JPH06132456A - 半導体パッケージ用絶縁リードフレーム - Google Patents
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- H01L2224/45124—Aluminium (Al) as principal constituent
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- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
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- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体のリードオンチップ・パッケージにお
いて、ワイヤボンドがリードフレームの電力母線に短絡
する可能性を減らす構造を提供する。 【構成】 絶縁されたリードフレーム(25)は、第1
群のリードフィンガ(27a)と、第2群のリードフィ
ンガ(27b)と、その間にある電力母線(28、28
b)とを持つ。リードオンチップ・リードフレームの電
力母線はその面上の、面の縁に沿って走る絶縁片(28
a1、28a2、28b1、28b2)を持ち、リード
フレームのリードフィンガ(27)を半導体チップのボ
ンディングパッド(23)に接続するための、交差する
ワイヤボンド(24)と電力母線(28)とが短絡する
可能性を減らす。
いて、ワイヤボンドがリードフレームの電力母線に短絡
する可能性を減らす構造を提供する。 【構成】 絶縁されたリードフレーム(25)は、第1
群のリードフィンガ(27a)と、第2群のリードフィ
ンガ(27b)と、その間にある電力母線(28、28
b)とを持つ。リードオンチップ・リードフレームの電
力母線はその面上の、面の縁に沿って走る絶縁片(28
a1、28a2、28b1、28b2)を持ち、リード
フレームのリードフィンガ(27)を半導体チップのボ
ンディングパッド(23)に接続するための、交差する
ワイヤボンド(24)と電力母線(28)とが短絡する
可能性を減らす。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は集積回路に関するもの
で、更に特定していえば集積回路のパッケージに関する
ものである。
で、更に特定していえば集積回路のパッケージに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】集積回路パッケージは一般にチップ支持
パッドの上にある集積回路チップを含む。ICはワイヤ
ボンドによってリードフレームに接続される。プラステ
ィックのような物質がこの構造を包んでいる。代表的な
例はプラスティック小型Jリード(PSOJ)である。
実際的な一つの方法としてICパッケージを集積回路板
の表面にリフローはんだ付けしたものがある。
パッドの上にある集積回路チップを含む。ICはワイヤ
ボンドによってリードフレームに接続される。プラステ
ィックのような物質がこの構造を包んでいる。代表的な
例はプラスティック小型Jリード(PSOJ)である。
実際的な一つの方法としてICパッケージを集積回路板
の表面にリフローはんだ付けしたものがある。
【0003】産業分野ではパッケージがより薄くなり、
大きなサイズのチップが大型のパッケージになるにつれ
て、新しいパッケージ技術が生まれている。その技術の
一つはリードオンチップ・パッケージ(LOC)であ
る。
大きなサイズのチップが大型のパッケージになるにつれ
て、新しいパッケージ技術が生まれている。その技術の
一つはリードオンチップ・パッケージ(LOC)であ
る。
【0004】U.S.特許No. 4,862,245、パ
シュビー他、1989年8月29日、U.S.特許No.
4,916,519、ウオード、1990年4月10
日、およびウイリアム・C・ウオードによる「IBM
80−ns 1−メガビットDRAMチップ用の面状ワ
イヤボンド技術を用いたユニークなプラスティック表面
取り付けモジュールの量産」と題する論文、1988
年、IEEEECC38回会報、pp.552−55
7、などに記述されているように、この技術は集積回路
の動作部分にリードフレームを配列するものである。
シュビー他、1989年8月29日、U.S.特許No.
4,916,519、ウオード、1990年4月10
日、およびウイリアム・C・ウオードによる「IBM
80−ns 1−メガビットDRAMチップ用の面状ワ
イヤボンド技術を用いたユニークなプラスティック表面
取り付けモジュールの量産」と題する論文、1988
年、IEEEECC38回会報、pp.552−55
7、などに記述されているように、この技術は集積回路
の動作部分にリードフレームを配列するものである。
【0005】接着性のある絶縁テープでリードフレーム
を集積回路チップに接着する。ワイヤボンドで、中心に
配置した電力母線に回路を接続する。そしてワイヤボン
ドは電力母線をまたいで集積回路を導電性のリードフィ
ンガに接続する。チップ支持パッドは必要ない。
を集積回路チップに接着する。ワイヤボンドで、中心に
配置した電力母線に回路を接続する。そしてワイヤボン
ドは電力母線をまたいで集積回路を導電性のリードフィ
ンガに接続する。チップ支持パッドは必要ない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】LOCパッケージでは
ワイヤボンドがリードフレームの電力母線部に短絡する
危険性がある。信号ピンへのワイヤはメタルリードフレ
ームの電力母線を横切るので、アセンブリの段階でボン
ド位置や、ワイヤの曲げ方や、成形コンパウンドの引き
方がわるかったり、組み立て中に偶然接触したりするこ
とにより、短絡する可能性がある。アセンブリ工程では
ワイヤボンド間で短絡が起こる可能性もある。
ワイヤボンドがリードフレームの電力母線部に短絡する
危険性がある。信号ピンへのワイヤはメタルリードフレ
ームの電力母線を横切るので、アセンブリの段階でボン
ド位置や、ワイヤの曲げ方や、成形コンパウンドの引き
方がわるかったり、組み立て中に偶然接触したりするこ
とにより、短絡する可能性がある。アセンブリ工程では
ワイヤボンド間で短絡が起こる可能性もある。
【0007】短絡の問題をできるだけ少なくするために
