JP2886003B2 - Aluminum nitride composition - Google Patents
Aluminum nitride compositionInfo
- Publication number
- JP2886003B2 JP2886003B2 JP4254833A JP25483392A JP2886003B2 JP 2886003 B2 JP2886003 B2 JP 2886003B2 JP 4254833 A JP4254833 A JP 4254833A JP 25483392 A JP25483392 A JP 25483392A JP 2886003 B2 JP2886003 B2 JP 2886003B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- weight
- green sheet
- parts
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、窒化アルミニウム粉末
を主成分とするシート成形体の連続打ち抜き加工に好適
な窒化アルミニウム組成物に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aluminum nitride composition suitable for continuous punching of a sheet formed mainly of aluminum nitride powder.
【0002】[0002]
【従来の技術】窒化アルミニウム焼結体は、熱伝導率が
高く、エレクトロニクス材料として脚光を浴びている。
窒化アルミニウム焼結体を得る方法として、窒化アルミ
ニウム粉末を乾式プレスにより成形して焼成する方法や
窒化アルミニウム粉末を湿式成形してグリーンシートを
得、これを焼成する方法等がある。後者におけるグリー
ンシートの製造は、一般には窒化アルミニウム粉末に結
合剤、解膠剤及び有機溶媒等を混合して、トグターブレ
ード法等によりシートに成形する方法が採用されてい
る。ここで、結合剤は、グリーンシートに強度や柔軟性
を付与し、加工性向上及び取り扱いを容易にするために
使用される。2. Description of the Related Art Aluminum nitride sintered bodies have a high thermal conductivity and have been spotlighted as electronic materials.
As a method for obtaining an aluminum nitride sintered body, there are a method in which aluminum nitride powder is formed by dry pressing and firing, and a method in which aluminum nitride powder is wet-formed to obtain a green sheet and fired. The latter method of producing a green sheet generally employs a method in which a binder, a deflocculant, an organic solvent, and the like are mixed with aluminum nitride powder and formed into a sheet by a togger blade method or the like. Here, the binder is used for imparting strength and flexibility to the green sheet, improving processability and facilitating handling.
【0003】グリーンシートは打ち抜き加工されて所定
の形状に切断されるが、切断後のグリーンシート片の大
きさが小さくなり過ぎるときには、比較的大きく切断
し、所定の大きさに後に容易に切断可能なようにグリー
ンシートにブレークライン(溝)を入れ、焼成後にブレ
ークラインに沿って切断するという操作が採用されてい
る。[0003] The green sheet is punched and cut into a predetermined shape. When the size of the green sheet piece after cutting is too small, the green sheet piece can be cut into a relatively large size and easily cut into a predetermined size later. In this manner, an operation of forming a break line (groove) in a green sheet and cutting along the break line after firing is adopted.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グリー
ンシートの打ち抜き加工においてブレークラインを入れ
ようとすると、打ち抜き機の刃にグリーンシートが付着
するという現象が発生し、刃の上昇と共にグリーンシー
トも上昇するという問題があった。このため、ブレーク
ラインの入ったグリーンシートの打ち抜き加工を連続的
に行なうことが不可能であった。However, when a break line is to be formed in the green sheet punching process, a phenomenon occurs in which the green sheet adheres to the blade of the punching machine, and the green sheet rises as the blade rises. There was a problem. For this reason, it has been impossible to continuously perform punching of a green sheet having a break line.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、ブレーク
ラインの入った打ち抜き加工を連続して行なうことが可
能なグリーンシートを得るために、打ち抜き機の刃に付
着しにくいグリーンシートを得ることを目的として鋭意
研究を続けてきた。その結果、特定のブチラール化度を
有するポリビニルブチラール樹脂と窒化アルミニウム粉
末との組成物が、上記の目的を達成したグリーンシート
の原料となることを見いだし、本発明を提案するに至っ
た。In order to obtain a green sheet which can be continuously punched with a break line, the present inventors obtain a green sheet which does not easily adhere to the blade of a punching machine. We have continued our research for the purpose. As a result, they have found that a composition of a polyvinyl butyral resin having a specific degree of butyralization and aluminum nitride powder is a raw material for a green sheet that has achieved the above-mentioned object, and has led to the present invention.
