JPH06105791A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH06105791A JPH06105791A JP4012986A JP1298692A JPH06105791A JP H06105791 A JPH06105791 A JP H06105791A JP 4012986 A JP4012986 A JP 4012986A JP 1298692 A JP1298692 A JP 1298692A JP H06105791 A JPH06105791 A JP H06105791A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shot
- shot material
- cleaning
- detergent
- iron plate
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被洗浄物に対する洗浄効果が優れると共に、
ショット材によるショット洗浄効果の劣化を防ぎ、且つ
ショット材の循環使用を円滑に行わせることができる洗
浄装置を提供する。 【構成】 装置内に保持される被洗浄物に向けてショッ
ト材aをショットする遠心投射式ショット手段3と、こ
のショット手段3によりショットされたショット材aを
回収して前記ショット手段に戻す回収手段Rと、この回
収手段の途中又はショット手段3に付設されてショット
材に洗剤を供給する洗剤供給手段12とを備えたことを
特徴とする。
ショット材によるショット洗浄効果の劣化を防ぎ、且つ
ショット材の循環使用を円滑に行わせることができる洗
浄装置を提供する。 【構成】 装置内に保持される被洗浄物に向けてショッ
ト材aをショットする遠心投射式ショット手段3と、こ
のショット手段3によりショットされたショット材aを
回収して前記ショット手段に戻す回収手段Rと、この回
収手段の途中又はショット手段3に付設されてショット
材に洗剤を供給する洗剤供給手段12とを備えたことを
特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、焼肉用鉄板、金属製食
器などを洗浄する洗浄装置に関するものである。
器などを洗浄する洗浄装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】特開昭59−95978号公報には、流
体噴射装置を用いて被洗浄物を洗浄する装置が開示され
ている。そしてこの従来例では、噴射用の液体に固形物
粒子を混合して洗浄効率の向上を図っている。
体噴射装置を用いて被洗浄物を洗浄する装置が開示され
ている。そしてこの従来例では、噴射用の液体に固形物
粒子を混合して洗浄効率の向上を図っている。
【0003】このような液体噴射タイプの洗浄装置を用
いて、表面に凹凸があり油脂などがこびり付いた焼肉用
鉄板の洗浄を行ったが、十分な洗浄を行うことができな
かった。
いて、表面に凹凸があり油脂などがこびり付いた焼肉用
鉄板の洗浄を行ったが、十分な洗浄を行うことができな
かった。
【0004】そこで本発明者は、いままで洗浄装置とし
て利用できるとは考えられていなかった遠心投射式ショ
ット装置の使用に着目し、鋭意研究の結果その試作に成
功した。すなわち、本発明者は、ショット材を被洗浄物
に向けてショットすることにより、被洗浄物の表面に付
着した汚れを除去する洗浄装置を発明し、これを実願昭
60−142424号として出願している。
て利用できるとは考えられていなかった遠心投射式ショ
ット装置の使用に着目し、鋭意研究の結果その試作に成
功した。すなわち、本発明者は、ショット材を被洗浄物
に向けてショットすることにより、被洗浄物の表面に付
着した汚れを除去する洗浄装置を発明し、これを実願昭
60−142424号として出願している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記出願の洗
浄装置を例えば焼肉用鉄板の洗浄のために使用すると、
ショット材に油脂がこびり付き、循環使用回数が増加す
ると、ショット洗浄効果が劣るようになる。又ショット
材同士が油脂などによって互いに付着しあって、バケッ
トコンベアなどによる回収作業が円滑に進まなくなると
いう問題点が生じる。上記出願の洗浄装置では超音波装
置を用いてショット材から油脂等を除いた後に、ショッ