絶縁ワイヤを用いることが考えられる。アレックス・J
・オットー「高度のリードカウントパッケージ用の絶縁
アルミボンディングワイヤ」、ハイブリッド・マイクロ
エレクトロニクス国際会報、Vol.9,No. 1,19
86、を参照されたい。
絶縁ワイヤを用いることが考えられる。アレックス・J
・オットー「高度のリードカウントパッケージ用の絶縁
アルミボンディングワイヤ」、ハイブリッド・マイクロ
エレクトロニクス国際会報、Vol.9,No. 1,19
86、を参照されたい。
【0008】絶縁ワイヤを用いることにより、従来のア
センブリパッケージがいくらか改善されたことが報じら
れているが、集積回路の上面の絶縁フィルム上でワイヤ
ボンドのステッチが持つ性質から見て、LOCパッケー
ジにうまく適用できるかは疑問である。つまりうまく適
用できる可能性は少ない。更に絶縁ワイヤは高価であ
る。
センブリパッケージがいくらか改善されたことが報じら
れているが、集積回路の上面の絶縁フィルム上でワイヤ
ボンドのステッチが持つ性質から見て、LOCパッケー
ジにうまく適用できるかは疑問である。つまりうまく適
用できる可能性は少ない。更に絶縁ワイヤは高価であ
る。
【0009】本発明の目的は、リードオンチップ集積回
路パッケージのワイヤボンドの短絡に対する解決法を提
供することである。
路パッケージのワイヤボンドの短絡に対する解決法を提
供することである。
【0010】本発明の他の目的および利点は、以下の記
述によりこの分野の一般の技術者には明かである。
述によりこの分野の一般の技術者には明かである。
【0011】
【課題を解決するための手段】ここに、ある絶縁リード
フレームを開示する。このリードフレームは第1群のリ
ードフィンガと第2群のリードフィンガを持つ。また第
1群リードフィンガと第2群リードフィンガとの間には
電力母線がある。電力母線の表面上の面の端の付近には
絶縁片がある。
フレームを開示する。このリードフレームは第1群のリ
ードフィンガと第2群のリードフィンガを持つ。また第
1群リードフィンガと第2群リードフィンガとの間には
電力母線がある。電力母線の表面上の面の端の付近には
絶縁片がある。
【0012】適当な絶縁片としては、ポリイミドテープ
のような接着型のテープおよび液体ポリイミドのような
非導電液がある。絶縁リードフレームはパッケージ化さ
れた半導体集積回路素子の製造に役立ち、ワイヤボンド
が電力母線に短絡する可能性を減らす。
のような接着型のテープおよび液体ポリイミドのような
非導電液がある。絶縁リードフレームはパッケージ化さ
れた半導体集積回路素子の製造に役立ち、ワイヤボンド
が電力母線に短絡する可能性を減らす。
【0013】一つの例は、ダイナミック・ランダムアク
セス・メモリ(DRAM)のダイで、リードオンチップ
・リードフレームの中心に取り付けられたボンディング
パッドを持っている。リードオンチップ・リードフレー
ムの電力母線はその縁に沿って走る絶縁片を持ち、電力
母線と、リードフレームのリードフィンガをDRAMの
ボンディング板に接続する交差物とが短絡しにくくす
る。
セス・メモリ(DRAM)のダイで、リードオンチップ
・リードフレームの中心に取り付けられたボンディング
パッドを持っている。リードオンチップ・リードフレー
ムの電力母線はその縁に沿って走る絶縁片を持ち、電力
母線と、リードフレームのリードフィンガをDRAMの
ボンディング板に接続する交差物とが短絡しにくくす
る。
【0014】
【実施例】図1は工業規格プラスティック小型Jリード
(PSOJ)表面取り付けパッケージの形に作られた集
積回路パッケージ素子10を示す。半導体集積回路11
が取り付け支持基板(チップアタッチ)12に乗ってい
る。ワイヤボンド14は半導体回路11の外縁に沿った
ボンディングパッド(図示せず)を導電性の“J”型の
リードフィンガ15に接続する。プラスティックのよう
な成形コンパウンド材料16が素子を包む。
(PSOJ)表面取り付けパッケージの形に作られた集
積回路パッケージ素子10を示す。半導体集積回路11
が取り付け支持基板(チップアタッチ)12に乗ってい
る。ワイヤボンド14は半導体回路11の外縁に沿った
ボンディングパッド(図示せず)を導電性の“J”型の
リードフィンガ15に接続する。プラスティックのよう
な成形コンパウンド材料16が素子を包む。
【0015】図2は従来のLOCの設計を示す。以下の
同時継続出願および同時譲渡もLOCの考え方を述べて
いる。 番 号 発明者 出 願 日 TI番号 373,742 ハイネンほか 1989年 6月30日 14287 455,210 リムほか 1989年12月22日 14600 455,105 リムほか 1989年12月22日 14603
同時継続出願および同時譲渡もLOCの考え方を述べて
いる。 番 号 発明者 出 願 日 TI番号 373,742 ハイネンほか 1989年 6月30日 14287 455,210 リムほか 1989年12月22日 14600 455,105 リムほか 1989年12月22日 14603
【0016】図2のパッケージ20では、半導体集積回
路チップ21の中心水平軸に沿ってボンドパッド23が
ある。半導体21はリードオンチップ・リードフレーム
25の下側にある。リードオンチップ・リードフレーム
25は導電性金属でもよい。
路チップ21の中心水平軸に沿ってボンドパッド23が
ある。半導体21はリードオンチップ・リードフレーム
25の下側にある。リードオンチップ・リードフレーム
25は導電性金属でもよい。
【0017】その一例は、厚さ約0.20mmのフルハー
ド焼き戻しCDAアロイ151で、金、銀などによって
スポットメッキしてもよい。他の例は、ハーフハードア
ロイ42である。半導体チップ21は例えば約8.26
×16.76mmの半導体基板に乗った1,600万デー
タビット以上を記憶する16メガビットのダイナミック
・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)でよい。
ド焼き戻しCDAアロイ151で、金、銀などによって
スポットメッキしてもよい。他の例は、ハーフハードア
ロイ42である。半導体チップ21は例えば約8.26
×16.76mmの半導体基板に乗った1,600万デー
タビット以上を記憶する16メガビットのダイナミック
