JPH06134636A - 薄板材吸着保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 負圧源に接続される吸着穴が設けられ、薄板
材の載置面をもつ載置部材からなり、上記載置面に柔軟
弾性を有する密着環状材を保持可能な保持部を設けると
共に該保持部に保持された密着環状材を保持部に止着可
能な取付部材を設け、該取付部材に上記吸着穴を設け、
上記載置面及び取付部材の表面を上記薄板材の吸着保持
形状に適合した所定形状に形成てなる。 【効果】 負圧源により吸着穴の吸着作用を生じさせる
と薄板材は載置面及び取付部材の表面に密着保持され、
柔軟弾性を有する密着環状材の端縁は薄板材に密着して
変形し、この際に載置面及び取付部材の表面は薄板材の
吸着保持形状に適合した所定形状に形成されているた
め、所定の形状を保有した状態で吸着保持され、このた
め薄板材を変形可能限度以上に変形させることなく良好
に吸着保持できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えばガリウム、ヒ素材
からなる発光ダイオードの素材等の如く、元々反り又は
湾曲変形していて平坦面に密着させるとチッピングやク
ラックが生じてしまう程の脆性をもつ薄板材を例えば超
音波穴明け加工に際して吸着保持する薄板材吸着保持装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来この種の吸着保持装置として、載置
部材に薄板材を載置可能な平坦な載置面を形成し、この
載置部材の載置面に負圧源に接続される吸着穴を複数個
散在状態に形成し、載置部材の載置面に自動的又は人為
的に薄板材を載置し、この状態で負圧源に接続された複
数個の吸着穴の吸引作用により薄板材を吸着保持するよ
うに構成したものが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
構造の場合、載置部材の載置面は平坦面に形成されてい
るため、例えばガリウム、ヒ素材からなる発光ダイオー
ドの素材等の如く、極めて脆い材料からなり、しかも元
々反り又は湾曲変形している薄板材を吸着保持すると、
薄板材を変形可能限度以上に変形させることになって簡
単に割れてしまうことがあり、また割れることなく吸着
ができて例えば超音波加工が完了した後に吸着作用を解
除する際に薄板材の戻り変形時に割れてしまうこともあ
り、それだけ製品の歩留まりの低下が生じてしまうとい
う不都合を有している。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような不都
合を解決することを目的とするもので、その要旨は、負
圧源に接続される吸着穴が設けられ、薄板材の載置面を
もつ載置部材からなり、上記載置面に柔軟弾性を有する
密着環状材を保持可能な保持部を設けると共に該保持部
に保持された密着環状材を保持部に止着可能な取付部材
を設け、該取付部材に上記吸着穴を設け、上記載置面及
び取付部材の表面を上記薄板材の吸着保持形状に適合し
た所定形状に形成したことを特徴とする薄板材吸着保持
装置にある。

【０００５】

【作用】載置部材の載置面及び載置部材に設けられた保
持部に保持された密着環状材を保持部に止着可能な取付
部材の表面は薄板材の吸着保持形状に応じた形状に形成
され、負圧源により吸着穴の吸着作用を生じさせると薄
板材は載置面及び取付部材の表面に密着保持され、柔軟
弾性を有する密着環状材の端縁は薄板材に密着して変形
し、この際に載置面及び取付部材の表面は薄板材の吸着
保持形状に適合した所定形状に形成されているため、薄
板材は確実かつ良好に吸着保持される。

【０００６】

【実施例】図１乃至図５は本発明の実施例を示し、１は
載置部材であって、この場合ブラケット２に供給台３を
取付け、この供給台３に載置部材１を取り付けるように
構成している。

【０００７】４は密着環状部材であって、この場合ウレ
タンゴム製の薄肉長円環状に形成され、載置部材１に長
円形凹状の保持部５を形成し、この保持部５の開口部側
を保持斜面５ａに形成し、保持斜面５ａに連続して載置
部材１の上面である載置面６に凹部５ｂを形成し、保持
部５に取付部材７をボルト８により嵌着し、保持部５の
保持斜面５ａと取付部材７の上縁部に形成した押圧斜面
７ａとで密着環状材４の下縁部分を止着可能に設けて構
成している。

【０００８】９は吸着穴であって、この場合取付部材７
に四個形成され、取付部材７の表面１０である上面に二
個の吸着穴９に接続される吸着溝１１を二本形成し、ブ
ラケット２に図外の真空ポンプ等の負圧源に接続される
接続口１２を形成し、載置部材１に連通路１３及び連通
間隙１４を形成し、接続口１２と吸着穴９とを連通形成
して構成している。

