JPH0595041A - 基板の運搬兼保管箱 - Google Patents
基板の運搬兼保管箱Info
- Publication number
- JPH0595041A JPH0595041A JP25517591A JP25517591A JPH0595041A JP H0595041 A JPH0595041 A JP H0595041A JP 25517591 A JP25517591 A JP 25517591A JP 25517591 A JP25517591 A JP 25517591A JP H0595041 A JPH0595041 A JP H0595041A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm seal
- substrate
- storage box
- metal diaphragm
- upper lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 気密性が高く、シール部の材質による汚染の
ない基板の運搬兼保管箱を提供する。 【構成】 内部に基板収納部を有し下部内面に係止穴を
設けた上蓋１と、周縁部にメタルダイアフラムシール６
を備えた下蓋２とからなり、下蓋２には、不活性ガスを
送気する第１の送気バルブ７と、基板収納部内を排気す
る排気バルブ８と、上蓋１に設けられた係止穴に突入し
て下蓋２と上蓋１を係止し固定する出没自在の係止杆
４、５と、メタルダイアフラムシール６の内部を加圧、
常圧または減圧状態にしメタルダイアフラムシール６を
上蓋１に密着または離間させるための第２の送気バルブ
９とを設けた。
ない基板の運搬兼保管箱を提供する。 【構成】 内部に基板収納部を有し下部内面に係止穴を
設けた上蓋１と、周縁部にメタルダイアフラムシール６
を備えた下蓋２とからなり、下蓋２には、不活性ガスを
送気する第１の送気バルブ７と、基板収納部内を排気す
る排気バルブ８と、上蓋１に設けられた係止穴に突入し
て下蓋２と上蓋１を係止し固定する出没自在の係止杆
４、５と、メタルダイアフラムシール６の内部を加圧、
常圧または減圧状態にしメタルダイアフラムシール６を
上蓋１に密着または離間させるための第２の送気バルブ
９とを設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板容器の上蓋と下蓋を
メタルダイアフラムシールを用いてシールすることによ
り高い気密性と清浄度を実現する基板の運搬兼保管箱に
関する。
メタルダイアフラムシールを用いてシールすることによ
り高い気密性と清浄度を実現する基板の運搬兼保管箱に
関する。
【０００２】
【従来の技術】以下従来の基板の運搬兼保管箱について
説明する。図５は従来の基板の運搬兼保管箱のシール部
の要部断面図である（特開昭６０−１４３６２３号公報
参照）。図５に示すように、従来の基板の運搬兼保管箱
は内部に基板収納部を有する上蓋１と下蓋２から構成さ
れており、上蓋１に設置された下蓋固定環３の内周およ
び下蓋２の外周にはゴムチューブ１５を収納する溝が形
成されている。上蓋１と下蓋２とをシールするときに
は、通気バルブ７を介して基板収納部の雰囲気ガスを置
換するとともに、送気バルブ９から送気してゴムチュー
ブ１５を膨張させ上蓋１と下蓋２との気密性を保持して
いた。
説明する。図５は従来の基板の運搬兼保管箱のシール部
の要部断面図である（特開昭６０−１４３６２３号公報
参照）。図５に示すように、従来の基板の運搬兼保管箱
は内部に基板収納部を有する上蓋１と下蓋２から構成さ
れており、上蓋１に設置された下蓋固定環３の内周およ
び下蓋２の外周にはゴムチューブ１５を収納する溝が形
成されている。上蓋１と下蓋２とをシールするときに
は、通気バルブ７を介して基板収納部の雰囲気ガスを置
換するとともに、送気バルブ９から送気してゴムチュー
ブ１５を膨張させ上蓋１と下蓋２との気密性を保持して
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、容器の上蓋と下蓋のシールに伸縮可能な
ゴムチューブが使用されており、気密性が充分ではな
く、さらにゴムチューブの伸縮に伴う発塵やゴムチュー
ブ自体からの揮発成分により基板収納部に収納されてい
る基板が汚染されるという課題を有していた。
来の構成では、容器の上蓋と下蓋のシールに伸縮可能な
ゴムチューブが使用されており、気密性が充分ではな
く、さらにゴムチューブの伸縮に伴う発塵やゴムチュー
ブ自体からの揮発成分により基板収納部に収納されてい
る基板が汚染されるという課題を有していた。
【０００４】本発明は上記の従来の課題を解決するもの
で、機械的に強固でかつ気密性が高く、シール部の材質
からの汚染がない基板の運搬兼保管箱を提供することを
目的とする。
で、機械的に強固でかつ気密性が高く、シール部の材質
からの汚染がない基板の運搬兼保管箱を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の基板の運搬兼保管箱は、内部に基板収納部を
有し下部内面に係止穴を設けた上蓋と周縁部にメタルダ
イアフラムシールを備えた下蓋とからなり、下蓋には、
基板収納部へ不活性ガスを送気する第１の送気バルブ
と、基板収納部内を排気する排気バルブと、上蓋に設け
られた係止穴に突入して下蓋と上蓋を係止し固定する出
