JPH06151298A - 画像除去方法、及びそれに用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体、回路、各種プリント基板、各種マス
ク、リードフレームなどの各種微細加工部品の製造時に
おける微細パターンを形成する工程において、レジスト
からなる画像（レジストパターン上に残したレジスト）
を除去する方法、及びこれに用いる硬化型感圧接着剤や
接着シート類を提供する。 【構成】 レジスト材からなる画像が存在する物品上
に、塩基性の硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類
を貼り付け、接着剤の硬化後に、接着シート類とレジス
ト材とを一体に剥離する方法であり、塩基性の硬化型感
圧性接着剤として例えば、感圧接着性ポリマーに、不揮
発性アミン系化合物や分子内に少なくとも１個の反応性
官能基を有するアミン系化合物を含有させた接着剤、あ
るいはアミン系モノマーを共重合してなる接着剤などを
用いることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体、回路、各種プ
リント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種微
細加工部品の製造時における微細パターンを形成する工
程において、レジストからなる画像（レジストパターン
上に残したレジスト）を除去する方法、及びこれに用い
る硬化型感圧接着剤、あるいはそのシート状物、テープ
状物などの接着シート類に関する。

【０００２】以下、半導体のデバイス製造の例を用いて
本発明を説明するが、本発明は、レジスト材からなる画
像が存在する物品であれば、何らその用途に限定される
ものではない。

【０００３】

【従来の技術】半導体のデバイス製造において、シリコ
ンウエハ上にレジスト材を塗布し、通常のフォトプロセ
スにより、所定の画像（レジストパターン）が形成され
る。これをマスクとしてエッチングした後、不要になっ
た画像が除去され、所定の回路が形成される。 次い
で、つぎの回路を形成するため、再度レジスト材を塗布
するというサイクルが繰り返し行われる。 また、各種
基板に回路を形成する場合も、画像形成後、不要になっ
た画像が除去される。 この際、不要になったレジスト
材からなる画像の除去は、アッシャー（灰化手段）や溶
剤で行われるのが一般的である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、画像の
除去にアッシャーを用いると、その作業に長時間を要し
たり、レジスト材中の不純物イオンがウエハに注入され
る恐れがあった。 また、溶剤を用いると、作業環境を
害するという問題を生じていた。したがって、本発明
は、物品上の不要となった画像を、従来とは全く異なる
新規な方法で、簡便かつ確実に除去できる方法、及びそ
れに用いる特定の硬化型感圧性接着剤あるいは接着シー
ト類を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、ウエハな
どの物品上の不要となった画像の除去に際し、特定の硬
化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を用いることに
より、レジスト材中の不純物イオンがウエハに注入され
たり、作業環境を害するといった問題を生じることな
く、画像を簡便かつ確実に除去できることを見い出し、
この発明を完成するに至った。

【０００６】即ち本発明は、レジスト材からなる画像が
存在する物品上に、塩基性の硬化型感圧性接着剤を用い
た接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、こ
の接着シート類とレジスト材とを一体に剥離することを
特徴とする画像除去方法に関する。

【０００７】また本発明は、上記方法に用いる接着シー
ト類として、後述する特定の塩基性の硬化型感圧性接着
剤あるいはそれを用いた接着シート類に関する。

【０００８】

【発明の構成・作用】本発明の画像の除去方法において
は、まずレジスト材からなる画像が存在する物品上に、
このレジスト材との親和性が良好な塩基性の硬化型感圧
性接着剤を用いた接着シート類を貼り付ける。 このと
き、レジスト材と上記接着剤とは良好に貼着一体化され
るが、この貼着一体化を促進するために、上記貼り付け
時に加熱及び／又は加圧することが好ましい。

【０００９】ここで用いる塩基性の硬化型感圧性接着剤
は、物品上のレジスト材との親和性が良好で、かつ加熱
や光照射により硬化してレジスト材と一体になる接着剤
であり、本発明はこの目的にかなう接着剤も提供するも
のである。

【００１０】かかる硬化型感圧性接着剤における感圧接
着性ポリマーとしては、一般の感圧接着剤に適用される
公知の各種ポリマーがいずれも使用可能であるが、特に
好ましいポリマーとして、アクリル酸アルキルエステル
及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマー
としたアクリル系ポリマーが挙げられる。