【0006】即ち、本発明は、窒化アルミニウム粉末1
00重量部、およびブチラール化度が80重量%以上で
あるポリビニルブチラール樹脂4〜30重量部を含んで
なる窒化アルミニウム組成物である。That is, the present invention relates to an aluminum nitride powder 1
An aluminum nitride composition comprising 00 parts by weight and 4 to 30 parts by weight of a polyvinyl butyral resin having a degree of butyralization of 80% by weight or more.
【0007】本発明の窒化アルミニウム組成物の一成分
である窒化アルミニウム粉末は公知のものが何ら制限な
く使用しうる。一般に熱伝導性に優れた窒化アルミニウ
ム焼結体を得るためには、酸素含有量や陽イオン不純物
の少ないことが好ましい。即ち、AlNを窒化アルミニ
ウム組成とするとき、不純物となる酸素含有量が1.5
重量%以下、陽イオン不純物が0.3重量%以下である
窒化アルミニウム粉末が好適である。さらに、酸素含有
量が0.4〜1.3重量%、陽イオン不純物が0.2重
量%以下である窒化アルミニウム粉末がより好適であ
る。尚、本発明における窒化アルミニウムはアルミニウ
ムと窒素の1:1の化合物であり、これ以外のものをす
べて不純物として扱う。ただし、窒化アルミニウム粉末
の表面は空気中で不可避的に酸化され、Al−N結合が
Al−O結合に置き変わっているが、この結合Alは陽
イオン不純物とはみなさない。従って、Al−N、Al
−Oの結合をしていない金属アルミニウムは陽イオン不
純物である。As the aluminum nitride powder, which is one component of the aluminum nitride composition of the present invention, known ones can be used without any limitation. Generally, in order to obtain an aluminum nitride sintered body having excellent thermal conductivity, it is preferable that the oxygen content and the amount of cationic impurities be small. That is, when AlN has an aluminum nitride composition, the oxygen content as an impurity is 1.5%.
Aluminum nitride powder with less than 0.3% by weight and less than 0.3% by weight of cationic impurities is preferred. Further, an aluminum nitride powder having an oxygen content of 0.4 to 1.3% by weight and a cation impurity of 0.2% by weight or less is more preferable. The aluminum nitride in the present invention is a 1: 1 compound of aluminum and nitrogen, and all other compounds are treated as impurities. However, the surface of the aluminum nitride powder is inevitably oxidized in air, and the Al—N bond is replaced by an Al—O bond. However, this bonded Al is not regarded as a cationic impurity. Therefore, Al-N, Al
Metallic aluminum having no -O bond is a cationic impurity.
【0008】また、本発明で用いられる窒化アルミニウ
ム粉末の粒子は、粒子径の小さいものが揃っていること
が好ましい。例えば、平均粒子径(遠心式粒度分布測定
装置、例えば、堀場製作所製のCAPA500などで測
定した凝集粒子の平均粒径を言う。)が5μm以下、さ
らには3μm以下であることが好ましい。Further, it is preferable that the particles of the aluminum nitride powder used in the present invention have a small particle diameter. For example, the average particle diameter (meaning the average particle diameter of aggregated particles measured by a centrifugal particle size distribution analyzer, for example, CAPA500 manufactured by HORIBA, Ltd.) is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less.
【0009】次に、本発明の窒化アルミニウム組成物の
他の成分は、ブチラール化度が80重量%以上のポリビ
ニルブチラール樹脂である。ポリビニルブチラール樹脂
のブチラール化度が上記範囲外のときには、得られるグ
リーンシートの連続打ち抜き加工ができないため好まし
くない。ポリビニルブチラール樹脂のブチラール化度
は、現在のところ88重量%までのものが得られてい
る。なお、本発明においてブチラール化度は、JIS
K6728により酢酸ビニル成分とビニルアルコール成
分を求め、下記式により算出した値である。Next, another component of the aluminum nitride composition of the present invention is a polyvinyl butyral resin having a degree of butyralization of 80% by weight or more. If the degree of butyralization of the polyvinyl butyral resin is outside the above range, continuous punching of the obtained green sheet cannot be performed, which is not preferable. The butyralization degree of the polyvinyl butyral resin is up to 88% by weight at present. In the present invention, the degree of butyralization is determined according to JIS.
