JPH06138342A - 光ファイバ機能部品およびその製造方法 - Google Patents
光ファイバ機能部品およびその製造方法Info
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- JPH06138342A JPH06138342A JP5152143A JP15214393A JPH06138342A JP H06138342 A JPH06138342 A JP H06138342A JP 5152143 A JP5152143 A JP 5152143A JP 15214393 A JP15214393 A JP 15214393A JP H06138342 A JPH06138342 A JP H06138342A
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Abstract
る部分の組立および構成が容易で、しかも小型化するこ
とができ、信頼性の高い光ファイバ機能部品の提供およ
びその製造方法の提案。 【構成】 光ビーム処理にかかわるシングルモード型光
ファイバ1同士の対向面の各々に、光ファイバ1の外径
D1 以上、その外径の2倍以下の径D2 を有するグレー
デッドインデックス型光ファイバによる所定長さの集束
型ロッドレンズ2Aを同心に接続する。
Description
よびその製造方法に関し、詳しくは、光通信用として光
ファイバ導波路に機能光学素子、例えば光アイソレータ
等を介装するにあたり、平行ビーム変換系の形成が可能
な光ファイバ機能部品およびその製造方法に関する。
の主要な光源である半導体レーザでは、それに結合され
る光ファイバの端面や、光ファイバ同士の接続点、ある
いは結合レンズ、光コネクタ等の光学系からの反射戻り
光を受けると発振が不安定になり、雑音の増加や出力変
動等、動作特性が大幅に劣化することが知られている。
そこで、この反射光による半導体レーザの動作不安定性
を解消し、安定な光通信用光源を実現するために、これ
までに各種の光アイソレータが開発されてきた。
ロション・プリズムを用い、YIG(イットリウム鉄ガ
ーネット)単結晶やBi置換ガーネット等によるファラ
デー回転子、このファラデー回転子を順方向に磁化する
ためのSmCoなどの孔あき永久磁石を用いて構成され
た光アイソレータが一般に広く知られているが、このよ
うな構成の光アイソレータはある偏光面しか有効でな
く、光アイソレータの偏光方向に合致しない光が入射し
た場合には通過光が大幅に損失するという欠点がある。
これに対して、例えば、光アイソレータを光ファイバ間
に挿入して使用する場合には、光ファイバ中を伝搬する
光ビームは一般に偏光面が一定でないので、偏光依存性
のない光アイソレータが望まれてきた。
面に対して順方向の損失をほとんど零とする構成とし
て、ロション・プリズムの代わりに方解石のような平板
状複屈折結晶あるいは人工異方性媒質による常光,異常
光の分離/合成を利用した偏光無依存型の各種の光アイ
ソレータが提案されている。
61号公報に開示されている例で、ここで、101およ
び102は光導波路となる光ファイバ、103はレン
ズ、104および105はルチル結晶による平板状複屈
折結晶板、106は磁気光学部材であるファラデー回転
子、107は旋光性あるいは異方性を有する結晶体、例
えば水晶で形成された旋光板である。光ファイバ101
側から、レンズ103、平板状複屈折率結晶板104、
ファラデー回転子106、旋光板107が光軸を揃えた
状態で順次配置されている。ここで、光ファイバ102
からの光がファラデー回転子106および旋光板107
によってそれぞれ時計方向に45°だけ偏光方向が変化
され、また、2枚の複屈折結晶板102および103は
同じ厚さで光学軸が平行になるよう光軸から所定の角度
傾けられた状態に保たれている。
光ファイバ101から出射された光は光ファイバ102
に入射するが、光ファイバ102の光は光ファイバ10
1へは入射しないように機能する。
8809号公報に開示されているものである。本例の光
アイソレータは複屈折結晶板111および112が共に
