JPH06107465A - Aluminum nitride composition - Google Patents

Aluminum nitride composition

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JPH06107465A
JPH06107465A JP4254833A JP25483392A JPH06107465A JP H06107465 A JPH06107465 A JP H06107465A JP 4254833 A JP4254833 A JP 4254833A JP 25483392 A JP25483392 A JP 25483392A JP H06107465 A JPH06107465 A JP H06107465A
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aluminum nitride
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nitride powder
green sheet
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清章 廣川
Hitofumi Taniguchi
人文 谷口
Shigeaki Tanaka
茂明 田中
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Abstract

PURPOSE:To make it possible to continuously blank a sheetlike molded body by adding specified polyvinyl butyral resin to aluminum nitride powder. CONSTITUTION:Aluminum nitride powder having 1:1 molar ratio of aluminum: nitrogen and <=5mum average particle diameter and contg. <=1.5wt.% oxygen as an impurity and <=0.3wt.% cationic impurities is prepd. and 100 pts.wt. of this powder is blended with 4-30 pts.wt. polyvinyl butyral resin having >=80wt.% degree of butyral formation and 3,000-1,000,000 mol.wt., 0.01-10 pts.wt. one or more kinds of surfactants having 4.5-18 HLB such as carboxylated trioxyethylene tridecyl ether, <=15 pts.wt. plasticizer such as polyethylene glycol, 20-200 pts.wt. one or more kinds of org. solvents such as acetone and 0.1-10wt.% sintering aid such as calcium oxide basing on the total amt. of the aluminum nitride powder and the sintering aid. The resulting blend is molded into a sheet shape.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、窒化アルミニウム粉末
を主成分とするシート成形体の連続打ち抜き加工に好適
な窒化アルミニウム組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aluminum nitride composition suitable for continuous punching of a sheet molded product containing aluminum nitride powder as a main component.

【0002】[0002]

【従来の技術】窒化アルミニウム焼結体は、熱伝導率が
高く、エレクトロニクス材料として脚光を浴びている。
窒化アルミニウム焼結体を得る方法として、窒化アルミ
ニウム粉末を乾式プレスにより成形して焼成する方法や
窒化アルミニウム粉末を湿式成形してグリーンシートを
得、これを焼成する方法等がある。後者におけるグリー
ンシートの製造は、一般には窒化アルミニウム粉末に結
合剤、解膠剤及び有機溶媒等を混合して、トグターブレ
ード法等によりシートに成形する方法が採用されてい
る。ここで、結合剤は、グリーンシートに強度や柔軟性
を付与し、加工性向上及び取り扱いを容易にするために
使用される。
2. Description of the Related Art Sintered aluminum nitride has a high thermal conductivity and is in the spotlight as an electronic material.
As a method of obtaining an aluminum nitride sintered body, there are a method of forming aluminum nitride powder by dry pressing and firing, a method of wet forming aluminum nitride powder to obtain a green sheet, and firing this. In the latter case, a green sheet is generally produced by mixing aluminum nitride powder with a binder, a deflocculant, an organic solvent and the like and forming the sheet by the Togter blade method or the like. Here, the binder is used for imparting strength and flexibility to the green sheet, improving processability and facilitating handling.

【0003】グリーンシートは打ち抜き加工されて所定
の形状に切断されるが、切断後のグリーンシート片の大
きさが小さくなり過ぎるときには、比較的大きく切断
し、所定の大きさに後に容易に切断可能なようにグリー
ンシートにブレークライン(溝)を入れ、焼成後にブレ
ークラインに沿って切断するという操作が採用されてい
る。
The green sheet is punched and cut into a predetermined shape. When the size of the cut green sheet becomes too small, it can be cut relatively large and easily cut into a predetermined size later. In this way, a break line (groove) is formed on the green sheet, and after firing, cutting is performed along the break line.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グリー
ンシートの打ち抜き加工においてブレークラインを入れ
ようとすると、打ち抜き機の刃にグリーンシートが付着
するという現象が発生し、刃の上昇と共にグリーンシー
トも上昇するという問題があった。このため、ブレーク
ラインの入ったグリーンシートの打ち抜き加工を連続的
に行なうことが不可能であった。
However, when a break line is inserted in the punching process of the green sheet, the phenomenon that the green sheet adheres to the blade of the punching machine occurs, and the green sheet rises as the blade rises. There was a problem. For this reason, it has been impossible to continuously punch the green sheet having the break line.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、ブレーク
ラインの入った打ち抜き加工を連続して行なうことが可
能なグリーンシートを得るために、打ち抜き機の刃に付
着しにくいグリーンシートを得ることを目的として鋭意
研究を続けてきた。その結果、特定のブチラール化度を
有するポリビニルブチラール樹脂と窒化アルミニウム粉
末との組成物が、上記の目的を達成したグリーンシート
の原料となることを見いだし、本発明を提案するに至っ
た。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The inventors of the present invention obtain a green sheet which does not easily adhere to the blade of a punching machine in order to obtain a green sheet which can be continuously punched with a break line. For that purpose, I have continued my earnest research. As a result, they have found that a composition of a polyvinyl butyral resin having a specific degree of butyralization and an aluminum nitride powder is a raw material for a green sheet that has achieved the above object, and has proposed the present invention.

