JPH06158319A - 真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法および装置 - Google Patents
真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法および装置Info
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- JPH06158319A JPH06158319A JP20620193A JP20620193A JPH06158319A JP H06158319 A JPH06158319 A JP H06158319A JP 20620193 A JP20620193 A JP 20620193A JP 20620193 A JP20620193 A JP 20620193A JP H06158319 A JPH06158319 A JP H06158319A
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 導電性の層においても、非導電性の層におい
ても、巻取り時に折り目形成を生ぜしめるような表面電
荷でシートを負荷することなく、冷却ローラに対するシ
ートの静電圧着をもたらすような方法を提供する。 【構成】 高出力被覆源の上方に位置する回転する冷却
ローラ１４に載着されたシート区分１２に被覆材料を凝
縮させ、しかも被覆前にシート１２に電荷キャリヤを供
給して、シート１２の電荷状態を変化させて、真空中で
非導電性のシートを連続的に被覆する方法において、シ
ート１２が冷却ローラ１４に載着されている間に、被覆
前でシート１２を３〜１０ｋＶの電圧を有する熱電子エ
ミッタ２３による電子衝撃にさらす。
ても、巻取り時に折り目形成を生ぜしめるような表面電
荷でシートを負荷することなく、冷却ローラに対するシ
ートの静電圧着をもたらすような方法を提供する。 【構成】 高出力被覆源の上方に位置する回転する冷却
ローラ１４に載着されたシート区分１２に被覆材料を凝
縮させ、しかも被覆前にシート１２に電荷キャリヤを供
給して、シート１２の電荷状態を変化させて、真空中で
非導電性のシートを連続的に被覆する方法において、シ
ート１２が冷却ローラ１４に載着されている間に、被覆
前でシート１２を３〜１０ｋＶの電圧を有する熱電子エ
ミッタ２３による電子衝撃にさらす。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高出力被覆源の上方に
位置する回転する冷却ローラに載着されたシート区分に
被覆材料を凝縮させ、しかも被覆前にシートに電荷キャ
リヤを供給し、これによってシートの電荷状態を変化さ
せて、真空中で高出力被覆源によって非導電性のシート
を連続的に被覆する方法に関する。
位置する回転する冷却ローラに載着されたシート区分に
被覆材料を凝縮させ、しかも被覆前にシートに電荷キャ
リヤを供給し、これによってシートの電荷状態を変化さ
せて、真空中で高出力被覆源によって非導電性のシート
を連続的に被覆する方法に関する。
【０００２】さらに本発明は、上記方法を実施するため
の装置であって、主真空室が設けられていて、該主真空
室が、少なくとも１つの隔壁によって少なくとも２つの
互いに無関係に排気可能な部分室に分割されており、該
部分室が、少なくとも１つの巻取り室と被覆室とを形成
しており、さらに、回転可能な冷却ローラが設けられて
いて、該冷却ローラが、前記隔壁に設けられた窓内に配
置されており、しかも該窓の窓縁部が、前記冷却ローラ
とシートとに対してギャップ絞りを形成している形式の
ものに関する。
の装置であって、主真空室が設けられていて、該主真空
室が、少なくとも１つの隔壁によって少なくとも２つの
互いに無関係に排気可能な部分室に分割されており、該
部分室が、少なくとも１つの巻取り室と被覆室とを形成
しており、さらに、回転可能な冷却ローラが設けられて
いて、該冷却ローラが、前記隔壁に設けられた窓内に配
置されており、しかも該窓の窓縁部が、前記冷却ローラ
とシートとに対してギャップ絞りを形成している形式の
ものに関する。
【０００３】
【従来の技術】ドイツ連邦共和国特許出願公開第２２３
３２５８号明細書およびドイツ連邦共和国特許出願公開
第２３１１２１７号明細書に基づき、走行するプラスチ
