JPH0987040A - Ceramic green body - Google Patents
Ceramic green bodyInfo
- Publication number
- JPH0987040A JPH0987040A JP7253720A JP25372095A JPH0987040A JP H0987040 A JPH0987040 A JP H0987040A JP 7253720 A JP7253720 A JP 7253720A JP 25372095 A JP25372095 A JP 25372095A JP H0987040 A JPH0987040 A JP H0987040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- ceramic
- green body
- ceramic green
- binder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、新規なセラミック
グリーン体に関する。詳しくは、アクリル樹脂の有する
良好な脱脂性を維持したまま、優れた強度を有するセラ
ミックグリーン体である。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a novel ceramic green body. Specifically, it is a ceramic green body having excellent strength while maintaining the good degreasing property of the acrylic resin.
【0002】[0002]
【従来の技術】セラミック焼結体を製造する方法とし
て、従来より、セラミック粉末を顆粒に造粒した後、乾
式プレスにより成形してプレス成形体を得、焼成する方
法やセラミック粉末を湿式成形してグリーンシートを
得、その後、所定の形状に打ち抜き加工した後、これを
焼成する方法等が一般に広く採用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for producing a ceramic sintered body, a method of granulating ceramic powder into granules, followed by molding with a dry press to obtain a press-molded body and firing, or wet-molding of the ceramic powder. A green sheet is generally used to obtain a green sheet, and then, a green sheet is punched into a predetermined shape and then fired.
【0003】セラミックグリーン体の製造方法として、
前者のプレス成形体の製造では、セラミック粉末にバイ
ンダー、有機溶媒等を加えて混合し、スプレードライヤ
ー法等の公知の方法によりセラミック粉末を顆粒に造粒
した後、該セラミック顆粒を金型等の成形型の中に充填
し、プレス成形機で加圧成形してセラミックプレス成形
体を得る方法が知られている。As a method of manufacturing a ceramic green body,
In the production of the former press-molded body, a binder, an organic solvent, etc. are added to and mixed with the ceramic powder, and the ceramic powder is granulated by a known method such as a spray dryer method, and then the ceramic granules are molded into a mold or the like. A method is known in which a ceramic press-molded body is obtained by filling the material in a molding die and press-molding it with a press molding machine.
【0004】一方、後者におけるグリーンシートの製造
では、セラミック粉末にバインダー、有機溶媒等を加え
て混合し、ドクターブレード法等により成形を行った
後、得られたグリーンシートを所定の打ち抜き金型によ
り、特定の寸法形状に加工する方法が一般に採用されて
いる。On the other hand, in the latter case of manufacturing a green sheet, a binder, an organic solvent and the like are added to ceramic powder and mixed, and after molding by a doctor blade method or the like, the obtained green sheet is punched by a predetermined die. The method of processing into a specific size and shape is generally adopted.
【0005】上記セラミック粉末としては、電子材料及
び構造材料等の用途に応じて、窒化アルミニウム、アル
ミナ、炭化珪素、窒化珪素、ジルコニア等の各種のセラ
ミック粉末が使用されている。As the ceramic powder, various ceramic powders such as aluminum nitride, alumina, silicon carbide, silicon nitride and zirconia are used depending on the use such as electronic materials and structural materials.
【0006】上記のようにして得られるセラミックグリ
ーン体は焼結体の製造過程において、成分として含まれ
るバインダー成分を熱分解して除去する処理、いわゆる
脱脂処理が行われる。The ceramic green body obtained as described above is subjected to a so-called degreasing treatment for thermally decomposing and removing the binder component contained as a component in the manufacturing process of the sintered body.
【0007】この脱脂処理において、最近では、セラミ
ック本来の材料特性を最大限に引き出すことを目的とし
て、熱分解性に優れ、焼成後の残留カーボンの少ないア
クリル樹脂の使用が検討されている。In this degreasing treatment, recently, the use of an acrylic resin which is excellent in thermal decomposability and has little residual carbon after firing has been studied for the purpose of maximizing the original material properties of ceramics.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
アクリル樹脂をバインダーとして製造されたセラミック
グリーン体は、得られるセラミックグリーン体の強度が
弱いという欠点があり、かかる欠点をカバーするため
に、アクリル樹脂を多量に配合する必要があった。However, the ceramic green body produced by using such an acrylic resin as a binder has a drawback that the strength of the obtained ceramic green body is weak, and in order to cover such a drawback, an acrylic resin is used. It was necessary to mix a large amount.
【0009】そのために、脱脂処理において、得られる
脱脂体の急激な体積収縮に伴うワレやクラックが発生し
易く、また、脱脂にも長時間を要するという問題があっ
た。Therefore, in the degreasing treatment, cracks and cracks are likely to occur due to abrupt volume contraction of the obtained degreased body, and degreasing takes a long time.
【0010】特に、0.8mm以上の厚みを有する肉厚
のセラミックグリーン体では、セラミックグリーン体の
成形時にグリーンシートにクラックが発生し易く、従来
のポリビニルブチラールに比べて最大で約2倍量ものア
クリル樹脂を必要としていた。その結果、上記の問題に
加え、セラミックグリーン体成形時における乾燥性が悪
く、グリーンシートの生産性が劣るという問題をも有し
ていた。Particularly, in the case of a thick ceramic green body having a thickness of 0.8 mm or more, cracks are easily generated in the green sheet during the molding of the ceramic green body, and the maximum amount is about twice that of conventional polyvinyl butyral. Needed acrylic resin. As a result, in addition to the above-mentioned problems, there is a problem that the drying property during molding of the ceramic green body is poor and the productivity of the green sheet is poor.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
を解決すべく鋭意研究を重ねてきた。その結果、セラミ
ックグリーン体のバインダー成分である上記アクリル樹
脂に対して特定量のポリビニルブチラールを配合するこ
とによって、該アクリル樹脂の脱脂性を殆ど阻害するこ
となく、しかも、得られるセラミックグリーン体の強度
が著しく改善され、かかる目的を達成と得ることを見い
出し、本発明を提案するに至った。[Means for Solving the Problems] The present inventors have conducted extensive studies to solve the above problems. As a result, by adding a specific amount of polyvinyl butyral to the acrylic resin, which is the binder component of the ceramic green body, the degreasing property of the acrylic resin is hardly impeded, and the strength of the obtained ceramic green body is improved. The present invention has been significantly improved, and it has been found that such an object is achieved and obtained, and the present invention has been proposed.