【００１１】このアクリル系ポリマーは、上記の主モノ
マー、つまりアクリル酸またはメタクリル酸と炭素数が
通常１２以下のアルコールとのエステルのほか、必要に
よりカルボキシル基あるいは水酸基を有するモノマー
や、その他の改質用モノマーを用いて、これらを常法に
より溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合などの方
法で重合させることにより得ることができる。

【００１２】このカルボキシル基含有モノマーとして
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、
イタコン酸などが、水酸基含有モノマーとしては、例え
ば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピ
ルアクリレートなどがそれぞれ用いられる。 これらの
モノマーの使用量は、全モノマー中、通常２０重量％以
下とするのが好ましい。

【００１３】また上記その他の改質用モノマーとして
は、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、スチレン、アク
リロニトリル、アクリルアミド、グリシジルメタクリレ
ートなどが用いられる。 これらの改質用モノマーの使
用量は、前記主モノマーとの合計量中、通常５０重量％
以下とするのが好ましい。

【００１４】このようなモノマーから構成されるアクリ
ル系ポリマーの分子量は、重量平均分子量で、通常３０
万〜２００万であることが好ましい。 分子量が低すぎ
るとこれに後述のアミン系化合物や不揮発性化合物を配
合したときに低粘度となって、保存中に流れるなどの不
都合を生じやすく、また高くなりすぎると、取り扱い上
の問題を生じやすい。 また、このアクリル系ポリマー
は、画像の剥離除去時の作業性を勘案して、そのガラス
転移点が２５０°Ｋ以下であるのが好ましい。これより
高くなると、硬化後に硬くなりすぎて剥離が重くなる傾
向がある。ただし、このような高いガラス転移点を有す
るアクリル系ポリマーの使用をすべて排除しようとする
ものではなく、場合により使用可能なのは勿論である。

【００１５】本発明において用いる塩基性の硬化型感圧
性接着剤は、上記感圧接着性ポリマーに、後述のアミン
系化合物あるいはモノマーを、含有もしくは共重合させ
てなるものであり、かかる方法により、レジスト材と該
接着剤との一体化を促進させることができる。

【００１６】即ち本発明の一態様は、画像除去方法に用
いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類であっ
て、硬化型感圧性接着剤が、感圧接着性ポリマーに、レ
ジスト材との親和性が良好な不揮発性アミン系化合物を
含有させてなる塩基性の硬化型感圧性接着剤であること
を特徴とする硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類
を提供する。

【００１７】ここで用いられるアミン系化合物は、レジ
スト材との親和性が良好でかつ不揮発性であることが必
要である。 ここでレジスト材との親和性が良好である
というのは、レジスト材を溶解、膨潤あるいは破壊する
現象が顕著であることを意味し、レジスト材中に移行あ
るいは拡散する現象も含まれる。 この目安として、溶
剤を十分乾燥したレジスト材をこのアミン系化合物中に
浸漬し、例えば、１３０℃に２４時間保存したときに、
レジスト材が溶解、膨潤あるいは破壊する程度とする。
また、この化合物が不揮発性であるとは、接着剤の塗
布乾燥工程などにおいて、簡単に揮散してしまうことが
ないことを意味する。

【００１８】かかる不揮発性アミン系化合物の具体例と
しては、例えば、トリオクチルアミン、トリエタノール
アミンなどの３級アミン類、ジイソオクチルアミン、ジ
エタノールアミンなどの２級アミン類、ステアリルアミ
ン、アミノナフトール、２−アミノプロピルアルコー
ル、ｍ−キシリレンジアミンなどの１級アミン類、その
他、ポリエチレンイミンやトリエチレンテトラミンなど
のアミンポリマーや１〜３級アミノ基を有するものも挙
げられる。 これらの中から、用いられる前記感圧接着
性ポリマーや後述の不揮発性化合物の種類、対象とされ
るレジスト材などに応じて、その一種又は二種以上が適
宜選択して使用することができる。

【００１９】この不揮発性アミン化合物の使用量は、感
圧接着性ポリマー１００重量部に対して、通常１〜５０
重量部、好ましくは５〜３０重量部とするのが良い。
この使用量が多すぎると、保存時に接着剤が流れだした
り、時には硬化してしまうなど保存安定性が悪くなるの
で好ましくない。 また少なすぎると、レジスト材の除
去効果が十分でなくなるので好ましくない。

【００２０】特にこの不揮発性アミン化合物は、例え
ば、半導体ウエハ処理工程中のイオン注入工程により変
質した画像の除去に際して、接着剤とレジスト材との一
体化を促進するのに寄与する。