ト材をショット手段に回収するようにしているが、油脂
等の除去が不十分で、上記問題点の根本的な解決とはな
らなかった。
浄装置を例えば焼肉用鉄板の洗浄のために使用すると、
ショット材に油脂がこびり付き、循環使用回数が増加す
ると、ショット洗浄効果が劣るようになる。又ショット
材同士が油脂などによって互いに付着しあって、バケッ
トコンベアなどによる回収作業が円滑に進まなくなると
いう問題点が生じる。上記出願の洗浄装置では超音波装
置を用いてショット材から油脂等を除いた後に、ショッ
ト材をショット手段に回収するようにしているが、油脂
等の除去が不十分で、上記問題点の根本的な解決とはな
らなかった。
【0006】本発明は上記問題点を解決すると共に、被
洗浄物に対する洗浄効果をより一層高めることができる
洗浄装置を提供することを目的とする。
洗浄物に対する洗浄効果をより一層高めることができる
洗浄装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、装置内に保持される被洗浄物に向けてショッ
ト材をショットする遠心投射式ショット手段と、このシ
ョット手段によりショットされたショット材を回収して
前記ショット手段に戻す回収手段と、この回収手段の途
中又はショット手段に付設されてショット材に洗剤を供
給する洗剤供給手段とを備えるようにして、洗浄装置を
構成したことを特徴とする。
するため、装置内に保持される被洗浄物に向けてショッ
ト材をショットする遠心投射式ショット手段と、このシ
ョット手段によりショットされたショット材を回収して
前記ショット手段に戻す回収手段と、この回収手段の途
中又はショット手段に付設されてショット材に洗剤を供
給する洗剤供給手段とを備えるようにして、洗浄装置を
構成したことを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明によると遠心投射式ショット手段を採用
して被洗浄物の洗浄を行っているので、ショット材の衝
撃力による効果的な洗浄が行われ、ブラシ洗浄、流体噴
射洗浄などの従来方法によっては不可能であった焼肉用
鉄板などの洗浄が可能になる。又ショット材は回収手段
によってショット手段に戻されるので、繰り返しが可能
になる(ここまでの作用は実願昭60−142424号
の発明と同一である。)。
して被洗浄物の洗浄を行っているので、ショット材の衝
撃力による効果的な洗浄が行われ、ブラシ洗浄、流体噴
射洗浄などの従来方法によっては不可能であった焼肉用
鉄板などの洗浄が可能になる。又ショット材は回収手段
によってショット手段に戻されるので、繰り返しが可能
になる(ここまでの作用は実願昭60−142424号
の発明と同一である。)。
【0009】又本発明によると前記回収手段の途中又は
ショット手段に洗剤供給手段が付設され、ショットされ
る前のショット材に洗剤が供給される。この洗剤の化学
的洗浄効果によりショット材に付着している油脂などの
付着物は除去され易い状態となり、次いでショット材が
遠心投射式ショット手段によって被洗浄物に衝撃突する
とき、その衝撃力及び衝撃熱により、前記付着物の一部
はショット材から除去され、又残部はより一層除去され
易い状態となる。従ってショット材が繰り返し使用され
ても、油脂などの付着物はショット材に累積することが
避けられるので、ショット洗浄効果の劣化を防ぎ、又回
収作業を円滑に進めることができる。
ショット手段に洗剤供給手段が付設され、ショットされ
る前のショット材に洗剤が供給される。この洗剤の化学
的洗浄効果によりショット材に付着している油脂などの
付着物は除去され易い状態となり、次いでショット材が
遠心投射式ショット手段によって被洗浄物に衝撃突する
とき、その衝撃力及び衝撃熱により、前記付着物の一部
はショット材から除去され、又残部はより一層除去され
易い状態となる。従ってショット材が繰り返し使用され
ても、油脂などの付着物はショット材に累積することが
避けられるので、ショット洗浄効果の劣化を防ぎ、又回
収作業を円滑に進めることができる。
【0010】更に前記洗剤はショット材と共に被洗浄物
にショットされるので、被洗浄物にはショット洗浄作用
に加えて洗剤による化学的洗浄作用も付加される結果、
被洗浄物の洗浄効果を一層高めることができる。
にショットされるので、被洗浄物にはショット洗浄作用
に加えて洗剤による化学的洗浄作用も付加される結果、