【0012】即ち、セラミック粉末100重量部および
アクリル樹脂とポリビニルブチラールとからなるバイン
ダー0.1〜30重量部よりなり、該ポリビニルブチラ
ールのバインダー中に占める割合が0.1〜10重量%
であることを特徴とするセラミックグリーン体である。That is, it comprises 100 parts by weight of ceramic powder and 0.1 to 30 parts by weight of a binder composed of an acrylic resin and polyvinyl butyral, and the proportion of the polyvinyl butyral in the binder is 0.1 to 10% by weight.
It is a ceramic green body characterized by
【0013】本発明において、セラミックグリーン体の
形状は公知の形状が特に制限なく採用される。例えば、
シート状、板状、角柱状、円柱状、球状、箱状等が挙げ
られる。これらのセラミックグリーン体のうち、本発明
が好適に適用されるセラミックグリーン体は、0.8m
m以上の厚みを有する肉厚成形体である。In the present invention, as the shape of the ceramic green body, a known shape is adopted without particular limitation. For example,
Examples include a sheet shape, a plate shape, a prismatic shape, a cylindrical shape, a spherical shape, and a box shape. Among these ceramic green bodies, the ceramic green body to which the present invention is preferably applied is 0.8 m.
It is a thick molded body having a thickness of m or more.
【0014】本発明で使用されるセラミック粉末として
は、公知のものが何ら制限なく使用される。例えば、窒
化アルミニウム、アルミナ、炭化珪素、窒化珪素、ジル
コニア等が挙げられる。中でも、グリーン体焼成後の残
留カーボンが焼結体の材料特性、特に熱伝導率等に大き
く影響を与える窒化アルミニウムに対して好適に使用さ
れる。As the ceramic powder used in the present invention, known ones can be used without any limitation. Examples thereof include aluminum nitride, alumina, silicon carbide, silicon nitride and zirconia. Above all, the residual carbon after firing the green body is preferably used for aluminum nitride, which has a great influence on the material properties of the sintered body, particularly the thermal conductivity.
【0015】一般に、熱伝導性に優れた窒化アルミニウ
ム焼結体を得るためには、使用する窒化アルミニウム粉
末の酸素含有量や陽イオン不純物の少ないことが好まし
い。即ち、AlNを窒化アルミニウム組成とするとき、
不純物となる酸素含有量が1.5重量%以下、陽イオン
不純物が0.3重量%以下、好ましくは酸素含有量が
0.4〜1.3重量%、陽イオン不純物が0.2重量%
以下である窒化アルミニウム粉末が好適である。上記陽
イオン不純物としては、窒化アルミニウムの表面が空気
中で不可避的に酸化され、Al−N結合がAl−O結合
に置き換っている場合の結合Alは含まれない。Generally, in order to obtain an aluminum nitride sintered body having excellent thermal conductivity, it is preferable that the aluminum nitride powder used has a small oxygen content and a small amount of cation impurities. That is, when AlN has an aluminum nitride composition,
Oxygen content as impurities is 1.5 wt% or less, cationic impurities is 0.3 wt% or less, preferably oxygen content is 0.4 to 1.3 wt%, cationic impurities are 0.2 wt%
The following aluminum nitride powders are suitable. The above-mentioned cation impurities do not include bonded Al when the surface of aluminum nitride is inevitably oxidized in the air and Al—N bonds are replaced by Al—O bonds.
【0016】また、窒化アルミニウム粉末等のセラミッ
ク粉末の粒子は、粒子径の小さいものが揃っているもの
が好ましい。例えば、平均粒子径(遠心式粒度分布測定
装置で測定した凝集粒子の平均粒径を言う。)が5μm
以下、さらには3μm以下であることが好ましい。Further, it is preferable that the particles of the ceramic powder such as the aluminum nitride powder have a small particle diameter. For example, the average particle diameter (means the average particle diameter of the agglomerated particles measured by a centrifugal particle size distribution measuring device) is 5 μm.
Hereafter, it is preferably 3 μm or less.
【0017】本発明の最大の特徴は、セラミックグリー
ン体を構成するバインダーとして、アクリル樹脂とポリ
ビニルブチラールとからなるバインダーを使用し、該ポ
リビニルブチラールのバインダー中に占める割合を0.
1〜10重量%、好ましくは0.5〜7重量%としたこ
とにある。The most significant feature of the present invention is that a binder composed of an acrylic resin and polyvinyl butyral is used as the binder constituting the ceramic green body, and the proportion of the polyvinyl butyral in the binder is 0.
1 to 10% by weight, preferably 0.5 to 7% by weight.
【0018】上記ポリビニルブチラールの混合割合が、
0.1重量%より少ない場合、アクリル樹脂の強度の改
善効果が十分でなく、本発明の目的を達成することがで
きない。また、該ポリビニルブチラールの混合割合が1
0重量%を超えた場合、ポリビニルブチラールとアクリ
ル樹脂との相溶性が悪いために、後記の湿式成形法によ
りセラミックグリーン体を得る場合、セラミック粉末の
泥しょうの粘度及びチクソトロピー性が増大し、得られ
るグリーンシートの密度の低下、シート成形時にグリー
ンシートにスジ状の溝が発生するなどの不具合が発生
し、これを脱脂、焼成して得られるセラミック焼結体の
物性等が低下する。The mixing ratio of the above polyvinyl butyral is
If the amount is less than 0.1% by weight, the effect of improving the strength of the acrylic resin is insufficient and the object of the present invention cannot be achieved. Further, the mixing ratio of the polyvinyl butyral is 1
If it exceeds 0% by weight, the compatibility between polyvinyl butyral and acrylic resin is poor, so when a ceramic green body is obtained by the wet molding method described below, the viscosity and thixotropy of the slurry of the ceramic powder increase, Problems such as a decrease in density of the obtained green sheet and generation of streak-like grooves on the green sheet during sheet formation occur, and physical properties and the like of a ceramic sintered body obtained by degreasing and firing the green sheet deteriorate.