ックシートを冷却ローラ上で真空蒸着によって金属被覆
して、既に金属被覆されたシート部分を、電圧を印加さ
れたコンタクトローラを介して案内し、これによって、
熱伝達を良好にする目的でシートを静電的に冷却ローラ
に圧着することが知られている。しかし、この公知の手
段はシートの導電性被覆の場合にしか使用することがで
きない。さらに、前記圧着作用は電子ビーム蒸発器の使
用時では再び減じられてしまう。なぜならば、導電性被
膜に衝突する電子がコンタクトローラの影響を少なくと
も部分的に再び無効にしてしまうからである。
３２５８号明細書およびドイツ連邦共和国特許出願公開
第２３１１２１７号明細書に基づき、走行するプラスチ
ックシートを冷却ローラ上で真空蒸着によって金属被覆
して、既に金属被覆されたシート部分を、電圧を印加さ
れたコンタクトローラを介して案内し、これによって、
熱伝達を良好にする目的でシートを静電的に冷却ローラ
に圧着することが知られている。しかし、この公知の手
段はシートの導電性被覆の場合にしか使用することがで
きない。さらに、前記圧着作用は電子ビーム蒸発器の使
用時では再び減じられてしまう。なぜならば、導電性被
膜に衝突する電子がコンタクトローラの影響を少なくと
も部分的に再び無効にしてしまうからである。
【０００４】米国特許第４３９３０９１号明細書に基づ
き、プラスチックシートを金属被覆前に２０〜６０ｋＶ
の加速電圧を有する電子衝撃によってエレクトレットに
変換すると同時に、これによって冷却ローラに対するシ
ートの静電圧着を生ぜしめることが知られている。これ
によって、シートの巻き特性が折り目形成という不都合
な影響を受けてしまうので、シートは被覆後に、ただし
巻取り前にグロー処理にさらされなければならない。こ
のように高加速された電子をシートに衝突させることに
基づき、蒸発源による熱負荷や、特にグロー放電による
再加熱による熱負荷と相まって、シートに対する高い熱
負荷が生ぜしめられるので、プロセスは制御技術的に極
めて支配し難くなる。また、付加的に記載されている陽
極スパッタリング、イオンインプランテーション等によ
る被覆法も、シートの高い熱負荷に関しては何ら変化を
もたらさない。しかもこの場合、高エネルギ電子の衝突
は、冷却ローラに載着されたシートの範囲では行なわれ
ない。
き、プラスチックシートを金属被覆前に２０〜６０ｋＶ
の加速電圧を有する電子衝撃によってエレクトレットに
変換すると同時に、これによって冷却ローラに対するシ
ートの静電圧着を生ぜしめることが知られている。これ
によって、シートの巻き特性が折り目形成という不都合
な影響を受けてしまうので、シートは被覆後に、ただし
巻取り前にグロー処理にさらされなければならない。こ
のように高加速された電子をシートに衝突させることに
基づき、蒸発源による熱負荷や、特にグロー放電による
再加熱による熱負荷と相まって、シートに対する高い熱
負荷が生ぜしめられるので、プロセスは制御技術的に極
めて支配し難くなる。また、付加的に記載されている陽
極スパッタリング、イオンインプランテーション等によ
る被覆法も、シートの高い熱負荷に関しては何ら変化を
もたらさない。しかもこの場合、高エネルギ電子の衝突
は、冷却ローラに載着されたシートの範囲では行なわれ
ない。
【０００５】米国特許第４５８１２４５号明細書に基づ
き、冷却ローラの軸線に対して側方にずらされた蒸発器
を用いて、走行するシートに鋭角の角度で磁気層を蒸着
させることが知られている。シートの走行方向で見て、
磁性材料のための蒸発器には、既に蒸着された磁気層に
イオンを衝突させるための格子状の電極と、滑剤のため
の別の蒸発器とが後置されている。イオン衝撃は、同時
に酸素を供給して、磁性材料を酸化させるために役立
つ。しかし、格子状の電極は磁性材料の蒸着時における
冷却ローラに対するシートの圧着には全く影響を与えな
い。
き、冷却ローラの軸線に対して側方にずらされた蒸発器
を用いて、走行するシートに鋭角の角度で磁気層を蒸着
させることが知られている。シートの走行方向で見て、
磁性材料のための蒸発器には、既に蒸着された磁気層に
イオンを衝突させるための格子状の電極と、滑剤のため
の別の蒸発器とが後置されている。イオン衝撃は、同時
に酸素を供給して、磁性材料を酸化させるために役立
つ。しかし、格子状の電極は磁性材料の蒸着時における