【０００９】この場合密着環状部材４に相当する部材を
保持部５の保持斜面５ａと取付部材７の押圧斜面７ａと
で止着した状態で上記載置面６及び取付部材７の表面１
０を吸着すべき薄板材Ｗの吸着保持形状に適合した所定
形状、この場合載置部材の中心である取付部材１の中央
部分が高い球面形状に同時加工形成している。

【００１０】ここにいう薄板材Ｗの吸着保持形状とは、
薄板材Ｗの変形可能限度や加工条件等に応じて定めら
れ、よって薄板材Ｗの吸着保持形状に適合した所定形状
としては球面形状に限らず、非球面、任意曲面の形状が
選定され、また密着環状部材４の形状や材質、厚さ、柔
らかさもこれら所定形状や加工条件に応じて適宜設計さ
れる。

【００１１】この実施例は上記構成であるから、載置部
材１の載置面６に自動的又は人為的に薄板材Ｗを載置
し、この状態で負圧源の負圧を発生させると、接続口１
２、連通路１３、通過間隙１４を介して吸着穴９の吸引
作用が営まれ、薄板材Ｗは載置面６及び取付部材７の表
面１０に密着し、この際に柔軟弾性を有する密着環状材
４の上端縁は薄板材Ｗに密着しつつ凹部５ｂ内に倒伏変
形し、薄板材Ｗは載置面６及び取付部材７の表面１０に
密着保持されることになる。

【００１２】この際に上記載置面６及び取付部材７の表
面１０は薄板材Ｗの吸着保持形状に適合した所定形状に
形成されているため、所定の形状を保有した状態で吸着
保持され、このため薄板材Ｗを変形可能限度以上に変形
させることなく良好に吸着保持でき、薄板材Ｗを破損す
ることを防止でき、それだけ製品の歩留まりの低下を抑
制することができる。

【００１３】また密着環状部材４によって吸着範囲を吸
着することができるとともにその形状によって吸着範囲
を設定でき、従来の如く、複数の散在する吸着穴により
吸着する構造に比べて、薄板材Ｗに適合した吸着部位を
吸着でき、しかも密着環状部材４の柔軟弾性作用により
吸着開始から吸着完了又は吸着状態から離反までの間に
おける薄板材Ｗの変形を緩やかなものにでき、薄板材Ｗ
の破損を防止することができる。

【００１４】尚、本発明は上記実施例に限られるもので
はなく、例えば上記実施例では超音波穴明け加工機に適
用しているが、他の加工等の際やワークハンドリングに
も適用でき、また載置部材の形状や取付部材の構造、吸
着穴の構造、個数等は適宜変更して設計されるものであ
る。

【００１５】

【発明の効果】本発明は上述の如く、負圧源により吸着
穴の吸着作用を生じさせると薄板材は載置面及び取付部
材の表面に密着保持され、柔軟弾性を有する密着環状材
の端縁は薄板材に密着して変形し、この際に載置面及び
取付部材の表面は薄板材の吸着保持形状に適合した所定
形状に形成されているため、所定の形状を保有した状態
で吸着保持され、このため薄板材を変形可能限度以上に
変形させることなく良好に吸着保持でき、薄板材を破損
することを防止でき、それだけ製品の歩留まりの低下を
抑制することができる。

【００１６】以上、所期の目的を充分達成することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の全体正断面図である。

【図２】図１で示す実施例の平面図である。

【図３】図１で示す実施例の部分切欠断面斜視図であ
る。

【図４】図１で示す実施例の部分縦断面図である。

【図５】図１で示す実施例の部分横断面図である。

【符号の説明】

１ 載置部材 ４ 密着環状部材 ５ 保持部 ６ 載置面 ７ 取付部材 ９ 吸着穴 １０ 表面 Ｗ 薄板材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 負圧源に接続される吸着穴が設けられ、
   薄板材の載置面をもつ載置部材からなり、上記載置面に
   柔軟弾性を有する密着環状材を保持可能な保持部を設け
   ると共に該保持部に保持された密着環状材を保持部に止
   着可能な取付部材を設け、該取付部材に上記吸着穴を設
   け、上記載置面及び取付部材の表面を上記薄板材の吸着
   保持形状に適合した所定形状に形成したことを特徴とす
   る薄板材吸着保持装置。