JPH06112115A - スピンドルチャック及びスピンナー - Google Patents
スピンドルチャック及びスピンナーInfo
- Publication number
- JPH06112115A JPH06112115A JP25617792A JP25617792A JPH06112115A JP H06112115 A JPH06112115 A JP H06112115A JP 25617792 A JP25617792 A JP 25617792A JP 25617792 A JP25617792 A JP 25617792A JP H06112115 A JPH06112115 A JP H06112115A
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- JP
- Japan
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- substrate
- spindle chuck
- hole
- piston
- horizontal direction
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スピンナー等に使用されるスピンドルチャッ
クに関し、特に大型で重い基板をスピンドルチャックに
簡単に着脱できるとともに、装着した基板を水平方向に
安全に回転できるスピンドルチャックの提供を目的とす
る。 【構成】 中央部に挿通孔Ａを具えて基板11を水平に載
置するテーブル31a と、テーブルに載置された基板11の
端面に接触し、このテーブル上における基板11の水平方
向の移動を規制するストッパー31b と、一端をテーブル
の裏面側から挿通孔Ａの周辺部に連結し、このテーブル
を水平方向に回転する管状の回転軸31c とでなるスピン
ドルチャック本体31と、鉛直方向に昇降して管状の回転
軸の縦穴状の収納孔Ｂを自在に出入りし、下降して収納
孔に後退する際には頂面で支持した基板11をテーブル上
に載置するとともに、この収納孔から突出して上昇する
際にはテーブル上に載置された基板11を頂面で支持して
上昇させる基板昇降ピストン32とを含ませてスピンドル
チャックを構成する。
クに関し、特に大型で重い基板をスピンドルチャックに
簡単に着脱できるとともに、装着した基板を水平方向に
安全に回転できるスピンドルチャックの提供を目的とす
る。 【構成】 中央部に挿通孔Ａを具えて基板11を水平に載
置するテーブル31a と、テーブルに載置された基板11の
端面に接触し、このテーブル上における基板11の水平方
向の移動を規制するストッパー31b と、一端をテーブル
の裏面側から挿通孔Ａの周辺部に連結し、このテーブル
を水平方向に回転する管状の回転軸31c とでなるスピン
ドルチャック本体31と、鉛直方向に昇降して管状の回転
軸の縦穴状の収納孔Ｂを自在に出入りし、下降して収納
孔に後退する際には頂面で支持した基板11をテーブル上
に載置するとともに、この収納孔から突出して上昇する
際にはテーブル上に載置された基板11を頂面で支持して
上昇させる基板昇降ピストン32とを含ませてスピンドル
チャックを構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スピンナー等に使用さ
れるスピンドルチャック、特に大型で重い基板をスピン
ドルチャックに簡単に着脱できるとともに、装着した基
板を水平方向に安全に回転できるスピンドルチャックに
関する。
れるスピンドルチャック、特に大型で重い基板をスピン
ドルチャックに簡単に着脱できるとともに、装着した基
板を水平方向に安全に回転できるスピンドルチャックに
関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来のスピンドルチャックについ
て図２を参照して説明する。図２は、従来のスピンドル
チャックの説明図で、図２(a) はスピンドルチャックの
要部の模式的な側断面図、図２(b) はスピンドルチャッ
クの模式的な平面図である。
て図２を参照して説明する。図２は、従来のスピンドル
チャックの説明図で、図２(a) はスピンドルチャックの
要部の模式的な側断面図、図２(b) はスピンドルチャッ
クの模式的な平面図である。
【０００３】図２において、21は基板11を水平に載置さ
せるテーブル、21a はテーブル21の表面に設けた同心円
状の多重周溝、21b は多重周溝21a に連通した連通孔、
22はモータの回転軸（図示せず）に一端を連結するとと
もに、他端をテーブル21の裏面の中心に固定した回転
軸、22a は回転軸22の中心部を軸心方向に貫通し、一方
の開口を連通孔21b に連通するとともに、他方の開口を