【００２１】また本発明の別態様として、画像除去方法
に用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類であ
って、硬化型感圧性接着剤が、感圧接着性ポリマーに、
分子内に少なくとも１個の反応性官能基を有するアミン
系化合物を含有させてなる塩基性の硬化型感圧性接着剤
である硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類も提供
する。

【００２２】かかる分子内に少なくとも１個の反応性官
能基を有するアミン系化合物としては、例えば、以下の
一般式〔化１〕で表されるジアルキルアミノアルキル
（メタ）アクリルアミド及び／又は（メタ）アクリル酸
ジアルキルアミノアルキルエステル、一般式〔化２〕で
表されるアリルアミンなどの不飽和二重結合を１個以上
有するアミン系化合物、あるいは一般式〔化３〕で表さ
れるようなエポキシ基を１個以上有するアミン系化合
物、一般式〔化４〕で表される化合物、あるいは３又は
４ビニルピリジン及びその誘導体、Ｎ−ビニルカルバゾ
ールなどが挙げられる。

【００２３】

【化１】

【００２４】

【化２】

【００２５】

【化３】

【００２６】

【化４】

【００２７】本発明においては、これらの中から、用い
る前記感圧接着性ポリマーや後述の不揮発性化合物の種
類、対象とされるレジスト材などに応じて、その一種又
は二種以上を適宜選択して使用することができる。

【００２８】これら分子内に少なくとも１個の反応性官
能基を有するアミン系化合物の使用量は、感圧接着性ポ
リマー１００重量部に対して、通常１〜１００重量部、
好ましくは５〜５０重量部とするのが良い。 この使用
量が多すぎると、保存時に接着剤が流れだしたり、時に
は硬化してしまうなど保存安定性が悪くなるので好まし
くない。 また少なすぎると、レジスト材の除去効果が
十分でなくなるので好ましくない。本発明においては、
かかる分子内に少なくとも１個の反応性官能基を有する
アミン系化合物を用いることにより、例えば半導体ウエ
ハ処理工程中のイオン注入工程などにより変質したレジ
ストパターンの除去に際して、前記の如く接着剤とレジ
スト材との一体化をさらに促進する効果がある。

【００２９】また本発明の別態様として、画像除去方法
に用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類であ
って、硬化型感圧性接着剤が、感圧接着性ポリマーに、
アミン系モノマーを共重合してなる塩基性の硬化型感圧
性接着剤であることを特徴とする硬化型感圧性接着シー
ト類も提供する。

【００３０】かかるアミン系モノマーとしては、例え
ば、以下の一般式〔化５〕で表されるジアルキルアミノ
アルキル（メタ）アクリルアミド及び／又は（メタ）ア
クリル酸ジアルキルアミノアルキルエステル、一般式
〔化６〕で表されるアリルアミン、一般式〔化７〕で表
される化合物、あるいは３又は４ビニルピリジン及びそ
の誘導体、ビニルカルバゾールなどが挙げられる。

【００３１】

【化５】

【００３２】

【化６】

【００３３】

【化７】

【００３４】本発明においては、これらの中から、用い
る前記感圧接着性ポリマーや後述の不揮発性化合物の種
類や対象とされるレジスト材に応じて、その一種又は二
種以上を適宜選択して使用することができる。

【００３５】これらアミン系モノマーの使用量は、その
他の共重合モノマー全量１００重量部に対して、通常５
〜２００重量部、好ましくは５〜５０重量部とするのが
良い。 この使用量が多すぎると、後述するポリマーの
弾性率が低くなりすぎ、レジスト材の剥離性が良くなら
ない傾向があり、一方、少なすぎると、レジスト材との
一体化などの効果が十分でなくなるので好ましくない。
本発明においては、かかるアミン系モノマーを共重合さ
せることにより、前記の反応性官能基を有するアミン系
化合物を用いるのと同様の効果があり、得られる接着シ
ート類自体の安定性や保存性を増すという効果もある。

【００３６】本発明の硬化型感圧性接着剤においては、
さらに、レジスト材との親和性が良好で、かつ分子内に
不飽和二重結合を１個以上有する不揮発性化合物を含有
させることが好ましい。 ここで、親和性および不揮発
性の意味するところは、前記と同様である。 かかる不
揮発性化合物は、接着シート類が画像が存在する物品上
に貼り付けられた後、この化合物の作用でレジスト材と
接着剤が一体化し、その後硬化するという機能を有す
る。 したがって、この不揮発性化合物としては、分子
内に熱や光などで硬化できる不飽和二重結合を１個以上
有するとともに、レジスト材との親和性（前記と同様に
定義できる。）が良好であることが要求され、さらに感
圧接着性ポリマーとの相溶性がよく保存時に流れ出ない
ことも要求される。