楔形に形成されて、その傾斜面同士がファラデー回転子
114を間にして対向しあうように構成されており、こ
の光アイソレータの両側にレンズ115および116を
介して光ファイバ117および118がそれぞれ結合さ
れている。本例の場合も、上述した例とほぼ同様に機能
する。
ファイバ間に光アイソレータまたは光フィルタなどの機
能部品を挿入する場合、一方の光ファイバからの出射光
を平行光線に変換して上記機能部品に入射させる必要が
ある。そのために凸レンズを用いると、レンズの径が光
ファイバの径に比してかなり大きく、従って、例えば光
アイソレータの場合にしてもその全体の大きさが大型化
する傾向がある。また、一方の光ファイバの出光端部か
らレンズまで、およびレンズから他方の光ファイバの受
光端部までの距離をレンズ通過後の光路の状態や光強度
をモニタしながら最適の状態とするように設定する必要
があり、ファイバコリメータの組立自体に手間がかか
る。
イバ型のコリメータが提案されている。
それぞれの先端に球レンズ123および124を結合し
て、光ファイバ121(または122)の出射光を平行
ビームに変換するものである。
ァイバとレンズとをμmオーダの精度で位置調整および
固定する必要があり、さらに各構成部品の屈折率差に起
因する反射光を抑制するためにレンズなどに無反射コー
ティングを用いなければならないなど、生産性の面か
ら、また生産コストの面からみて問題があった。
ば光ファイバコリメータ等として機能する部分の組立が
容易で、しかもコンパクトに形成され、かつ、信頼性の
高いものとすることができる光ファイバ機能部品および
その製造方法を提供することにある。
の、本発明に係る光機能部品は、光ファイバ間の光ビー
ム処理のために設けられる光ファイバ機能部品におい
て、前記光ビーム処理にかかわるシングルモード型光フ
ァイバの対向する面の各々に、グレーデッドインデック
ス型光ファイバによる所定長さの集束型ロッドレンズを
同心に接続してなることを特徴とするものである。
定長のグレーデッドインデックス型光ファイバ両端部に
融着またはコネクタ結合によりシングルモード光ファイ
バを中心軸を合わせて固定し、前記グレーデッドインデ
ックス型光ファイバの中間部を切断除去してコリメート
用の空間としたことを特徴とするものである。
シングルモード型光ファイバの端面にグレーデットイン
デックス型光ファイバによる所定長さの集束型ロッドレ
ンズを同心に接続した状態でV溝上に設置したV溝部品
同士を、前記集束型ロッドレンズ同士を所定の長さをお
いて相対向させて配置してなることを特徴とする。
造方法は、光ビーム処理にかかわるシングルモード型光
ファイバの端面に、該光ファイバの外径以上その外径の
2倍以下の径を有するグレーデッドインデックス型光フ
ァイバを同心に融着接続し、該グレーデッドインデック
ス型光ファイバを所定長さに仕上げ代を含めて切断した
上、前記同心に融着接続した双方の光ファイバをフェル
ールによって固定保持し、前記グレーデッドインデック
ス型光ファイバの前記フェルールによって保持される切
断面を光学研磨して所定の寸法に仕上げることを特徴と
するものである。
るシングルモード型光ファイバの端面にその光ファイバ
の外径以上その外径の2倍以下のグレーデッドインデッ
クス型光ファイバを接続した後、光ビームの径が最大と
なるような所定長さに切断仕上げたもので、このような
光ファイバ機能部品を用いて低コストで例えば小型化さ
れたファイバコリメータなどを構成することができる。
特に、所定長、例えばレンズ長の2倍にコリメート長を
加えた長さのグレーデッドインデックス型光ファイバ両
端部に融着またはコネクタ結合によりシングルモード光
ファイバを中心軸を合わせて固定した後、前記グレーデ
ッドインデックス型光ファイバの中間部を切断除去して
コリメート用の空間とすることにより、簡単かつ小型化
された構成の光ファイバコリメータを得ることができ
る。
ファイバ(GIファイバ)が径方向の屈折率の分布によ
ってレンズとして機能することに着目し、これをシング
ルモードファイバ(SMファイバ)とを結合させてコリ
メータとして構成したものである。