【0006】即ち、本発明は、窒化アルミニウム粉末1
00重量部、およびブチラール化度が80重量%以上で
あるポリビニルブチラール樹脂4〜30重量部を含んで
なる窒化アルミニウム組成物である。
That is, the present invention relates to aluminum nitride powder 1
An aluminum nitride composition comprising 00 parts by weight and 4 to 30 parts by weight of a polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 80% by weight or more.

【0007】本発明の窒化アルミニウム組成物の一成分
である窒化アルミニウム粉末は公知のものが何ら制限な
く使用しうる。一般に熱伝導性に優れた窒化アルミニウ
ム焼結体を得るためには、酸素含有量や陽イオン不純物
の少ないことが好ましい。即ち、AlNを窒化アルミニ
ウム組成とするとき、不純物となる酸素含有量が1.5
重量%以下、陽イオン不純物が0.3重量%以下である
窒化アルミニウム粉末が好適である。さらに、酸素含有
量が0.4〜1.3重量%、陽イオン不純物が0.2重
量%以下である窒化アルミニウム粉末がより好適であ
る。尚、本発明における窒化アルミニウムはアルミニウ
ムと窒素の1:1の化合物であり、これ以外のものをす
べて不純物として扱う。ただし、窒化アルミニウム粉末
の表面は空気中で不可避的に酸化され、Al−N結合が
Al−O結合に置き変わっているが、この結合Alは陽
イオン不純物とはみなさない。従って、Al−N、Al
−Oの結合をしていない金属アルミニウムは陽イオン不
純物である。
As the aluminum nitride powder which is one component of the aluminum nitride composition of the present invention, known ones can be used without any limitation. Generally, in order to obtain an aluminum nitride sintered body having excellent thermal conductivity, it is preferable that the oxygen content and the cation impurities are small. That is, when AlN has an aluminum nitride composition, the oxygen content as an impurity is 1.5
An aluminum nitride powder having a weight percentage of less than or equal to 0.3 and a cationic impurity amount of less than or equal to 0.3 is preferable. Furthermore, an aluminum nitride powder having an oxygen content of 0.4 to 1.3% by weight and a cationic impurity of 0.2% by weight or less is more preferable. The aluminum nitride in the present invention is a 1: 1 compound of aluminum and nitrogen, and all other compounds are treated as impurities. However, the surface of the aluminum nitride powder is inevitably oxidized in air and the Al—N bond is replaced with the Al—O bond, but this bonded Al is not regarded as a cation impurity. Therefore, Al-N, Al
Metallic aluminum without a -O bond is a cationic impurity.

【0008】また、本発明で用いられる窒化アルミニウ
ム粉末の粒子は、粒子径の小さいものが揃っていること
が好ましい。例えば、平均粒子径(遠心式粒度分布測定
装置、例えば、堀場製作所製のCAPA500などで測
定した凝集粒子の平均粒径を言う。)が5μm以下、さ
らには3μm以下であることが好ましい。
The particles of the aluminum nitride powder used in the present invention preferably have a small particle size. For example, the average particle diameter (meaning the average particle diameter of the agglomerated particles measured by a centrifugal particle size distribution measuring device such as CAPA500 manufactured by Horiba Ltd.) is preferably 5 μm or less, and more preferably 3 μm or less.

