JPH06110902A - 生産管理システムにおける製造部材の認識装置およびその認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 正確な製造部材の管理を行える生産管理シス
テムにおける製造部材の認識装置とその認識方法を提供
すること。 【構成】 この認識装置１は、処理装置２と光学読み取
り装置３と記憶演算装置４とから成り、光学読み取り装
置３を処理装置２の搬送部内に設けるもので、搬送部が
複数ある場合には各搬送部内にこの光学読み取り装置３
を設け、また各処理装置２内に読み取り動作開始の信号
を送るセンサ６を設けてもよい。認識方法は、先ず、搬
送部に製造部材を載置してこの搬送部内で製造部材に付
された識別符号を光学読み取り装置３にて読み取り、次
に、読み取った識別符号を記憶演算装置４に転送して処
理装置２と製造部材との対応を付けるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等の処
理装置内に載置される製造部材の生産管理を行う生産管
理システムにおける製造部材の認識装置とその認識方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置等の処理装置内には、ウ
エハや複数のウエハを収納したカセット等の製造部材の
搬入、搬出を行う搬送部が設けられており、この搬送部
内に製造部材を載置して所定の処理を行っている。この
際、どのウエハやカセット等の製造部材がどの処理装置
内に載置されているかを認識して一括した管理を行う生
産管理システムが使用されている。

【０００３】この生産管理システムにおける製造部材の
認識装置は、搬送部が設けられた処理装置と、この搬送
部に載置される製造部材に付された識別符号を読み取る
ための光学読み取り装置と、この読み取った識別符号に
基づいて生産管理を行う記憶演算装置とから成るもので
ある。識別符号は、例えばウエハに付された製品番号
や、カセットの表面に付されたバーコード等から成り、
光学的文字読み取り装置（以下、ＯＣＲとする）やバー
コードリーダー等の光学読み取り装置にて読み取るもの
である。

【０００４】このような生産管理システムにおける製造
部材の認識方法は、先ず、製造部材に付された個別の識
別符号を先に述べた光学読み取り装置にて読み取り、こ
れを記憶演算装置へ転送する。記憶演算装置内には、こ
の識別符号に対応した個別の管理データが保管、管理さ
れており、識別符号の転送とともにその製造部材がこれ
から行う処理の処理装置内に搬送されることが管理デー
タ内に記憶される。次に、作業者の人手や自動搬送装置
を用いてこの製造部材を処理装置内に設けられた搬送部
に載置し、処理装置を稼働して所定の処理を行う。そし
て、処理が終了した時点で、この製造部材における処理
が終了したということを識別符号と対応した管理データ
内に記憶させる。このようにして、進行する処理ととも
に製造部材の識別符号と対応した管理データが更新作成
され、次の製造工程に受け渡される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな生産管理システムにおける製造部材の認識装置とそ
の認識方法には次のような問題がある。すなわち、この
認識装置においては、製造部材に付された識別符号を光
学読み取り装置にて読み取るにあたり、作業者がバーコ
ードリーダー等を用いて個別に読み取り作業を行う場合
には、多大な労力を強いられることになる。また、自動
搬送装置を用いて製造部材を処理装置内に搬送する場合
には、この読み取り作業のための専用のラインを通過さ
せる必要があり、装置の規模の拡大化と複雑化を招くこ
とになる。

【０００６】さらに、このような認識方法では、処理装
置の搬送部に載置する前に製造部材の識別符号を読み取
り記憶演算装置に転送するため、読み取った後、作業者
が間違えてこの製造部材を他の処理装置に載置してしま
ったり、自動搬送装置の不都合で製造部材が処理装置に
搬送されないような場合にも、記憶演算装置側でこれら
のことを把握するのは不可能である。よって、本発明は
正確な製造部材の管理を行える生産管理システムにおけ
る製造部材の認識装置とその認識方法を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された生産管理システムにおける
製造部材の認識装置とその認識方法である。すなわち、
この認識装置は、製造部材が載置される搬送部を備えた
処理装置と、製造部材に付された識別符号を読み取る光
学読み取り装置と、読み取った識別符号に基づいて製造
部材の生産管理を行う記憶演算装置とから成り、光学読
み取り装置を処理装置の搬送部内に設けるもので、搬送
部が複数ある場合には各搬送部内にそれぞれ光学読み取
り装置を設ける。また、処理装置内には、製造部材の載
置動作にて光学読み取り装置に読み取り動作開始の信号
を送るセンサを設け、処理装置内に複数の搬送部がある
場合には、各搬送部にそれぞれこのセンサを設ける。