け(VAD)法で作成されたものを用いるのが好まし
い。この理由は、VAD法によれば、GIファイバの径
方向の屈折率分布をなめらかに変化させ得ること、他の
製法(MCVD法,OVD法,PCVD法)のように中
実化工程を用いないため、母材中心部での屈折率の凹み
が生じないことから光の損失の少ないレンズとすること
ができるためである。GIファイバの中心と最外周部の
比屈折率差が0.2%以上であればレンズとして動作す
る。また、GIファイバの屈折率分布は1.7乗から
2.5乗型の関数で示されるのが好ましい。
ァイバの外径より大きくするとよい。このようにするこ
とによってSMファイバからの出射光をより多く入射さ
せることができ、またはより大径の平行ビームを得るこ
とができるとともに、SMファイバに結合された後のG
Iファイバの切断に際し、GIファイバ長を規定するた
めの基点を容易に確認することができる。さらに、GI
ファイバを切断した後、その端面を放電加工または研磨
加工することによって、切断による端面部の欠損などを
除去し、損失を低減することができる。好ましくは、G
Iファイバの外径は、SMファイバの外径の2倍程度ま
でとする。
IファイバとV溝状に設置されたSMファイバとを、両
者のファイバの中心軸を合わせて接合するようにするの
が好ましい。さらに、かかるGIファイバとSMファイ
バとを接合したものを相対向合させて光機能部品とする
場合、両V溝をガイドピンを介して位置合わせするのが
好ましい。
細にかつ具体的に説明する。なお、本発明の技術的骨子
は、上述したようにそのファイバコリメータ機構に、従
来のレンズに代えて、光ファイバの外径と余り大きさに
大きい差がない径のロッドレンズを光ファイバと一体に
構成することにある。
の基本的構成について述べることとする。図1の(A)
において、1は光ファイバ、1−1はそのコア部、1−
2はコア部1−1の周囲部を形成するクラッド部、2A
は本発明にかかり、光ファイバ1に接続される集束型の
ロッドレンズである。なおここで、1はシングルモード
型の光ファイバであり、光ファイバ1ではコア部1−1
とクラッド部1−2とでの屈折率nが(B)に示すよう
にステップ状に分布される。なお縦軸のΔnはコア部と
クラッド部との間の屈折率の分布を示すもの、Δは比屈
折率差、nは屈折率である。さらにここで、ロッドレン
ズ2Aはグレーデッドインデックス型のファイバにより
形成され、後述するようにしてシングルモード型の光フ
ァイバ1に接続されるもので、その屈折率は(C)に示
すような分布になる。
ァイバからなるロッドレンズ2Aを接続させてファイバ
コリメータを構成する手順を図2を参照しながら説明す
る。本例に用いたSMファイバ1はコア部の直径が約1
0μm、クラッド部の外径GIファイバ2の方はコア部
の直径が125μm以上250μm以下、また、クラッ
ド部の外径は250μm以下に押えてある。
GIファイバ2とをまず、図2の(A)に示すように軸
心合せした後、これを融着接続する。なお、かかる融着
接続にあたっては、双方の径の間に2倍以上の開きがな
いために、通常のかかる融着に用いられるアーク放電等
を適用することができ、容易で、しかも信頼性の高い融
着状態が得られる。
融着がなされたならば、次にカッタ3により、ロッドレ
ンズ形成のためのGIファイバ2をコリメータとして好
適な寸法が得られるよう幾分の余裕(仕上げ代)をもっ
て切断し、(C)の形状とした上、(D)のようにフェ
ルール4によって保持し、ロッドレンズ2Aとして所定
の寸法が得られるようにその切断面を研磨仕上する。な
お、後述するようなアイソレータとして使用するような
場合にはその研磨面に空中反射を防止するためのコーテ
ィングを施す。
125μm以上とした理由は、なるべく外径の大きい方
がロッドレンズとして機能するGIファイバ2を通過し
て出光される光ビームの径をそれだけ大きくすることが
できるということであり、また、余り外径を大きくし過
ぎて250μm以上にすると接続される相手方のSMフ
ァイバ1との融着が難しくなるので、双方の点を配慮し
たことによる。さらにまた、GIファイバ2の比屈折率
差Δとしては0.2%以上であることが望ましい。0.