被洗浄物の洗浄効果を一層高めることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【0012】本実施例に用いるショット材は、アルミ製
ショット材とウレタン樹脂に砥粒体を混入させたショッ
ト材と、ウレタン樹脂からなるショット材とを2:1:
1の容積比で混合したものである。何れのショット材
も、直径約3mmの球形状のものを使用している。
ショット材とウレタン樹脂に砥粒体を混入させたショッ
ト材と、ウレタン樹脂からなるショット材とを2:1:
1の容積比で混合したものである。何れのショット材
も、直径約3mmの球形状のものを使用している。
【0013】図1及び図2に示すのは、上記ショット材
aを用いて焼肉用鉄板bを洗浄する洗浄装置である。1
は洗浄室を示しており、この洗浄室1内の略中央には、
焼肉用鉄板bを保持して回転する三角柱状の回転枠体2
が横設され、洗浄室1の側壁で軸支されている。この回
転枠体2は目の粗い金網で形成されている。洗浄室1の
側壁外部には遠心投射式ショット装置(遠心投射式ショ
ット手段)3を取付け、その側壁に設けた開口を通して
ショット材aを回転枠体2に向けてショットするように
設けている。洗浄室1内の下部には、ショットされたシ
ョット材aを受け集めるための底板4が下方に彎曲して
張設され、ショット装置3の対向側の底板4には、前記
回転枠体2の軸心と平行な円筒状の排出溝5が設けられ
ている。
aを用いて焼肉用鉄板bを洗浄する洗浄装置である。1
は洗浄室を示しており、この洗浄室1内の略中央には、
焼肉用鉄板bを保持して回転する三角柱状の回転枠体2
が横設され、洗浄室1の側壁で軸支されている。この回
転枠体2は目の粗い金網で形成されている。洗浄室1の
側壁外部には遠心投射式ショット装置(遠心投射式ショ
ット手段)3を取付け、その側壁に設けた開口を通して
ショット材aを回転枠体2に向けてショットするように
設けている。洗浄室1内の下部には、ショットされたシ
ョット材aを受け集めるための底板4が下方に彎曲して
張設され、ショット装置3の対向側の底板4には、前記
回転枠体2の軸心と平行な円筒状の排出溝5が設けられ
ている。
【0014】この排出溝5は目のやや細かい金網で形成
されている。尚、図1に示すように前記回転枠体2の三
角柱状の稜線部分2aには幅広のゴム板2bをそれぞれ
植設しているので、回転枠体2の回転に伴い、ゴム板2
bの先端は前記底板4上のショット材aを前記排出溝5
内に掃き入れる。排出溝5の外部側方には、この金網製
の排出溝5に向かって撒水するノズル6を配したシャワ
ー手段7が排出溝5に沿って設けられている。排出溝5
の内部には、この排出溝5に沿ってスクリューコンベア
8が設けられ、スクリューコンベア8の一端は、洗浄室
1の側壁に開設した排出口9に臨んでいる。洗浄室1の
側方に設けたバケットコンベア10は、下部が前記排出
口9でスクリューコンベア8と接続し、バケットコンベ
ア10の上部はシュート11に接続している。このバケ
ットコンベア10は前記シュート11側に傾斜した姿勢
に設けられているので、バケットコンベア10のバケッ
ト10aがショット材aをシュート11に向けて放出す
る際、バケット10aは完全に反転し、ショット材aを
確実に放出する。シュート11の途中上方には、石鹸液
(洗剤)を収容した洗剤タンク(洗剤供給手段)12が
備えられ、シュート11を通過するショット材aに石鹸
液を滴下するように設けられている。
されている。尚、図1に示すように前記回転枠体2の三
角柱状の稜線部分2aには幅広のゴム板2bをそれぞれ
植設しているので、回転枠体2の回転に伴い、ゴム板2
bの先端は前記底板4上のショット材aを前記排出溝5
内に掃き入れる。排出溝5の外部側方には、この金網製
の排出溝5に向かって撒水するノズル6を配したシャワ
ー手段7が排出溝5に沿って設けられている。排出溝5
の内部には、この排出溝5に沿ってスクリューコンベア
8が設けられ、スクリューコンベア8の一端は、洗浄室
1の側壁に開設した排出口9に臨んでいる。洗浄室1の
側方に設けたバケットコンベア10は、下部が前記排出
口9でスクリューコンベア8と接続し、バケットコンベ
ア10の上部はシュート11に接続している。このバケ
ットコンベア10は前記シュート11側に傾斜した姿勢
に設けられているので、バケットコンベア10のバケッ
ト10aがショット材aをシュート11に向けて放出す