排気装置（図示せず）に連結した排気孔である。
せるテーブル、21a はテーブル21の表面に設けた同心円
状の多重周溝、21b は多重周溝21a に連通した連通孔、
22はモータの回転軸（図示せず）に一端を連結するとと
もに、他端をテーブル21の裏面の中心に固定した回転
軸、22a は回転軸22の中心部を軸心方向に貫通し、一方
の開口を連通孔21b に連通するとともに、他方の開口を
排気装置（図示せず）に連結した排気孔である。
【０００４】このような従来のスピンドルチャックにお
いては、基板11をテーブル21に水平な状態で載置した後
に上述の排気装置を作動させると、多重周溝21a 内が回
転軸22の排気孔22a とテーブル21の連通孔21b とを介し
て減圧状態、すなわち大気圧以下となり、基板11はテー
ブル21の表面に確りと固定される。
いては、基板11をテーブル21に水平な状態で載置した後
に上述の排気装置を作動させると、多重周溝21a 内が回
転軸22の排気孔22a とテーブル21の連通孔21b とを介し
て減圧状態、すなわち大気圧以下となり、基板11はテー
ブル21の表面に確りと固定される。
【０００５】したがって、このような状態の下でモータ
を起動し、回転軸22を介して回転テーブル21を矢印Ｒ方
向 (水平方向) に回転しても、基板11はテーブル21に密
着した状態を保持し、テーブル21から飛び出すことはな
い。
を起動し、回転軸22を介して回転テーブル21を矢印Ｒ方
向 (水平方向) に回転しても、基板11はテーブル21に密
着した状態を保持し、テーブル21から飛び出すことはな
い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のスピ
ンドルチャックは、基板11の大きさが小さく、しかもそ
の重量が軽ければ特に問題となることはない。
ンドルチャックは、基板11の大きさが小さく、しかもそ
の重量が軽ければ特に問題となることはない。
【０００７】しかし、この基板11が透明石英等の比重が
比較的に大きく、しかもその一辺の長さＬ（図２(b) 参
照) が１５０ｍｍを越えるともに、厚さが６ｍｍを越え
るようになると、その重量は６００ｇ（グラム）程度と
なる。
比較的に大きく、しかもその一辺の長さＬ（図２(b) 参
照) が１５０ｍｍを越えるともに、厚さが６ｍｍを越え
るようになると、その重量は６００ｇ（グラム）程度と
なる。
【０００８】このように大型化した基板11を載置した従
来のスピンドルチャックのテーブル21を水平方向に回転
させた際に、基板11の中心とテーブル21の回転中心とが
一致していない場合には、遠心力の偏りより基板11がテ
ーブル21から飛び出すことが間々発生する。
来のスピンドルチャックのテーブル21を水平方向に回転
させた際に、基板11の中心とテーブル21の回転中心とが
一致していない場合には、遠心力の偏りより基板11がテ
ーブル21から飛び出すことが間々発生する。
【０００９】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的は大型で重い基板を
スピンドルチャックに簡単に着脱できるとともに、装着
した基板を水平方向に安全に回転できるスピンドルチャ
ックの提供にある。
になされたものであって、その目的は大型で重い基板を
スピンドルチャックに簡単に着脱できるとともに、装着
した基板を水平方向に安全に回転できるスピンドルチャ
ックの提供にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的は図１に示す如
く、中央部に挿通孔Ａを具えて基板11を水平に載置する
テーブル31a と、テーブル31a に載置された基板11の端
面に接触し、このテーブル31a 上における基板11の水平
方向の移動を規制するストッパー31b と、一端をテーブ
ル31a の裏面側から挿通孔Ａの周辺部に連結し、このテ
ーブル31a を水平方向に回転する管状の回転軸31c とで
なるスピンドルチャック本体31と、鉛直方向に昇降して
管状の回転軸31c の縦穴状の収納孔Ｂを自在に出入り
し、下降して収納孔Ｂに後退する際には頂面で支持した
基板11をテーブル31a 上に載置するとともに、この収納
孔Ｂから突出して上昇する際にはテーブル31a 上に載置
された基板11を頂面で支持して上昇させる基板昇降ピス
トン32と、を含んで構成したことを特徴とするスピンド
ルチャックにより達成される。
く、中央部に挿通孔Ａを具えて基板11を水平に載置する
テーブル31a と、テーブル31a に載置された基板11の端
面に接触し、このテーブル31a 上における基板11の水平
方向の移動を規制するストッパー31b と、一端をテーブ
ル31a の裏面側から挿通孔Ａの周辺部に連結し、このテ
ーブル31a を水平方向に回転する管状の回転軸31c とで