【0009】次に、本発明の窒化アルミニウム組成物の
他の成分は、ブチラール化度が80重量%以上のポリビ
ニルブチラール樹脂である。ポリビニルブチラール樹脂
のブチラール化度が上記範囲外のときには、得られるグ
リーンシートの連続打ち抜き加工ができないため好まし
くない。ポリビニルブチラール樹脂のブチラール化度
は、現在のところ88重量%までのものが得られてい
る。なお、本発明においてブチラール化度は、JIS
K6728により酢酸ビニル成分とビニルアルコール成
分を求め、下記式により算出した値である。
Next, another component of the aluminum nitride composition of the present invention is a polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 80% by weight or more. When the butyralization degree of the polyvinyl butyral resin is outside the above range, it is not preferable because the obtained green sheet cannot be continuously punched. The butyralization degree of polyvinyl butyral resin is currently up to 88% by weight. In the present invention, the degree of butyral is JIS
It is a value calculated from the following formulas by calculating the vinyl acetate component and the vinyl alcohol component by K6728.

【0010】ブチラール化度=100−{酢酸ビニル成
分(重量%)+ビニルアルコール成分(重量%)} ブチラール化度が80重量%以上であるポリビニルブチ
ラール樹脂の窒化アルミニウム粉末への配合量は、窒化
アルミニウム粉末100重量部に対して4〜30重量部
でなければならず、5〜15重量部の範囲であることが
好ましい。ブチラール化度80重量%以上であるポリビ
ニルブチラール樹脂の配合量が上記範囲より少ない場合
には、グリーンシート打ち抜き時にクラックが発生し、
上記範囲より多い場合には、窒化アルミニウム組成物か
ら得られる窒化アルミニウム焼結体の物性が低下するた
め好ましくない。ポリビニルブチラール樹脂の分子量は
特に限定されないが、一般には3,000〜1,00
0,000、好ましくは5,000〜300,000で
あることが、グリーンシートが柔軟かつ靱性に富み、加
工に際して取り扱いが容易となるために好適である。
Degree of butyralization = 100- {vinyl acetate component (% by weight) + vinyl alcohol component (% by weight)} The blending amount of the polyvinyl butyral resin having a degree of butyralization of 80% by weight or more to the aluminum nitride powder is nitriding. It should be 4 to 30 parts by weight, preferably 5 to 15 parts by weight, based on 100 parts by weight of the aluminum powder. When the blending amount of the polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 80% by weight or more is less than the above range, cracks occur when punching the green sheet,
When the amount is more than the above range, the physical properties of the aluminum nitride sintered body obtained from the aluminum nitride composition are deteriorated, which is not preferable. Although the molecular weight of the polyvinyl butyral resin is not particularly limited, it is generally 3,000 to 1,000.
It is preferably 50,000, preferably 5,000 to 300,000 because the green sheet is flexible and rich in toughness and easy to handle during processing.

【0011】本発明の窒化アルミニウム組成物を用いて
グリーンシートを製造する場合、通常、界面活性剤、可
塑剤、および有機溶剤が用いられる。
When a green sheet is produced using the aluminum nitride composition of the present invention, a surfactant, a plasticizer and an organic solvent are usually used.

【0012】ここで、界面活性剤は、公知のものが何ら
制限なく採用できるが、特に、親水性親油性バランス
(以下、HLBと略す。)が4.5〜18のもの、さら
に好ましくは6.0〜10.0のものが窒化アルミニウ
ム粉末成形体の成形密度が上がるために好適に採用され
る。尚、本発明におけるHLBは、デービスの式により
算出された値である。
As the surface active agent, any known surface active agent can be used without any limitation, but particularly, a surface active agent having a hydrophilic-lipophilic balance (hereinafter abbreviated as HLB) of 4.5 to 18, more preferably 6 is used. Those of 0.0 to 10.0 are preferably adopted because the molding density of the aluminum nitride powder compact increases. The HLB in the present invention is a value calculated by the Davis equation.

【0013】本発明において好適に使用しうる界面活性
剤を具体的に例示すると、カルボキシル化トリオキシエ
チレントリデシルエーテル、ジグリセリンモノオレエー
ト、ジグリセリンモノステアレート、カルボキシル化ヘ
プタオキシエチレントリデシルエーテル、テトラグリセ
リンモノオレエート、ヘキサグリセリンモノオレエー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポ
リオキシエチレンソルビタンモノオレエート等が挙げら
れる。本発明における界面活性剤は、2種以上を混合し
て使用しても良く、そのときのHLBは、それぞれの界
面活性剤のHLBの相加平均で算出できる。
Specific examples of the surfactants that can be preferably used in the present invention include carboxylated trioxyethylene tridecyl ether, diglycerin monooleate, diglycerin monostearate and carboxylated heptaoxyethylene tridecyl ether. , Tetraglycerin monooleate, hexaglycerin monooleate, polyoxyethylene sorbitan monolaurate, polyoxyethylene sorbitan monooleate and the like. The surfactant in the present invention may be used as a mixture of two or more kinds, and the HLB at that time can be calculated by the arithmetic average of the HLB of each surfactant.