・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)でよい。
【0018】2枚の両面接着テープ22aと22bが半
導体回路21の動作面上に配置され、リードフレーム2
5をチップ21の上に付着させる。この配置から「リー
ドオンチップ」(LOC)と呼ばれる。
導体回路21の動作面上に配置され、リードフレーム2
5をチップ21の上に付着させる。この配置から「リー
ドオンチップ」(LOC)と呼ばれる。
【0019】ボンドパッド23が中心に配置されている
ので、更に「リードオンチップ・センタボンド」(LO
CCB)と呼ばれる。両面接着テープ22aと22bは
例えば、両面を熱硬化性エポキシ接着剤でコーティング
したポリイミドフィルムであってもよく、これも良い絶
縁物である。
ので、更に「リードオンチップ・センタボンド」(LO
CCB)と呼ばれる。両面接着テープ22aと22bは
例えば、両面を熱硬化性エポキシ接着剤でコーティング
したポリイミドフィルムであってもよく、これも良い絶
縁物である。
【0020】ポリイミドフィルムを含む市販のテープの
一つは、デュポン・カプトンという商品名で売られてい
る。チップ21とリードフレーム25はたわまないの
で、チップ支持パッドは必要ない。
一つは、デュポン・カプトンという商品名で売られてい
る。チップ21とリードフレーム25はたわまないの
で、チップ支持パッドは必要ない。
【0021】図3は、リードフレーム25が図2に示す
ように集積回路21の上に乗せられたときの構造を示
す。電力母線28aと28bはリードフレーム材料の一
部で、チップ21の中央を、離れて平行に走る導電母線
である。
ように集積回路21の上に乗せられたときの構造を示
す。電力母線28aと28bはリードフレーム材料の一
部で、チップ21の中央を、離れて平行に走る導電母線
である。
【0022】電力母線28aはリードフィンガ27wと
27xの間に接続され、例えば接地電圧Vssを供給す
る。電力母線28bはリードフィンガ27yと27zの
間に接続され、例えばプラス電圧Vddを供給する。
27xの間に接続され、例えば接地電圧Vssを供給す
る。電力母線28bはリードフィンガ27yと27zの
間に接続され、例えばプラス電圧Vddを供給する。
【0023】接着テープ22aと22bは離れていて、
チップ21のボンドパッド23がリードフレーム25の
導電リードフィンガ27にボンディングできるようにな
っている。
チップ21のボンドパッド23がリードフレーム25の
導電リードフィンガ27にボンディングできるようにな
っている。
【0024】図4はパッケージ20の組み上がり図で、
高速のサーモソニック・ゴールドボール・ワイヤボンデ
ィングにより、ボンドパッド23を各リードフィンガ2
7および電力母線28aと28bに接続している。
高速のサーモソニック・ゴールドボール・ワイヤボンデ
ィングにより、ボンドパッド23を各リードフィンガ2
7および電力母線28aと28bに接続している。
【0025】いろいろの型のワイヤボンディングが使わ
れるが、直径約0.025mmのゴールド・ワイヤボンデ
ィングで十分である。ワイヤボンド24の一端は各ボン
ドパッド23に接続されている。いくつかのワイヤボン
ド24の他端は、リードフレーム25の中央に配置され
た2本の電力母線28aと28bに接続されている。多
重ワイヤボンド接続は、これらの母線から効率よく電圧
を配分するために行われている。
れるが、直径約0.025mmのゴールド・ワイヤボンデ
ィングで十分である。ワイヤボンド24の一端は各ボン
ドパッド23に接続されている。いくつかのワイヤボン
ド24の他端は、リードフレーム25の中央に配置され
た2本の電力母線28aと28bに接続されている。多
重ワイヤボンド接続は、これらの母線から効率よく電圧
を配分するために行われている。
【0026】いくつかの他のワイヤボンド24の他端は
電力母線を越えて、導電性のリードフィンガ27の内側
先端と接続される。
電力母線を越えて、導電性のリードフィンガ27の内側
先端と接続される。
【0027】ワイヤボンド24aは一例である。ワイヤ
ボンド24aの一端はリードフィンガ27aの内側先端
に接続されている。ワイヤボンド24aは電力母線28
aを越え、ワイヤボンド24aの他端はボンドパッド2
3aに接続されている。
ボンド24aの一端はリードフィンガ27aの内側先端
に接続されている。ワイヤボンド24aは電力母線28
aを越え、ワイヤボンド24aの他端はボンドパッド2
3aに接続されている。
【0028】リードフィンガ27の内側先端は下向きに
なっている。ワイヤの引き方がまずいと、ワイヤボンド
24aが電力母線28aに接触して短絡を起こす。
なっている。ワイヤの引き方がまずいと、ワイヤボンド
24aが電力母線28aに接触して短絡を起こす。
【0029】図5は透明なプラスティックのカプセル2
6に入った、組み上がったパッケージ20を示す。トラ
ンスファ成形はノヴォラック・エポキシのような成形コ
ンパウンドを用いて行われる。カプセル化にはひずみの
少ない成形技術を使うとよい。
6に入った、組み上がったパッケージ20を示す。トラ
ンスファ成形はノヴォラック・エポキシのような成形コ
ンパウンドを用いて行われる。カプセル化にはひずみの
少ない成形技術を使うとよい。
【0030】プラスティックカプセル26は、集積回路
21、リードフレーム25、ワイヤボンド24を包み、
プラスティック体を形成する。
21、リードフレーム25、ワイヤボンド24を包み、
プラスティック体を形成する。
【0031】リードフレーム25の仕上げをし、リード
フィンガ27をJ型に曲げ、リードフィンガの外側をプ
ラスティックカプセル26の外へ伸ばして、外部の回路
と物理的、電気的に接続しやすくしている。プラスティ
ックカプセルから外へ伸びるリードフィンガ27は24
本ある。
フィンガ27をJ型に曲げ、リードフィンガの外側をプ
ラスティックカプセル26の外へ伸ばして、外部の回路
と物理的、電気的に接続しやすくしている。プラスティ
ックカプセルから外へ伸びるリードフィンガ27は24
本ある。
【0032】図6は完成したリードオンチップ・パッケ
ージ20の側面図である。前に述べたダイのパーケッジ
寸法は約10.16×18.42mm程度で、厚さは約
1.27mmより薄い。パッケージの外観は24ピンのP
SOJと同じである。