【００３７】このような不揮発性化合物としては、例え
ば、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリ
レート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポ
リエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプ
ロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタン
（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレー
ト、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げら
れ、これらの中から、用いる感圧接着性ポリマーの種類
や対象とされるレジスト材に応じて、その一種または二
種以上を適宜選択使用できる。

【００３８】この不揮発性化合物の使用量としては、感
圧接着性ポリマー１００重量部に対して、通常５〜２０
０重量部、好ましくは１０〜１００重量部とするのがよ
い。この使用量が少なすぎると、レジスト材の剥離効果
が十分ではなくなる場合があり、また多すぎると、保存
時に接着剤が流れ出す恐れがあり、好ましくない。

【００３９】本発明における上記の硬化型感圧性接着剤
においては、ウエハなどの物品に貼り付ける際の作業性
の点から、前記感圧接着性ポリマーを架橋して凝集力を
高めておくのが好ましい。 例えば、感圧接着性ポリマ
ーとしてカルボキシル基あるいは水酸基含有モノマーを
共重合させたアクリル系ポリマーを用い、このポリマー
の上記官能基と反応する多官能性化合物、例えばポリイ
ソシアネート、ポリエポキシ、各種金属塩、キレート化
合物などを接着剤中に含有することにより、シート状な
どの成形段階で上記反応を促進させて、上記ポリマーの
架橋を行わせることができる。

【００４０】かかる多官能性化合物の使用量は、感圧接
着性ポリマー１００重量部に対して通常２０重量部以下
とし、この範囲内で上記ポリマーの分子量が低ければ多
く、高ければ少なくなるように、適宜選択すればよい。
多官能性化合物の使用量が多すぎると、接着力が低下
するため、好ましくない。

【００４１】また、この硬化型感圧性接着剤には、上記
の多官能性化合物の使用と同じ目的で微粉シリカなどの
充填剤を含有させることもできる。 さらに、粘着付与
剤、着色剤、老化防止剤などの各種添加剤を必要に応じ
て含有することもできる。これらの使用量は、通常の範
囲でよい。

【００４２】このような各種成分を含ませることができ
る硬化型感圧性接着剤には、さらにその硬化手段に応じ
た重合開始剤がを添加することができる。 例えば、熱
硬化の場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイ
ソブチロニトリルなどの加熱によりラジカルを発生する
熱重合開始剤が用いられ、また紫外線などの光硬化の場
合は、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ジベン
ジルなどの光照射によりラジカルを発生する光重合開始
剤が用いられる。 これらの重合開始剤は、感圧接着性
ポリマー１００重量部に対して、通常０．１〜１０重量
部の範囲で使用される。

【００４３】このように構成される本発明の硬化型感圧
性接着剤は、その初期弾性率、つまり硬化前の弾性率が
通常０．５〜５０ｇ／ｍｍ² 程度であって、硬化後の弾
性率が３〜４００ｇ／ｍｍ² 程度となるように調整され
ることが望ましい。このような弾性率に調整されている
と、硬化前の感圧接着特性と硬化後のレジスト剥離性と
に共に好結果が得られるためである。 かかる弾性率の
調整は、感圧接着性ポリマーの種類、これに添加する各
種アミン化合物や共重合させるアミン系モノマー、不揮
発性化合物、その他の配合成分などの使用量、あるいは
多官能性化合物による架橋の度合い、硬化条件などを適
宜選択することにより行うことができる。

【００４４】なお、上記の弾性率は、断面積５ｍｍ² の
接着剤を、標線距離１０ｍｍとして、２３±２℃の温度
下で、５０ｍｍ／分の引張速度で引張試験を行い、応力
−歪み曲線を得、初期の傾きから求める方法で、測定さ
れる値を意味する。

【００４５】このような硬化型感圧性接着剤は、その使
用に際し、場合によりこれ単独でシート状やテープ状な
どに成形されることもできるが、通常はフィルム基材上
に乾燥後の厚さが約１０〜１８０μｍとなるように塗着
され、本発明の画像除去用の接着シート類とすることが
できる。 かかるフィルム基材としては、例えば、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体ケン化物などからなる、厚さが通常約１２
〜１００μｍの樹脂フィルムが用いられ、特に接着剤の
硬化を光照射にて行う場合は、紫外線などの光を透過す
るものが選択使用される。