冷却ローラに対するシートの圧着には全く影響を与えな
い。
【０００６】米国特許第４４９５２４２号明細書に基づ
き、同様の方法が公知である。この場合、シートが電子
ビーム蒸発器による磁性材料の蒸着前に自由に張設され
た状態で、多数の電極対の間を通って案内される。これ
らの電極対はグロー放電を生ぜしめるために働く。グロ
ー放電はアルゴンの供給下に０．４〜５ｋＶの領域の電
圧で行なわれ、これによってシート表面が清浄化され、
あとで被着される磁気層に対する付着性が改善される。
グロー処理されたシートが続いて再び、アース電位に接
続されている変向ローラを介して案内されるので、グロ
ー処理は冷却ローラに対するシートの圧着には何ら影響
を与えない。
き、同様の方法が公知である。この場合、シートが電子
ビーム蒸発器による磁性材料の蒸着前に自由に張設され
た状態で、多数の電極対の間を通って案内される。これ
らの電極対はグロー放電を生ぜしめるために働く。グロ
ー放電はアルゴンの供給下に０．４〜５ｋＶの領域の電
圧で行なわれ、これによってシート表面が清浄化され、
あとで被着される磁気層に対する付着性が改善される。
グロー処理されたシートが続いて再び、アース電位に接
続されている変向ローラを介して案内されるので、グロ
ー処理は冷却ローラに対するシートの圧着には何ら影響
を与えない。
【０００７】ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６４１
７１８号明細書に基づき、まだ被覆されていないプラス
チックシートをグロー放電によって清浄にして、脱ガス
し、既に被覆されたシートの静電荷をプラズマ処理によ
って減少させることが知られている。この手段は、散乱
電子によって生ぜしめられた、冷却ローラに対するシー
トの静電吸着を減少させ、これによって巻取りローラに
おける折り目形成を回避するという目的を有している。
このような手段は、プラズマ作用が遅延されるため、シ
ートの過剰加熱の防止を保証することができない。上記
公知の方法の場合でも、グロー放電と、被覆源と、あと
からのプラズマ処理との熱影響は付加作用を有してい
る。
７１８号明細書に基づき、まだ被覆されていないプラス
チックシートをグロー放電によって清浄にして、脱ガス
し、既に被覆されたシートの静電荷をプラズマ処理によ
って減少させることが知られている。この手段は、散乱
電子によって生ぜしめられた、冷却ローラに対するシー
トの静電吸着を減少させ、これによって巻取りローラに
おける折り目形成を回避するという目的を有している。
このような手段は、プラズマ作用が遅延されるため、シ
ートの過剰加熱の防止を保証することができない。上記
公知の方法の場合でも、グロー放電と、被覆源と、あと
からのプラズマ処理との熱影響は付加作用を有してい
る。
【０００８】さらに、公知先行技術では、シートの静電
荷の作用が被覆前と被覆後では全く正反対になってしま
うことが判っている。シートと冷却ローラとの間での熱
伝達を改善する目的ではシートの静電荷が望ましいとさ
れる反面、それ自体好都合なこの作用が、巻取り時では
折り目形成による大きな不都合をもたらしてしまう訳で
ある。
荷の作用が被覆前と被覆後では全く正反対になってしま
うことが判っている。シートと冷却ローラとの間での熱
伝達を改善する目的ではシートの静電荷が望ましいとさ
れる反面、それ自体好都合なこの作用が、巻取り時では
折り目形成による大きな不都合をもたらしてしまう訳で
ある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた方法を改善して、導電性の層においても、非導
電性の層においても、巻取り時に折り目形成を生ぜしめ
てしまうような表面電荷でシートを負荷することなく、
冷却ローラに対するシートの静電圧着をもたらすような
方法を提供することである。
で述べた方法を改善して、導電性の層においても、非導
電性の層においても、巻取り時に折り目形成を生ぜしめ
てしまうような表面電荷でシートを負荷することなく、
冷却ローラに対するシートの静電圧着をもたらすような
方法を提供することである。
【００１０】さらに本発明の課題は、上記方法を実施す
るための有利な装置を提供することである。
るための有利な装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の方法では、シートが冷却ローラに載着されて