ージ20の側面図である。前に述べたダイのパーケッジ
寸法は約10.16×18.42mm程度で、厚さは約
1.27mmより薄い。パッケージの外観は24ピンのP
SOJと同じである。
【0033】図7は完成した半導体パッケージ20の一
部を切断した透視図である。
部を切断した透視図である。
【0034】図8は図4の変形の一部を切断した平面図
で、本発明の望ましい実施例であり、図9aは図8の4
−4線に沿った透視図で、本発明の望ましい実施例を更
に図示する。(リードフレーム25は外側の縁を除いて
あり、分かりやすくするため実際のワイヤボンドのほん
の一部だけが示してある。)図9bは図9aを拡大した
端面図である。
で、本発明の望ましい実施例であり、図9aは図8の4
−4線に沿った透視図で、本発明の望ましい実施例を更
に図示する。(リードフレーム25は外側の縁を除いて
あり、分かりやすくするため実際のワイヤボンドのほん
の一部だけが示してある。)図9bは図9aを拡大した
端面図である。
【0035】図8、9a、9bに示すように、絶縁した
非導通片28a1と28a2が電力母線28aの上面の
縁に沿って走り、絶縁した非導通片28b1と28b2
が電力母線28bの上面の縁に沿って走る。絶縁片の間
にある電力母線28aと28bの表面部は、ボンディン
グを行うために露出している。
非導通片28a1と28a2が電力母線28aの上面の
縁に沿って走り、絶縁した非導通片28b1と28b2
が電力母線28bの上面の縁に沿って走る。絶縁片の間
にある電力母線28aと28bの表面部は、ボンディン
グを行うために露出している。
【0036】ワイヤボンド24sはボンドパッド23s
から伸びている。これは絶縁片28a2を越えて電力母
線28aに接続する。ワイヤボンド24aはボンドパッ
ド23aから伸びている。これは、絶縁片28a2と2
8a1を越えてリードフィンガ27aの内側先端に接続
する。絶縁片は、交差するワイヤボンドが壊れて電力母
線に短絡することのないようにするためのものである。
から伸びている。これは絶縁片28a2を越えて電力母
線28aに接続する。ワイヤボンド24aはボンドパッ
ド23aから伸びている。これは、絶縁片28a2と2
8a1を越えてリードフィンガ27aの内側先端に接続
する。絶縁片は、交差するワイヤボンドが壊れて電力母
線に短絡することのないようにするためのものである。
【0037】ワイヤボンド24aがたまたま壊れても、
非導通片28a1または非導通片28a2あるいは非導
通片28a1と28a2の両方に乗っているので、電力
母線28aとは短絡しない。
非導通片28a1または非導通片28a2あるいは非導
通片28a1と28a2の両方に乗っているので、電力
母線28aとは短絡しない。
【0038】本発明の望ましい実施例では、絶縁片28
a1、28a2、28b1、28b2は絶縁接着テープ
でできている。非導通片を電力母線に接着するには上に
述べた両面接着テープもよいが、片面の接着テープでも
十分である。適当な例はデュポンの“カプトン”テープ
とユープリックス・テープである。これらのテープは熱
硬化エポキシ接着ポリイミドフィルムを含んでおり、良
い絶縁物である。
a1、28a2、28b1、28b2は絶縁接着テープ
でできている。非導通片を電力母線に接着するには上に
述べた両面接着テープもよいが、片面の接着テープでも
十分である。適当な例はデュポンの“カプトン”テープ
とユープリックス・テープである。これらのテープは熱
硬化エポキシ接着ポリイミドフィルムを含んでおり、良
い絶縁物である。
【0039】絶縁片の寸法は、電気は通さずしかも電力
母線のボンディングのためのスペースは十分とっておく
ようにしなければならない。つまり、絶縁片は片の上に
乗るワイヤボンドと電力母線とが電気的に接触しないだ
けの大きさがなければならないが、電力母線へのワイヤ
ボンディングができないほど大きくてはいけない。
母線のボンディングのためのスペースは十分とっておく
ようにしなければならない。つまり、絶縁片は片の上に
乗るワイヤボンドと電力母線とが電気的に接触しないだ
けの大きさがなければならないが、電力母線へのワイヤ
ボンディングができないほど大きくてはいけない。
【0040】図9bに示すように望ましい寸法は、テー
プ片の高さ30hが約0.05mmでテープ片の幅30w
が約0.13mmである。この寸法であれば電力母線の幅
が約0.38mmとなり、ボンドワイヤに接続するのに十
分な広さである。
プ片の高さ30hが約0.05mmでテープ片の幅30w
が約0.13mmである。この寸法であれば電力母線の幅
が約0.38mmとなり、ボンドワイヤに接続するのに十
分な広さである。
【0041】図10aは絶縁片の構成の別の実施例を示
す。ここでは絶縁片28a1と28a2は非導通の液体
で形成されている。参考までであるが、同時継続出願
で、同時出願で、同時譲渡の、テキサス・インストルメ
ント社、リムほか、「集積回路用絶縁リードフレームと
その製法」(TI−15310)、は非導通液物質を電
力母線上に置く適当な方法を開示している。
す。ここでは絶縁片28a1と28a2は非導通の液体
で形成されている。参考までであるが、同時継続出願
で、同時出願で、同時譲渡の、テキサス・インストルメ
ント社、リムほか、「集積回路用絶縁リードフレームと
その製法」(TI−15310)、は非導通液物質を電
力母線上に置く適当な方法を開示している。
【0042】この実施例で絶縁材料として好ましい液体
は、液体ポリイミドである。液体絶縁物は電力母線の縁
に沿って走り、硬化した後は縁に沿ったじゅず玉または
半分巻いた片のような外形を持っている。
は、液体ポリイミドである。液体絶縁物は電力母線の縁
に沿って走り、硬化した後は縁に沿ったじゅず玉または
半分巻いた片のような外形を持っている。
【0043】電力母線に液体絶縁物をうまく取り付ける
ようにするため、液体絶縁物を置く前にできれば電力母
線の縁に沿って溝か段をつける。こうすれば液体が電力
母線の上に納まり、流れたり滑ったりしない。更に重要
なことは、段の上に絶縁物を置けば電力母線の縁で短絡
が起こる可能性が減る。
ようにするため、液体絶縁物を置く前にできれば電力母
線の縁に沿って溝か段をつける。こうすれば液体が電力
母線の上に納まり、流れたり滑ったりしない。更に重要
なことは、段の上に絶縁物を置けば電力母線の縁で短絡
が起こる可能性が減る。