It is a value calculated from the following formula by determining a vinyl acetate component and a vinyl alcohol component by K6728.
【0010】ブチラール化度=100−{酢酸ビニル成
分(重量%)+ビニルアルコール成分(重量%)} ブチラール化度が80重量%以上であるポリビニルブチ
ラール樹脂の窒化アルミニウム粉末への配合量は、窒化
アルミニウム粉末100重量部に対して4〜30重量部
でなければならず、5〜15重量部の範囲であることが
好ましい。ブチラール化度80重量%以上であるポリビ
ニルブチラール樹脂の配合量が上記範囲より少ない場合
には、グリーンシート打ち抜き時にクラックが発生し、
上記範囲より多い場合には、窒化アルミニウム組成物か
ら得られる窒化アルミニウム焼結体の物性が低下するた
め好ましくない。ポリビニルブチラール樹脂の分子量は
特に限定されないが、一般には3,000〜1,00
0,000、好ましくは5,000〜300,000で
あることが、グリーンシートが柔軟かつ靱性に富み、加
工に際して取り扱いが容易となるために好適である。Degree of butyralization = 100- {vinyl acetate component (% by weight) + vinyl alcohol component (% by weight)} The blending amount of polyvinyl butyral resin having a degree of butyralization of 80% by weight or more with aluminum nitride powder is as follows: It must be 4 to 30 parts by weight, preferably 5 to 15 parts by weight, per 100 parts by weight of aluminum powder. If the blending amount of the polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 80% by weight or more is less than the above range, cracks occur at the time of green sheet punching,
If the amount is larger than the above range, the physical properties of the aluminum nitride sintered body obtained from the aluminum nitride composition deteriorate, which is not preferable. Although the molecular weight of the polyvinyl butyral resin is not particularly limited, it is generally 3,000 to 1,000.
It is suitable for the green sheet to be flexible and rich in toughness and to be easy to handle at the time of processing, preferably 5,000, preferably 5,000 to 300,000.
【0011】本発明の窒化アルミニウム組成物を用いて
グリーンシートを製造する場合、通常、界面活性剤、可
塑剤、および有機溶剤が用いられる。When a green sheet is produced using the aluminum nitride composition of the present invention, a surfactant, a plasticizer, and an organic solvent are usually used.
【0012】ここで、界面活性剤は、公知のものが何ら
制限なく採用できるが、特に、親水性親油性バランス
(以下、HLBと略す。)が4.5〜18のもの、さら
に好ましくは6.0〜10.0のものが窒化アルミニウ
ム粉末成形体の成形密度が上がるために好適に採用され
る。尚、本発明におけるHLBは、デービスの式により
算出された値である。As the surfactant, known surfactants can be used without any limitation, and in particular, those having a hydrophilic / lipophilic balance (hereinafter abbreviated as HLB) of 4.5 to 18, more preferably 6 A value of from 0.0 to 10.0 is preferably employed because the molding density of the aluminum nitride powder compact increases. Note that HLB in the present invention is a value calculated by the Davis formula.