いる間に、被覆前でシートを３〜１０ｋＶ、有利には４
〜８ｋＶの電圧を有する熱電子エミッタによる電子衝撃
にさらすようにした。
に本発明の方法では、シートが冷却ローラに載着されて
いる間に、被覆前でシートを３〜１０ｋＶ、有利には４
〜８ｋＶの電圧を有する熱電子エミッタによる電子衝撃
にさらすようにした。
【００１２】さらに上記課題を解決するために本発明の
装置の構成では、冒頭で述べた形式の装置において、前
記被覆室の外部に熱電子エミッタが配置されており、該
熱電子エミッタによって、電子が前記冷却ローラの方向
に加速可能であるようにした。
装置の構成では、冒頭で述べた形式の装置において、前
記被覆室の外部に熱電子エミッタが配置されており、該
熱電子エミッタによって、電子が前記冷却ローラの方向
に加速可能であるようにした。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、前記電圧領域内の電圧
の設定による唯一つの手段により、シートに冷却ローラ
に対する充分な静電引付け力を付与し、他方において冷
却ローラからのシートの引取りを困難にせず、最終的に
多数の変向ローラなしで折り目なしの巻取りを可能にす
ることが可能になる。
の設定による唯一つの手段により、シートに冷却ローラ
に対する充分な静電引付け力を付与し、他方において冷
却ローラからのシートの引取りを困難にせず、最終的に
多数の変向ローラなしで折り目なしの巻取りを可能にす
ることが可能になる。
【００１４】「高出力被覆源」とは、冷却ローラの単位
長さにつき、単位時間当たりに大量の材料を放出するこ
とのできるような被覆源を意味する。このためには、特
に電子ビーム蒸発器、マグネトロンスパッタリング陽極
および熱加熱式の冷却されていないボート型蒸発器が適
している。前記被覆源に共通していることは、これらの
被覆源が、冷却ローラの単位長さ当たり充分な量の被覆
材料を放出するために高い温度で作動しなければならな
いことである。
長さにつき、単位時間当たりに大量の材料を放出するこ
とのできるような被覆源を意味する。このためには、特
に電子ビーム蒸発器、マグネトロンスパッタリング陽極
および熱加熱式の冷却されていないボート型蒸発器が適
している。前記被覆源に共通していることは、これらの
被覆源が、冷却ローラの単位長さ当たり充分な量の被覆
材料を放出するために高い温度で作動しなければならな
いことである。
【００１５】電子ビーム蒸発器が使用される場合には、
次のような効果が加わる。すなわち、電子ビーム蒸発器
の連続的な運転において、電子ビームによって負荷され
た蒸発物質の表面から連続的に二次電子が放出され、こ
の二次電子がシートを帯電し、これによって冷却ローラ
に対するシートの圧着力を改善する。電子ビームが短時
間遮断されると（通常、電圧フラッシュオーバもしくは
アークの発生時に自動的な制御によって行なわれる）、
二次電子による静電圧着は短時間中断されるが、蒸発物
質の表面による熱放射はさしあたり不変に持続される。
このことは、シートの即時焼切れや被覆プロセスの中断
を生ぜしめる。この被覆プロセスは真空室への空気注入
とトラブル状態の除去と真空室の再排気なしには続行さ
れ得ない。その結果、かなりの設備停止時間が生じてし
まい、この場合、フラッシュオーバとアークがシートの
「ガス発生」によって助成されると推定することができ
る。
次のような効果が加わる。すなわち、電子ビーム蒸発器
の連続的な運転において、電子ビームによって負荷され
た蒸発物質の表面から連続的に二次電子が放出され、こ
の二次電子がシートを帯電し、これによって冷却ローラ
に対するシートの圧着力を改善する。電子ビームが短時
間遮断されると（通常、電圧フラッシュオーバもしくは
アークの発生時に自動的な制御によって行なわれる）、
二次電子による静電圧着は短時間中断されるが、蒸発物
質の表面による熱放射はさしあたり不変に持続される。
このことは、シートの即時焼切れや被覆プロセスの中断
を生ぜしめる。この被覆プロセスは真空室への空気注入
とトラブル状態の除去と真空室の再排気なしには続行さ
れ得ない。その結果、かなりの設備停止時間が生じてし
まい、この場合、フラッシュオーバとアークがシートの
「ガス発生」によって助成されると推定することができ
る。
【００１６】この場合に、シートが１０~2〜１０~3ミリ