【0044】図10bにおいて、段の幅31wは約0.
13mmで、段の高さ31hは約0.08mmから0.13
mmであればよい。硬化液体絶縁片の寸法は、電力母線
と、絶縁片に接触して交差するワイヤボンドとの間に電
気的導通がないようにすると共に、電力母線をワイヤボ
ンドするためのスペースを十分とるようにしなければな
らない。
13mmで、段の高さ31hは約0.08mmから0.13
mmであればよい。硬化液体絶縁片の寸法は、電力母線
と、絶縁片に接触して交差するワイヤボンドとの間に電
気的導通がないようにすると共に、電力母線をワイヤボ
ンドするためのスペースを十分とるようにしなければな
らない。
【0045】上記の寸法の段の上に液体ポリイミドを置
くと、この硬化液体片28a1の幅32wは約0.13
mmから0.20mmで、段の底から湾曲した外側の最も高
い位置までの高さ32hは0.15mmから0.25mmの
間である。従って硬化液体絶縁片28a1の上端は段の
高さ31hを越え、段の端の上に出る。
くと、この硬化液体片28a1の幅32wは約0.13
mmから0.20mmで、段の底から湾曲した外側の最も高
い位置までの高さ32hは0.15mmから0.25mmの
間である。従って硬化液体絶縁片28a1の上端は段の
高さ31hを越え、段の端の上に出る。
【0046】従って絶縁リードフレームはリードフィン
ガの第1群と、リードフィンガの第2群と、その間に少
なくとも一つの電力母線とを持つ。絶縁片は電力母線の
表面の縁に近いところにある。望ましい絶縁片の例とし
て、ポリイミドテープのような接着型のテープと液体ポ
リイミドのような非導通液体とがある。
ガの第1群と、リードフィンガの第2群と、その間に少
なくとも一つの電力母線とを持つ。絶縁片は電力母線の
表面の縁に近いところにある。望ましい絶縁片の例とし
て、ポリイミドテープのような接着型のテープと液体ポ
リイミドのような非導通液体とがある。
【0047】別の絶縁片は電力母線の表面の他端にあっ
てよい。そのような絶縁リードフレームはパッケージ化
された半導体集積回路の製造に役立つもので、ワイヤボ
ンドが電力母線に短絡する可能性を減らす。
てよい。そのような絶縁リードフレームはパッケージ化
された半導体集積回路の製造に役立つもので、ワイヤボ
ンドが電力母線に短絡する可能性を減らす。
【0048】例えば、リードオンチップ・リードフレー
ムに取り付けられ、ボンディングパッドが中心を通るダ
イナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)の
ダイにおいては、リードオンチップ・リードフレームの
電力母線の絶縁片はその縁に沿って走り、電力母線と、
リードフレームのリードフィンガをDRAMのボンディ
ングパッドに接続するための交差するワイヤボンドとの
間の短絡の可能性を減らす。
ムに取り付けられ、ボンディングパッドが中心を通るダ
イナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)の
ダイにおいては、リードオンチップ・リードフレームの
電力母線の絶縁片はその縁に沿って走り、電力母線と、
リードフレームのリードフィンガをDRAMのボンディ
ングパッドに接続するための交差するワイヤボンドとの
間の短絡の可能性を減らす。
【0049】ワイヤボンドの短絡の可能性を減らす他
に、絶縁片は他の利点を持っている。絶縁片をリードフ
レームのメーカが取り付けるようにすれば、集積回路の
メーカでは素子のアセンブリ工程のステップが減る。こ
のためワイヤボンドの位置を電力母線に沿ってまた電力
母線を越えて変更することなく、ボンドパッドの位置を
変えることが容易にできる。
に、絶縁片は他の利点を持っている。絶縁片をリードフ
レームのメーカが取り付けるようにすれば、集積回路の
メーカでは素子のアセンブリ工程のステップが減る。こ
のためワイヤボンドの位置を電力母線に沿ってまた電力
母線を越えて変更することなく、ボンドパッドの位置を
変えることが容易にできる。
【0050】また非常に薄い集積回路パッケージを作る
ことも可能になる。ワイヤボンドの短絡の可能性が減る
ので、電力母線とそれに交差するワイヤボンドの間のワ
イヤの高さを減らすこともできる。従ってパッケージの
全体の高さも減る。この絶縁片はチップオンリード・パ
ッケージにも同様に用いてよい。
ことも可能になる。ワイヤボンドの短絡の可能性が減る
ので、電力母線とそれに交差するワイヤボンドの間のワ
イヤの高さを減らすこともできる。従ってパッケージの
全体の高さも減る。この絶縁片はチップオンリード・パ
ッケージにも同様に用いてよい。
【0051】本発明は例示した実施例に関連して述べた
が、この記述は狭い意味で解釈してはならない。例えば
本発明は半導体チップがリードフレームの上にあるよう
なチップオンリード・リードフレームにも同様に適用で
きる。
が、この記述は狭い意味で解釈してはならない。例えば
本発明は半導体チップがリードフレームの上にあるよう
なチップオンリード・リードフレームにも同様に適用で
きる。
【0052】本技術に精通した人には、この記述により
いろいろな本発明の他の実施例が可能なことは明らかで
ある。従ってそのような実施例の変形は本発明の範囲と
意図内にあるとして、特許請求の範囲に含まれると考え
なければならない。
いろいろな本発明の他の実施例が可能なことは明らかで
ある。従ってそのような実施例の変形は本発明の範囲と
意図内にあるとして、特許請求の範囲に含まれると考え
なければならない。
【0053】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。 (1) 絶縁されたリードフレームにおいて、第1群のリ
ードフィンガ、第2群のリードフィンガ、第1および第
2群のリードフィンガの間に面を持つ電力母線、電力母
線の面上の、面の縁付近にある絶縁片、を含む、絶縁さ
れたリードフレーム。
る。 (1) 絶縁されたリードフレームにおいて、第1群のリ
ードフィンガ、第2群のリードフィンガ、第1および第
2群のリードフィンガの間に面を持つ電力母線、電力母
線の面上の、面の縁付近にある絶縁片、を含む、絶縁さ
れたリードフレーム。
【0054】(2) 絶縁片が接着テープである、第1項
記載の絶縁されたリードフレーム。
記載の絶縁されたリードフレーム。
【0055】(3) 絶縁片が硬化した非導通液体であ