【0019】また、後記のプレス成形によりセラミック
グリーン体を製造する場合、顆粒の嵩密度が低下するた
めに、高密度のプレス成形体が得ることが困難となり、
これを脱脂、焼成して得られるセラミック焼結体の物性
等が低下する。Further, when a ceramic green body is manufactured by the press molding described later, it is difficult to obtain a high-density press molded body because the bulk density of the granules is lowered.
Physical properties and the like of the ceramic sintered body obtained by degreasing and firing this are deteriorated.
【0020】更に、セラミックグリーン体の脱脂性も低
下することにより、最終的に得られるセラミッ焼結体の
物性が低下するという問題をも有する。Further, since the degreasing property of the ceramic green body is also deteriorated, there is a problem that the physical properties of the finally obtained ceramic paste are deteriorated.
【0021】本発明において好適に使用されるアクリル
樹脂を具体的に例示すると、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリ2−エチルヘキシルメタクリレート、ポリエチ
ルメタクリレート、ポリブチルメタクリレート、ポリオ
クチルメタクリレート等のポリメタクリル酸エステルお
よびポリメタクリル酸、ポリメチルアクリレート、ポリ
2−エチルヘキシルアクリレート、ポリエチルアクリレ
ート、ポリブチルアクリレート、ポリオクチルアクリレ
ート等のポリアクリル酸エステルおよびポリアクリル酸
の他、ヒドロキシル基やアミノ基を有するポリ2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート、ポリジメチルアミノエチ
ルメタクリレート等のメタクリル酸エステル誘導体ポリ
マー等が挙げられ、一種または二種以上を混合して使用
される。Specific examples of the acrylic resin preferably used in the present invention include polymethacrylic acid esters such as polymethylmethacrylate, poly-2-ethylhexylmethacrylate, polyethylmethacrylate, polybutylmethacrylate and polyoctylmethacrylate, and polymethacrylic acid. In addition to polyacrylic acid esters and polyacrylic acid such as acid, polymethyl acrylate, poly 2-ethylhexyl acrylate, polyethyl acrylate, polybutyl acrylate, polyoctyl acrylate, etc., poly 2-hydroxyethyl methacrylate having a hydroxyl group or an amino group, Examples thereof include methacrylic acid ester derivative polymers such as polydimethylaminoethyl methacrylate, and one kind or a mixture of two or more kinds is used.
【0022】上記アクリル樹脂のガラス転移温度(T
g)は、特に限定されないが、−10〜50℃、好まし
くは、5〜30℃のものを用いると、脱脂性、セラミッ
クグリーン体がシートである場合の打ち抜き加工性など
の点から好適である。The glass transition temperature (T
Although g) is not particularly limited, it is preferable to use a material of −10 to 50 ° C., preferably 5 to 30 ° C., from the viewpoint of degreasing property and punching workability when the ceramic green body is a sheet. .
【0023】また、前記アクリル樹脂の分子量は、特に
制限されないが、一般には3,000〜1,000,0
00、好ましくは、5,000〜500,000のもの
を用いることにより、セラミックグリーン体がシートの
場合、柔軟性のある成形体を得ることができ、好適であ
る。The molecular weight of the acrylic resin is not particularly limited, but is generally 3,000 to 1,000,0.
00, preferably 5,000 to 500,000, which is suitable because a flexible molded body can be obtained when the ceramic green body is a sheet.
【0024】更に、アクリル樹脂の酸価は、特に制限さ
れないが、セラミックグリーン体の成形及び加工工程に
おいて発生する残材を再利用して、セラミックグリーン
体の製造を行う場合、0.01KOH mg/g以上、
1.0KOH mg/g未満であることが好ましい。こ
こで、酸価とは、アクリル樹脂の遊離脂肪酸の量の定量
値である。The acid value of the acrylic resin is not particularly limited, but when the ceramic green body is manufactured by reusing the residual material generated in the molding and processing steps of the ceramic green body, 0.01 KOH mg / mg / g or more,
It is preferably less than 1.0 KOH mg / g. Here, the acid value is a quantitative value of the amount of free fatty acid of the acrylic resin.
【0025】また、バインダーのもう一つの成分である
ポリビニルブチラールは、特に限定されることなく、公
知のものが使用される。ブチラールの分子量としては、
一般には3,000〜1,000,000、好ましく
は、5,000〜300,000のものを用いると、セ
ラミックグリーン体の高強度を達成するため、また、セ
ラミックグリーン体がシートである場合、柔軟性のある
成形体を得るために好適である。The polyvinyl butyral, which is another component of the binder, is not particularly limited, and known ones can be used. As the molecular weight of butyral,
In general, when 3,000 to 1,000,000, preferably 5,000 to 300,000 is used, high strength of the ceramic green body is achieved, and when the ceramic green body is a sheet, It is suitable for obtaining a flexible molded product.
【0026】また、上記ポリブチラールのブチラール化
度は、60重量%以上、さらには、70重量%以上のも
のを使用することが、アクリル樹脂との相溶性の点から
好ましい。尚、ブチラール化度は、JIS K6728
により酢酸ビニル成分とビニルアルコール成分を求め、
下記式により算出した値である。From the viewpoint of compatibility with the acrylic resin, it is preferable to use a polybutyral having a butyralization degree of 60% by weight or more, and further 70% by weight or more. The degree of butyral is JIS K6728.
Determine the vinyl acetate component and vinyl alcohol component by
It is a value calculated by the following formula.