【０００８】また、この認識方法は、処理装置内に搬入
出される製造部材の識別符号を読み取って、この読み取
った識別符号に基づき製造部材の生産管理を行うもの
で、先ず、処理装置内の搬送部に製造部材を載置して、
この搬送部内で製造部材に付された識別符号を光学読み
取り装置にて読み取り、次に、この読み取った識別符号
を記憶演算装置に転送して、処理装置とこの処理装置内
に載置されている製造部材との対応を付けるものであ
る。

【０００９】

【作用】処理装置の搬送部内に光学読み取り装置を設け
てあるため、製造部材を搬送部内に載置することにより
その識別符号を読み取ることになる。また、処理装置内
にセンサを設けた場合には、このセンサにより製造部材
の存在を検知して光学読み取り装置に信号を送り、しか
もこの信号に基づいて光学読み取り装置が識別符号の読
み取り動作を開始することになる。また、このような読
み取り動作を製造部材が搬送部に載置されると同時に、
または載置された後に行うことで、処理装置とその処理
装置内に実際に載置されている製造部材との対応関係を
間違うことなく記憶演算装置側で確実に把握できる。

【００１０】

【実施例】以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１は、本発明の生産管理システムにおける製造
部材の認識装置とその認識方法を説明するブロック図で
ある。先ず初めに、本発明の認識装置１について説明す
る。すなわち、この認識装置１は、おもに搬送部（図で
は、搬入出兼用搬送部３１）が備えられた半導体製造装
置等の処理装置２と、この搬入出兼用搬送部３１に載置
される製造部材（図示せず）に付された識別符号を読み
取る光学読み取り装置３と、読み取った識別符号に基づ
いて製造部材の生産管理を行う記憶演算装置４とから構
成されるものである。

【００１１】例えば、製造部材がウエハの場合には、文
字や数字による製品番号等の識別符号が露光等により付
されており、製造部材が複数のウエハを収納するカセッ
トから成る場合には、カセットの上面や側面等にバーコ
ード等の記号から成る識別符号が貼付されている。文字
や数字から成る識別符号はＯＣＲ等の光学読み取り装置
３にて読み取り、一方バーコード等の記号から成る識別
符号はバーコードリーダー等の光学読み取り装置３にて
読み取る。

【００１２】このような光学読み取り装置３は、処理装
置２の搬入出兼用搬送部３１内に設けられており、製造
部材の搬入および搬出の際、その製造部材に付された識
別符号を読み取れるようになっている。また、処理装置
２内には、製造部材の載置動作を検知するセンサ６が設
けられている。このセンサ６は、例えば光スイッチから
成るもので、製造部材が搬入出兼用搬送部３１に載置さ
れているかどうかを検知して、光学読み取り装置３に対
して識別符号の読み取り動作開始の信号を送信するもの
である。

【００１３】また、記憶演算装置４内には、各識別符号
に対応した管理データが記憶されており、光学読み取り
装置３にて読み取った識別符号を受け取って、その識別
符号に対応した管理データを引き出す。管理データに
は、例えばウエハの製造履歴や、処理装置２に対する製
造処理条件およびその後の製造工程等が記憶されてお
り、これに基づいて記憶演算装置４が一括した生産管理
を行えるようになっている。