【0013】本発明において好適に使用しうる界面活性
剤を具体的に例示すると、カルボキシル化トリオキシエ
チレントリデシルエーテル、ジグリセリンモノオレエー
ト、ジグリセリンモノステアレート、カルボキシル化ヘ
プタオキシエチレントリデシルエーテル、テトラグリセ
リンモノオレエート、ヘキサグリセリンモノオレエー
ト、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポ
リオキシエチレンソルビタンモノオレエート等が挙げら
れる。本発明における界面活性剤は、2種以上を混合し
て使用しても良く、そのときのHLBは、それぞれの界
面活性剤のHLBの相加平均で算出できる。Specific examples of surfactants that can be suitably used in the present invention include carboxylated trioxyethylene tridecyl ether, diglycerin monooleate, diglycerin monostearate, and carboxylated heptaoxyethylene tridecyl ether. , Tetraglycerin monooleate, hexaglycerin monooleate, polyoxyethylene sorbitan monolaurate, polyoxyethylene sorbitan monooleate, and the like. The surfactant in the present invention may be used as a mixture of two or more kinds, and the HLB at that time can be calculated by the arithmetic average of the HLB of each surfactant.
【0014】また、本発明の窒化アルミニウム組成物を
用いて特定の成形物に加工する際に該加工物に柔軟性を
付与する目的で可塑剤を使用することが好ましい。該可
塑剤は一般のセラミック粉末の成形に際して上記目的で
使用されることが公知のものを特に限定されず用いう
る。特に好適に使用される代表的なものを具体的に例示
すれば、ポリエチレングリコール及びその誘導体;ジメ
チルフタレート,ジブチルフタレート,ブチルベンジル
フタレート及びジオクチルフタレート等のフタール酸エ
ステル類;ブチルステアレート等のステアリン酸エステ
ル類;トリクレゾールフォスフェート;トリ−N−ブチ
ルフォスフェート;グリセリン等である。When the aluminum nitride composition of the present invention is processed into a specific molded product, a plasticizer is preferably used for the purpose of imparting flexibility to the processed product. As the plasticizer, those known to be used for the above-mentioned purpose when molding general ceramic powder can be used without particular limitation. Specific examples of the particularly preferable examples include polyethylene glycol and derivatives thereof; phthalic acid esters such as dimethyl phthalate, dibutyl phthalate, butyl benzyl phthalate and dioctyl phthalate; stearic acid such as butyl stearate; Esters; tricresole phosphate; tri-N-butyl phosphate; glycerin and the like.
【0015】さらに有機溶媒としては、例えば、アセト
ン、メチルエチルケトン及びメチルイソブチルケトン等
のケトン類;エタノール、プロパノール及びブタノール
等のアルコール類;ベンゼン、トルエンおよびキシレン
等の芳香族炭化水素類;あるいはトリクロロエチレン、
テトラクロロエチレン及びブロムクロロメタン等のハロ
ゲン化炭化水素類の1種または2種以上を混合して使用
できる。Examples of the organic solvent include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone; alcohols such as ethanol, propanol and butanol; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene;
One or more halogenated hydrocarbons such as tetrachloroethylene and bromochloromethane can be used in combination.
【0016】これら界面活性剤、可塑剤及び有機溶剤の
使用量は、良好な窒化アルミニウムグリーンシートを製
造するためには、通常、窒化アルミニウム粉末100重
量部に対して、界面活性剤を0.01〜10重量部、好
ましくは0.02〜3.0重量部、可塑剤を15重量部
以下、好ましくは0.4〜15重量部、有機溶媒を20
〜200重量部の範囲から選択される。In order to produce a good aluminum nitride green sheet, the surfactant, plasticizer and organic solvent are usually used in an amount of 0.01 to 0.01 parts by weight of the surfactant per 100 parts by weight of aluminum nitride powder. 10 to 10 parts by weight, preferably 0.02 to 3.0 parts by weight, the plasticizer 15 parts by weight or less, preferably 0.4 to 15 parts by weight, and the organic solvent 20 parts by weight.
It is selected from the range of ~ 200 parts by weight.
【0017】さらに、上記組成に加えて、窒化アルミニ
ウム粉末の焼結に使用することが公知の焼結助剤、例え
ば、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム等のアルカリ
土類金属酸化物;酸化イットリウム、酸化ランタン等の
希土類酸化物;アルミン酸カルシウム等の複合酸化物等
を窒化アルミニウム粉末との合計量中に占める割合で
0.1〜10重量%の範囲で用いても良い。Furthermore, in addition to the above composition, sintering aids known to be used for sintering aluminum nitride powder, for example, alkaline earth metal oxides such as calcium oxide and strontium oxide; yttrium oxide, lanthanum oxide Or a composite oxide such as calcium aluminate may be used in a proportion of 0.1 to 10% by weight in the total amount with the aluminum nitride powder.