【0027】[0027]
【数1】 [Equation 1]
【0028】本発明において、セラミック粉末に対する
アクリル樹脂とポリビニルブチラールとからなるバイン
ダーの混合割合は、セラミック粉末100重量部に対し
て0.1〜30重量部であり、そのうち、2〜15重量
部の範囲であることが更に好ましい。上記バインダーの
量が0.1重量部より少ない場合は、セラミックグリー
ン体の強度が低く、また、30重量部を超える場合は、
セラミックグリーン体の脱脂性等が低下し、これを焼成
して得られるセラミッ焼結体の物性が低下する。In the present invention, the mixing ratio of the binder composed of acrylic resin and polyvinyl butyral to the ceramic powder is 0.1 to 30 parts by weight, of which 2 to 15 parts by weight are mixed with 100 parts by weight of the ceramic powder. The range is more preferable. When the amount of the binder is less than 0.1 parts by weight, the strength of the ceramic green body is low, and when it exceeds 30 parts by weight,
The degreasing property of the ceramic green body is deteriorated, and the physical properties of the ceramic sintered body obtained by firing the ceramic green body are deteriorated.
【0029】また、本発明のセラミックグリーン体に、
より柔軟性を付与する目的で、必要に応じて可塑剤が使
用される。使用される可塑剤としては、公知のものを特
に限定することなく使用することができる。特に可塑剤
として好適に使用されるものを具体的に例示すれば、ポ
リエチレングリコール及びその誘導体;ジメチルフタレ
ート、ジブチルフタレート、ベンジルブチルフタレート
及びジオクチルフタレート等のフタル酸エステル類;ブ
チルステアレート等のステアリン酸エステル類;トリク
レゾールフォスフェート;トリ−N−ブチルフォスフェ
ート;グリセリン等である。これらの可塑剤の添加量は
セラミック粉末の性状、バインダーの種類、製造時に使
用する有機溶媒の種類及び使用量等によって異なり一概
に限定できないが、一般には、セラミック粉末100重
量部に対して15重量部以下、好ましくは0.4〜15
重量部の範囲から適宜選択して使用すればよい。Further, the ceramic green body of the present invention,
A plasticizer is optionally used for the purpose of imparting more flexibility. As the plasticizer used, known plasticizers can be used without particular limitation. Specific examples of those preferably used as plasticizers are polyethylene glycol and its derivatives; phthalic acid esters such as dimethyl phthalate, dibutyl phthalate, benzyl butyl phthalate and dioctyl phthalate; stearic acid such as butyl stearate. Esters; tricresole phosphate; tri-N-butyl phosphate; glycerin and the like. The amount of these plasticizers added varies depending on the properties of the ceramic powder, the type of binder, the type of organic solvent used during production, the amount used, etc., and cannot be unconditionally limited, but generally 15 parts by weight per 100 parts by weight of ceramic powder Parts or less, preferably 0.4 to 15
It may be appropriately selected and used from the range of parts by weight.
【0030】更に、本発明のセラミックグリーン体に
は、上記組成に加えて、各種セラミック粉末に応じて、
公知の焼結助剤が配合される。窒化アルミニウムの場
合、焼結に使用することが公知の焼結助剤、例えば、酸
化カルシウム、酸化ストロンチウム等のアルカリ土類金
属酸化物;酸化イットリウム、酸化ランタン等の希土類
酸化物;アルミン酸カルシウム等の複合酸化物等を窒化
アルミニウム粉末との合計量中に占める割合で0.1〜
10重量%の範囲で用いても良い。Further, in addition to the above composition, the ceramic green body of the present invention has various ceramic powders,
A known sintering aid is blended. In the case of aluminum nitride, a sintering aid known to be used for sintering, for example, alkaline earth metal oxides such as calcium oxide and strontium oxide; rare earth oxides such as yttrium oxide and lanthanum oxide; calcium aluminate and the like. The ratio of the composite oxides, etc. in the total amount with the aluminum nitride powder is 0.1 to 0.1%.
You may use it in the range of 10 weight%.
【0031】本発明のセラミックグリーン体の製造方法
は、特に制限されず、公知の成形方法が特に制限なく採
用される。例えば、セラミック粉末とバインダーとを有
機溶媒と共に混合して泥しょうを調製し、該泥しょう
を、公知の方法、即ち、ドクターブレード法等により湿
式成形してグリーンシート等のグリーン体を得、その
後、必要に応じて打ち抜き加工等の加工を施す方法、該
泥しょうを、スプレードライヤー法等により顆粒に造粒
した後、該顆粒を乾式プレス法により成形する方法など
が挙げられる。The method for producing the ceramic green body of the present invention is not particularly limited, and known molding methods can be adopted without particular limitation. For example, ceramic powder and a binder are mixed with an organic solvent to prepare mud, and the mud is wet-molded by a known method, that is, a doctor blade method or the like to obtain a green body such as a green sheet. Examples of the method include a method of performing a process such as punching if necessary, a method of granulating the mud by a spray dryer method or the like, and then molding the granules by a dry pressing method.
【0032】上記セラミック粉末とバインダーとの混合
方法は、各種成形方法に応じて任意に選択されるが、バ
インダー中へのセラミック粉末の分散を高めるため、通
常、混合は二回に分けて行われる。即ち、一回目は、窒
化アルミニウム粉末と有機溶媒とを、必要に応じて、焼
結助剤及び表面活性剤を加えて混合し、二回目は、一回
めの混合物にバインダーと残りの溶媒を加えて混合され
る。該二回目の混合において、必要に応じて可塑剤を加
えても良い。The mixing method of the ceramic powder and the binder is arbitrarily selected according to various molding methods, but in order to enhance the dispersion of the ceramic powder in the binder, the mixing is usually performed in two steps. . That is, the first time, aluminum nitride powder and an organic solvent, if necessary, a sintering aid and a surfactant are added and mixed, and the second time, the binder and the remaining solvent in the first mixture. In addition mixed. In the second mixing, a plasticizer may be added if necessary.
【0033】上記方法は、特に、バインダーの添加量が
比較的多い、湿式成形によるグリーンシートの製造にお
いて好適に採用される。The above method is particularly preferably used in the production of green sheets by wet molding, in which the amount of binder added is relatively large.
【0034】また、アクリル樹脂とポリビニルブチラー
ルとの混合は前記した割合で泥しょう調製時に各々を投
入し、混合すれば良い。好適な方法を例示すれば、予め
アクリル樹脂とポリビニルブチラールを溶媒で溶解、混
合して使用する方法、前記した割合で各々を共重合させ
て使用する方法等が挙げられる。The acrylic resin and polyvinyl butyral may be mixed in the above-mentioned proportions at the time of preparing the mud by mixing them. Illustrative examples of suitable methods include a method in which an acrylic resin and polyvinyl butyral are dissolved and mixed in a solvent in advance, a method in which each of them is copolymerized in the above-described proportions, and the like are used.