没自在の係止杆と、メタルダイアフラムシールの内部を
加圧、常圧または減圧状態にしメタルダイアフラムシー
ルを上蓋に密着または離間させるための第２の送気バル
ブとを設けた構成を有している。
に本発明の基板の運搬兼保管箱は、内部に基板収納部を
有し下部内面に係止穴を設けた上蓋と周縁部にメタルダ
イアフラムシールを備えた下蓋とからなり、下蓋には、
基板収納部へ不活性ガスを送気する第１の送気バルブ
と、基板収納部内を排気する排気バルブと、上蓋に設け
られた係止穴に突入して下蓋と上蓋を係止し固定する出
没自在の係止杆と、メタルダイアフラムシールの内部を
加圧、常圧または減圧状態にしメタルダイアフラムシー
ルを上蓋に密着または離間させるための第２の送気バル
ブとを設けた構成を有している。
【０００６】
【作用】この構成によって、基板は不活性ガスが満たさ
れた容器内に保持され、メタルダイアフラムシールによ
り不活性ガスのリークや外部の汚染空気の流入がなく、
さらにはシール部材が金属であるために基板が汚染され
ることなくその表面を常に清浄な状態に保持することが
できる。
れた容器内に保持され、メタルダイアフラムシールによ
り不活性ガスのリークや外部の汚染空気の流入がなく、
さらにはシール部材が金属であるために基板が汚染され
ることなくその表面を常に清浄な状態に保持することが
できる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例における基板の運搬兼
保管箱について、図面を参照しながら説明する。図１は
本発明の一実施例における基板の運搬兼保管箱の断面図
である。図１において、１は上蓋、２は下蓋、３は下蓋
固定環、４、５は下蓋１を上蓋１に固定する係止杆、６
はメタルダイアフラムシール、７は送気バルブ、８は排
気バルブ、９は減圧バルブ、１０は基板（図示せず）を
収納したカセットを固定するカセット固定板、１１は基
板押え部材、１２は持ち手である。
保管箱について、図面を参照しながら説明する。図１は
本発明の一実施例における基板の運搬兼保管箱の断面図
である。図１において、１は上蓋、２は下蓋、３は下蓋
固定環、４、５は下蓋１を上蓋１に固定する係止杆、６
はメタルダイアフラムシール、７は送気バルブ、８は排
気バルブ、９は減圧バルブ、１０は基板（図示せず）を
収納したカセットを固定するカセット固定板、１１は基
板押え部材、１２は持ち手である。
【０００８】以上のように本実施例の基板の運搬兼保管
箱は、基板を収納したカセットを収納する基板収納部を
有する上蓋１とこの上蓋１に装着、固定される下蓋２で
構成される。この上蓋１の下方の開口部内面には下蓋固
定環３が設けられており、下蓋固定環３の内周部にはメ
タルダイアフラムシール６の受け側と係止杆４、５の受
け溝が設けられている。また上蓋１の外側上部には運搬
の際に使用する持ち手１２が、上蓋１の内部には運搬の
際に基板の揺れを防止するための基板押え部材１１が設
けられている。基板収納部内は高純度の窒素ガス雰囲気
に維持される。また下蓋２の外周にはメタルダイアフラ
ムシール６があり基板収納部の気密性を保つ役割を果た
している。すなわち下蓋２には基板収納部の雰囲気を完
全に窒素ガスで置換するための送気バルブ７と排気バル
ブ８が設けられており、これらのバルブ７、８は通常閉
止の状態にあるノーマリークローズ型ものを使用してい
る。また下蓋２の外周に設けられたメタルダイアフラム
シール６は通常状態で下蓋固定環３の受け側と密着圧接
し、基板収納部の気密性を維持する構造となっており、
減圧バルブ９を通してメタルダイアフラムシール６の内
部を減圧することにより上蓋１と下蓋２の気密が破れ、
基板が取り出せる構造となっている。また、下蓋２の下
面には一組の係止杆４、５が設けられており、この係止
杆４、５がばねにより押されて下蓋２が下蓋固定環３に
固定されるようになっている。
箱は、基板を収納したカセットを収納する基板収納部を
有する上蓋１とこの上蓋１に装着、固定される下蓋２で
構成される。この上蓋１の下方の開口部内面には下蓋固
定環３が設けられており、下蓋固定環３の内周部にはメ
タルダイアフラムシール６の受け側と係止杆４、５の受
け溝が設けられている。また上蓋１の外側上部には運搬
の際に使用する持ち手１２が、上蓋１の内部には運搬の
際に基板の揺れを防止するための基板押え部材１１が設
けられている。基板収納部内は高純度の窒素ガス雰囲気
に維持される。また下蓋２の外周にはメタルダイアフラ
ムシール６があり基板収納部の気密性を保つ役割を果た
している。すなわち下蓋２には基板収納部の雰囲気を完
全に窒素ガスで置換するための送気バルブ７と排気バル
ブ８が設けられており、これらのバルブ７、８は通常閉
止の状態にあるノーマリークローズ型ものを使用してい
る。また下蓋２の外周に設けられたメタルダイアフラム
シール６は通常状態で下蓋固定環３の受け側と密着圧接
し、基板収納部の気密性を維持する構造となっており、
減圧バルブ９を通してメタルダイアフラムシール６の内
部を減圧することにより上蓋１と下蓋２の気密が破れ、
基板が取り出せる構造となっている。また、下蓋２の下
面には一組の係止杆４、５が設けられており、この係止
杆４、５がばねにより押されて下蓋２が下蓋固定環３に
固定されるようになっている。
【０００９】本発明は以下のようにして使用することが
できる。まず、基板を収納したカセット（図示せず）を