る際、バケット10aは完全に反転し、ショット材aを
確実に放出する。シュート11の途中上方には、石鹸液
(洗剤)を収容した洗剤タンク(洗剤供給手段)12が
備えられ、シュート11を通過するショット材aに石鹸
液を滴下するように設けられている。
【0015】図に14で示すのはホッパであり、シュー
ト11から搬入されるショット材aをショット装置3に
供給する。このショット装置3は複数の回転羽根がモー
タ15で回転駆動され、その際の遠心力によって、前記
焼肉用鉄板bにショット材aを投射するように設けられ
ている。尚、13は所定時期に熱湯を供給する給湯パイ
プ13、16は前記回転枠体2を回転駆動するモータで
ある。
ト11から搬入されるショット材aをショット装置3に
供給する。このショット装置3は複数の回転羽根がモー
タ15で回転駆動され、その際の遠心力によって、前記
焼肉用鉄板bにショット材aを投射するように設けられ
ている。尚、13は所定時期に熱湯を供給する給湯パイ
プ13、16は前記回転枠体2を回転駆動するモータで
ある。
【0016】以上のように構成した洗浄装置の作用を説
明する。
明する。
【0017】焼肉用鉄板bを回転枠体2の側面に取付
け、これを保持させる。次に、回転枠体2を回転駆動
し、ショット装置3の回転羽根の遠心力によりショット
材aを回転枠体2に向けてショットする。焼肉用鉄板b
に付着した汚れのなかで、強固に付着した炭化物はアル
ミ製ショット材が強力な衝撃力で除去し、油脂など一様
に広がった汚れは、衝撃力が小さく軟いウレタン樹脂製
ショット材が均一に除去する。そして、砥粒が混入され
たウレタン樹脂製ショット材は、ベト付いた主要な油汚
れを除去すると共に、焼肉用鉄板bの表面全体を研磨仕
上げする作用を営む。このように、衝撃力の大小や砥粒
含有の有無という点で相異なった3種類のショット材を
混合して併用することにより、焼肉用鉄板bに付着した
様々な種類の汚れを効率良く除去することができる。従
って焼肉用鉄板bの洗浄作業に時間がかかり過ぎたり、
洗浄によって焼肉用鉄板bにキズやヒビ割れを生じさせ
ることはない。尚、目の粗い金網で三角柱状に形成した
回転枠体2は、各焼肉用鉄板b、bの間の稜線部分2a
から回転枠体2の内方へショット材aを容易に通過させ
るもので、前記稜線部分の対向面にある焼肉用鉄板bの
裏面にもショット材aは衝突する。従って、本洗浄装置
では洗浄作業の途中で焼肉用鉄板bを裏返してセットし
直すことなく、焼肉用鉄板bの表裏両面を洗浄すること
ができる。
け、これを保持させる。次に、回転枠体2を回転駆動
し、ショット装置3の回転羽根の遠心力によりショット
材aを回転枠体2に向けてショットする。焼肉用鉄板b
に付着した汚れのなかで、強固に付着した炭化物はアル
ミ製ショット材が強力な衝撃力で除去し、油脂など一様
に広がった汚れは、衝撃力が小さく軟いウレタン樹脂製
ショット材が均一に除去する。そして、砥粒が混入され
たウレタン樹脂製ショット材は、ベト付いた主要な油汚
れを除去すると共に、焼肉用鉄板bの表面全体を研磨仕
上げする作用を営む。このように、衝撃力の大小や砥粒
含有の有無という点で相異なった3種類のショット材を
混合して併用することにより、焼肉用鉄板bに付着した
様々な種類の汚れを効率良く除去することができる。従
って焼肉用鉄板bの洗浄作業に時間がかかり過ぎたり、
洗浄によって焼肉用鉄板bにキズやヒビ割れを生じさせ
ることはない。尚、目の粗い金網で三角柱状に形成した
回転枠体2は、各焼肉用鉄板b、bの間の稜線部分2a
から回転枠体2の内方へショット材aを容易に通過させ
るもので、前記稜線部分の対向面にある焼肉用鉄板bの
裏面にもショット材aは衝突する。従って、本洗浄装置
では洗浄作業の途中で焼肉用鉄板bを裏返してセットし
直すことなく、焼肉用鉄板bの表裏両面を洗浄すること
ができる。
【0018】焼肉用鉄板bに向かってショットされたシ
ョット材aと、ショット材aによって除去された付着物
とは洗浄室1の下部に落下し、底板4で受けて集められ
る。
ョット材aと、ショット材aによって除去された付着物
とは洗浄室1の下部に落下し、底板4で受けて集められ
る。
【0019】次いで、回転する回転枠体2の3辺に植設
された幅広のゴム板2bが、底板4上の前記ショット材
aを排出溝5内に掃き入れる。ショット材aの表面に残
留する付着物は、シャワー手段7の撒水により洗い流さ
れ排出溝5の細孔を通過して下方に落下する。従って前