バールの圧力を有する巻取り室から引き出されて、１０
~3〜１０~4ミリバールの圧力を有する中間室を通され
て、１０~4〜１０~5ミリバールの圧力を有する被覆室に
導入されて被覆され、続いて逆の圧力特性で再び巻取り
室に戻され、この場合、前記中間室で電子衝撃が実施さ
れると、特に有利である。
バールの圧力を有する巻取り室から引き出されて、１０
~3〜１０~4ミリバールの圧力を有する中間室を通され
て、１０~4〜１０~5ミリバールの圧力を有する被覆室に
導入されて被覆され、続いて逆の圧力特性で再び巻取り
室に戻され、この場合、前記中間室で電子衝撃が実施さ
れると、特に有利である。
【００１７】個々の方法区分がこのように分離されるこ
とに基づき、方法条件は互いに影響を与えなくなる。
とに基づき、方法条件は互いに影響を与えなくなる。
【００１８】本発明による装置の有利な構成では、前記
熱電子エミッタが、前記冷却ローラの軸線に対して平行
に延びる、エミッション温度にまで加熱可能な白熱線材
として形成されており、該白熱線材が中空陽極によって
取り囲まれており、該中空陽極が、前記冷却ローラの方
向に、電子出射のためのスリットを有していて、その他
の個所では閉じられている。
熱電子エミッタが、前記冷却ローラの軸線に対して平行
に延びる、エミッション温度にまで加熱可能な白熱線材
として形成されており、該白熱線材が中空陽極によって
取り囲まれており、該中空陽極が、前記冷却ローラの方
向に、電子出射のためのスリットを有していて、その他
の個所では閉じられている。
【００１９】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく
説明する。
説明する。
【００２０】図１には、主真空室１が示されている。こ
の主真空室は２つの隔壁２，３によって３つの互いに無
関係に排気可能な部分室４，５，６に分割されている。
各部分室は各１つの吸込管片７，８，９を介して真空ポ
ンプユニット（図示しない）に接続されている。
の主真空室は２つの隔壁２，３によって３つの互いに無
関係に排気可能な部分室４，５，６に分割されている。
各部分室は各１つの吸込管片７，８，９を介して真空ポ
ンプユニット（図示しない）に接続されている。
【００２１】部分室４は巻取り室として形成されてい
る。この巻取り室には、貯えローラとも呼ばれる繰出し
ローラ１０と、巻取りローラ１１とが位置している。繰
出しローラ１０からは、シート１２が、巻掛け角度を増
大させる目的で変向ローラ１３を介して、固有の冷却ロ
ーラ１４に案内される。被覆されたシート１２ａは約３
００゜の巻掛け角度を通過した後に、別の変向ローラ１
５を介して引き出されて、巻取りローラ１１に巻き取ら
れる。個々のローラは規定の引張りテンションを維持す
る目的で、狭い範囲で制御されて駆動される。
る。この巻取り室には、貯えローラとも呼ばれる繰出し
ローラ１０と、巻取りローラ１１とが位置している。繰
出しローラ１０からは、シート１２が、巻掛け角度を増
大させる目的で変向ローラ１３を介して、固有の冷却ロ
ーラ１４に案内される。被覆されたシート１２ａは約３
００゜の巻掛け角度を通過した後に、別の変向ローラ１
５を介して引き出されて、巻取りローラ１１に巻き取ら
れる。個々のローラは規定の引張りテンションを維持す
る目的で、狭い範囲で制御されて駆動される。
【００２２】図示したように、冷却ローラ１４は両隔壁
２，３を貫通しており、これらの隔壁は冷却ローラ１４
の位置に、対応する窓１６，１７を備えている。これら
の窓の窓縁部１６ａ，１６ｂ；１７ａ，１７ｂは冷却ロ
ーラ１４と、この冷却ローラに載着されたシート１２；
１２ａとに対して、ギャップ絞りを形成している。シー
ルを改善する目的で、前記窓縁部はギャップボード１８
（１つしか図示しない）を有している。このギャップボ
ードの曲率はジオメトリ的に冷却ローラ１４の円筒状外
面の曲率にほぼ相当している。
２，３を貫通しており、これらの隔壁は冷却ローラ１４
の位置に、対応する窓１６，１７を備えている。これら
の窓の窓縁部１６ａ，１６ｂ；１７ａ，１７ｂは冷却ロ
ーラ１４と、この冷却ローラに載着されたシート１２；
１２ａとに対して、ギャップ絞りを形成している。シー
ルを改善する目的で、前記窓縁部はギャップボード１８
（１つしか図示しない）を有している。このギャップボ
ードの曲率はジオメトリ的に冷却ローラ１４の円筒状外