【0018】前記した各成分は混合され、一般に泥奬と
呼ばれる粘稠なペンキ状のスラリーとされる。そして、
ドクターブレード等のシート成形機を用いてシートに成
形される。次いで、該シート状の成形物は室温〜溶媒の
沸点の温度で溶媒を揮散させて乾燥され、窒化アルミニ
ウムグリーンシートとなる。The above-described components are mixed to form a viscous paint-like slurry generally called a slurry. And
The sheet is formed into a sheet using a sheet forming machine such as a doctor blade. Next, the sheet-like molded product is dried by evaporating the solvent at a temperature from room temperature to the boiling point of the solvent to obtain an aluminum nitride green sheet.
【0019】こうして得られた窒化アルミニウムグリー
ンシートは、公知の方法によって焼成され、窒化アルミ
ニウム焼結体となる。The thus obtained aluminum nitride green sheet is fired by a known method to obtain an aluminum nitride sintered body.
【0020】[0020]
【発明の効果】本発明の窒化アルミニウム組成物は、グ
リーンシート成形による窒化アルミニウム粉末成形体の
製造原料として好適である。即ち、本発明の窒化アルミ
ニウム組成物を用いてシート成形により窒化アルミニウ
ムグリーンシートを製造し、ブレークラインの入った打
ち抜き加工を行った場合、打ち抜き機の上刃への窒化ア
ルミニウムグリーンシートの付着を防止することができ
るため、長期に連続して窒化アルミニウムのグリーンシ
ート打ち抜き体を製造することができる。The aluminum nitride composition of the present invention is suitable as a raw material for producing an aluminum nitride powder compact by green sheet molding. That is, when an aluminum nitride green sheet is manufactured by sheet forming using the aluminum nitride composition of the present invention and punching with a break line is performed, adhesion of the aluminum nitride green sheet to the upper blade of the punching machine is prevented. Therefore, a green sheet blank of aluminum nitride can be manufactured continuously for a long period of time.
【0021】[0021]
【実施例】本発明をさらに具体的に説明するために、以
下に実施例及び比較例を掲げるが、本発明はこれらの実
施例に限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to the following Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
【0022】尚、以下の実施例及び比較例における各種
の物性の測定は次の方法により行った。In the following examples and comparative examples, various physical properties were measured by the following methods.
【0023】1)比表面積:N2吸着によるBET法で
求めた。1) Specific surface area: determined by the BET method using N 2 adsorption.
【0024】(島津製作所製「フローソーブ2300」
を使用) 2)平均凝集粒径:遠心沈降法にて求めた。(堀場製作
所製「CAPA 500」を使用) 3)不純物量 陽イオン不純物:粉末をアルカリ溶融後、酸で中和し、
溶液のICP発光分光分析により定量した。(島津製作
所製「ICPS−1000」を使用) 不純物カーボン量:粉末を酸素気流中で燃焼させ、発生
したCO、CO2ガス量から定量した。(堀場製作所製
「EMIA−110」を使用) 不純物酸素量:グラファイトるつぼ中での粉末の高温の
熱分解法により発生したCOガス量から求めた。(堀場
製作所製「EMGA−2800」を使用) 4)シート成形体密度(dg):次式により求めた。("Flowsorb 2300" manufactured by Shimadzu Corporation)
2) Average aggregate particle size: determined by centrifugal sedimentation. (Use HORIBA “CAPA 500”) 3) Impurity amount Cation impurity: After powder is alkali-melted, neutralized with acid,
The solution was quantified by ICP emission spectroscopy. (Using “ICPS-1000” manufactured by Shimadzu Corporation) Impurity carbon amount: The powder was burned in an oxygen stream and quantified from the amount of generated CO and CO 2 gases. (Using "EMIA-110" manufactured by Horiba, Ltd.) Impurity oxygen content: It was determined from the amount of CO gas generated by a high-temperature pyrolysis method of powder in a graphite crucible. (Using "EMGA-2800" manufactured by Horiba, Ltd.) 4) Density of sheet compact (dg): Determined by the following formula.