下蓋２に設けたカセット固定板１０の上に固定し、メタ
ルダイアフラムシール６の内部を減圧し、かつ係止杆
４、５を解除した状態で上蓋１と下蓋２を合体させる。
次に係止杆４、５を下蓋固定環３の受け溝に挿入し、メ
タルダイアフラムシール６の内部を常圧に戻すことによ
り基板収納部を密閉する。次に排気バルブ８を介して基
板収納部の気体を排気するとともに送気バルブ７を介し
て高純度窒素ガスを送気することにより基板収納部内部
の雰囲気を高純度窒素ガスで置換する。これらの操作に
より基板は高純度窒素ガス雰囲気下で気密性よく保持さ
れる。この状態で各製造装置間の運搬または各処理工程
前後での基板の保管を行う。
できる。まず、基板を収納したカセット（図示せず）を
下蓋２に設けたカセット固定板１０の上に固定し、メタ
ルダイアフラムシール６の内部を減圧し、かつ係止杆
４、５を解除した状態で上蓋１と下蓋２を合体させる。
次に係止杆４、５を下蓋固定環３の受け溝に挿入し、メ
タルダイアフラムシール６の内部を常圧に戻すことによ
り基板収納部を密閉する。次に排気バルブ８を介して基
板収納部の気体を排気するとともに送気バルブ７を介し
て高純度窒素ガスを送気することにより基板収納部内部
の雰囲気を高純度窒素ガスで置換する。これらの操作に
より基板は高純度窒素ガス雰囲気下で気密性よく保持さ
れる。この状態で各製造装置間の運搬または各処理工程
前後での基板の保管を行う。
【００１０】次にシール部の詳細について説明する。図
２〜図４は本発明の実施例における基板の運搬兼保管箱
のシール部の要部断面図である。図２〜図４において、
図１と同一箇所には同一符号を付して詳細説明を省略す
る。
２〜図４は本発明の実施例における基板の運搬兼保管箱
のシール部の要部断面図である。図２〜図４において、
図１と同一箇所には同一符号を付して詳細説明を省略す
る。
【００１１】図２はシール面が斜めに形成されたシール
部の要部断面図である。図２に示すように、メタルダイ
アフラムシール６のベローズ部分のひだの数を上側で少
なく下側で多くすることにより下側の伸びを上側に比べ
大きくし、メタルダイアフラムシール６が上方へ押し上
げられて上蓋１との気密性を確保する構造となってい
る。
部の要部断面図である。図２に示すように、メタルダイ
アフラムシール６のベローズ部分のひだの数を上側で少
なく下側で多くすることにより下側の伸びを上側に比べ
大きくし、メタルダイアフラムシール６が上方へ押し上
げられて上蓋１との気密性を確保する構造となってい
る。
【００１２】また図３はシール面が斜めに形成され、か
つメタルダイアフラムシール６のベローズ部を斜めにず
らせて形成したシール部の要部断面図である。図３に示
すようにベローズ部を斜めにずらせた構造にすれば、密
着性が向上し気密性はよくなる。
つメタルダイアフラムシール６のベローズ部を斜めにず
らせて形成したシール部の要部断面図である。図３に示
すようにベローズ部を斜めにずらせた構造にすれば、密
着性が向上し気密性はよくなる。
【００１３】また図４はシール面が下蓋２と平行に形成
されたシール部の要部断面図である。図４に示す例で
は、メタルダイアフラムシール６は下蓋２の周囲の水平
面に固定されており、構造が簡単である。
されたシール部の要部断面図である。図４に示す例で
は、メタルダイアフラムシール６は下蓋２の周囲の水平
面に固定されており、構造が簡単である。
【００１４】以上説明した図２〜図４の例ではいずれ
も、(1)通常はベローズの伸びる力によって上蓋１と下
蓋２とを密着圧接して気密性を保持し、開放する時は減
圧バルブ９を介してメタルダイアフラムシール６の内部
を減圧することにより、ベローズを収縮させてシール部
の密着を解除する場合と、(2)通常はベローズが縮小し
ており、メタルダイアフラムシール６の内部を高圧にし
て上蓋１と下蓋２とを密着圧接して気密性を保持し、開
放する時は減圧バルブ９を介してメタルダイアフラムシ
ール６の内部を常圧に戻してシール部の密着を解除する
場合とがある。
も、(1)通常はベローズの伸びる力によって上蓋１と下
蓋２とを密着圧接して気密性を保持し、開放する時は減
圧バルブ９を介してメタルダイアフラムシール６の内部
を減圧することにより、ベローズを収縮させてシール部
の密着を解除する場合と、(2)通常はベローズが縮小し
ており、メタルダイアフラムシール６の内部を高圧にし
て上蓋１と下蓋２とを密着圧接して気密性を保持し、開
放する時は減圧バルブ９を介してメタルダイアフラムシ
ール６の内部を常圧に戻してシール部の密着を解除する
場合とがある。
【００１５】また上記の実施例では高純度窒素ガスを不
活性ガスとして用いたが、ヘリウムガス、アルゴンガス
等を用いることもできる。また不活性ガスの代わりに酸
素と窒素および水蒸気の混合気体など所望の気体を容器
内に満たすことにより、基板表面に自然酸化膜を成長さ
せるなど表面状態を任意に制御することが可能である。
活性ガスとして用いたが、ヘリウムガス、アルゴンガス
等を用いることもできる。また不活性ガスの代わりに酸
素と窒素および水蒸気の混合気体など所望の気体を容器
内に満たすことにより、基板表面に自然酸化膜を成長さ
せるなど表面状態を任意に制御することが可能である。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明は、シール部にメタ
ルダイアフラムシールを使用することにより、無発塵、