【００１４】次に、この認識装置１による製造部材の認
識方法について説明する。先ず、処理装置２の搬入出兼
用搬送部３１に作業者の人手または自動搬送装置を用い
て製造部材を載置する。この載置とともに、搬入出兼用
搬送部３１内に設けられた光学読み取り装置３が製造部
材に付された識別符号を読み取る。次に、この読み取っ
た識別符号を図中矢印に示すように記憶演算装置４へ転
送し、この識別符号と対応した管理データを呼び出す。
そして、この処理装置２に製造部材が載置されたことを
対応する管理データに記録する。すなわち、搬入出兼用
搬送部３１に載置された製造部材と、その識別符号に基
づく管理データとのリンクが確実に行われることにな
る。

【００１５】次いで、処理装置２の処理部４１に製造部
材を搬送して所望の処理を施した後、再び搬入出兼用搬
送部３１に製造部材を載置する。そして、必要に応じて
光学読み取り装置３でその識別符号を読み取り、記憶演
算装置４に転送することで、その処理が終了したことを
対応する管理データに記録する。これにより、製造部材
と対応した管理データには、この処理装置２で処理が施
されたという記録が確実に成され、この管理データが次
の製造工程へ受け渡されていく。なお、記憶演算装置４
には端末器５が取り付けられており、必要に応じて作業
者がこの管理データや処理の進行状況等を確認すること
ができる。

【００１６】また、処理装置２内にセンサ６が設けられ
ている場合には、搬入出兼用搬送部３１に製造部材を載
置する際、このセンサ６が製造部材の存在を検知して、
光学読み取り装置３に読み取り動作開始の信号を送る。
この動作開始の信号を受け取った後、光学読み取り装置
３が識別符号の読み取り動作を行う。すなわち、動作開
始の信号が送られた時のみ光学読み取り装置３の動作を
行えばよいため、常時光学読み取り装置３を作動してお
く必要がなくなる。

【００１７】次に、本発明の他の実施例を図２、図３の
ブロック図を用いて説明する。先ず、図２に示す認識装
置１は、処理装置２内に搬入用搬送部３１ａと搬出用搬
送部３１ｂとが設けられたもので、各搬送部３１ａ、３
１ｂに光学読み取り装置３ａ、３ｂがそれぞれ取り付け
られている。このような認識装置１により、複数の製造
部材を処理部４１で処理する場合において、別々な製造
部材が搬入用搬送部３１ａと搬出用搬送部３１ｂとに載
置されていてもそれぞれの識別符号を同時に認識するこ
とができる。また、光学読み取り装置３にて読み取った
識別符号を図中矢印に示すように独立して記憶演算装置
４に転送し生産管理を行う。なお、搬入用搬送部３１ａ
と搬出用搬送部３１ｂとにそれぞれ対応してセンサ６を
設けてもよい。

【００１８】次に、図３に示す認識装置１は、複数の処
理装置２が設けられたものである。例えば処理装置Ａに
は、搬入用搬送部３１ａと搬出用搬送部３１ｂとが設け
られており、処理装置Ｂには、搬入用搬送部３１ａと搬
出用搬送部３１ｂおよび中間用搬送部３１ｃが設けられ
ている。各処理装置２の各搬送部３１ａ、３１ｂおよび
３１ｃには光学読み取り装置３ａ、３ｂおよび３ｃがそ
れぞれ設けられており、また、センサ６がそれぞれ設け
られている場合もある。

【００１９】このように、各搬送部３１ａ、３１ｂおよ
び３１ｃに光学読み取り装置３ａ、３ｂおよび３ｃが設
けられているため、どの処理装置２でどの製造部材が処
理されているか、また、例えば処理装置Ｂにおいて、製
造部材がどこの搬送部３１ａ、３１ｂおよび３１ｃに載
置されているかを認識できるため、処理の進行状況を容
易に把握することができる。つまり、光学読み取り装置
３ａ、３ｂおよび３ｃから記憶演算装置４に向けて、そ
れぞれ載置されている製造部材の識別符号が転送されて
くるため、記憶演算装置４に設けられた端末器５を用い
て全体の製造工程の正確な管理を一括して行えることに
なる。