【0025】[0025]
【数1】 (Equation 1)
【0026】5)AlN焼結体密度(dg):アルキメ
デス法により求めた。(東洋精機製「高精度比重計D−
H」を使用) 実施例1 内容量10Lのナイロン製ポットに鉄心入りナイロンボ
ールを入れ、次いで、表1に示す窒化アルミニウム粉末
100重量部、及び表2に示す各種ブチラール化度のポ
リビニルブチラール樹脂10重量部、酸化イットリウム
4.0重量部、界面活性剤としてヘキサグリセリンモノ
オレート2.0重量部、可塑剤としてジブチルフタレー
ト6.0重量部、トルエン100重量部を投入して十分
にボールミルで混合し、白色の泥奬を得た。5) Density of AlN sintered body (dg): Determined by Archimedes' method. (Toyo Seiki “High-precision hydrometer D-
Example 1 A nylon ball containing an iron core was placed in a nylon pot having a content of 10 L, and then 100 parts by weight of aluminum nitride powder shown in Table 1 and polyvinyl butyral resin 10 having various butyralization degrees shown in Table 2 were used. Parts by weight, 4.0 parts by weight of yttrium oxide, 2.0 parts by weight of hexaglycerin monooleate as a surfactant, 6.0 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer, and 100 parts by weight of toluene. , Got a white plasma.
【0027】こうして得られた泥奬を脱溶媒し、粘度を
20000cpsに調整した後、ドクターブレード法に
よりシート成形を行い、室温で2時間、60℃で5時間
乾燥して幅10cm、厚さ0.8mmのシート成形体
(グリーンシート)を作製し、その見掛密度を測定し
た。After the solvent obtained was desolvated and the viscosity was adjusted to 20,000 cps, the sheet was formed by a doctor blade method and dried at room temperature for 2 hours and at 60 ° C. for 5 hours to obtain a sheet having a width of 10 cm and a thickness of 0 cm. A sheet molded body (green sheet) having a thickness of 0.8 mm was prepared, and its apparent density was measured.
【0028】このグリーンシートを5mm角のブレーク
ラインの入った68mm角の金型で連続的に打ち抜き、
打ち抜きシートを得た。窒化アルミニウムグリーンシー
トが打ち抜き機の上刃に付着するまでの打ち抜き回数は
いずれも400枚以上であった。This green sheet was continuously punched with a 68 mm square mold having a 5 mm square break line,
A punched sheet was obtained. The number of times of punching until the aluminum nitride green sheet adhered to the upper blade of the punching machine was 400 or more.
【0029】このシートを空気中で600℃、5時間焼
成し、次いで、窒化ホウ素るつぼに入れ、窒素雰囲気中
1800℃で10時間焼成し、窒化アルミニウム焼結体
を得た。This sheet was fired in air at 600 ° C. for 5 hours, then put in a boron nitride crucible, and fired in a nitrogen atmosphere at 1800 ° C. for 10 hours to obtain an aluminum nitride sintered body.
【0030】窒化アルミニウム焼結体の密度の測定結果
を表2に示した。Table 2 shows the measurement results of the density of the aluminum nitride sintered body.
【0031】[0031]
【表1】 [Table 1]
【0032】比較例1 実施例1において、ブチラール化度が75重量%のポリ
ビニルブチラール樹脂を使用したこと以外は実施例1と
同様にして窒化アルミニウムグリーンシートを作製し、
さらに、打ち抜きを行い、打ち抜きシートを得た。連続
2枚以上の打ち抜きは不可能であった。実施例1と同様
に焼成し、得られた焼結体の密度を測定した。結果を表
2に示した。Comparative Example 1 An aluminum nitride green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that a polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 75% by weight was used.