なるスピンドルチャック本体31と、鉛直方向に昇降して
管状の回転軸31c の縦穴状の収納孔Ｂを自在に出入り
し、下降して収納孔Ｂに後退する際には頂面で支持した
基板11をテーブル31a 上に載置するとともに、この収納
孔Ｂから突出して上昇する際にはテーブル31a 上に載置
された基板11を頂面で支持して上昇させる基板昇降ピス
トン32と、を含んで構成したことを特徴とするスピンド
ルチャックにより達成される。
【００１１】
【作用】本発明のスピンドルチャックにおいては、基板
昇降ピストン32が下降して管状の回転軸31c の縦穴状の
収納孔Ｂに後退する際に、基板昇降ピストン32は、その
頂面に支持した基板11をテーブル31a 上に載置 (装着)
し、基板昇降ピストン32が回転軸31c の収納孔Ｂから突
出して上昇する際には、基板昇降ピストン32は、テーブ
ル31a 上に載置された基板11を頂面で支持しながら持ち
上げる。
昇降ピストン32が下降して管状の回転軸31c の縦穴状の
収納孔Ｂに後退する際に、基板昇降ピストン32は、その
頂面に支持した基板11をテーブル31a 上に載置 (装着)
し、基板昇降ピストン32が回転軸31c の収納孔Ｂから突
出して上昇する際には、基板昇降ピストン32は、テーブ
ル31a 上に載置された基板11を頂面で支持しながら持ち
上げる。
【００１２】また、テーブル31a に載置された基板11
は、その端面に接触するストッパー31b によりテーブル
31a 上における水平方向の移動を規制される。したがっ
て、本発明のスピンドルチャックは、大型で重い基板の
着脱を容易にするとともに、装着した基板を水平方向に
安全に回転できる。
は、その端面に接触するストッパー31b によりテーブル
31a 上における水平方向の移動を規制される。したがっ
て、本発明のスピンドルチャックは、大型で重い基板の
着脱を容易にするとともに、装着した基板を水平方向に
安全に回転できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例のスピンドルチャッ
クについて図１を参照しながら説明する。図１は、本発
明の一実施例のスピンドルチャックの説明図であって、
図１(a) はスピンドルチャックの模式的な要部側断面、
図１(b) はスピンドルチャックの平面図である。
クについて図１を参照しながら説明する。図１は、本発
明の一実施例のスピンドルチャックの説明図であって、
図１(a) はスピンドルチャックの模式的な要部側断面、
図１(b) はスピンドルチャックの平面図である。
【００１４】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。図１において、31a は表面から裏面に貫通する挿
通孔Ａを中央部に具えて基板11を水平に支持するテーブ
ル、31b はテーブル31a の表面の四隅に固定され、テー
ブル31a に載置された基板11の水平方向の移動を規制す
るストッパー、31c は一端をテーブル31a の裏面側から
挿通孔Ａの周辺部に固定し、モータの回転軸（図示せ
ず）に連結してテーブル31a を水平方向に回転する管状
の回転軸、31はテーブル31a とストッパー31b と回転軸
31c とでなるスピンドルチャック本体、また、32は回転
軸31c の収納孔Ｂへの後退 (下降) とこの収納孔Ｂから
の突出(上昇) とを交互的に繰り返し、下降して収納孔
Ｂに後退する際には頂面で支持した基板11をテーブル31
a に載置するとともに、上昇して収納孔Ｂから突出する
際にはテーブル31a に載置された基板11を頂面で支持し
て持ち上げる基板昇降ピストンである。
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。図１において、31a は表面から裏面に貫通する挿
通孔Ａを中央部に具えて基板11を水平に支持するテーブ
ル、31b はテーブル31a の表面の四隅に固定され、テー
ブル31a に載置された基板11の水平方向の移動を規制す
るストッパー、31c は一端をテーブル31a の裏面側から
挿通孔Ａの周辺部に固定し、モータの回転軸（図示せ
ず）に連結してテーブル31a を水平方向に回転する管状
の回転軸、31はテーブル31a とストッパー31b と回転軸
31c とでなるスピンドルチャック本体、また、32は回転
軸31c の収納孔Ｂへの後退 (下降) とこの収納孔Ｂから
の突出(上昇) とを交互的に繰り返し、下降して収納孔
Ｂに後退する際には頂面で支持した基板11をテーブル31
a に載置するとともに、上昇して収納孔Ｂから突出する
際にはテーブル31a に載置された基板11を頂面で支持し
て持ち上げる基板昇降ピストンである。
【００１５】次に、このような本発明の一実施例のスピ