高気密性を実現し、基板を所望のガス中に気密性よく保
持することができる優れた基板の運搬兼保管箱を実現す
ることができる。
ルダイアフラムシールを使用することにより、無発塵、
高気密性を実現し、基板を所望のガス中に気密性よく保
持することができる優れた基板の運搬兼保管箱を実現す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例における基板の運搬兼保管箱
の断面図
の断面図
【図２】シール面が斜めに形成されたシール部の要部断
面図
面図
【図３】シール面が斜めに形成され、かつメタルダイア
フラムシールのベローズ部を斜めにずらせて形成したシ
ール部の要部断面図
フラムシールのベローズ部を斜めにずらせて形成したシ
ール部の要部断面図
【図４】シール面が下蓋と平行に形成されたシール部の
要部断面図
要部断面図
【図５】従来の基板の運搬兼保管箱のシール部の要部断
面図
面図
１ 上蓋 ２ 下蓋 ４ 係止杆 ５ 係止杆 ６ メタルダイアフラムシール ７ 送気バルブ（第１の送気バルブ） ８ 排気バルブ ９ 減圧バルブ（第２の送気バルブ）
Claims (3)
- 【請求項１】 内部に基板収納部を有し下部内面に係止
穴を設けた上蓋と、周縁部にメタルダイアフラムシール
を備えた下蓋とからなり、下蓋には、基板収納部へ不活
性ガスを送気する第１の送気バルブと、基板収納部内を
排気する排気バルブと、上蓋に設けられた係止穴に突入
して下蓋と上蓋を係止し固定する出没自在の係止杆と、
メタルダイアフラムシールの内部を加圧、常圧または減
圧状態にしメタルダイアフラムシールを上蓋に密着また
は離間させるための第２の送気バルブとを設けた基板の
運搬兼保管箱。 - 【請求項２】 ダイアフラムシールはその内部が大気圧
の時伸長状態である請求項１記載の基板の運搬兼保管
箱。 - 【請求項３】 ダイアフラムシールはその内部が大気圧
の時縮状態である請求項１記載の基板の運搬兼保管箱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25517591A JPH0595041A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 基板の運搬兼保管箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25517591A JPH0595041A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 基板の運搬兼保管箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0595041A true JPH0595041A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17275087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25517591A Pending JPH0595041A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 基板の運搬兼保管箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0595041A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0748004A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持容器およびこの容器を用いる基板処理装置 |
| KR100355769B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-10-19 | 아남반도체 주식회사 | 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 |
| JP2009141108A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Miraial Kk | 収納容器 |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP25517591A patent/JPH0595041A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0748004A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持容器およびこの容器を用いる基板処理装置 |
| KR100355769B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-10-19 | 아남반도체 주식회사 | 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 파드 |
| JP2009141108A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Miraial Kk | 収納容器 |
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