る、第1項記載の絶縁されたリードフレーム。
る、第1項記載の絶縁されたリードフレーム。
【0056】(4) 硬化した非導通液体がポリイミドで
ある、第3項記載の絶縁されたリードフレーム。
ある、第3項記載の絶縁されたリードフレーム。
【0057】(5) 電力母線の面上の、面の他の縁付近
にある他の絶縁片を更に含む、第1項記載の絶縁された
リードフレーム。
にある他の絶縁片を更に含む、第1項記載の絶縁された
リードフレーム。
【0058】(6) 絶縁されたリードフレームにおい
て、第1および第2群のリードフィンガの間に面を持つ
他の電力母線、第2電力母線の面上の、面の縁付近にあ
る絶縁片、第2電力母線の面上の、面の他の縁付近にあ
る他の絶縁片、を更に含む、第5項記載の絶縁されたリ
ードフレーム。
て、第1および第2群のリードフィンガの間に面を持つ
他の電力母線、第2電力母線の面上の、面の縁付近にあ
る絶縁片、第2電力母線の面上の、面の他の縁付近にあ
る他の絶縁片、を更に含む、第5項記載の絶縁されたリ
ードフレーム。
【0059】(7) リードフレームがリードオンチップ
・リードフレームである、第6項記載の絶縁されたリー
ドフレーム。
・リードフレームである、第6項記載の絶縁されたリー
ドフレーム。
【0060】(8) リードフレームがチップオンリード
・リードフレームである、第6項記載の絶縁されたリー
ドフレーム。
・リードフレームである、第6項記載の絶縁されたリー
ドフレーム。
【0061】(9) 半導体パッケージにおいて、ボンデ
ィングパッドのある主面をカプセル材の中に入れた半導
体チップ、リードフレームにおいて、隣接するリードフ
ィンガの第1側と、隣接するリードフィンガの第2側
と、少なくとも2本の電力母線を持ち、隣接するリード
フィンガの第1側と隣接するリードフィンガの第2側は
外側の端がカプセル材を通して伸び、内側先端は半導体
チップの主面の上にあって半導体チップのボンディング
パッドと接続されたまま電力母線と接続され、その2本
の電力母線は隣接するリードフィンガの第1側の内側先
端と隣接するリードフィンガの第2側の内側先端との間
に配置される、リードフレーム、電力母線の縁に沿って
置かれる絶縁片、を含む、半導体パッケージ素子。
ィングパッドのある主面をカプセル材の中に入れた半導
体チップ、リードフレームにおいて、隣接するリードフ
ィンガの第1側と、隣接するリードフィンガの第2側
と、少なくとも2本の電力母線を持ち、隣接するリード
フィンガの第1側と隣接するリードフィンガの第2側は
外側の端がカプセル材を通して伸び、内側先端は半導体
チップの主面の上にあって半導体チップのボンディング
パッドと接続されたまま電力母線と接続され、その2本
の電力母線は隣接するリードフィンガの第1側の内側先
端と隣接するリードフィンガの第2側の内側先端との間
に配置される、リードフレーム、電力母線の縁に沿って
置かれる絶縁片、を含む、半導体パッケージ素子。
【0062】(10) 絶縁片が接着ポリイミドテープであ
る、第9項記載の半導体パッケージ素子。
る、第9項記載の半導体パッケージ素子。
【0063】(11) 接着ポリイミドテープが約0.05
mmの高さと、約0.13mmの幅を持つ、第10項記載の
半導体パッケージ素子。
mmの高さと、約0.13mmの幅を持つ、第10項記載の
半導体パッケージ素子。
【0064】(12) 絶縁片が液体ポリイミドである、第
9項記載の半導体パッケージ素子。
9項記載の半導体パッケージ素子。
【0065】(13) 液体ポリイミドを置く電力母線の縁
が段になっている、第12項記載の半導体パッケージ素
子。
が段になっている、第12項記載の半導体パッケージ素
子。
【0066】(14) 半導体チップにおいて、面の中心に
複数のボンディングパッドを配置した半導体ダイ、半導
体ダイの表面を越えて伸びるリードフィンガと、ボンデ
ィングパッド付近の2本の電力母線を持つ、リードフレ
ーム、あるものは中心に配置されたいくつかのボンディ
ングパッドをいくつかの複数のリードフィンガに電力母
線を越えて接続し、あるものは中心に配置された他のボ
ンディングパッドを電力母線に接続する、複数のワイヤ
ボンド、半導体ダイ、ワイヤボンド、リードフレーム
を、リードフィンガの一部がカプセルから外へ伸びるよ
うにして包むカプセル、実質的に電力母線の長さ方向に
走り、交差するワイヤボンドが電力母線に対して壊れる
可能性を減らす絶縁片、を含む、半導体チップ。
複数のボンディングパッドを配置した半導体ダイ、半導
体ダイの表面を越えて伸びるリードフィンガと、ボンデ
ィングパッド付近の2本の電力母線を持つ、リードフレ
ーム、あるものは中心に配置されたいくつかのボンディ
ングパッドをいくつかの複数のリードフィンガに電力母
線を越えて接続し、あるものは中心に配置された他のボ
ンディングパッドを電力母線に接続する、複数のワイヤ
ボンド、半導体ダイ、ワイヤボンド、リードフレーム
を、リードフィンガの一部がカプセルから外へ伸びるよ
うにして包むカプセル、実質的に電力母線の長さ方向に
走り、交差するワイヤボンドが電力母線に対して壊れる
可能性を減らす絶縁片、を含む、半導体チップ。
【0067】(15) 半導体ダイがランダムアクセス・メ
モリである、第14項記載の半導体チップ。
モリである、第14項記載の半導体チップ。
【0068】(16) リードフレームがリードオンチップ
・リードフレームである、第14項記載の半導体チッ
プ。
・リードフレームである、第14項記載の半導体チッ
プ。
【0069】(17) リードフレームがチップオン・リー
ドフレームである、第14項記載の半導体チップ。
ドフレームである、第14項記載の半導体チップ。
【0070】(18) 絶縁片がテープを含む、第14項記
載の半導体チップ。
載の半導体チップ。
【0071】(19) 絶縁片が硬化液体を含む、第14項
記載の半導体チップ。
記載の半導体チップ。
【0072】(20) ある絶縁されたリードフレームを開
示する。このリードフレームは第1群のリードフィンガ
と第2群のリードフィンガを持つ。それはまた第1群の
リードフィンガと第2群のリードフィンガとの間にある
電力母線をも持つ。電力母線の面上の、面の縁付近には
絶縁片がある。適当な絶縁片の例としては、ポリイミド
テープのような接着型のテープ、および液体ポリイミド
のような非導通液体がある。絶縁されたリードフレーム