2%未満である場合には、ロッドレンズ内の光ビーム径
が大きくなりロッドレンズ外周部での屈折率分布の空間
的乱れの影響により光ビームの散乱異常が生じ易くなる
ためである。なお(D)において、5はSMファイバ1
およびロッドレンズ2Aをフェルール4に固定するため
の接着剤を注入する注入口である。
イバ2とをフェルール4に固定したが、V溝上に固定し
ても良い。また、それぞれのファイバを保持するV溝上
でSMファイバ1とGIファイバ2とを位置合わせ固定
するようにしても良い。さらに、SMファイバ1および
GIファイバ2それぞれを別のV溝に固定した後、両者
を位置合わせ固定するようにしても良い。
バ1の端部にGIファイバ2で形成したロッドレンズ2
Aを接続してなる部材のレンズ側端部面に図3に示すよ
うに反射防止用のコーティング6を施した上、これらの
面を互いに対向配置してファイバコリメータとして構成
することができる。なおここでは光の伝達が概念的に示
されている。そこで、出光側のSMファイバ1でそのコ
ア部1−1を伝って導かれた光はロッドレンズ2Aで矢
印に示すように外側ほど屈折率が連続的に小さくなるこ
とでその方向が曲げられ、反射防止された端部面では平
行光となって出光する。かくして、ここでは不図示の介
装された機能的光学素子を経て、前記のレンズ端部面対
向位置に位置決めされたロッドレンズ2Aの端部面に平
行光の形で受光され、このロッドレンズ2Aに接続され
たSMファイバ1に矢印で示すようにして伝送される。
によるIOFCを適用した光アイソレータの構成例を示
す。本例のIOFC、すなわち、ファイバコリメータで
は図2に示したような寸法のコア部およびクラッド部を
有するSMファイバ1に外径が125μm、比屈折率差
Δが1%、長さが0.77mmに仕上げられたロッドレ
ンズ2Aを接続したものを2つ用意し、図4に示すよう
な寸法を保ってルチル結晶の平行平板7、λ/2板8お
よびファラデー回転子9を上記2つの部材間に介装し
た。なお、ロッドレンズ2Aの端部面および各光学部品
の両面にはそれぞれ1.55μm波長光用の対空気反射
防止コートを施した。
る光学的作用については周知であり、その説明を省略す
るが、その特性を評価した結果、順方向の損失は0.6
0dB,アイソレーション40dBと良好であった。ま
た、光アイソレータの大きさとしても外径が6mm,長
さが20mmといった小型のものにすることができた。
アイソレータの構成例について説明したが、本発明の適
用はこれに限られるものではなく、広く平行ビーム変換
系として種々な光ファイバ通信機器等に適用できること
はいうまでもない。
バコリメータの構成例を示す。この構成はSMファイバ
11および12にVAD法によって作製されたGIファ
イバレンズをそれぞれ実質的に同心的に融着し、GIフ
ァイバレンズ13と14を対向させてコリメータとした
ものである。GIファイバレンズ13(14)の長さは
SMファイバ11(12)からの出射光を平行ビームと
する長さである。図6(A)にVAD法によって作製し
たGIファイバの比屈折率差の径方向の分布を、図6
(B)にMCVD(modified chemica
l vapor deposition)法によって作
製したGIファイバの比屈折率差の分布を示す。MCV
D法によって作製したGIファイバはコア中心部で比屈
折率差が低下するのに対し、VAD法によるGIファイ
バは屈折率が半径のほぼ2乗の関数で示される分布を有
するので、レンズとして有効に機能する。屈折率分布は
半径の1.7乗から2.5乗の関数で示される分布であ
ることが望ましい。この分布であれば、コリメートビー
ム光を構成するのに比較的容易となるためである。分布
が緩やかすぎると、発散ぎみになり易く、急峻すぎると
収束ぎみになり易くなってしまう。
m,コアとクラッドの比屈折率差0.35%のSMファ
イバと、外径130μm,中心と最外周部の比屈折率差
0.5%,屈折率分布が2乗分布のVAD法によるGI
ファイバとを、それらの中心を一致させ、放電加熱によ
って融着した。その後GIファイバを長さが0.9mm
±10μmになるように切断し、その端面を放電加熱に
よって清浄化してGIファイバレンズとした。このよう
にして得られた1対のGIファイバレンズ付SMファイ
バを対向させて図5に示した構成の光ファイバコリメー
タとした。GIファイバレンズを2.5mmの間隔で対
向させた時(間隙媒質は空気)の損失は0.2dBであ
った。
す。シリコン基体15および16には、GIファイバお
よびSMファイバを挿入した時にそれらの中心軸が一致
するような形状のV溝15aおよび16aが形成されて
いる。さらにこれらV溝15aおよび16aの両側に