【0035】本発明のセラミックグリーン体を製造する
場合に必要に応じて使用される表面活性剤は、使用する
セラミック粉末に応じて、公知のものが何ら制限されな
い。例えば、窒化アルミニウム粉末の場合は、ノニオン
系の表面活性剤が好適に使用され、特に、親水性親油性
バランス(以下HLBと略す。)が4.5〜18のもの
が、窒化アルミニウムグリーンシートのシート密度が上
がるため好ましく使用される。尚、本発明におけるHL
Bはデービスの式により算出された値である。上記表面
活性剤を具体的に例示すれば、カルボキシル化トリオキ
シエチレントリデシルエーテル、ジグリセリンモノオレ
ート、ジグリセリンモノステアレート、カルボキシル化
ヘプタオキシエチレントリデシルエーテル、テトラグリ
セリンものオレート、ヘキサグリセリンモノオレート、
ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオ
キシエチレンソルビタンモノオレート等が挙げられる。As the surface-active agent used as required when producing the ceramic green body of the present invention, known ones are not limited at all depending on the ceramic powder used. For example, in the case of aluminum nitride powder, a nonionic surface active agent is preferably used, and in particular, a hydrophilic / lipophilic balance (hereinafter abbreviated as HLB) of 4.5 to 18 is the aluminum nitride green sheet. It is preferably used because it increases the sheet density. The HL in the present invention
B is a value calculated by the Davis equation. Specific examples of the surfactant include carboxylated trioxyethylene tridecyl ether, diglycerin monooleate, diglycerin monostearate, carboxylated heptaoxyethylene tridecyl ether, tetraglycerin monooleate, hexaglycerin monooleate. ,
Examples thereof include polyoxyethylene sorbitan monolaurate and polyoxyethylene sorbitan monooleate.
【0036】本発明における表面活性剤は、2種以上を
混合して使用しても良く、その時のHLBは、それぞれ
の表面活性剤のHLBの相加平均で算出できる。The surface active agents in the present invention may be used as a mixture of two or more kinds, and the HLB at that time can be calculated by the arithmetic average of the HLB of each surface active agent.
【0037】これら表面活性剤は、良好なセラミックグ
リーン体を製造するためには、通常セラミック粉末10
0重量部に対して0.01〜10重量部、好ましくは
0.02〜3.0重量部である。表面活性剤が0.01
重量部より少ない場合には泥しょうの分散が不十分とな
り、10重量部より多い場合は、グリーン体の強度が低
下する傾向がある。These surface active agents are usually used in the ceramic powder 10 in order to produce a good ceramic green body.
It is 0.01 to 10 parts by weight, preferably 0.02 to 3.0 parts by weight, relative to 0 parts by weight. 0.01% surfactant
If it is less than 10 parts by weight, the dispersion of the sludge will be insufficient, and if it is more than 10 parts by weight, the strength of the green body tends to decrease.
【0038】更に、本発明のセラミックグリーン体の製
造に好ましく使用される有機溶媒としては、例えば、ア
セトン、メチルエチルケトン及びメチルイソブチルケト
ン等のケトン類;エタノール、プロパノール及びブタノ
ール等のアルコール類;ベンゼン、トルエン及びキシレ
ン等の芳香族炭化水素類;酢酸エチル、酢酸ブチル等の
エステル類;あるいはトリクロロエチレン、テトラクロ
ロエチレン及びブロムクロロメタン等のハロゲン化炭化
水素類の1種または2種以上の混合物が挙げられる。有
機溶媒の量は、20〜200重量部の範囲から選択さ
れ、使用される。Further, as the organic solvent preferably used for producing the ceramic green body of the present invention, for example, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone; alcohols such as ethanol, propanol and butanol; benzene, toluene And aromatic hydrocarbons such as xylene; esters such as ethyl acetate and butyl acetate; and halogenated hydrocarbons such as trichloroethylene, tetrachloroethylene and bromochloromethane, and one or a mixture of two or more thereof. The amount of the organic solvent is selected from the range of 20 to 200 parts by weight and used.
【0039】本発明のセラミックグリーン体は、公知の
方法によって脱脂、焼成することにより、焼結体を製造
することができる。例えば、脱脂は、一般に、空気中や
窒素雰囲気中で行われ、脱脂温度は、セラミック粉末や
バインダー及び雰囲気の違いによって、300〜100
0℃の範囲から任意に選択される。その後、セラミック
粉末の種類に応じて、任意の温度、任意の雰囲気中で焼
成される。その一例として、窒化アルミニウムの場合、
非酸化雰囲気中、1700〜1950℃の温度で焼成し
て、窒化アルミニウム焼結体を得ることができる。The ceramic green body of the present invention can be degreased and fired by a known method to produce a sintered body. For example, degreasing is generally performed in air or a nitrogen atmosphere, and the degreasing temperature is 300 to 100 depending on the ceramic powder, the binder and the atmosphere.
It is arbitrarily selected from the range of 0 ° C. Then, it is fired in an arbitrary temperature and an arbitrary atmosphere depending on the type of the ceramic powder. As an example, in the case of aluminum nitride,
An aluminum nitride sintered body can be obtained by firing at a temperature of 1700 to 1950 ° C. in a non-oxidizing atmosphere.
【0040】[0040]
【発明の効果】本発明は、アクリル樹脂本来の熱分解性
を維持したまま、セラミックグリーン体の強度を改善し
たものであり、具体的には、従来なみのバインダー量で
成形が可能となるために、アクリル樹脂本来の良好な熱
分解性の特長を活かすことができる。その結果、セラミ
ック本来の材料特性を最大限に引き出した高品質のセラ
ミック焼結体を歩留り良く製造する事が可能となる。The present invention improves the strength of the ceramic green body while maintaining the original thermal decomposability of the acrylic resin. Specifically, it is possible to mold with a binder amount as conventional as possible. In addition, it is possible to take advantage of the good thermal decomposability inherent in acrylic resin. As a result, it becomes possible to manufacture a high-quality ceramic sintered body that maximizes the original material properties of the ceramic with a good yield.