はパッケージ化された半導体集積回路素子の製造に役立
ち、ワイヤボンドが電力母線と短絡する可能性を減ら
す。その一例は、中心に配置され、リードオンチップ・
リードフレームに取り付けられたボンディングパッドを
持つダイナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRA
M)ダイである。リードオンチップ・リードフレームの
電力母線はその縁に沿って走る絶縁片を持ち、電力母線
と、リードフレームのリードフィンガをDRAMのボン
ディングパッドに接続するための、交差するワイヤボン
ドとが短絡する可能性を減らす。
示する。このリードフレームは第1群のリードフィンガ
と第2群のリードフィンガを持つ。それはまた第1群の
リードフィンガと第2群のリードフィンガとの間にある
電力母線をも持つ。電力母線の面上の、面の縁付近には
絶縁片がある。適当な絶縁片の例としては、ポリイミド
テープのような接着型のテープ、および液体ポリイミド
のような非導通液体がある。絶縁されたリードフレーム
はパッケージ化された半導体集積回路素子の製造に役立
ち、ワイヤボンドが電力母線と短絡する可能性を減ら
す。その一例は、中心に配置され、リードオンチップ・
リードフレームに取り付けられたボンディングパッドを
持つダイナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRA
M)ダイである。リードオンチップ・リードフレームの
電力母線はその縁に沿って走る絶縁片を持ち、電力母線
と、リードフレームのリードフィンガをDRAMのボン
ディングパッドに接続するための、交差するワイヤボン
ドとが短絡する可能性を減らす。
【図1】代表的な集積回路パッケージの断面図である。
【図2】リードオンチップ・センターボンド素子の透視
分解図でリードフレーム、接着テープ、集積回路を示
す。
分解図でリードフレーム、接着テープ、集積回路を示
す。
【図3】リードオンチップ・センターボンド素子の平面
図で、下部の集積回路チップの接続を示す。
図で、下部の集積回路チップの接続を示す。
【図4】リードオンチップ・センターボンド素子の平面
図で、接続ワイヤボンドを示す。
図で、接続ワイヤボンドを示す。
【図5】リードオンチップ・センターボンド素子の平面
図で、カプセル化した成形コンパウンドが透明なものを
示す。
図で、カプセル化した成形コンパウンドが透明なものを
示す。
【図6】完成したリードオンチップ・センターボンド・
パッケージの側面図である。
パッケージの側面図である。
【図7】完成したリードオンチップ・センターボンド集
積回路パッケージの一部を切断した透視図である。
積回路パッケージの一部を切断した透視図である。
【図8】図4の変形の一部を切断した平面図で、本発明
の望ましい実施例を示す。
の望ましい実施例を示す。
【図9】aは図8の4−4線に沿った本発明の望ましい
実施例の部分透視図である。bは図9aを拡大した部分
端面図である。
実施例の部分透視図である。bは図9aを拡大した部分
端面図である。
【図10】aは図9aを拡大した部分端面図で、本発明
の別の実施例を示す。bは図10aを拡大した部分端面
図である。
の別の実施例を示す。bは図10aを拡大した部分端面
図である。
10 集積回路パッケージ 11 半導体集積回路 12 取り付け支持基板 14 ワイヤボンド 15 リードフィンガ 16 成形コンパウンド 20 パッケージ 21 半導体集積回路チップ 22 接着テープ 23 ボンドパッド 24 ワイヤボンド 25 リードオンチップ・リードフレーム 26 プラスティックカプセル 27 リードフィンガ 28 電力母線 30 絶縁片の寸法
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年10月15日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図9
【補正方法】変更
【補正内容】
【図9】図8の4−4線に沿った本発明の実施例の部分
透視図であり、実線により引き出された部分は拡大部を
示す。
透視図であり、実線により引き出された部分は拡大部を
示す。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図10
【補正方法】変更
【補正内容】
【図10】図9を拡大した部分端面図で本発明の別の実
施例を示し、実線により引き出された部分は拡大端部を
示す。
施例を示し、実線により引き出された部分は拡大端部を
示す。
Claims (1)
- 【請求項1】 絶縁されたリードフレームにおいて、 第1群のリードフィンガ、 第2群のリードフィンガ、 第1および第2群のリードフィンガの間に面を持つ電力
母線、 電力母線の面上の、面の縁付近にある絶縁片、 を含む絶縁されたリードフレーム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/662,085 US5146312A (en) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | Insulated lead frame for semiconductor packaged devices |
US662085 | 2000-09-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06132456A true JPH06132456A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=24656329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4043612A Pending JPH06132456A (ja) | 1991-02-28 | 1992-02-28 | 半導体パッケージ用絶縁リードフレーム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5146312A (ja) |
EP (1) | EP0501830B1 (ja) |
JP (1) | JPH06132456A (ja) |
DE (1) | DE69223825T2 (ja) |