【0014】また、本発明の窒化アルミニウム組成物を
用いて特定の成形物に加工する際に該加工物に柔軟性を
付与する目的で可塑剤を使用することが好ましい。該可
塑剤は一般のセラミック粉末の成形に際して上記目的で
使用されることが公知のものを特に限定されず用いう
る。特に好適に使用される代表的なものを具体的に例示
すれば、ポリエチレングリコール及びその誘導体;ジメ
チルフタレート,ジブチルフタレート,ブチルベンジル
フタレート及びジオクチルフタレート等のフタール酸エ
ステル類;ブチルステアレート等のステアリン酸エステ
ル類;トリクレゾールフォスフェート;トリ−N−ブチ
ルフォスフェート;グリセリン等である。
When the aluminum nitride composition of the present invention is used to process a specific molded product, it is preferable to use a plasticizer for the purpose of imparting flexibility to the processed product. As the plasticizer, those known to be used for the above-mentioned purpose in molding a general ceramic powder can be used without particular limitation. Specific examples of typical ones that are particularly preferably used include polyethylene glycol and its derivatives; phthalic acid esters such as dimethyl phthalate, dibutyl phthalate, butylbenzyl phthalate and dioctyl phthalate; stearic acid such as butyl stearate. Esters; tricresole phosphate; tri-N-butyl phosphate; glycerin and the like.

【0015】さらに有機溶媒としては、例えば、アセト
ン、メチルエチルケトン及びメチルイソブチルケトン等
のケトン類;エタノール、プロパノール及びブタノール
等のアルコール類;ベンゼン、トルエンおよびキシレン
等の芳香族炭化水素類;あるいはトリクロロエチレン、
テトラクロロエチレン及びブロムクロロメタン等のハロ
ゲン化炭化水素類の1種または2種以上を混合して使用
できる。
Further, as the organic solvent, for example, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone; alcohols such as ethanol, propanol and butanol; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; or trichloroethylene,
It is possible to use one kind or a mixture of two or more kinds of halogenated hydrocarbons such as tetrachloroethylene and bromochloromethane.

【0016】これら界面活性剤、可塑剤及び有機溶剤の
使用量は、良好な窒化アルミニウムグリーンシートを製
造するためには、通常、窒化アルミニウム粉末100重
量部に対して、界面活性剤を0.01〜10重量部、好
ましくは0.02〜3.0重量部、可塑剤を15重量部
以下、好ましくは0.4〜15重量部、有機溶媒を20
〜200重量部の範囲から選択される。
The amount of these surfactants, plasticizers and organic solvents used is usually 0.01 to 100 parts by weight of aluminum nitride powder in order to produce a good aluminum nitride green sheet. -10 parts by weight, preferably 0.02-3.0 parts by weight, plasticizer 15 parts by weight or less, preferably 0.4-15 parts by weight, organic solvent 20
˜200 parts by weight.

【0017】さらに、上記組成に加えて、窒化アルミニ
ウム粉末の焼結に使用することが公知の焼結助剤、例え
ば、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム等のアルカリ
土類金属酸化物;酸化イットリウム、酸化ランタン等の
希土類酸化物;アルミン酸カルシウム等の複合酸化物等
を窒化アルミニウム粉末との合計量中に占める割合で
0.1〜10重量%の範囲で用いても良い。
In addition to the above composition, a sintering aid known to be used for sintering aluminum nitride powder, for example, an alkaline earth metal oxide such as calcium oxide or strontium oxide; yttrium oxide or lanthanum oxide. Rare earth oxides such as; complex oxides such as calcium aluminate may be used in the range of 0.1 to 10% by weight in the total amount with the aluminum nitride powder.