Further, punching was performed to obtain a punched sheet. It was impossible to punch two or more sheets continuously. It was fired in the same manner as in Example 1, and the density of the obtained sintered body was measured. The results are shown in Table 2.
【0033】[0033]
【表2】 [Table 2]
【0034】実施例2 ブチラール化度88重量%のポリビニルブチラール樹脂
を表3に示した量だけ添加したこと以外は実施例1と同
様にして窒化アルミニウムグリーンシートを作製し、さ
らに、実施例1と同様にして打ち抜きシートを得た。結
果を表3に示した。Example 2 An aluminum nitride green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the polyvinyl butyral resin having a butyralization degree of 88% by weight was added in the amount shown in Table 3. Similarly, a punched sheet was obtained. The results are shown in Table 3.
【0035】[0035]
【表3】 [Table 3]
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C04B 35/581 C04B 35/632 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) C04B 35/581 C04B 35/632
Claims (1)
びブチラール化度が80重量%以上であるポリビニルブ
チラール樹脂4〜30重量部を含んでなる窒化アルミニ
ウム組成物。An aluminum nitride composition comprising 100 parts by weight of aluminum nitride powder and 4 to 30 parts by weight of a polyvinyl butyral resin having a degree of butyralization of 80% by weight or more.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4254833A JP2886003B2 (en) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Aluminum nitride composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4254833A JP2886003B2 (en) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Aluminum nitride composition |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06107465A JPH06107465A (en) | 1994-04-19 |
JP2886003B2 true JP2886003B2 (en) | 1999-04-26 |
Family
ID=17270490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4254833A Expired - Lifetime JP2886003B2 (en) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Aluminum nitride composition |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2886003B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001288324A (en) * | 2000-04-10 | 2001-10-16 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Bonding material and molding composition |
JP6991917B2 (en) * | 2018-03-30 | 2022-01-13 | 株式会社トクヤマ | Aluminum nitride green sheet |
-
1992
- 1992-09-24 JP JP4254833A patent/JP2886003B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06107465A (en) | 1994-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5060093B2 (en) | Semiconductor device substrate | |
KR100917038B1 (en) | Ceramic compositions for sintered silicon carbide body, sintered body and its preparing method | |
JP2829229B2 (en) | Silicon nitride ceramic sintered body | |
TWI746750B (en) | Aligned AlN sintered body and its manufacturing method | |
JP2886003B2 (en) | Aluminum nitride composition | |
JP5224668B2 (en) | Method for firing aluminum nitride | |
JP2777679B2 (en) | Spinel ceramics and manufacturing method thereof | |
JP2018070436A (en) | Production method of silicon nitride sintered body | |
JPH06237054A (en) | Green sheet for ceramic substrate | |
JP3707866B2 (en) | Method for producing aluminum nitride green body | |
JP3218275B2 (en) | Aluminum nitride green sheet | |
JP4564257B2 (en) | High thermal conductivity aluminum nitride sintered body | |
JPH01153575A (en) | Sialon-based sintered ceramic | |
JP5398430B2 (en) | Aluminum nitride sintered body and method for producing the same | |
JPH0987040A (en) | Ceramic green body | |
JPH0469111B2 (en) | ||
JP2008297135A (en) | Boron carbide based sintered compact, its manufacturing method and protective member | |
JP2008069036A (en) | Electroconductive silicon nitride sintered body and its manufacturing process | |
JPH0733286B2 (en) | Method for manufacturing silicon carbide sintered body | |
JPH11236266A (en) | Production of silicon carbide-base sheet | |
JPH0512299B2 (en) | ||
JPH10297971A (en) | Production of sheet-like silicon carbide sintered compact | |
WO2023120330A1 (en) | Green sheet, method for manufacturing silicon nitride sintered body, and silicon nitride sintered body | |
JPH0987032A (en) | Aluminum nitride green sheet and its production | |
JPH0558732A (en) | Silicon carbide sintered body having excellent oxidation resistance |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080212 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100212 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120212 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 14 |