面の曲率にほぼ相当している。
【００２３】冷却ローラ１４の母線の最も低い個所の下
には、縦長で方形の、冷却されていない蒸発るつぼ１９
が位置している。この蒸発るつぼはセラミック材料から
成っており、このセラミック材料には、蒸発材料（詳し
く説明しない）が存在している。蒸発るつぼ１９の長さ
（図平面に対して垂直に見て）は冷却ローラ１４の軸方
向長さに相当している。蒸発るつぼ１９は電子銃２０に
よって加熱される。この電子銃は２０ｋＶのビーム電圧
を有する電子ビーム２１を発生させる。電子ビームは周
知のように、メモリされた変向パターンに従って周期的
に蒸発材料の表面全体にわたって案内されるので、その
結果、蒸発るつぼ１９からは連続的な蒸気流２２が上昇
して、シート１２上で凝縮する。
には、縦長で方形の、冷却されていない蒸発るつぼ１９
が位置している。この蒸発るつぼはセラミック材料から
成っており、このセラミック材料には、蒸発材料（詳し
く説明しない）が存在している。蒸発るつぼ１９の長さ
（図平面に対して垂直に見て）は冷却ローラ１４の軸方
向長さに相当している。蒸発るつぼ１９は電子銃２０に
よって加熱される。この電子銃は２０ｋＶのビーム電圧
を有する電子ビーム２１を発生させる。電子ビームは周
知のように、メモリされた変向パターンに従って周期的
に蒸発材料の表面全体にわたって案内されるので、その
結果、蒸発るつぼ１９からは連続的な蒸気流２２が上昇
して、シート１２上で凝縮する。
【００２４】中間室として働く部分室５の上側の範囲に
は、熱電子エミッタ２３が位置している。この熱電子エ
ミッタは線状に張設された線材から成っており、この線
材の両端部は電圧源（図示しない）に接続されている。
熱電子エミッタ２３は６ｋＶの電圧レベルで負に位置し
ていて、冷却ローラ１４の方向に拡散電子ヴェールを放
射する。この拡散電子ヴェールは熱電子エミッタと冷却
ドラムとの間の電位差によって加速される。冷却ローラ
は通常、アース電位に接続されている。
は、熱電子エミッタ２３が位置している。この熱電子エ
ミッタは線状に張設された線材から成っており、この線
材の両端部は電圧源（図示しない）に接続されている。
熱電子エミッタ２３は６ｋＶの電圧レベルで負に位置し
ていて、冷却ローラ１４の方向に拡散電子ヴェールを放
射する。この拡散電子ヴェールは熱電子エミッタと冷却
ドラムとの間の電位差によって加速される。冷却ローラ
は通常、アース電位に接続されている。
【００２５】熱電子エミッタ２３は冷却ローラ１４の軸
線２４に対して平行に延びていて、中空陽極２５によっ
て取り囲まれている。この中空陽極は中空の部分円筒体
として形成されていて、その長さは熱電子エミッタ２３
の長さに相当している。中空陽極２５は冷却ドラムの方
向にスリット２５ａを有しており、このスリットを通っ
て、電子が指向されて放出される。
線２４に対して平行に延びていて、中空陽極２５によっ
て取り囲まれている。この中空陽極は中空の部分円筒体
として形成されていて、その長さは熱電子エミッタ２３
の長さに相当している。中空陽極２５は冷却ドラムの方
向にスリット２５ａを有しており、このスリットを通っ
て、電子が指向されて放出される。
【図１】本発明による装置の鉛直方向断面図である。
１ 主真空室、 ２，３ 隔壁、 ４，５，６ 部分
室、 ７，８，９ 吸込管片、 １０ 繰出しローラ、
１１ 巻取りローラ、 １２，１２ａ シート、 １
３ 変向ローラ、 １４ 冷却ローラ、 １５ 変向ロ
ーラ、 １６，１７ 窓、 １６ａ，１６ｂ，１７ａ，
１７ｂ 窓縁部、 １８ ギャップボード、 １９ 蒸
発るつぼ、 ２０ 電子銃、 ２１ 電子ビーム、 ２
２ 蒸気流、 ２３ 熱電子エミッタ、 ２４ 軸線、
２５ 中空陽極、 ２５ａ スリット
室、 ７，８，９ 吸込管片、 １０ 繰出しローラ、
１１ 巻取りローラ、 １２，１２ａ シート、 １
３ 変向ローラ、 １４ 冷却ローラ、 １５ 変向ロ
ーラ、 １６，１７ 窓、 １６ａ，１６ｂ，１７ａ，
１７ｂ 窓縁部、 １８ ギャップボード、 １９ 蒸
発るつぼ、 ２０ 電子銃、 ２１ 電子ビーム、 ２
２ 蒸気流、 ２３ 熱電子エミッタ、 ２４ 軸線、