【0018】前記した各成分は混合され、一般に泥奬と
呼ばれる粘稠なペンキ状のスラリーとされる。そして、
ドクターブレード等のシート成形機を用いてシートに成
形される。次いで、該シート状の成形物は室温〜溶媒の
沸点の温度で溶媒を揮散させて乾燥され、窒化アルミニ
ウムグリーンシートとなる。
The above components are mixed to form a viscous paint-like slurry generally called mud. And
It is formed into a sheet by using a sheet forming machine such as a doctor blade. Next, the sheet-shaped molded product is dried by volatilizing the solvent at a temperature between room temperature and the boiling point of the solvent to form an aluminum nitride green sheet.

【0019】こうして得られた窒化アルミニウムグリー
ンシートは、公知の方法によって焼成され、窒化アルミ
ニウム焼結体となる。
The aluminum nitride green sheet thus obtained is fired by a known method to form an aluminum nitride sintered body.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明の窒化アルミニウム組成物は、グ
リーンシート成形による窒化アルミニウム粉末成形体の
製造原料として好適である。即ち、本発明の窒化アルミ
ニウム組成物を用いてシート成形により窒化アルミニウ
ムグリーンシートを製造し、ブレークラインの入った打
ち抜き加工を行った場合、打ち抜き機の上刃への窒化ア
ルミニウムグリーンシートの付着を防止することができ
るため、長期に連続して窒化アルミニウムのグリーンシ
ート打ち抜き体を製造することができる。
The aluminum nitride composition of the present invention is suitable as a raw material for producing an aluminum nitride powder compact by green sheet molding. That is, when an aluminum nitride green sheet is manufactured by sheet molding using the aluminum nitride composition of the present invention and punching with a break line is performed, the aluminum nitride green sheet is prevented from adhering to the upper blade of the punching machine. Therefore, the green sheet punched body of aluminum nitride can be continuously manufactured for a long period of time.

【0021】[0021]

【実施例】本発明をさらに具体的に説明するために、以
下に実施例及び比較例を掲げるが、本発明はこれらの実
施例に限定されるものではない。
EXAMPLES In order to describe the present invention more specifically, examples and comparative examples are given below, but the present invention is not limited to these examples.

【0022】尚、以下の実施例及び比較例における各種
の物性の測定は次の方法により行った。
Various physical properties in the following examples and comparative examples were measured by the following methods.

【0023】1)比表面積:N2吸着によるBET法で
求めた。
1) Specific surface area: determined by the BET method by N 2 adsorption.

【0024】(島津製作所製「フローソーブ2300」
を使用) 2)平均凝集粒径:遠心沈降法にて求めた。(堀場製作
所製「CAPA 500」を使用) 3)不純物量 陽イオン不純物:粉末をアルカリ溶融後、酸で中和し、
溶液のICP発光分光分析により定量した。(島津製作
所製「ICPS−1000」を使用) 不純物カーボン量:粉末を酸素気流中で燃焼させ、発生
したCO、CO2ガス量から定量した。(堀場製作所製
「EMIA−110」を使用) 不純物酸素量:グラファイトるつぼ中での粉末の高温の
熱分解法により発生したCOガス量から求めた。(堀場
製作所製「EMGA−2800」を使用) 4)シート成形体密度(dg):次式により求めた。
("Flowsorb 2300" manufactured by Shimadzu Corporation)
2) Average aggregate particle size: determined by a centrifugal sedimentation method. (Use "CAPA 500" manufactured by HORIBA, Ltd.) 3) Impurity amount Cation impurities: After melting the powder with alkali, neutralize with acid,
The solution was quantified by ICP emission spectroscopy. (“ICPS-1000” manufactured by Shimadzu Corporation is used) Impurity carbon amount: The powder was burned in an oxygen stream, and quantified from the generated CO and CO 2 gas amounts. (Using "EMIA-110" manufactured by Horiba Ltd.) Impurity oxygen amount: determined from the amount of CO gas generated by the high temperature thermal decomposition method of the powder in the graphite crucible. (Using "EMGA-2800" manufactured by Horiba Ltd.) 4) Sheet molded product density (dg): Calculated by the following formula.