【００４６】本発明の画像除去方法において、画像が存
在する物品上に、上記構成の硬化型感圧性接着剤を用い
た接着シート類を貼り付け、レジスト材とこの接着剤と
を一体化させた後、加熱または光照射などによる所定の
硬化処理を行う。 この際、ウエハなどの物品に与える
影響を考慮に入れる場合は、光照射による硬化処理が特
に好適で、その照射量は、紫外線では通常３００〜３０
００ｍｊ／ｃｍ² の範囲とするのがよい。

【００４７】この硬化処理により、上記接着剤はレジス
ト材と一体化した状態で硬化して、その弾性率が前記の
如く著しく増大し、これに伴って画像と物品との接着力
が大きく低下する。 その結果、この硬化後に接着シー
ト類を剥離することにより、物品上の画像は、この接着
シート類と一体になって、簡単かつ完全に剥離除去でき
る。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、アッシャ
ーを用いる従来方法のような作業の長時間化や、レジス
ト材中の不純物イオンがウエハに注入されるといった問
題がなく、また溶剤を用いる従来方法におけるような作
業環境の悪化といった問題もなく、簡単かつ確実に画像
の除去を達成することができる。

【００４９】また、本発明の除去方法は、上記で説明し
た半導体の製造工程においては勿論、その他回路、各種
プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種
微細加工部品の製造時における微細パターンを形成する
工程において、レジストからなる画像（レジストパター
ン上に残したレジスト）を除去する際に、適用すること
ができる。

【００５０】

【実施例】以下、本発明を実施例にもとづいて説明す
る。 なお、以下部とあるのは重量部を意味する。

【００５１】実施例１ アクリル酸ｎ−ブチル８０部、アクリル酸エチル１５
部、アクリル酸５部からなるモノマー混合物を、酢酸エ
チル１５０部、アゾビスイソブチロニトリル０．１部を
用いて、窒素気流下６０℃にて１２時間溶液重合を行
い、重量平均分子量が５６万、ガラス転移点が２３１°
Ｋのアクリル系ポリマーの溶液を得た。

【００５２】このアクリル系ポリマー溶液２５０部にア
ミン系化合物としてトリエタノールアミン１０部、不揮
発性化合物としてオリゴエステルアクリレート１００
部、重合開始剤としてDETX-S５部を、均一に混合して、
塩基性の硬化型感圧性接着剤溶液を得た。

【００５３】つぎに、この硬化型感圧性接着剤溶液を、
厚さが５０μｍのポリエステルフィルム上に、乾燥後の
厚さが５０μｍとなるように塗布し、１５０℃で１０分
間乾燥して、本発明の画像除去用接着テープを作製し
た。

【００５４】実施例２ アクリル酸−２−エチルヘキシル６０部、アクリル酸ブ
チル３０部、酢酸ビニル５部、アクリル酸５部からなる
モノマー混合物を、実施例１と同様に重合して、重量平
均分子量が６２万、ガラス転移点が２０７°Ｋのアクリ
ル系ポリマーの溶液を得た。

【００５５】このアクリル系ポリマー溶液２５０部に、
アミン系化合物としてトリオクチルアミン１０部、不揮
発性化合物としてエポキシアクリレート１５部及びポリ
エチレングリコールジメタクリレート１０部、光重合開
始剤DETX-S３部を、均一に混合して、塩基性の硬化型感
圧性接着剤溶液を得、実施例１と同様にして接着テープ
を得た。

【００５６】比較例１ 実施例１のトリエタノールアミンを除いた以外は、実施
例１と同様にして接着テープを得た。

【００５７】比較例２ 実施例２におけるトリオクチルアミン１０部を、トリフ
ェニルホスフィン３部に代えた以外は、実施例２と同様
にして接着テープを得た。

【００５８】実施例３ 実施例１におけるトリエタノールアミン１０部をキシリ
レンジアミン５部に代えた以外は、実施例１と同様にし
て接着テープを得た。

【００５９】実施例４ 実施例２におけるトリオクチルアミン１０部を、ステア
リルアミン５部に代えた以外は、実施例２と同様にして
接着テープを得た。

【００６０】実施例５ 実施例１で得たアクリル系ポリマー溶液２５０部に、分
子内に少なくとも１個の反応性基を有するアミン系化合
物としてテトラグリシジルメタキシレンジアミン１５
部、不揮発性化合物としてポリエチレングリコールジメ
タクリレート５０部、光重合開始剤３部を、均一に混合
して、塩基性の硬化型感圧性接着剤溶液を得た。

