JPH06124286A - 稼働率測定装置 - Google Patents

稼働率測定装置

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JPH06124286A
JPH06124286A JP27282392A JP27282392A JPH06124286A JP H06124286 A JPH06124286 A JP H06124286A JP 27282392 A JP27282392 A JP 27282392A JP 27282392 A JP27282392 A JP 27282392A JP H06124286 A JPH06124286 A JP H06124286A
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JP
Japan
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time
data
time data
manufacturing apparatus
storage unit
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Pending
Application number
JP27282392A
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English (en)
Inventor
Koichi Hirayama
公一 平山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH06124286A publication Critical patent/JPH06124286A/ja
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

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  • Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造装置の稼働率を様々のとらえ方で測定で
きるようにし、また、製造装置からは区別できないデー
タを修正できるようにすることと、製造する品種を意識
した稼働率を測定できるようにすることと、製造装置か
ら出力されるデータを変更することによる稼働率のシミ
ュレートができるようにすることとを目的とする。 【構成】 稼働率算出部6がデータ項目記憶部にそれぞ
れ設定された項目に対応し、誤差補正データ記憶部7に
記憶されているデータにより誤差を補正された時間デー
タを時間データ記憶部4から選択し、この選択した時間
データにより製造装置1の稼働率を算出する

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、自身の動作に関する
時間データを出力する製造装置の稼働率を測定する稼働
率測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】メモリなどLSIの大量生産において、
その製造装置の稼働率を向上させることは、生産効率を
向上させてLSIの単価を低減させるためには重要なこ
とである。従って、製造装置の稼働率を測定することに
より、稼働率が低い場合などの原因を調査することは、
稼働率を向上させるためには必要なことである。図4
は、この従来の稼働率測定装置の構成を示す構成図であ
る。図4において、1はLSI製造のある工程における
多品種の製造に対応した製造装置、2cは製造装置1の
稼働率を測定する稼働率測定装置であり、この稼働率測
定装置2cは以下に示すものより構成される。まず3a
〜3dは製造装置1から出力される稼働率計算に必要な
時間データの項目別の伝送路であり、3aは自動運転時
間データの伝送路、3bは製品の待ち時間データの伝送
路、3cは製造装置1の非稼働時間データの伝送路、3
dは製造装置1のエラーによる停止時間データの伝送路
である。
【0003】また、4は伝送路3a〜3dにより転送さ
れたデータを記憶する記憶部であり、自動運転時間を記
憶する記憶部A4aと、製品の待ち時間を記憶する記憶
部B4bと、製造装置1の非稼働時間データを記憶する
記憶部C4cと、製造装置1のエラーによる停止時間を
記憶する記憶部D4dから構成されている。そして、6
aは記憶部4に記憶されている各時間データにより稼働
率を計算する稼働率算出部、8は稼働率算出部6aが計
算した結果を表示する表示部、9は稼働率算出部6aが
計算した結果を紙などに印刷することにより出力するプ
リンタである。
【0004】製造装置1は、ロット単位で自動運転によ
り製品を製造し、ロット毎に装置動作状態の確認を行
い、製品の出来上がり状態を確認する。また、製造装置
1は1日に1度メンテナンスを行う。このロットが前工
程の遅れなどによりこの製造装置1の工程に来ていない
ときなどを製品の待ち時間とし、メンテナンスの時間を
非稼働時間とし、また、製造装置1が何らかの異常によ
り製造を停止している時間はエラー停止時間とする。
【0005】図5に製造装置1で、ある品種の製造を2
ロット行なった場合のタイムチャートを示す。図5に示
すように、製造装置1の自動運転を開始してから第1ロ