記付着物が排出溝5の細孔を目詰まりさせることはな
い。付着物を洗い流されたショット材aは、スクリュー
コンベア8によってバケットコンベア10の下部に移送
される。バケットコンベ10はショット材aを洗浄装置
上部のシュート11に搬送し、シュート11はホッパ1
4を介してショット材をショット装置3に供給する。シ
ョット材aは、シュート11を通過する際に洗剤タンク
12から滴下される石鹸液の供給を受け、表面に石鹸液
が付着する。
された幅広のゴム板2bが、底板4上の前記ショット材
aを排出溝5内に掃き入れる。ショット材aの表面に残
留する付着物は、シャワー手段7の撒水により洗い流さ
れ排出溝5の細孔を通過して下方に落下する。従って前
記付着物が排出溝5の細孔を目詰まりさせることはな
い。付着物を洗い流されたショット材aは、スクリュー
コンベア8によってバケットコンベア10の下部に移送
される。バケットコンベ10はショット材aを洗浄装置
上部のシュート11に搬送し、シュート11はホッパ1
4を介してショット材をショット装置3に供給する。シ
ョット材aは、シュート11を通過する際に洗剤タンク
12から滴下される石鹸液の供給を受け、表面に石鹸液
が付着する。
【0020】この石鹸液はショット材a自身の洗浄に役
立つと共に、前記焼肉用鉄板bの表面の洗浄にも役立つ
ことは、(作用)の項で説明したとおりである。このよ
うに本洗浄装置は、ショット材aを循環使用し、その途
中経路の水洗、石鹸液によってショット材aに転移した
汚れが落とされるので、長時間にわたって優れた洗浄効
率が維持される。
立つと共に、前記焼肉用鉄板bの表面の洗浄にも役立つ
ことは、(作用)の項で説明したとおりである。このよ
うに本洗浄装置は、ショット材aを循環使用し、その途
中経路の水洗、石鹸液によってショット材aに転移した
汚れが落とされるので、長時間にわたって優れた洗浄効
率が維持される。
【0021】所定の洗浄が終わると、回転枠体2を回転
させたままでスクリューコンベア8とバケットコンベア
10とを停止し、給湯パイプ13からシュート11内に
熱湯を供給する。熱湯はホッパ14を介してショット装
置3に供給され、ショット装置3により焼肉用鉄板bに
向かって投射させられる。この熱湯は、焼肉用鉄板bの
表面を押し流した後、底板4上に流れ落ち、ゴム板2a
によって排出溝5内に掃き流される。これにより焼肉用
鉄板bの濯ぎが行われると共に、洗浄室1の内面や回転
枠体2に付着した汚れもきれいに流し落とされる。所定
時間の濯ぎの後、焼肉用鉄板bは洗浄室1内より略乾燥
状態で取出すことができる。
させたままでスクリューコンベア8とバケットコンベア
10とを停止し、給湯パイプ13からシュート11内に
熱湯を供給する。熱湯はホッパ14を介してショット装
置3に供給され、ショット装置3により焼肉用鉄板bに
向かって投射させられる。この熱湯は、焼肉用鉄板bの
表面を押し流した後、底板4上に流れ落ち、ゴム板2a
によって排出溝5内に掃き流される。これにより焼肉用
鉄板bの濯ぎが行われると共に、洗浄室1の内面や回転
枠体2に付着した汚れもきれいに流し落とされる。所定
時間の濯ぎの後、焼肉用鉄板bは洗浄室1内より略乾燥
状態で取出すことができる。
【0022】上記実施例では、底板4、排出溝5、スク
リューコンベア8、バケットコンベア10、シュート1
1及びホッパ14によって、ショット手段3によりショ
ットされたショット材aを回収して前記ショット手段3
に戻す回収手段Rを構成しているが、この回収手段Rを
例えば循環用サクションポンプを備えたものや、循環用
チューブポンプを備えたものなどで構成することができ
る。又上記実施例では石鹸液を洗剤として用いている
が、石鹸液より強力な化学洗浄効果を有する種々の化学
洗剤を用いることも可能である。
リューコンベア8、バケットコンベア10、シュート1
1及びホッパ14によって、ショット手段3によりショ
ットされたショット材aを回収して前記ショット手段3
に戻す回収手段Rを構成しているが、この回収手段Rを
例えば循環用サクションポンプを備えたものや、循環用
チューブポンプを備えたものなどで構成することができ
る。又上記実施例では石鹸液を洗剤として用いている
が、石鹸液より強力な化学洗浄効果を有する種々の化学
洗剤を用いることも可能である。
【0023】又上記実施例では、洗剤供給手段12を前
記回収手段Rの途中に付設しているが、これをショット