【００６１】つぎに、この硬化型感圧性接着剤溶液を、
厚さが５０μｍのポリエステルフィルム上に、乾燥後の
厚さが５０μｍとなるように塗布し、１５０℃で１０分
間乾燥して、本発明の画像除去用接着テープを作製し
た。

【００６２】実施例６ 実施例５において、テトラグリシジルメタキシレンジア
ミン１５部を、ジメチルアミノプロピルアクリルアミド
２５部に代えた以外は、実施例５と同様にして接着テー
プを得た。

【００６３】実施例７ 実施例２で得たアクリル系ポリマー溶液２５０部に、分
子内に少なくとも１個の反応性基を有するアミン系化合
物としてジメチルアミノエチルアクリレート２０部、不
揮発性化合物としてエポキシアクリレート２０部、光重
合開始剤３部を、均一に混合して、塩基性の硬化型感圧
性接着剤溶液を得、次いで実施例５と同様にして接着テ
ープを得た。

【００６４】実施例８ 実施例２で得たアクリル系ポリマー溶液２５０部に、分
子内に少なくとも１個の反応性基を有するアミン系化合
物としてジエチルアミノプロピルメタクリレート１５
部、不揮発性化合物としてポリエチレングリコールジメ
タクリレート５０部、光重合開始剤３部を、均一に混合
して、塩基性の硬化型感圧性接着剤溶液を得、次いで実
施例５と同様にして接着テープを得た。

【００６５】比較例３ 実施例８のジエチルアミノプロピルメタクリレート１５
部を、省いた以外は、実施例８と同様にして接着テープ
を得た。

【００６６】実施例９ アクリル酸ｎ−ブチル８０部、ジメチルアミノプロピル
アクリルアミド２５部、アクリル酸エチル１５部、アク
リル酸５部からなるモノマー混合物を、酢酸エチル１５
０部、アゾビスイソブチロニトリル０．１部を用いて、
窒素気流下６０℃にて１２時間溶液重合を行い、重量平
均分子量が３６万、ガラス転移点が２００°Ｋの、アミ
ン系モノマーが共重合されたアクリル系ポリマー溶液を
得た。

【００６７】このアクリル系ポリマー溶液２５０部に、
不揮発性化合物としてエポキシアクリレート２５部、光
重合開始剤３部を、均一に混合して、塩基性の硬化型感
圧性接着剤溶液を得た。

【００６８】つぎに、この硬化型感圧性接着剤溶液を、
厚さが５０μｍのポリエステルフィルム上に、乾燥後の
厚さが５０μｍとなるように塗布し、１５０℃で１０分
間乾燥して、本発明の画像除去用接着テープを作製し
た。

【００６９】比較例４ 実施例９においてジメチルアミノプロピルアクリルアミ
ドを除いて共重合したアクリル系ポリマー（重量平均分
子量が５６万、ガラス転移点が２３１°Ｋ）溶液を用い
て、同様にして接着テープを得た。

【００７０】実施例１０ アクリル酸−２−エチルヘキシル６０部、アクリル酸ブ
チル３０部、酢酸ビニル５部、アクリル酸５部、ジメチ
ルアミノエチルメタクリレート２０部からなるモノマー
混合物を、実施例９と同様に重合して、重量平均分子量
が６５万、ガラス転移点が１７８°Ｋの、アミン系モノ
マーが共重合されたアクリル系ポリマー溶液を得た。

【００７１】このアクリル系ポリマー溶液２５０部に、
不揮発性化合物としてポリエチレングリコールジメタク
リレート４０部、光重合開始剤３部を、均一に混合し
て、塩基性の硬化型感圧性接着剤溶液を得、実施例９と
同様にして接着テープを得た。

【００７２】比較例５ 実施例１０のジメチルアミノエチルメタクリレート２０
部を除いて共重合したアクリル系ポリマー（重量平均分
子量が６２万、ガラス転移点が２０７°Ｋ）溶液を用い
て、同様にして接着テープを得た。