は、それぞれガイドピン19および20のための溝15
bおよび16bが設けられており、これら溝15bおよ
び16bにガイドピン19および20を挿入してシリコ
ン基体15と16を組合せると各基体15および16の
V溝15aおよび16aに固定されたファイバが中心軸
に一致して対向するようになっている。
基体15および16の上述したV溝15aおよび16a
の内側に固定し、これを精密切断機を用いて1.0mm
の厚さに切断した。切断したGIファイバの両端を研磨
加工し、厚さ0.9mm±3μmのGIファイバレンズ
13および14とした。次いで、シリコン基体15およ
び16のV溝15aおよび16aの外側にSMファイバ
11および12を、その中心がGIファイバレンズの中
心と一致するように、固定した。さらに、シリコン基体
15,16のV溝15aおよび16aの両側に形成され
ているガイドピン用溝15bおよび16bを利用し、シ
リコン基体15および16を厚さ2.5mmのスペーサ
17および18を介して、各ファイバの中心軸が一致す
るようにガイドピン19および20を用いて固定した。
なお、スペーサ17および18にはそれぞれ、ガイドピ
ン19および20が貫通する孔19aおよび20aが形
成されている。このようにして作製された光ファイバコ
リメータの対向損失は0.1dBであった。
ファイバおよびGIファイバそれぞれのV溝を形成した
が、SMファイバ用のV溝とGIファイバ用のV溝とを
別の基体に形成しておき、基体同士をファイバ固定前ま
たは固定後に位置合わせ接続するようにしても良い。
を示す。まず図8(A)に示すように、実施例5と同一
の構成で長さが4.3mmのGIファイバ21の両端に
SMファイバ11および12を、中心軸をGIファイバ
と一致させて融着接続した。ついで図8(B)に示すよ
うに、接続されたファイバをシリコン基体22に切削加
工によって形成したV溝22aに挿入し、固定部材23
および接着剤24によって固定した。このとき、固定後
の切断箇所を確認できるように固定部材23の長さをG
Iファイバ21の長さと等しくした。次いで、固定した
GIファイバ21の中間部2.5mmを固定部材23と
共に切削加工によって除去して、コリメート用の空間部
24を形成した。この空間部24の長さは、一般的に言
えば、GIファイバ21の長さは、レンズ長の2倍にコ
リメート長を加えた長さであり、この空間部24の長さ
がコリメート長となる。このようにして図8(C)に示
すように、GIファイバレンズ13および14がSMフ
ァイバ11および12に融着接続された光ファイバコリ
メータを作製した。得られた光ファイバコリメータの対
向損失は0.2dBであった。
いては、GIファイバレンズとSMファイバとを融着接
続した。しかし、GIファイバレンズとSMファイバと
の接続は必ずしも融着接続に限られず、光コネクタを用
いて接続してもよい。
るSMファイバ固定部25AおよびGIファイバが嵌合
するGIファイバ固定部25Bからなる光コネクタ25
によってSMファイバ11とGIファイバレンズ13と
を接続する。同様にSMファイバ固定部26AおよびG
Iファイバ固定部26Bからなる光コネクタ26によっ
てSMファイバ12とGIファイバレンズ13とを接続
する。そして、GIファイバレンズ13および14を同
一中心軸上に対向させて光コリメータとしたもので、こ
の構成は図5の光ファイバコリメータの構成に対応す
る。
Aと,これらの内側ににそれぞれ連続的に設けられた一
対のGIファイバ固定部27Bと、これらGIファイバ
固定部を所定間隔(コリメート長)をおいて固定する連
結部27Cとからなる光コネクタ27を用いてSMファ
イバ11とGIファイバレンズ13およびSMファイバ
12とGIファイバレンズ14を接続して光ファイバコ
リメータを構成したものである。この構成は図8の構成
に対応する。なお、連結部27Cは、GIファイバレン
ズ13および14同士の光学的結合を阻害しないもので
あればその形状は特に限定されるものではないことは言
うまでもない。
光ファイバコリメータの上面図を示す。この実施例は第
6の実施例を多芯構成にしたものである。すなわち、シ
リコン基体28には複数のV溝28aが設けられてお
り、SMファイバ11A,11B,11Cおよび11D
とGIファイバレンズ13A,13B,13Cおよび1
3DとがそれぞれV溝28a上で同軸に接続されてい
る。また、シリコン基体29にも複数のV溝29aが設
けられており、SMファイバ12A〜12D,GIファ
イバレンズ14A〜14Dが同様に同軸で接続されてい
る。そして、シリコン基体28および29のV溝28a
および29aのそれぞれの両側にはガイドピン用孔28
