JPH06155279A - ワイヤソー装置のトラバース制御方法 - Google Patents
ワイヤソー装置のトラバース制御方法Info
- Publication number
- JPH06155279A JPH06155279A JP33674292A JP33674292A JPH06155279A JP H06155279 A JPH06155279 A JP H06155279A JP 33674292 A JP33674292 A JP 33674292A JP 33674292 A JP33674292 A JP 33674292A JP H06155279 A JPH06155279 A JP H06155279A
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- JP
- Japan
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- wire
- traverse
- reel
- feeding
- speed
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 トラバース制御の制度を高め、またトラバー
ス方向の検出を簡単に行えるようにすることである。 【構成】 送り出し側のリールから巻き取り側のリール
へワイヤを走行させ、その間でワークを切断するワイヤ
ソー装置において、ワイヤに電流を流しておき、このワ
イヤを挟む２本のワイヤ接触検知用のロッドとワイヤと
の接触による電気的な変化を測定して、リール位置でワ
イヤのトラバース方向を検出すると共に、リールの回転
数からこれに比例するトラバース速度を検出し、検出し
たトラバース方向およびトラバース速度で２本のワイヤ
接触検知用ロッドを送りモータや送りねじ機構などによ
り移動させるようにしている。
ス方向の検出を簡単に行えるようにすることである。 【構成】 送り出し側のリールから巻き取り側のリール
へワイヤを走行させ、その間でワークを切断するワイヤ
ソー装置において、ワイヤに電流を流しておき、このワ
イヤを挟む２本のワイヤ接触検知用のロッドとワイヤと
の接触による電気的な変化を測定して、リール位置でワ
イヤのトラバース方向を検出すると共に、リールの回転
数からこれに比例するトラバース速度を検出し、検出し
たトラバース方向およびトラバース速度で２本のワイヤ
接触検知用ロッドを送りモータや送りねじ機構などによ
り移動させるようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤソー装置におい
て、整列巻き状態のワイヤの送り出し位置の移動または
巻き取り位置の移動に応じて、ワイヤをリールの軸方向
に移動させるトラバース制御方法に関する。
て、整列巻き状態のワイヤの送り出し位置の移動または
巻き取り位置の移動に応じて、ワイヤをリールの軸方向
に移動させるトラバース制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】特願平３−３１３０１６号のトラバース
装置では、回転可能なタッチローラがワイヤを挟んで２
本設けられ、それらの軸にそれぞれエンコーダが取り付
けられており、このエンコーダのパルス数に応じてトラ
バーサが移動するようになっている。
装置では、回転可能なタッチローラがワイヤを挟んで２
本設けられ、それらの軸にそれぞれエンコーダが取り付
けられており、このエンコーダのパルス数に応じてトラ
バーサが移動するようになっている。
【０００３】この装置では、タッチローラがワイヤから
外れても、慣性で回るため、ワイヤの動きに正確に追従
できず、正確なトラバース制御ができない。また、特殊
な軸受けや、カップリング、高価なポリウレタン製のタ
ッチローラも必要となり、構造が複雑で、また製作費も
高価である。
外れても、慣性で回るため、ワイヤの動きに正確に追従
できず、正確なトラバース制御ができない。また、特殊
な軸受けや、カップリング、高価なポリウレタン製のタ
ッチローラも必要となり、構造が複雑で、また製作費も
高価である。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的は、トラバース制御の精度
を高め、またトラバース方向の検出を簡単に行えるよう
にすることである。
を高め、またトラバース方向の検出を簡単に行えるよう
にすることである。
【０００５】
【発明の解決手段】上記目的のもとに、本発明は、送り
出し側のリールから巻き取り側のリールへワイヤを走行
させ、その間でワークを切断するワイヤソー装置におい
て、ワイヤに電流を流しておき、このワイヤを挟む２本
のワイヤ接触検知用のロッドとワイヤとの接触による電
気的な変化を測定して、リール位置でワイヤのトラバー