【００７３】〔弾性率の測定〕各実施例で得られた接着
テープの感圧性接着剤の初期弾性率、及び高圧水銀ラン
プを用いて紫外線を１０００ｍｊ／ｃｍ² の照射量で照
射し、硬化させた後の弾性率を測定した結果、以下の表
１の如くであった。

【００７４】

【表１】

【００７５】（画像除去性能の評価〕各実施例で得られ
た接着テープを、シリコンウエハの表面にノボラックと
キノンジアジドからなるレジスト材を塗布し露光、現像
し、次いで加速エネルギー８０keV 、ヒ素イオン注入量
１Ｅ１６ions/cm²の処理を施した画像上に、１００℃の
加熱ロールで加熱圧着して貼り付けた後、高圧水銀ラン
プを用いて紫外線を１０００mj/cm²の照射量で照射し
て、硬化型感圧性接着剤を硬化させた。

【００７６】この硬化後、接着テープを剥離したとこ
ろ、上記画像はいずれも接着テープと一体に除去され
た。 シリコンウエハの表面を蛍光顕微鏡で観察した
が、画像の存在は全く認められなかった。

【００７７】各比較例で得た接着テープを、上記と同様
にしてその画像除去性能を評価したところ、接着テープ
だけが剥離され、画像はウエハの表面にほとんど残って
いた。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下段 秀明 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内 (72)発明者 中沢 準 大阪府茨木市下穂積１丁目１番２号 日東 電工株式会社内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レジスト材からなる画像が存在する物品
   上に、塩基性の硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート
   類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート
   類とレジスト材とを一体に剥離することを特徴とする画
   像除去方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の画像除去方法に用いる硬
   化型感圧性接着剤あるいは接着シート類であって、硬化
   型感圧性接着剤が、感圧接着性ポリマーに、レジスト材
   との親和性が良好な不揮発性アミン系化合物を含有させ
   てなる塩基性の硬化型感圧性接着剤であることを特徴と
   する硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類。
3. 【請求項３】 請求項１記載の画像除去方法に用いる硬
   化型感圧性接着剤あるいは接着シート類であって、硬化
   型感圧性接着剤が、感圧接着性ポリマーに、分子内に少
   なくとも１個の反応性官能基を有するアミン系化合物を
   含有させてなる塩基性の硬化型感圧性接着剤であること
   を特徴とする硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート
   類。
4. 【請求項４】 分子内に少なくとも１個の反応性官能基
   を有するアミン系化合物が、ジアルキルアミノアルキル
   （メタ）アクリルアミド及び／又は（メタ）アクリル酸
   ジアルキルアミノアルキルエステルであることを特徴と
   する請求項３記載の硬化型感圧性接着剤あるいは接着シ
   ート類。
5. 【請求項５】 分子内に少なくとも１個の反応性官能基
   を有するアミン系化合物が、エポキシ基を有することを
   特徴とする請求項３記載の硬化型感圧性接着剤あるいは
   接着シート類。
6. 【請求項６】 請求項１記載の画像除去方法に用いる硬
   化型感圧性接着剤あるいは接着シート類であって、硬化
   型感圧性接着剤が、感圧接着性ポリマーに、アミン系モ
   ノマーを共重合してなる塩基性の硬化型感圧性接着剤で
   あることを特徴とする硬化型感圧性接着剤あるいは接着
   シート類。
7. 【請求項７】 アミン系モノマーが、ジアルキルアミノ
   アルキル（メタ）アクリルアミド及び／又は（メタ）ア
   クリル酸ジアルキルアミノアルキルエステルであること
   を特徴とする請求項６記載の硬化型感圧性接着剤あるい
   は接着シート類。
8. 【請求項８】 塩基性の硬化型感圧性接着剤が、さら
   に、レジスト材との親和性が良好で、かつ分子内に不飽
   和二重結合を１個以上有する不揮発性化合物を含有する
   ことを特徴とする請求項２、３及び６記載の硬化型感圧
   性接着剤あるいは接着シート類。
9. 【請求項９】 塩基性の硬化型感圧性接着剤が、さら
   に、感圧接着性ポリマーを架橋させるための多官能性化
   合物を含むことを特徴とする請求項２、３、６及び８記
   載の硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類。
10. 【請求項１０】 感圧接着性ポリマーが、（メタ）アク
    リル酸アルキルエステルを主モノマーとしたアクリル系
    ポリマーからなることを特徴とする請求項２、３及び６
    記載の硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類。