ットを処理し始めるまでの時間と、第1ロットの処理が
完了してから第2ロットの処理を開始するまでの時間
が、製品待ち時間として製造装置1より出力される。ま
た、製造装置1の処理中に発生した異常によりオペレー
タが装置を異常停止した時刻から、その異常を解消し異
常停止を解除した時刻までの時間を、異常停止時間とし
て出力する。一方、オペレータがその持ち場を離れると
きや製造装置1の日常点検等による製造装置1の停止
は、一時停止によりなされ、この一時停止の時間が非稼
働時間として製造装置1より出力される。そして、製造
装置1の自動運転を解除停止したところで、自動運転時
間が出力される。
【0006】製造装置1では製造装置1の自動運転時間
とこれらの時間データをそれぞれ伝送路3a〜3dに出
力し、これらの時間データはそれぞれ記憶部4に記憶さ
れる。稼働率算出部6aでは、記憶部A4aに記憶され
ている自動運転時間から記憶部B4b〜記憶部D4dに
それぞれ記憶されている時間を差し引いてこれを実際の
稼働時間とし、この実際の稼働時間を自動運転時間で割
ることにより稼働率を算出する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の稼働率測定装置
は以上のように構成されているので、以下に示すような
問題点があった。まず、一定の固定された稼働率データ
しか算出できなかった。また、製造装置は動作していれ
ばどのような状態でも動作状態としてしまうという問題
があった。例えば、ロット投入時には製造装置の動作状
態の確認や、ダミー製品による製品の出来上がり状態の
確認などを行うが、これは製造装置が動作している状態
であるが、製品を製造している状態ではない。しかし、
製造装置は、動作していない時間は項目別に区別して時
間データとして出力できるが、動作している時間はそれ
がどの様な動作かは区別かつないため、上述の確認動作
の時間も稼働時間に入ってしまっていた。ところで、製
造装置の一連の自動運転時間内で製造する製品の品種が
複数存在する場合、異なる品種を製造している間に起こ
った装置の停止時間は、異なるデータとして取り扱うべ
きである。従来ではこれらを全て同一のものとしてか取
り扱えず、稼働率も製造装置が生産する品種毎に算出す
ることも不可能であった。そして、製造装置から出力さ
れるデータを変更することによる稼働率のシミュレーシ
ョンを行こともできなかった。
【0008】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、製造装置の稼働率を様々のと
らえ方で測定できるようにし、また、製造装置からは区
別できないデータを修正できるようにすることを目的と
する。また、製造する品種を意識した稼働率を測定でき
るようにすることを目的とする。そして、製造装置から
出力されるデータを変更することによる稼働率のシミュ
レートができるようにすることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明による稼働率測
定装置は、製造装置から出力され時間データ記憶手段に
記憶される時間データのなかで、入力手段から補正デー
タ記憶手段に入力された誤差補正データにより誤差を補
正され、データ項目記憶手段に入力手段からそれぞれ設
定された項目に対応した時間データを用いて、稼働率算
出手段が稼働率を算出することを特徴とする。
【0010】また、製造装置が製造する製品の品種毎に
時間データを記憶する品種別記憶手段と、稼働率算出手
段が使用する時間データを切り換えるデータ切り換え手
段とを有し、多品種の稼働率測定を可能にしたことを特
徴とする。そして、時間データ記憶手段と同等の時間デ
ータをそれぞれ記憶するシミュレーション用時間データ
記憶手段と、稼働率算出手段が使用する時間データを切
り換えるデータ切り換え手段と、シミュレーション用時
間データ記憶手段に記憶されている時間データを変更す
るためのデータを入力する入力手段とを有し、シミュレ
ーション用時間データ記憶手段に記憶されているデータ
を入力手段により操作して変更し、この変更された時間
データにより製造装置の稼働率のシミュレーションが行
えることを特徴とする。
【0011】
【作用】この発明における稼働率測定装置は、製造装置
の稼働率を色々な角度より測定することができる。ま
た、製品の品種別に稼働率を測定することができる。そ
して、それぞれの時間データの稼働率に対する影響をシ
ミュレートすることができる。
【0012】
【実施例】以下、この発明の1実施例を図について説明
する。 (実施例1)図1はこの発明の稼働率測定装置の構成を
示す構成図であり、同図において、5はデータ項目記憶
部であり、製造装置1の電源が入ってから落とされるま
での時間である装置通電時間に対応する時間データを示
す項目が設定される装置通電時間対応データ項目記憶部
5a、稼働率を計算する上で装置通電時間から除きたい
時間である無効時間に対応する時間データを示す項目が
設定される無効時間対応データ項目記憶部5b、製造装
置1が生産可能な状態である時間を示す生産可能状態時
間に対応する時間データを示す項目が設定される生産可
能状態時間対応データ項目記憶部5c、製造装置1の生
産可能状態時間内における製品製造に直接関与しない時
間である無駄時間に対応する時間データを示す項目が設
定される無駄時間対応データ項目記憶部で5dより構成
