料等の測定をする場
合には高い精度の測定を行うことができる。
定物、配管等に発塵粒子が付着することを防止するもの
であり、特に帯電性の高い高分子材料等の測定をする場
合には高い精度の測定を行うことができる。
［発明の効果コ
上述のように、本発明の塵埃測定装置では、静電気によ
り塵埃がサンプリング管内に付着することを防止するこ
とができ、従来に比べて正確に塵埃量を測定することが
できる。
り塵埃がサンプリング管内に付着することを防止するこ
とができ、従来に比べて正確に塵埃量を測定することが
できる。
第１図は発塵量測定装置に配置された本発明の一実施例
の塵埃測定装置の構成を示す図、第２図は第１図の要部
を示す斜視図、第３図は第２図の断面図、第４図および
第５図は他の実施例の塵埃測定装置の構成を示す図であ
る。 １・・・・・・塵埃測定装置、２・・・・・・測定装置
、３・・・・・・サンプリング管、４・・・・・・除電
装置。 出願人 東京エレクトロン株式会社 出願人 大 成 建 設 株式会社 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
の塵埃測定装置の構成を示す図、第２図は第１図の要部
を示す斜視図、第３図は第２図の断面図、第４図および
第５図は他の実施例の塵埃測定装置の構成を示す図であ
る。 １・・・・・・塵埃測定装置、２・・・・・・測定装置
、３・・・・・・サンプリング管、４・・・・・・除電
装置。 出願人 東京エレクトロン株式会社 出願人 大 成 建 設 株式会社 代理人 弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）気体を採取し、気体中の塵埃濃度を測定する塵埃
測定装置において、被測定気体に含まれる塵埃が静電気
による影響を受けることを防ぐ除電手段を備えたことを
特徴とする塵埃測定装置。 - （２）除電手段は、サンプリング配管の周囲に所定間隔
を設けて配置された複数の棒状の放電体からなることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の塵埃測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042389A JPH0616009B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 塵埃測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62042389A JPH0616009B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 塵埃測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63208742A true JPS63208742A (ja) | 1988-08-30 |
| JPH0616009B2 JPH0616009B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=12634712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62042389A Expired - Fee Related JPH0616009B2 (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 塵埃測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616009B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5271264A (en) * | 1991-11-27 | 1993-12-21 | Applied Materials, Inc. | Method of in-situ particle monitoring in vacuum systems |
| JP2006250576A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
| JP2008298657A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Japan Agengy For Marine-Earth Science & Technology | 粉粒体回収装置 |
| JP2012062755A (ja) * | 2009-03-31 | 2012-03-29 | Ibiden Co Ltd | 微粒子濃度測定装置 |
| JP2019049451A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | キヤノン株式会社 | 集塵装置、基板処理システム、および物品の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195226A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Matsushita Seiko Co Ltd | 微粒子計測システム |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP62042389A patent/JPH0616009B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195226A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Matsushita Seiko Co Ltd | 微粒子計測システム |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5271264A (en) * | 1991-11-27 | 1993-12-21 | Applied Materials, Inc. | Method of in-situ particle monitoring in vacuum systems |
| JP2006250576A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Shimadzu Corp | 粒度分布測定装置 |
| JP4618421B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2011-01-26 | 株式会社島津製作所 | 粒度分布測定装置 |
| JP2008298657A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Japan Agengy For Marine-Earth Science & Technology | 粉粒体回収装置 |
| JP2012062755A (ja) * | 2009-03-31 | 2012-03-29 | Ibiden Co Ltd | 微粒子濃度測定装置 |
| JP2019049451A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | キヤノン株式会社 | 集塵装置、基板処理システム、および物品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0616009B2 (ja) | 1994-03-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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