ンドルチャックの作用を再び図１を参照しながら説明す
る。図１(a) に示すように、基板昇降ピストン32は、基
板搬送手段（図示せず）から基板11を受け取る際、水平
な頂面に基板11を載置するようにして受け取る。
ンドルチャックの作用を再び図１を参照しながら説明す
る。図１(a) に示すように、基板昇降ピストン32は、基
板搬送手段（図示せず）から基板11を受け取る際、水平
な頂面に基板11を載置するようにして受け取る。
【００１６】この後、昇降装置（図示せず）により駆動
された基板昇降ピストン32が、矢印Ｄ方向、すなわち鉛
直方向に下降してテーブル31a の挿通孔Ａを通過し、回
転軸31c の収納孔Ｂの深奥部に後退する際に、テーブル
31a は基板昇降ピストン32の頂面に支持されている基板
11を引っ掛けるようにして受け取る。
された基板昇降ピストン32が、矢印Ｄ方向、すなわち鉛
直方向に下降してテーブル31a の挿通孔Ａを通過し、回
転軸31c の収納孔Ｂの深奥部に後退する際に、テーブル
31a は基板昇降ピストン32の頂面に支持されている基板
11を引っ掛けるようにして受け取る。
【００１７】このような状態の下で上述のモータを起動
して回転軸31c を矢印Ｒ方向に回転すると、この回転軸
31c に連結したテーブル31a が基板11とともに水平方向
に回転する。
して回転軸31c を矢印Ｒ方向に回転すると、この回転軸
31c に連結したテーブル31a が基板11とともに水平方向
に回転する。
【００１８】また、モータを停止してテーブル31a の回
転を止めた後、上述の昇降装置により基板昇降ピストン
32を矢印Ｕ方向に上昇させると、基板昇降ピストン32
は、テーブル31a に載置されている基板11をその頂面で
支持して初期位置に持ち上げることとなる。
転を止めた後、上述の昇降装置により基板昇降ピストン
32を矢印Ｕ方向に上昇させると、基板昇降ピストン32
は、テーブル31a に載置されている基板11をその頂面で
支持して初期位置に持ち上げることとなる。
【００１９】このように、基板昇降ピストン32が下降し
て管状の回転軸31c の縦穴状の収納孔Ｂに後退する際
に、基板昇降ピストン32は、その頂面に支持した基板11
をテーブル31a 上に載置し、基板昇降ピストン32が回転
軸31c の収納孔Ｂから突出して上昇する際には、基板昇
降ピストン32は、テーブル31a 上に載置された基板11を
頂面で支持しながら持ち上げ、しかもテーブル31a に載
置された基板11は、その端面に接触するストッパー31b
によりテーブル31a 上における水平方向の移動を規制す
るように構成した本発明の一実施例のスピンドルチャッ
クは、基板11が大型で重いものであってもその着脱を容
易にするとともに、装着した基板11を水平方向に安全に
回転できることとなる。
て管状の回転軸31c の縦穴状の収納孔Ｂに後退する際
に、基板昇降ピストン32は、その頂面に支持した基板11
をテーブル31a 上に載置し、基板昇降ピストン32が回転
軸31c の収納孔Ｂから突出して上昇する際には、基板昇
降ピストン32は、テーブル31a 上に載置された基板11を
頂面で支持しながら持ち上げ、しかもテーブル31a に載
置された基板11は、その端面に接触するストッパー31b
によりテーブル31a 上における水平方向の移動を規制す
るように構成した本発明の一実施例のスピンドルチャッ
クは、基板11が大型で重いものであってもその着脱を容
易にするとともに、装着した基板11を水平方向に安全に
回転できることとなる。
【００２０】したがって、基板11の表面に適量のレジス
ト12を自在に滴下できるレジスト滴下装置（図示せず）
を本発明は一実施例のスピンドルチャックに付設すれ
ば、スピンナーとして使用できるようになることは当然
である。
ト12を自在に滴下できるレジスト滴下装置（図示せず）
を本発明は一実施例のスピンドルチャックに付設すれ
ば、スピンナーとして使用できるようになることは当然
である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、大型で重
い基板をもスピンドルチャックに簡単に着脱できるとと
もに、装着した基板を水平方向に安全に回転できるスピ
ンドルチャックの提供を可能にする。
い基板をもスピンドルチャックに簡単に着脱できるとと
もに、装着した基板を水平方向に安全に回転できるスピ
ンドルチャックの提供を可能にする。
【図１】は、本発明の一実施例のスピンドルチャックの
説明図
説明図
【図２】は、従来のスピンドルチャックの説明図
11は、基板 12は、レジスト 21は、テーブル 21a は、多重周溝 21b は、連通孔 22は、回転軸 22a は、排気孔 31は、スピンドルチャック本体 31a は、テーブル 31b は、ストッパー 31c は、回転軸 32は、基板昇降ピストン 32a は、収納孔