されている。また、6は装置通電時間対応データ項目記
憶部5a,無効時間対応データ項目記憶部5b,生産可
能状態時間対応データ項目記憶部5c,無駄時間対応デ
ータ項目記憶部5dに設定されている項目に対応する時
間データを時間データ記憶部4よりそれぞれ選択して、
以下に示す式1により製造装置1の稼働率を算出する稼
働率算出部である。
【0013】稼働率=(生産可能状態時間−無駄時間)
÷(装置通電時間−無効時間)×100・・・(式1)
【0014】そして、7は記憶部4に記憶されている時
間データを補正する補正データが設定される補正データ
記憶部、10はデータ項目記憶部5に設定する時間デー
タの項目と補正データ記憶部7に設定する補正データな
どを入力する入力手段である。時間データ記憶部4に記
憶されている時間データは製造装置1が自身の動作状態
を計測することにより出力された時間データが記憶され
ている。すなわち、例えば、ロット投入毎に行う製造装
置1の動作状態を確認するために、装置を空動作させた
りするが、この状態は製造装置1は区別できない。従っ
て、実際には製品待ち時間としてカウントされるべき時
間が製品待ち時間の中に加算されない。この誤差を補正
するために、補正データ記憶部7に時間データそれぞれ
の誤差を補正するための補正時間データを設定する。
【0015】つぎに、この稼働率測定装置2の動作を説
明する。ここではまず、製造装置1の自動運転時間内で
実際に製品を製造している時間を稼働状態とした場合の
稼働率を測定する場合について説明する。まず、装置通
電時間対応データ項目記憶部5aと生産可能状態時間対
応データ項目記憶部5cには自動運転時間に対応するデ
ータ項目を設定し、無効時間対応データ項目記憶部5b
には何も設定せず、無駄時間対応データ項目記憶部5d
には製品待ち時間とエラー停止時間に対応するデータ項
目を設定する。稼働率算出部6では、これらの設定に基
づき装置通電時間データと生産可能状態時間データとし
て、補正データ記憶部7に設定されている補正データに
より補正された記憶部A4aに記憶されている自動運転
時間を選択し、無駄時間データとして記憶部B4bに記
憶されている製品の待ち時間と記憶部D4dに記憶され
ているエラーによる停止時間とを選択して加算する。そ
して、無効時間データとしては、無効時間対応データ項
目記憶部5bに何も設定されていないので0とし、これ
らの4つのデータにより式1に示す計算で稼働率を算出
する。以上は、稼働率を計算する上で、日常のメンテナ
ンスなどにかかった無効時間を考慮しない場合である。
【0016】次に、この製造装置1が前工程の製造装置
とインライン化された場合の稼働率を求める場合を考え
る。この場合は、製品待ち時間というものが存在しなく
なるので、無駄時間対応データ項目記憶部5dにはエラ
ー停止時間に対応するデータ項目を設定するだけでよ
い。これにより、稼働率算出部6では無駄時間データと
して記憶部D4dに記憶されているエラーによる停止時
間を選択し、これを稼働率の計算に使用する。以上説明
したように、この実施例の稼働率測定装置は、装置通電
時間対応データ項目記憶部5a,無効時間対応データ項
目記憶部5b,生産可能状態時間対応データ項目記憶部
5c,無駄時間対応データ項目記憶部5dに、求める稼
働率の条件に対応した時間データの項目を設定すれば、
様々の条件に対応した稼働率を測定することができる。
【0017】(実施例2)なお、上記実施例では、1品
種の製品製造について稼働率を求める場合について説明
したが、これに限るものではなく、多品種の製品の製造
においてそれぞれの稼働率を求めることもできる。この
場合、図2に示すように、それぞれが図1における記憶
部4と同一の構成である品種別記憶部13a〜13d
と、製造装置1から品種データ伝送路11を介して送ら
れてくる品種データにより、時間データの記憶先を切り
換える振り分け処理部12と、入力手段10より対象品
種を入力することにより稼働率算出部6に接続される品
種別記憶部13a〜13dを切り換える対象データ切り
換え部14とを、図1に示す実施例1の稼働率測定装置
2に加えたものが稼働率測定装置2aである。対象デー
タ切り換え部14で稼働率を想定する対象の品種の時間
データを選べるので、製造する製品の品種毎の稼働率を
測定することができる。
【0018】(実施例3)また、図3に示すように、こ
の稼働率測定装置2bは図1の稼働率測定装置2の記憶
部4と同一のシミュレーション用記憶部20を加え、こ
のシミュレーション用記憶部20に記憶されている時間
データを、入力手段10からの入力により変更できるよ
うにしたものである。この稼働率測定装置2bにより、
稼働率算出部6が稼働率を計算するときに、対象データ
切り換え部14を切り換えて、シミュレーション用記憶
部20に記憶されている時間データを用いた稼働率計算
をするようにしても良い。このように構成することによ
り、製造装置1より得られた時間データを可変すること
による稼働率のシミュレーションをすることが可能とな
る。すなわち、製品の待ち時間やエラーによる停止時間
が稼働率にどのように影響するかをシミュレートするこ
とができる。
【0019】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、稼働
率を算出する計算を変更すること無く、製造装置の稼働