ス方向を検出するとともに、リールの回転数からこれに
比例するトラバース速度を検出し、検出したトラバース
方向およびトラバース速度で２本のワイヤ接触検知用の
ロッドを送りモータや送りねじ機構などにより、ワイヤ
位置に追従させて移動させるようにしている。
出し側のリールから巻き取り側のリールへワイヤを走行
させ、その間でワークを切断するワイヤソー装置におい
て、ワイヤに電流を流しておき、このワイヤを挟む２本
のワイヤ接触検知用のロッドとワイヤとの接触による電
気的な変化を測定して、リール位置でワイヤのトラバー
ス方向を検出するとともに、リールの回転数からこれに
比例するトラバース速度を検出し、検出したトラバース
方向およびトラバース速度で２本のワイヤ接触検知用の
ロッドを送りモータや送りねじ機構などにより、ワイヤ
位置に追従させて移動させるようにしている。
【０００６】
【実施例】図１は、トラバース制御に用いられる制御系
を示している。ワイヤソー装置１は、ワイヤ２を整列巻
き状態の送り出し側のリール３から供給し、巻き取り側
のリール４に整列状態で巻き取っていく間で、ワイヤ２
を半導体製品などのワーク５に押し当てて、ワーク５を
切断していく。これらの送り出し側のリール３および巻
き取り側のリール４は、ワイヤ２の駆動装置と連動する
図示しない駆動機構によって所定の速度で駆動されるよ
うになっている。
を示している。ワイヤソー装置１は、ワイヤ２を整列巻
き状態の送り出し側のリール３から供給し、巻き取り側
のリール４に整列状態で巻き取っていく間で、ワイヤ２
を半導体製品などのワーク５に押し当てて、ワーク５を
切断していく。これらの送り出し側のリール３および巻
き取り側のリール４は、ワイヤ２の駆動装置と連動する
図示しない駆動機構によって所定の速度で駆動されるよ
うになっている。
【０００７】送り出しリール３の側でワイヤ２は、２本
のワイヤ接触検知用ロッド６１、６２の間を経て、巻き
取り側のリール４に整列巻き状態として巻き取られてい
く。なお、このワイヤ２には、ワイヤ２の断線またはワ
ーク５の切断完了などを検出するために、電流ｉが流さ
れている。
のワイヤ接触検知用ロッド６１、６２の間を経て、巻き
取り側のリール４に整列巻き状態として巻き取られてい
く。なお、このワイヤ２には、ワイヤ２の断線またはワ
ーク５の切断完了などを検出するために、電流ｉが流さ
れている。
【０００８】２本のロッド６１、６２は、図２に示すよ
うに、トラバーステーブル８に対し絶縁性のブラケット
７によって取り付けられ、トラバース方向すなわちワイ
ヤ２と直交する方向に移動できるようになっており、必
要に応じ、導電性の案内用のローラ９１、９２によって
ワイヤ２に対して間接的に接するようになっている。ト
ラバーステーブル８は、これと一体の送りナット１０に
よって、送りモータ１２に連結された送りねじ１１にか
み合っている。
うに、トラバーステーブル８に対し絶縁性のブラケット
７によって取り付けられ、トラバース方向すなわちワイ
ヤ２と直交する方向に移動できるようになっており、必
要に応じ、導電性の案内用のローラ９１、９２によって
ワイヤ２に対して間接的に接するようになっている。ト
ラバーステーブル８は、これと一体の送りナット１０に
よって、送りモータ１２に連結された送りねじ１１にか
み合っている。
【０００９】そして、上記ロッド６１、６２は、それぞ
れトラバース制御器１３の回転方向指定用の入力端子１
４および必要に応じ、電圧計１５に接続されている。ま
た上記送り出し側のリール３にシャフトエンコーダ１６
が連結されており、その出力は、Ｆ／Ｖ変換器１７を経
てトラバース制御器１３の速度指定用の入力端子１８に
接続されている。トラバース制御器１３の出力端子１９
は、送りモータ１２に接続されており、この送りモータ
１２を駆動することによって、トラバーステーブル８の
上のロッド６１、６２に必要なトラバース速度Ｖｔを与
える。
れトラバース制御器１３の回転方向指定用の入力端子１
４および必要に応じ、電圧計１５に接続されている。ま
た上記送り出し側のリール３にシャフトエンコーダ１６
が連結されており、その出力は、Ｆ／Ｖ変換器１７を経
てトラバース制御器１３の速度指定用の入力端子１８に
接続されている。トラバース制御器１３の出力端子１９
は、送りモータ１２に接続されており、この送りモータ
１２を駆動することによって、トラバーステーブル８の
上のロッド６１、６２に必要なトラバース速度Ｖｔを与
える。
【００１０】切断加工時に、ワイヤ２は、送り出しリー
ル３から巻き戻し供給され、一定のワイヤ速度Ｖで巻き
取り側に案内され、巻き取り側のリール４に整列状態で
巻き取られていく。この間に、送り出し位置で、ワイヤ
２は、トラバース速度Ｖｔでリール３の軸方向に移動す
る。このトラバース速度Ｖｔは、ロッド６１、６２を移
動させるための速度と一致しており、リール巻径Ｄに反
比例し、またリール回転数Ｎｒに比例して変化する。
ル３から巻き戻し供給され、一定のワイヤ速度Ｖで巻き
取り側に案内され、巻き取り側のリール４に整列状態で
巻き取られていく。この間に、送り出し位置で、ワイヤ
２は、トラバース速度Ｖｔでリール３の軸方向に移動す
る。このトラバース速度Ｖｔは、ロッド６１、６２を移
動させるための速度と一致しており、リール巻径Ｄに反
比例し、またリール回転数Ｎｒに比例して変化する。
【００１１】送り出し側のリール３の位置で、送り出し
位置が矢印の方向に移動するとき、走行中のワイヤ２
は、ロッド６１のローラ９１に接する。このため、ロッ
ド６１に対応する入力端子１４に電圧が発生し、これに
よって、トラバース方向が決定される。一方、送り出し
側のリール３のリール回転数Ｎｒがシャフトエンコーダ
１６によって回転数に比例するパルス信号として検出さ
れ、これがＦ／Ｖ変換器１７により回転数に比例する電
圧の速度指定信号として、速度指定用の入力端子１８に
入力される。
位置が矢印の方向に移動するとき、走行中のワイヤ２
は、ロッド６１のローラ９１に接する。このため、ロッ
ド６１に対応する入力端子１４に電圧が発生し、これに
よって、トラバース方向が決定される。一方、送り出し
側のリール３のリール回転数Ｎｒがシャフトエンコーダ
１６によって回転数に比例するパルス信号として検出さ
れ、これがＦ／Ｖ変換器１７により回転数に比例する電
圧の速度指定信号として、速度指定用の入力端子１８に
入力される。
【００１２】ここで、トラバース制御器１３は、検出さ
れたトラバース方向および入力されたＦ／Ｖ変換器１７
の出力としての速度指定信号を入力として、送りモータ
１２を回転させ、送りねじ１１を駆動することによっ
て、送りナット１０とともにトラバーステーブル８およ
びこれと一体の一対のロッド６１、６２を送り出し位置
の移動方向にトラバース速度Ｖｔで移動させる。
れたトラバース方向および入力されたＦ／Ｖ変換器１７
の出力としての速度指定信号を入力として、送りモータ
１２を回転させ、送りねじ１１を駆動することによっ
て、送りナット１０とともにトラバーステーブル８およ
びこれと一体の一対のロッド６１、６２を送り出し位置
の移動方向にトラバース速度Ｖｔで移動させる。
【００１３】送り出し側のリール３で、送り出し位置が
これと逆方向に移動するとき、ロッド６２がワイヤ２と
接するため、トラバース制御器１３は、送りモータ１２
を前記と逆方向に回転させることによって、トラバース
テーブル８を点線の矢印方向に移動させる。このよう
に、送り出し側のリール３での送り出し位置の移動に追
従して、一対のロッド６１、６２が同じ方向に、同じ速
度で移動するため、ワイヤ２は、常にリール３の巻胴に
対して直角方向に送り出されていく。
これと逆方向に移動するとき、ロッド６２がワイヤ２と
接するため、トラバース制御器１３は、送りモータ１２
を前記と逆方向に回転させることによって、トラバース
テーブル８を点線の矢印方向に移動させる。このよう
に、送り出し側のリール３での送り出し位置の移動に追
従して、一対のロッド６１、６２が同じ方向に、同じ速
度で移動するため、ワイヤ２は、常にリール３の巻胴に
対して直角方向に送り出されていく。
【００１４】以上の実施例は、送り出し側のトラバース
として組み込まれているが、この制御は、ワイヤ２の巻
き取り側のリール４についても同様に適用できる。
として組み込まれているが、この制御は、ワイヤ２の巻
き取り側のリール４についても同様に適用できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明では、ワイヤのトラバース方向が
２本のロッドによって電気的に検出されるため、ワイヤ
に対して大きな外力が働かず、またローラの慣性回転も
影響されないため、トラバース制御の応答性がよく、ま
た検出部分の構造が簡単であり消耗品の製作も容易であ
るため、軽量で、組み込み空間も小さくてすみ、実施が
容易となる。
２本のロッドによって電気的に検出されるため、ワイヤ
に対して大きな外力が働かず、またローラの慣性回転も
影響されないため、トラバース制御の応答性がよく、ま
た検出部分の構造が簡単であり消耗品の製作も容易であ
るため、軽量で、組み込み空間も小さくてすみ、実施が
容易となる。
【図１】ワイヤソー装置のトラバース制御系のブロック
線図である。
線図である。
【図２】ロッドの取り付け部分の拡大側面図である。
１ ワイヤソー装置 ２ ワイヤ ３ 送り出し側のリール ４ 巻き取り側のリール ６１、６２ ワイヤ接触検知用のロッド ８ トラバーステーブル １０ 送りナット １１ 送りねじ １２ 送りモータ １３ トラバース制御器 １４ 回転方向指定用の入力端子 １６ シャフトエンコーダ １７ Ｆ／Ｖ変換器 １８ 速度指定用の入力端子
フロントページの続き (72)発明者 重松 純之 神奈川県平塚市中原上宿144番地 株式会 社日平トヤマ研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 送り出し側のリールから巻き取り側のリ
ールへワイヤを走行させ、その間でワークを切断するワ
イヤソー装置において、ワイヤに電流を流しておき、こ
のワイヤを挟む２本のワイヤ接触検知用のロッドとワイ
ヤとの接触による電気的な変化を測定して、リール位置
でワイヤのトラバース方向を検出するとともに、リール
の回転数からこれに比例するトラバース速度を検出し、
検出したトラバース方向およびトラバース速度で２本の
ワイヤ接触検知用のロッドをワイヤ位置に追従させて移
動させることを特徴とするワイヤソー装置のトラバース
制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33674292A JP3371003B2 (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | ワイヤソー装置のトラバース制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33674292A JP3371003B2 (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | ワイヤソー装置のトラバース制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155279A true JPH06155279A (ja) | 1994-06-03 |
| JP3371003B2 JP3371003B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=18302306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33674292A Expired - Fee Related JP3371003B2 (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | ワイヤソー装置のトラバース制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3371003B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010089197A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー |
| US20220040882A1 (en) * | 2018-12-17 | 2022-02-10 | Siltronic Ag | Method for producing semiconductor wafers using a wire saw, wire saw, and semiconductor wafers made of monocrystalline silicon |
-
1992
- 1992-11-25 JP JP33674292A patent/JP3371003B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010089197A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー |
| US20220040882A1 (en) * | 2018-12-17 | 2022-02-10 | Siltronic Ag | Method for producing semiconductor wafers using a wire saw, wire saw, and semiconductor wafers made of monocrystalline silicon |
| US12083705B2 (en) * | 2018-12-17 | 2024-09-10 | Siltronic Ag | Method for producing semiconductor wafers using a wire saw, wire saw, and semiconductor wafers made of monocrystalline silicon |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3371003B2 (ja) | 2003-01-27 |
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