手段3に付設してもよい。又ショット材aは上記実施例
に示すものに限定されないことは云うまでもない。上記
実施例では装置内に被洗浄物を保持するのに回転体の側
面に被洗浄物を取り付けて行っているが、回転体の内部
に被洗浄物を収容して被洗浄物を攪拌しつつショットを
行うタンブラー型の外、テーブル型やハンガー型などで
被洗浄物を保持してもよい。
記回収手段Rの途中に付設しているが、これをショット
手段3に付設してもよい。又ショット材aは上記実施例
に示すものに限定されないことは云うまでもない。上記
実施例では装置内に被洗浄物を保持するのに回転体の側
面に被洗浄物を取り付けて行っているが、回転体の内部
に被洗浄物を収容して被洗浄物を攪拌しつつショットを
行うタンブラー型の外、テーブル型やハンガー型などで
被洗浄物を保持してもよい。
【0024】
【発明の効果】本発明は上記構成、作用を有するので、
被洗浄物に対する洗浄効果が優れると共に、ショット材
によるショット洗浄効果の劣化を防ぎ、且つショット材
の循環使用を円滑に行わせることができる洗浄装置を提
供することができる。
被洗浄物に対する洗浄効果が優れると共に、ショット材
によるショット洗浄効果の劣化を防ぎ、且つショット材
の循環使用を円滑に行わせることができる洗浄装置を提
供することができる。
【図1】本発明の実施例の一部切欠正面図である。
【図2】本発明の実施例の一部切欠左側面図である。
3 遠心投射式ショット手段 12 洗剤供給手段 R 回収手段 a ショット材 b 被洗浄物
Claims (1)
- 【請求項1】 装置内に保持される被洗浄物に向けてシ
ョット材をショットする遠心投射式ショット手段と、こ
のショット手段によりショットされたショット材を回収
して前記ショット手段に戻す回収手段と、この回収手段
の途中又はショット手段に付設されてショット材に洗剤
を供給する洗剤供給手段とを備えた洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4012986A JPH06105791A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4012986A JPH06105791A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 洗浄装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06105791A true JPH06105791A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=11820531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4012986A Pending JPH06105791A (ja) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06105791A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433670A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-12 | Nippon Seiko Kk | Method of producing mask for photofabrication |
JPS5995978A (ja) * | 1982-11-20 | 1984-06-02 | 国産遠心器株式会社 | 洗浄方法及び装置 |
-
1992
- 1992-01-28 JP JP4012986A patent/JPH06105791A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433670A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-12 | Nippon Seiko Kk | Method of producing mask for photofabrication |
JPS5995978A (ja) * | 1982-11-20 | 1984-06-02 | 国産遠心器株式会社 | 洗浄方法及び装置 |
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