【0041】中でも、本発明のセラミックグリーン体
は、真空及び窒素等の非酸化雰囲気中での脱脂及び焼成
が必要なタングステン等の高融点金属との同時焼成基
板、金属接合基板、ファインパターン等のメタライズ面
を有する基板等に対して好適に使用される。Among them, the ceramic green body of the present invention can be used as a co-firing substrate with a refractory metal such as tungsten, which needs degreasing and firing in a non-oxidizing atmosphere such as vacuum and nitrogen, a metal bonded substrate, a fine pattern and the like. It is preferably used for a substrate having a metallized surface.
【0042】従って、本発明のセラミックグリーン体
は、高品質が要求される構造材料や窒化アルミニウムな
どの電子材料に対して、工業的に極めて有用な材料とな
る。Therefore, the ceramic green body of the present invention is an industrially extremely useful material for structural materials requiring high quality and electronic materials such as aluminum nitride.
【0043】[0043]
【実施例】本発明をさらに具体的に説明するために、以
下に実施例及び比較例を挙げるが、本発明はこれらの実
施例に限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these Examples.
【0044】尚、以下の実施例及び比較例における各種
の物性の測定は次の方法により行った。Various physical properties in the following examples and comparative examples were measured by the following methods.
【0045】1) 比表面積 島津製作所製「フローソーブ2300」を用いて、N2
吸着によるBET法で求めた。1) Specific surface area N 2 was obtained by using "Flowsorb 2300" manufactured by Shimadzu Corporation.
It was determined by the BET method by adsorption.
【0046】2) 平均凝集粒径 堀場製作所製「CAPA 500」を用いて、遠心沈降
法により求めた。2) Average Aggregate Particle Size It was determined by the centrifugal sedimentation method using "CAPA 500" manufactured by Horiba Ltd.
【0047】3) 不純物量 陽イオン不純物は、窒化アルミニウム粉末をアルカリ溶
融後、酸で中和し、島津製作所製「ICPS−100
0」を使用して溶液のICP発光分光分析により定量し
た。3) Amount of Impurities As for the cationic impurities, aluminum nitride powder was alkali-melted, neutralized with an acid, and then "ICPS-100" manufactured by Shimadzu Corporation.
The solution was quantified by ICP emission spectroscopy using "0".
【0048】不純物カーボン量は、窒化アルミニウム粉
末を酸素気流中で燃焼させ、堀場製作所製「EMIA−
110」を使用して、発生したCO、CO2ガス量から
定量した。The amount of impurity carbon was determined by burning aluminum nitride powder in an oxygen stream and using "EMIA-" manufactured by Horiba Ltd.
110 ”was used to quantify the amount of generated CO and CO 2 gas.
【0049】不純物酸素量は、窒化アルミニウム粉末を
堀場製作所製「EMGA−2800」を使用して、グラ
ファイトるつぼ中での高温の熱分解法により発生したC
Oガス量から求めた。The impurity oxygen content was generated by high temperature pyrolysis in a graphite crucible using aluminum nitride powder "EMGA-2800" manufactured by Horiba Ltd.
It was determined from the amount of O gas.
【0050】4) 泥しょう粘性 東京計器製DVL型B型粘度計、ローターはNo.Eを
用いて20℃で測定した。チクソトロピー性は、回転数
1.5rpmで測定した粘度を3rpmで測定した粘度
で除して求めた。4) Mud viscosity Viscometer DVL type B made by Tokyo Keiki Co., Ltd. E was measured at 20 ° C. The thixotropic property was obtained by dividing the viscosity measured at a rotation speed of 1.5 rpm by the viscosity measured at 3 rpm.
【0051】5) シート密度(d) 所定の形状に打ち抜いたシート成形体の寸法と重量を測
定して求めた。5) Sheet Density (d) It was determined by measuring the size and weight of a sheet molded product punched into a predetermined shape.
【0052】6) シート引っ張り強度及び伸び 東洋精機製「ストログラフM2」を用いて、25℃、湿
度60%の条件下、2kgのロードセルを使用し、シー
ト引っ張り速度10mm/minで測定した。5回の平
均値を測定値とした。試験サンプルは、ASTM D1
822 Lタイプの金型で打ち抜いて作製した。6) Sheet Tensile Strength and Elongation Using "STROGRAPH M2" manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd., a sheet tension rate of 10 mm / min was measured using a load cell of 2 kg under conditions of 25 ° C. and humidity of 60%. The average value of 5 times was used as the measured value. Test sample is ASTM D1
It was manufactured by punching with a 822 L type mold.
【0053】7) プレス成形体密度 □30mmの金型を使用して、1.0t/cm2のプレ
ス圧力で、厚さ5mmのプレス成形体を作製した。プレ
ス成形体密度は、得られたプレス成形体の寸法と重量よ
り求めた。7) Press-Molded Body Density Using a mold of 30 mm, a press-molded body having a thickness of 5 mm was produced at a pressing pressure of 1.0 t / cm 2 . The press-molded body density was determined from the dimensions and weight of the obtained press-molded body.
【0054】8) 焼結体密度 東洋精機製「高精度比重計D−H」を使用して、アルキ
メデス法により求めた。8) Sintered body density The density was determined by the Archimedes method using "High-precision specific gravity meter DH" manufactured by Toyo Seiki.
【0055】9) 熱伝導率 理学電機(株)製「熱定数測定装置PS−7」を使用し
て、レーザーフラッシュ法により測定した。厚さ補正は
検量線により行った。9) Thermal conductivity The thermal conductivity was measured by a laser flash method using a "thermal constant measuring device PS-7" manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd. Thickness correction was performed using a calibration curve.