率を様々のとらえ方で測定できるという効果がある。ま
た、製造する品種を区別した稼働率を測定できるという
効果がある。そして、製品待ち時間などの稼働率への影
響をシミュレートできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の1実施例である稼働率測定装置の構
成を示す構成図である。
【図2】この発明の他の実施例である稼働率測定装置の
構成を示す構成図である。
【図3】この発明の他の実施例である稼働率測定装置の
構成を示す構成図である。
【図4】従来の稼働率測定装置の構成を示す構成図であ
る。
【図5】製造装置1の時刻による状態を示すタイムチャ
ートである。
【符号の説明】
1 製造装置 2 稼働率測定装置 3 伝送路 4 記憶部 4a 記憶部A 4b 記憶部B 4c 記憶部C 4d 記憶部D 5a 装置通電時間対応データ項目記憶部 5b 無効時間対応データ項目記憶部 5c 生産可能状態時間対応データ項目記憶部 5d 無駄時間対応データ項目記憶部 6 稼働率算出部 7 補正データ記憶部 8 表示部 9 プリンタ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 製造装置が出力する運転時間データと状
    況に応じた項目別の動作停止時間データとにより前記製
    造装置の稼働率を測定する稼働率測定装置において、 前記時間データを記憶する時間データ記憶手段と、 前記時間データ記憶手段に記憶される時間データのなか
    で前記製造装置が認識できない動作停止時間の誤差を補
    正するための誤差補正データが設定される補正データ記
    憶手段と、 前記製造装置の電源が通電されている時間である装置通
    電時間,稼働率を求める上で前記装置通電時間から除き
    たい時間である無効時間,製品を製造することが可能な
    状態になっている時間である生産可能状態時間,その生
    産可能状態時間内における製品製造に直接関与しない時
    間である無駄時間のそれぞれに対応する動作停止時間デ
    ータを示す項目が設定されるデータ項目記憶手段と、 前記時間データ記憶手段に記憶され、前記誤差データに
    より補正され、前記データ項目記憶手段に設定されてい
    る項目に対応する時間データにより、前記製造装置の稼
    働率を算出する稼働率算出手段と、 前記データ項目記憶手段に前記項目,前記補正データ記
    憶手段に誤差補正データを入力設定する入力手段とを有
    することを特徴とする稼働率測定装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の稼働率測定装置におい
    て、 前記製造装置が製造する製品の品種毎に前記時間データ
    を記憶する品種別記憶手段と、 前記稼働率算出手段が使用する時間データを切り換える
    データ切り換え手段とを有し、 多品種の稼働率測定を可能にしたことを特徴とする稼働
    率測定装置。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の稼働率測定装置におい
    て、 前記時間データ記憶手段と同等の前記時間データをそれ
    ぞれ記憶するシミュレーション用時間データ記憶手段
    と、 前記稼働率算出手段が使用する時間データを切り換える
    データ切り換え手段と、 前記シミュレーション用時間データ記憶手段に記憶され
    ている時間データを変更するためのデータを入力する入
    力手段とを有し、 前記シミュレーション用時間データ記憶手段に記憶され
    ているデータを前記入力手段により操作して変更し、こ
    の変更された時間データにより前記製造装置の稼働率の
    シミュレーションが行えることを特徴とする稼働率測定
    装置。
JP27282392A 1992-10-12 1992-10-12 稼働率測定装置 Pending JPH06124286A (ja)

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JPH06124286A true JPH06124286A (ja) 1994-05-06

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006093446A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造システム
US9089582B2 (en) 2007-03-16 2015-07-28 Bayer Intellectual Property Gmbh Stabilization of vitamin B12

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006093446A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造システム
US9089582B2 (en) 2007-03-16 2015-07-28 Bayer Intellectual Property Gmbh Stabilization of vitamin B12

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