SG (1) | SG69957A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917942A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-17 | Samsung Electron Co Ltd | 延長されたタイバーを有するリードフレーム及びこれを用いた半導体チップパッケージ |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR940006083B1 (ko) * | 1991-09-11 | 1994-07-06 | 금성일렉트론 주식회사 | Loc 패키지 및 그 제조방법 |
JP2518569B2 (ja) * | 1991-09-19 | 1996-07-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
KR940007757Y1 (ko) * | 1991-11-14 | 1994-10-24 | 금성일렉트론 주식회사 | 반도체 패키지 |
WO1993023982A1 (en) * | 1992-05-11 | 1993-11-25 | Nchip, Inc. | Stacked devices for multichip modules |
US5384155A (en) * | 1992-06-04 | 1995-01-24 | Texas Instruments Incorporated | Silver spot/palladium plate lead frame finish |
JPH077121A (ja) * | 1992-09-18 | 1995-01-10 | Texas Instr Inc <Ti> | 多層リードフレームアセンブリを有する半導体デバイスおよびそのパッケージ方法 |
US5567981A (en) * | 1993-03-31 | 1996-10-22 | Intel Corporation | Bonding pad structure having an interposed rigid layer |
JPH0797594B2 (ja) * | 1993-06-25 | 1995-10-18 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 半導体集積回路装置 |
JP3290869B2 (ja) * | 1995-11-16 | 2002-06-10 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US5969410A (en) * | 1996-05-09 | 1999-10-19 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Semiconductor IC device having chip support element and electrodes on the same surface |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4862245A (en) * | 1985-04-18 | 1989-08-29 | International Business Machines Corporation | Package semiconductor chip |
US4801999A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-31 | Advanced Micro Devices, Inc. | Integrated circuit lead frame assembly containing voltage bussing and distribution to an integrated circuit die using tape automated bonding with two metal layers |
EP0917198B1 (en) * | 1989-06-30 | 2003-05-07 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor device packaging process |
-
1991
- 1991-02-28 US US07/662,085 patent/US5146312A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-02-28 SG SG1996003078A patent/SG69957A1/en unknown
- 1992-02-28 EP EP92301742A patent/EP0501830B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-02-28 DE DE69223825T patent/DE69223825T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-02-28 JP JP4043612A patent/JPH06132456A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0917942A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-17 | Samsung Electron Co Ltd | 延長されたタイバーを有するリードフレーム及びこれを用いた半導体チップパッケージ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69223825T2 (de) | 1998-05-28 |
US5146312A (en) | 1992-09-08 |
EP0501830A2 (en) | 1992-09-02 |
EP0501830A3 (en) | 1993-09-22 |
EP0501830B1 (en) | 1998-01-07 |
DE69223825D1 (de) | 1998-02-12 |
SG69957A1 (en) | 2000-01-25 |
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