bおよび29bが形成されており、各ファイバレンズは
スペーサ17,18およびガイドピン19,20によっ
て所定の間隔をおいて同心的に対向されている。
ば、光ビーム処理にかかわるSMファイバの対向する面
の各々に、GIファイバによる所定長さの集束型ロッド
レンズを同心に接続して構成したので、簡単かつ小型化
された構成で、しかも信頼性が高く、優れた光ファイバ
機能部品として活用することができ、特に光ファイバ増
幅器内に用いられる光アイソレータに本発明の技術を効
果的に適用することができる。
ルモード型光ファイバ内の屈折率分布(B)およびロッ
ドレンズ内の屈折率分布(C)と共に示す説明図であ
る。
順を(A)〜(D)の順に従って示す説明図である。
示す説明図である。
構成図である。
図である。
搬経路と共に示す斜視図である。
の伝搬経路と共に示す断面図である。
である。
ンズ 15,16,28,29 シリコン基体 17,18 スペーサ 19,20 ガイドピン 21 グレーデッドインデックス型光ファイバ 23 固定部材
Claims (11)
- 【請求項1】 光ファイバ間の光ビーム処理のために設
けられる光ファイバ機能部品において、 前記光ビーム処理にかかわるシングルモード型光ファイ
バの対向する面の各々に、グレーデッドインデックス型
光ファイバによる所定長さの集束型ロッドレンズを同心
に接続してなることを特徴とする光ファイバ機能部品。 - 【請求項2】 前記シングルモード光ファイバおよび前
記グレーデッドインデックス型光ファイバがV溝上に設
置されていることを特徴とする請求項1に記載の光ファ
イバ機能部品。 - 【請求項3】 前記グレーデッドインデックス型光ファ
イバは比屈折率差が0.2%以上であることを特徴とす
る請求項1または2に記載の光ファイバ機能部品。 - 【請求項4】 前記グレーデッドインデックス型光ファ
イバの屈折率分布が1.7乗から2.5乗型の関数で示
されることを特徴とする請求項1,2または3に記載の
光ファイバ機能部品。 - 【請求項5】 前記グレーデッドインデックス型光ファ
イバが気相軸付け法で製造されたものであることを特徴
とする請求項1ないし4のいずれかに記載の光ファイバ
機能部品。 - 【請求項6】 所定長のグレーデッドインデックス型光
ファイバ両端部に融着またはコネクタ結合によりシング
ルモード光ファイバを中心軸を合わせて固定し、前記グ
レーデッドインデックス型光ファイバの中間部を切断除
去してコリメート用の空間としたことを特徴とする光フ
ァイバ機能部品。 - 【請求項7】 前記シングルモード光ファイバおよび前
記グレーデッドインデックス型光ファイバがV溝上に設
置されていることを特徴とする請求項6に記載の光ファ
イバ機能部品。 - 【請求項8】 前記所定長がレンズ長の2倍にコリメー
ト長を加えた長さであることを特徴とする請求項6また
は7に記載の光ファイバ機能部品。 - 【請求項9】 シングルモード型光ファイバの端面にグ
レーデットインデックス型光ファイバによる所定長さの
集束型ロッドレンズを同心に接続した状態でV溝上に設
置したV溝部品同士を、前記集束型ロッドレンズ同士を
所定の長さをおいて相対向させて配置してなることを特
徴とする光ファイバ機能部品。 - 【請求項10】 前記V溝部品同士が前記所定の長さの
スペーサを介してかつガイドピンで位置合わせした状態
で固定されていることを特徴とする請求項9に記載の光
ファイバ機能部品。 - 【請求項11】 光ビーム処理にかかわるシングルモー
ド型光ファイバの端面に、該光ファイバの外径以上その
外径の2倍以下の径を有するグレーデッドインデックス
型光ファイバを同心に融着接続し、該グレーデッドイン
デックス型光ファイバを所定長さに仕上げ代を含めて切
断した上、前記同心に融着接続した双方の光ファイバを
フェルールによって固定保持し、前記グレーデッドイン
デックス型光ファイバの前記フェルールによって保持さ
れる切断面を光学研磨して所定の寸法に仕上げることを
特徴とする光ファイバ機能部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15214393A JP3285166B2 (ja) | 1992-06-24 | 1993-06-23 | 光ファイバ機能部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-166395 | 1992-06-24 | ||
JP16639592 | 1992-06-24 | ||
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