【0025】[0025]

【数1】 [Equation 1]

【0026】5)AlN焼結体密度(dg):アルキメ
デス法により求めた。(東洋精機製「高精度比重計D−
H」を使用) 実施例1 内容量10Lのナイロン製ポットに鉄心入りナイロンボ
ールを入れ、次いで、表1に示す窒化アルミニウム粉末
100重量部、及び表2に示す各種ブチラール化度のポ
リビニルブチラール樹脂10重量部、酸化イットリウム
4.0重量部、界面活性剤としてヘキサグリセリンモノ
オレート2.0重量部、可塑剤としてジブチルフタレー
ト6.0重量部、トルエン100重量部を投入して十分
にボールミルで混合し、白色の泥奬を得た。
5) AlN sintered body density (dg): Determined by the Archimedes method. ("Toyo Seiki's high-precision specific gravity meter D-
H ”) Example 1 Nylon balls with an iron core were placed in a nylon pot having an internal capacity of 10 L, then 100 parts by weight of aluminum nitride powder shown in Table 1, and polyvinyl butyral resin 10 having various butyralization degrees shown in Table 2 were used. Parts by weight, 4.0 parts by weight of yttrium oxide, 2.0 parts by weight of hexaglycerin monooleate as a surfactant, 6.0 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer, and 100 parts by weight of toluene, and sufficiently mixed in a ball mill. , Got white mud.

【0027】こうして得られた泥奬を脱溶媒し、粘度を
20000cpsに調整した後、ドクターブレード法に
よりシート成形を行い、室温で2時間、60℃で5時間
乾燥して幅10cm、厚さ0.8mmのシート成形体
(グリーンシート)を作製し、その見掛密度を測定し
た。
The mud thus obtained was desolvated, the viscosity was adjusted to 20000 cps, and the sheet was formed by the doctor blade method, and dried at room temperature for 2 hours and at 60 ° C. for 5 hours to obtain a width of 10 cm and a thickness of 0. A sheet molded body (green sheet) having a size of 0.8 mm was produced and the apparent density was measured.

【0028】このグリーンシートを5mm角のブレーク
ラインの入った68mm角の金型で連続的に打ち抜き、
打ち抜きシートを得た。窒化アルミニウムグリーンシー
トが打ち抜き機の上刃に付着するまでの打ち抜き回数は
いずれも400枚以上であった。
This green sheet was continuously punched with a 68 mm square die having a 5 mm square break line,
A punched sheet was obtained. The number of times of punching was 400 or more before the aluminum nitride green sheet was attached to the upper blade of the punching machine.

【0029】このシートを空気中で600℃、5時間焼
成し、次いで、窒化ホウ素るつぼに入れ、窒素雰囲気中
1800℃で10時間焼成し、窒化アルミニウム焼結体
を得た。
This sheet was fired in air at 600 ° C. for 5 hours, then placed in a boron nitride crucible and fired in a nitrogen atmosphere at 1800 ° C. for 10 hours to obtain an aluminum nitride sintered body.

【0030】窒化アルミニウム焼結体の密度の測定結果
を表2に示した。
Table 2 shows the measurement results of the density of the aluminum nitride sintered body.

【0031】[0031]

【表1】 [Table 1]

【0032】比較例1 実施例1において、ブチラール化度が75重量%のポリ
ビニルブチラール樹脂を使用したこと以外は実施例1と
同様にして窒化アルミニウムグリーンシートを作製し、
さらに、打ち抜きを行い、打ち抜きシートを得た。連続
2枚以上の打ち抜きは不可能であった。実施例1と同様
に焼成し、得られた焼結体の密度を測定した。結果を表
2に示した。
Comparative Example 1 An aluminum nitride green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 75% by weight was used.
Further, punching was performed to obtain a punched sheet. It was impossible to punch two or more sheets in succession. Firing was performed in the same manner as in Example 1, and the density of the obtained sintered body was measured. The results are shown in Table 2.

【0033】[0033]

【表2】 [Table 2]

【0034】実施例2 ブチラール化度88重量%のポリビニルブチラール樹脂
を表3に示した量だけ添加したこと以外は実施例1と同
様にして窒化アルミニウムグリーンシートを作製し、さ
らに、実施例1と同様にして打ち抜きシートを得た。結
果を表3に示した。
Example 2 An aluminum nitride green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that a polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 88% by weight was added in the amount shown in Table 3, and further, as in Example 1. A punched sheet was obtained in the same manner. The results are shown in Table 3.

【0035】[0035]

【表3】 [Table 3]

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】窒化アルミニウム粉末100重量部、およ
びブチラール化度が80重量%以上であるポリビニルブ
チラール樹脂4〜30重量部を含んでなる窒化アルミニ
ウム組成物。
1. An aluminum nitride composition comprising 100 parts by weight of aluminum nitride powder and 4 to 30 parts by weight of polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 80% by weight or more.
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