【0056】実施例1 内容積10lのナイロン製ポットに鉄心入りナイロンボ
ールを入れ、次いで、表1に示す窒化アルミニウム粉末
100重量部、酸化イットリウム5重量部、表面活性剤
としてテトラグリセリンモノオレート1重量部、溶媒と
してトルエン36重量部を添加して一回目のボールミル
混合を十分に行った後、この混合物にバインダーとし
て、予めポリビニルブチラールを4%含有させたポリn
−ブチルメタクリレートを9重量部、可塑剤としてジブ
チルフタレートを4重量部、更に溶媒としてトルエンを
10重量部、酢酸ブチルを5重量部を加えて、更に、二
回目のボールミル混合を行い、白色の泥しょうを得た。Example 1 Nylon balls with an iron core were placed in a nylon pot having an internal volume of 10 l, then 100 parts by weight of aluminum nitride powder shown in Table 1, 5 parts by weight of yttrium oxide, and 1 part by weight of tetraglycerin monooleate as a surfactant. Parts, and 36 parts by weight of toluene as a solvent were added to sufficiently perform the first ball mill mixing, and then poly (n) containing 4% of polyvinyl butyral previously as a binder was added to the mixture.
9 parts by weight of butyl methacrylate, 4 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer, 10 parts by weight of toluene as a solvent, and 5 parts by weight of butyl acetate were added, and a second ball mill mixing was performed to obtain a white mud. I got a ginger.
【0057】[0057]
【表1】 [Table 1]
【0058】こうして得られた泥しょうを脱溶媒し、粘
度を10000〜20000cpsに調整した後、得ら
れた泥しょうの粘性を測定した。その後、ドクターブレ
ード法によりシート成形を行い、室温で1時間、60℃
で2時間、100℃で1時間乾燥して、幅20cm、厚
さ0.9〜1.0mmのグリーンシートを作製した。得
られたグリーンシートのシート密度、シート引っ張り強
度、シート伸びを測定し、結果を表2に示した。The so obtained slurry was desolvated and the viscosity was adjusted to 10,000 to 20000 cps, and then the viscosity of the obtained slurry was measured. After that, the sheet is formed by the doctor blade method and then at room temperature for 1 hour at 60 ° C.
It was dried for 2 hours at 100 ° C. for 1 hour to prepare a green sheet having a width of 20 cm and a thickness of 0.9 to 1.0 mm. The sheet density, sheet tensile strength and sheet elongation of the obtained green sheet were measured, and the results are shown in Table 2.
【0059】次いで、グリーンシートを34mm角の金
型で所定の形状に打ち抜いた後、窒素中、600℃で5
時間焼成し、次いで、内面に窒化ホウ素を塗布したカー
ボン製るつぼに入れ、窒素雰囲気中、1800℃で5時
間焼成した。得られた焼結体の密度と熱伝導率を測定
し、結果を表2に示した。Next, the green sheet was punched into a predetermined shape with a 34 mm square die, and then the sheet was placed in nitrogen at 600 ° C. for 5 hours.
It was fired for an hour, then placed in a carbon crucible having an inner surface coated with boron nitride, and fired at 1800 ° C. for 5 hours in a nitrogen atmosphere. The density and thermal conductivity of the obtained sintered body were measured, and the results are shown in Table 2.
【0060】比較例1 バインダーとして、ポリn−ブチルメタクリレートを単
独で使用して、シート密度が実施例1と同じになる様、
一回目に使用するトルエンの量を調整したこと以外は、
実施例1と同様にして、窒化アルミニウムグリーンシー
トを得、打ち抜き体を得、焼結体を得た。結果を表2に
示した。Comparative Example 1 Polyn-butyl methacrylate was used alone as a binder, and the sheet density was the same as in Example 1,
Other than adjusting the amount of toluene used the first time,
In the same manner as in Example 1, an aluminum nitride green sheet was obtained, a punched body was obtained, and a sintered body was obtained. The results are shown in Table 2.
【0061】比較例2 バインダーとして、ポリビニルブチラール使用し、シー
ト密度が実施例1と同じになる様、一回目に使用するト
ルエンの量を調整したこと以外は実施例1と同様にし
て、窒化アルミニウムグリーンシートを得、打ち抜き体
を得、焼結体を得た。結果を表2に示した。Comparative Example 2 Aluminum nitride was used in the same manner as in Example 1 except that polyvinyl butyral was used as the binder and the amount of toluene used for the first time was adjusted so that the sheet density was the same as in Example 1. A green sheet was obtained, a punched body was obtained, and a sintered body was obtained. The results are shown in Table 2.
【0062】[0062]
【表2】 [Table 2]
【0063】実施例2 ポリビニルブチラールを表3に示した量だけ含有したポ
リn−ブチルメタクリレートを使用したこと以外は、実
施例1と同様にして、窒化アルミニウムグリーンシート
を得、打ち抜き体を得、焼結体を得た。結果を表3に示
した。Example 2 An aluminum nitride green sheet was obtained and a punched body was obtained in the same manner as in Example 1 except that poly n-butyl methacrylate containing polyvinyl butyral in the amount shown in Table 3 was used. A sintered body was obtained. The results are shown in Table 3.
【0064】[0064]
【表3】 [Table 3]
【0065】実施例3 ポリビニルブチラールを4%含有させたポリn−ブチル
メタクリレートを表4に示した量だけ使用したこと以外
は実施例1と同様にして、窒化アルミニウムグリーンシ
ートを得、打ち抜き体を得、焼結体を得た。結果を表4
に示した。Example 3 An aluminum nitride green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that poly n-butyl methacrylate containing 4% of polyvinyl butyral was used in the amount shown in Table 4, and a punched body was obtained. Then, a sintered body was obtained. Table 4 shows the results
It was shown to.
【0066】[0066]
【表4】 [Table 4]
【0067】実施例4 内容積2lのナイロン製ポットに鉄心入りナイロンボー
ルを入れ、次いで、表1に示す窒化アルミニウム粉末1
00重量部、酸化イットリウム5重量部、ヘキサグリセ
リンモノオレート1重量部、予めポリビニルブチラール
を4%含有させたポリn−ブチルメタクリレート3重量
部、溶媒としてトルエン100重量部を投入して、十分
にボールミル混合した後、白色の泥しょうを得た。Example 4 Nylon balls with an iron core were placed in a nylon pot having an internal volume of 2 l, and then aluminum nitride powder 1 shown in Table 1 was used.