２５ 中空陽極、 ２５ａ スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ゲラルト レービッヒ ドイツ連邦共和国 フランクフルト アム マイン 90 レーデリッヒシュトラーセ 57 (72)発明者 トーマス クルーク ドイツ連邦共和国 ローデンバッハ シュ ペサートシュトラーセ 20 (72)発明者 アルベルト フォイアーシュタイン ドイツ連邦共和国 ブルックケーベル ハ インリッヒ−フォン−ブレンターノ−シュ トラーセ 13アー (72)発明者 ゲルト ホフマン ドイツ連邦共和国 ブルックケーベル ４ ランクシュトラーセ 13
Claims (5)
- 【請求項１】 高出力被覆源の上方に位置する回転する
冷却ローラに載着されたシート区分に被覆材料を凝縮さ
せ、しかも被覆前にシートに電荷キャリヤを供給し、こ
れによってシートの電荷状態を変化させて、真空中で高
出力被覆源によって非導電性のシートを連続的に被覆す
る方法において、シートが冷却ローラに載着されている
間に、被覆前でシートを３〜１０ｋＶの電圧を有する熱
電子エミッタによる電子衝撃にさらすことを特徴とす
る、真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方
法。 - 【請求項２】 シートを１０~2〜１０~3ミリバールの圧
力を有する巻取り室から引き出して、１０~3〜１０~4ミ
リバールの圧力を有する中間室に通して、１０~4〜１０
~5ミリバールの圧力を有する被覆室に導入して被覆し、
続いて逆の圧力特性で再び巻取り室に戻し、この場合、
前記中間室で電子衝撃を実施する、請求項１記載の方
法。 - 【請求項３】 請求項１記載の方法を実施するための装
置であって、主真空室（１）が設けられていて、該主真
空室が、少なくとも１つの隔壁（２，３）によって少な
くとも２つの互いに無関係に排気可能な部分室（４，
６）に分割されており、該部分室が、少なくとも１つの
巻取り室と被覆室とを形成しており、さらに、回転可能
な冷却ローラ（１４）が設けられていて、該冷却ローラ
が、前記隔壁（２，３）に設けられた窓（１６，１７）
内に配置されており、しかも該窓の窓縁部（１６ａ，１
６ｂ；１７ａ，１７ｂ）が、前記冷却ローラ（１４）と
シート（１２，１２ａ）とに対してギャップ絞りを形成
している形式のものにおいて、前記被覆室の外部に熱電
子エミッタ（２３）が配置されており、該熱電子エミッ
タによって、電子が前記冷却ローラ（１４）の方向に加
速可能であることを特徴とする、真空中で非導電性のシ
ートを連続的に被覆する装置。 - 【請求項４】 ２つの隔壁（２，３）によって、３つの
互いに無関係に排気可能な部分室（４，５，６）が形成
されており、該部分室が巻取り室と中間室と被覆室とを
形成しており、前記熱電子エミッタ（２３）が、中間室
を形成する部分室（５）に配置されている、請求項３記
載の装置。 - 【請求項５】 前記熱電子エミッタ（２３）が、前記冷
却ローラ（１４）の軸線（２４）に対して平行に延び
る、エミッション温度にまで加熱可能な白熱線材として
形成されており、該白熱線材が中空陽極によって取り囲
まれており、該中空陽極が、前記冷却ローラ(１４)の方
向に、電子放出のためのスリット（２５ａ）を有してい
て、その他の個所では閉じられている、請求項３記載の
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19924227873 DE4227873A1 (de) | 1992-08-22 | 1992-08-22 | Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Beschichten von nichtleitenden Folien im Vakuum |
| DE4227873.2 | 1992-08-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06158319A true JPH06158319A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=6466157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20620193A Pending JPH06158319A (ja) | 1992-08-22 | 1993-08-20 | 真空中で非導電性のシートを連続的に被覆する方法および装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0584443A1 (ja) |
| JP (1) | JPH06158319A (ja) |
| DE (1) | DE4227873A1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006111942A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 |
| JP2006124731A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006124781A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006124738A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 |
| JP2006131932A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006131929A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006169549A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3702412A (en) * | 1971-06-16 | 1972-11-07 | Energy Sciences Inc | Apparatus for and method of producing an energetic electron curtain |
| JPS58111127A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Ulvac Corp | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
| US5087476A (en) * | 1989-03-17 | 1992-02-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing thin film |
-
1992
- 1992-08-22 DE DE19924227873 patent/DE4227873A1/de not_active Withdrawn
-
1993
- 1993-02-19 EP EP93102583A patent/EP0584443A1/de not_active Withdrawn
- 1993-08-20 JP JP20620193A patent/JPH06158319A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006111942A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 |
| JP2006124731A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006124738A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 |
| JP2006124781A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006131932A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006131929A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
| JP2006169549A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置および成膜方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4227873A1 (de) | 1994-02-24 |
| EP0584443A1 (de) | 1994-03-02 |
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