【００２０】なお、ここでは処理装置Ａおよび処理装置
Ｂの２台の処理装置２を用いた場合について説明した
が、さらに多くの処理装置２を用いた場合であっても同
様に一括した生産管理を行うことができる。また、本実
施例では処理装置２として半導体製造装置を例とし、ま
た製造部材としてウエハおよびカセットを例として説明
したが、本発明はこれらに限定されず他の処理装置２お
よび製造部材であっても同様である。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の生産管理
システムにおける製造部材の認識装置とその認識方法に
よれば次のような効果がある。すなわち、この認識装置
を用いることで、製造部材に付された識別符号を作業者
が個別に読み取る手間がかからず、しかも、自動搬送装
置を用いた場合であっても識別符号を読み取るための専
用ラインを必要としない。したがって、装置の規模の縮
小化および単純化を図ることができるとともに、効率的
に製造部材の認識を行うことが可能となる。また、この
認識方法によれば、搬送部に載置された時点で識別符号
を読み取るため、実際に処理装置内に載置された製造部
材の識別符号を転送することになり、記憶演算装置側で
正確な把握をすることができる。しかも、各処理装置の
各搬送部に設けられた光学読み取り装置からそれぞれ識
別符号を転送するため、記憶演算装置にて全ての製造工
程や各処理装置の進行状況等を一括して、しかも正確に
管理することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の認識装置と認識方法を説明するブロッ
ク図である。

【図２】他の実施例を説明するブロック図（その１）で
ある。

【図３】他の実施例を説明するブロック図（その２）で
ある。

【符号の説明】

１ 認識装置 ２ 処理装置 ３ 光学読み取り装置 ４ 記憶演算装置 ５ 端末器 ６ センサ ３１ 搬入出兼用搬送部 ４１ 処理部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製造部材が載置される搬送部を備えた処
   理装置と、 前記製造部材に付された識別符号を読み取る光学読み取
   り装置と、 前記読み取った識別符号に基づいて前記製造部材の生産
   管理を行う記憶演算装置とから成る生産管理システムに
   おける製造部材の認識装置において、 前記光学読み取り装置が前記処理装置の搬送部内に設け
   られていることを特徴とする生産管理システムにおける
   製造部材の認識装置。
2. 【請求項２】 前記処理装置内には、前記製造部材の載
   置動作にて前記光学読み取り装置に読み取り動作開始の
   信号を送るセンサが設けられていることを特徴とする請
   求項１記載の生産管理システムにおける製造部材の認識
   装置。
3. 【請求項３】 前記処理装置内に複数の搬送部が設けら
   れた生産管理システムにおける製造部材の認識装置にお
   いて、 前記光学読み取り装置が各搬送部内にそれぞれ設けられ
   ていることを特徴とする請求項１記載の生産管理システ
   ムにおける製造部材の認識装置。
4. 【請求項４】 前記処理装置内に複数の搬送部が設けら
   れた生産管理システムにおける製造部材の認識装置にお
   いて、 各搬送部に対応して前記センサがそれぞれ設けられてい
   ることを特徴とする請求項２記載の生産管理システムに
   おける製造部材の認識装置。
5. 【請求項５】 処理装置内に搬入出される製造部材の識
   別符号を読み取って、該読み取った識別符号に基づいて
   前記製造部材の生産管理を行う生産管理システムにおけ
   る製造部材の認識方法において、 先ず、前記処理装置内の搬送部に前記製造部材を載置し
   て、前記搬送部内で該製造部材に付された識別符号を光
   学読み取り装置にて読み取り、 次に、前記読み取った識別符号を記憶演算装置に転送し
   て、前記処理装置と該処理装置内に載置されている前記
   製造部材との対応を付けるようにしたことを特徴とする
   生産管理システムにおける製造部材の認識方法。