100 parts by weight of 00 parts by weight, 5 parts by weight of yttrium oxide, 1 part by weight of hexaglycerin monooleate, 3 parts by weight of poly-n-butyl methacrylate containing 4% of polyvinyl butyral in advance, and 100 parts by weight of toluene as a solvent were sufficiently added to the ball mill. After mixing, a white sludge was obtained.
【0068】こうして得られた泥しょうをスプレードラ
イヤー法により造粒し、得られた顆粒を用いて、1.0
t/cm2のプレス圧力で、30mm角、厚さ5mmの
プレス成形体を作製し、プレス成形体密度を測定した。
その後、窒素中600℃で5時間焼成し、次いで、内面
に窒化ホウ素を塗布したカーボン製るつぼに入れ、窒素
雰囲気中1800℃で5時間焼成した。得られた焼結体
の密度と熱伝導率を測定し、その結果を表5に示した。The thus obtained mud was granulated by the spray dryer method, and the obtained granules were used to obtain 1.0
With a pressing pressure of t / cm 2 , a press-molded body of 30 mm square and 5 mm thickness was prepared, and the density of the press-molded body was measured.
Then, it was baked in nitrogen at 600 ° C. for 5 hours, then put in a carbon crucible having an inner surface coated with boron nitride, and baked in a nitrogen atmosphere at 1800 ° C. for 5 hours. The density and thermal conductivity of the obtained sintered body were measured, and the results are shown in Table 5.
【0069】比較例3 バインダーとして、ポリn−ブチルメタクリレートを単
独で使用ししたこと以外は、実施例1と同様にして、窒
化アルミニウムプレス成形体を得、焼結体を得た。結果
を表5に示した。Comparative Example 3 An aluminum nitride press-molded body was obtained in the same manner as in Example 1 except that poly-n-butyl methacrylate was used alone as the binder, and a sintered body was obtained. Table 5 shows the results.
【0070】比較例4 バインダーとして、ポリビニルブチラール使用したこと
以外は実施例1と同様にして、窒化アルミニウムプレス
成形体を得、焼結体を得た。結果を表5に示した。Comparative Example 4 An aluminum nitride press-molded body was obtained in the same manner as in Example 1 except that polyvinyl butyral was used as the binder to obtain a sintered body. Table 5 shows the results.
【0071】[0071]
【表5】 [Table 5]
Claims (1)
リル樹脂とポリビニルブチラールとからなるバインダー
0.1〜30重量部よりなり、該ポリビニルブチラール
のバインダー中に占める割合が0.1〜10重量%であ
るセラミックグリーン体。1. A ceramic comprising 100 parts by weight of ceramic powder and 0.1 to 30 parts by weight of a binder composed of an acrylic resin and polyvinyl butyral, and the proportion of the polyvinyl butyral in the binder is 0.1 to 10% by weight. Green body.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7253720A JPH0987040A (en) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | Ceramic green body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7253720A JPH0987040A (en) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | Ceramic green body |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0987040A true JPH0987040A (en) | 1997-03-31 |
Family
ID=17255213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7253720A Pending JPH0987040A (en) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | Ceramic green body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0987040A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019178042A (en) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社トクヤマ | Aluminum nitride green sheet |
CN113732968A (en) * | 2021-09-16 | 2021-12-03 | 佛山市国力通机械有限公司 | Glaze-polishing grinding block for ceramic large plate and preparation method thereof |
CN116253571A (en) * | 2023-03-16 | 2023-06-13 | 无锡海古德新技术有限公司 | Aluminum nitride ceramic granulating powder and preparation method thereof |
-
1995
- 1995-09-29 JP JP7253720A patent/JPH0987040A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019178042A (en) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社トクヤマ | Aluminum nitride green sheet |
CN113732968A (en) * | 2021-09-16 | 2021-12-03 | 佛山市国力通机械有限公司 | Glaze-polishing grinding block for ceramic large plate and preparation method thereof |
CN116253571A (en) * | 2023-03-16 | 2023-06-13 | 无锡海古德新技术有限公司 | Aluminum nitride ceramic granulating powder and preparation method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5060093B2 (en) | Semiconductor device substrate | |
JP2020528861A (en) | Slurry composition for tape casting for manufacturing silicon nitride sintered body | |
JP5084155B2 (en) | Alumina sintered body and method for manufacturing the same, electrostatic chuck using the alumina sintered body, and method for manufacturing the same | |
US20090088312A1 (en) | Aluminum Nitride Sinter, Slurry, Green Object, and Degreased Object | |
US6838026B2 (en) | Method for producing a silicon nitride filter | |
JP2008019144A (en) | Manufacturing method of ceramic composite material containing zirconia | |
JPH0987040A (en) | Ceramic green body | |
JP6720053B2 (en) | Method for manufacturing silicon nitride sintered body | |
JP4859267B2 (en) | Aluminum nitride sintered body and manufacturing method thereof | |
KR20190023485A (en) | Aluminum nitride sintered body and method for manufacturing the same | |
JPH06237054A (en) | Green sheet for ceramic substrate | |
JP2807430B2 (en) | Aluminum nitride sintered body and method for producing the same | |
JP3707866B2 (en) | Method for producing aluminum nitride green body | |
JP2001247367A (en) | Silicon carbide sintered compact and method for producing the same | |
JP2007261849A (en) | Manufacturing method of sheet-like dense cordierite sintered body | |
JPH0987032A (en) | Aluminum nitride green sheet and its production | |
JP2001220260A (en) | Alumina-based porous refractory sheet and method for producing the same | |
JP2886003B2 (en) | Aluminum nitride composition | |
KR101090275B1 (en) | Ceramic compositions for mullite-bonded silicon carbide body, sintered body and its preparing method | |
JP2706319B2 (en) | Manufacturing method of aluminum nitride sintered body | |
JP3142359B2 (en) | Press molding method | |
JPH07187805A (en) | Ceramic green body and its production | |
JP3966801B2 (en) | Aluminum nitride sintered body and method for producing the same | |
JP3312068B2 (en) | Method for producing large magnesia molded body and sintered body | |
JP3567001B2 (en) | Method for producing composite sintered body of silicon carbide and silicon nitride |