Claims (2)
- 【請求項１】 中央部に挿通孔(A) を具えて基板(11)を
水平に載置するテーブル(31a) と、前記テーブル(31a)
に載置された前記基板(11)の端面に接触し、このテーブ
ル(31a) 上における前記基板(11)の水平方向の移動を規
制するストッパー(31b) と、一端を前記テーブル(31a)
の裏面側から前記挿通孔(A) の周辺部に連結し、このテ
ーブル(31a) を水平方向に回転する管状の回転軸(31c)
とでなるスピンドルチャック本体(31)と、 鉛直方向に昇降して前記管状の回転軸(31c) の縦穴状の
収納孔(B) を自在に出入りし、下降して収納孔(B) に後
退する際には頂面で支持した基板(11)を前記テーブル(3
1a) 上に載置するとともに、この収納孔(B) から突出し
て上昇する際にはテーブル(31a) 上に載置された基板(1
1)を前記頂面で支持して上昇させる基板昇降ピストン(3
2)と、 を含んで構成したことを特徴とするスピンドルチャッ
ク。 - 【請求項２】 表面に液体を滴下された基板(11)を水平
方向に回転し、この基板(11)から前記液体を遠心力によ
り飛散させるスピンドルチャックを含んでなるスピンナ
ーにおいて、 前記スピンドルチャックが請求項１に記載されたスピン
ドルチャックであることを特徴とするスピンナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25617792A JPH06112115A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | スピンドルチャック及びスピンナー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25617792A JPH06112115A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | スピンドルチャック及びスピンナー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112115A true JPH06112115A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17288983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25617792A Withdrawn JPH06112115A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | スピンドルチャック及びスピンナー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06112115A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19853092A1 (de) * | 1998-11-18 | 2000-06-15 | Leica Microsys Lithography Ltd | Übernahme- und Haltesystem für ein Substrat |
| KR100697265B1 (ko) * | 2000-02-18 | 2007-03-21 | 삼성전자주식회사 | 평면형 디스플레이에 브라켓을 결합시키기 위한 디바이스 및 방법. |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25617792A patent/JPH06112115A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19853092A1 (de) * | 1998-11-18 | 2000-06-15 | Leica Microsys Lithography Ltd | Übernahme- und Haltesystem für ein Substrat |
| DE19853092B4 (de) * | 1998-11-18 | 2004-10-21 | Leica Microsystems Lithography Gmbh | Übernahme- und Haltesystem für ein Substrat |
| KR100697265B1 (ko) * | 2000-02-18 | 2007-03-21 | 삼성전자주식회사 | 평면형 디스플레이에 브라켓을 결합시키기 위한 디바이스 및 방법. |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |