JPH0587858A - 微小電流計 - Google Patents
微小電流計Info
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Abstract
しに容量性高抵抗DUTと直流電圧発生源および微小電
流計との接触を、接続変更をせずに判定する。 【構成】DUT3の抵抗値を測定する場合には、交流信
号発生源6を測定回路から切り離し、電流微小電流計の
計量値と直流電圧源の値とからDUTの抵抗値を得る。
DUT3と接続端子との接触を判定する場合には、交流
信号発生源6を測定回路に投入する。ここで、DUT3
が正常に接続端子と接触していれば、回路電流はトラン
ス7,I/V変換器81,波高検出器82を介して電圧
計83により回路電流が測定され、この電流値と交流信
号発生源6の電圧値とから、DUT3の静電容量が測定
される。もし、DUT3が接続端子と非接触であれば、
トランスにはほとんど電流は流れず、DUT接続判定回
路5はDUT3と接続端子とが非接触である旨を高精度
で判定することができる。
Description
路を備えてなる微小電流計に関し、被測定対象(DU
T)と微小電流計または直流電圧発生手段との接続端子
との接触,非接触を高精度で判定する上記微小電流計に
関するものである。
て、DUTと電圧源または微小電流計との接触が不十分
であると、該接触部に接触抵抗,静電容量等が生じ、こ
れが測定に表れる。このため、DUTが容量性である場
合、測定に表れるリアクタンスが該DUTの持つ高抵抗
によるものなのか、上記不十分な接触により生じたもの
なのかの判定をすることができない。すなわち、DUT
の抵抗値が極端に大きい場合もあり、この場合には当
然、微小電流計の指示は実質上0である。このため、従
来では、DUTが接続端子と非接触である場合には、抵
抗測定装置はDUTの抵抗値を極端に大きな値として測
定しまう。そこで、DUTの容量に着目し、電圧源とD
UTとが、あるいは微小電流計とDUTとが正常に接触
しているか否かを判定するために次のような測定装置が
提案されている。
図である。同図の回路では、直流電圧発生手段1′の出
力側に設けた電極G1と、微小電流計2′の入力側に設
けた電極G2との間にDUT3(抵抗Rxと静電容量Cx
との並列接続で示す)が接続される。直流電圧発生手段
1′は、片側端子接地の主直流電源(E)11′と、副
直流電源(Er)12′,抵抗Rrの並列接続回路との直
列接続回路により構成され、副直流電源12′と抵抗R
rとの一方の接続点bは主直流電源11′に、他方の接
続点aは前記電極G1に接続されている。また、副直流
電源12′には直列にスイッチSW1が設けられ、出力
電圧を段階的に変化させることができるように構成され
ている。また、同図の微小電流計2′は、片側端子が接
地され他側端子が前記電極G2に接続された直流電流検
出用抵抗Rsと、該抵抗Rsに並列に接続された2組の電
流検出手段21′と22′とにより構成されている。電
流検出手段21′は電流検出用抵抗Rsの電圧降下を検
出することで、DUT3に流れる直流電流を測定するも
のであり、Rsの両端子間電圧をオペアンプ(A1)2
1′aを介して電圧計(MV)21′bにより検出す
る。電流検出手段22′は電流検出用抵抗Rsの電圧降
下の変化を検出することで、DUT3に流れる微分波形
電流を測定するものであり、該電圧降下変化をコンデン
サCとオペアンプ(A2)22′aとからなる積分回路
と、比較器22′bと、電圧計(Me)22′cとによ
り検出している。
態からオン状態にすることで、直流電圧発生手段1′か
ら接触状態検査用波形(Eとの和であるステップ波形)
を出力し、電流検出手段22′はRsに流れる電流を積
分して検出する。これはステップ状の信号をDUTに与
えることにより得られる微分波形電流を積分することに
よって得られる波形の最終値を測定することによってD
UT3と電極G1,G2との接触を判定するものである。
DUT3が電極G1,G2と接触していないときは微分波
形電流がG1,G2間を流れないので、これを積分した電
流波形の最終値も0となる。なお、実際には電極G1,
G2間の浮遊容量によりわずかの微分電流が流れる。し
たがって、この最終値を測定,比較することで、DUT
3と電極G1,G2とが接触しているか否かの判定をする
ことができる。
12′及びSW1を必要としない装置として、DUT3
の絶縁抵抗を測定した後の工程でDUT3にチャージさ
れた電荷を放電させ、そのときの電流を測定することに
よってDUTが電圧源および電流源に接触していたか否
かを判定する装置も知られている。図6(A),(B)
は図5とは異なる方式を採用した測定装置を示す回路図
である。この装置では、回路接続を同図(A)から
(B)に変更することで、DUTの抵抗測定の前工程
と、接触判定の後工程とを行う。前工程を行う同図
(A)の回路では、図5の場合と同様、直流電圧発生手
段1の出力側に設けた電極G1と、微小電流計2″の入
力側に設けた電極G2との間にDUT3が接続される。
そして、まず直流電圧発生手段1を構成する片側端子接
地の直流電源(E)1aによりDUT3に直流電圧を印
加する。ことのき、DUT3と電極G1,G2とが接続さ
れていれば容量Cxは充電され、接続されていないけれ
ば容量Cxは充電されない。次に、図6(B)に示すよ
うに回路接続を変更し、後工程を行う。この後工程で
は、直流電流検出用抵抗Rsと電流計4′との直列接続
回路を電極G3,G4間に接続し、Cxの放電電流を検出
することで、前工程で行った抵抗測定が有効であるか否
かを検知する。
発生手段1′側と微小電流計2′側の両方に接触判定の
ための回路が必要となり、直流電圧発生手段1′と微小
電流計2′とを別々に選ぶことができず、測定の範囲も
この組合せから可能な範囲に限定されるという不都合が
ある。また、図6(A),(B)の装置では、接触判定
のために充電(絶縁抵抗測定),放電の2段階の工程を
必要とし、さらに接触判定の工程で電極G3又はG4と非
接触になった場合は前工程の測定時に非接触であったと
みなされてしまうという問題がある。
回路を設けることなしに容量性高抵抗DUTと直流電圧
発生手段側の接続端子(電極)及び微小電流計側の接続
端子との接触,非接触を判定し、さらに接触判定のため
の接続変更を要しない信頼性の高いDUT接続判定回路
を備えてなる微小電流計を提供することにある。
る電流経路上に設けられた直流電流検出用抵抗と、該抵
抗の端子間電圧を測定する直流電圧検出器からなる直流
電流検出手段とを有している場合に適用されるものであ
り、直流電流検出用抵抗に並列に接続され、DUT接続
端子間にDUT接続判定用の交流電圧を印加する交流信
号発生源と、1次巻線が前記直流電流検出用抵抗と交流
信号発生源との並列回路に直列に接続されたトランス
と、入力端子が該トランスの2次巻線に接続された2次
電流検出手段とを有するDUT接続判定回路を備えてな
ることを特徴とする。また、本発明は、前記2次電流検
出手段が、前記トランスの2次電流信号を電圧信号に変
換する電流/電圧変換器と、該電流/電圧変換器の電圧
出力を検出する手段または該電圧出力の時間変化を検出
する手段とを有してなることをも特徴とする。
抗DUTの電流測定に用いられるものであり、通常、高
抵抗DUTの抵抗測定装置における電流測定手段として
用いられる。したがって、以下、抵抗測定装置における
電流測定手段として用いる場合を例に挙げて説明する。
DUTの抵抗値を測定する場合には、まず、直流電流検
出用抵抗に並列に接続された交流信号発生源を測定回路
から切り離す。具体的には、例えば交流信号発生源に直
列にスイッチを接続しておき、このスイッチをオフ状態
にする。そして、DUTが接続された接続端子(電極)
間に直流電圧発生手段により測定用直流電圧を印加し、
測定回路に測定電流を流す。この測定電流は、DUTが
正常に接続端子と接触していれば、直流電流検出用抵抗
→トランス1次巻線→直流電圧発生手段→DUTの経路
で流れる(この場合、測定電流は交流信号発生源側に分
流しないことは勿論である)。この測定電流の値は、直
流電圧検出器が直流電流検出用抵抗での電圧降下を検出
することで測定され、この電流測定値と直流電圧源の電
圧値とからDUTの抵抗値を得ることができる。
を判定するため、交流信号発生源を測定回路に投入す
る。具体的には、上記スイッチが設けられている場合に
は、これをオン状態にする。そして、接続端子間(勿
論、これらの端子間にはDUTは接続されたままであ
る)に交流信号発生源から接続判定用の交流電圧を印加
し、測定回路に交流電流を流す。ここで、DUTが正常
に接続端子と接触していれば、交流電流は交流信号発生
源→トランス1次巻線→直流電圧発生手段→DUTの経
路で流れ、トランス1次巻線に流れる電流はトランス2
次巻線に該トランスの巻線比に応じた電流を流す。そし
て2次電流は、例えば、電流/電圧変換器により電圧信
号に変換され、電圧計により電圧信号として測定され
る。この電流値と、交流電圧源の電圧値とから、DUT
の静電容量が測定される。しかし、もしDUTが接続端
子と非接触であれば、トランスにはほとんど電流は流れ
ない。この場合には、測定回路の微小浮遊容量等が測定
され、DUT接続判定回路はDUTと接続端子とが非接
触である旨を高精度で判定することができる。なお、交
流電流は直流電流検出用抵抗にも流れ、またDUTが正
常に接続端子と接触している場合には、直流電圧源によ
る直流電流が交流電流に重畳してトランス1次巻線に流
れるが、これらは上記接触,非接触の判定には影響する
ことはない。上記交流信号の周波数は、余り大きすぎる
とDUTのリアクタンスが抵抗値より小さくなりすぎて
測定にかかりにくくなるし、小さすぎると測定回路に流
れる電流が小さすぎて測定不能になる。したがって、上
記交流信号の周波数は、DUTの静電容量によるリアク
タンスがDUTの抵抗値に比較して適度に大きくなるよ
うに選ばれる。このようにして、DUTが接続端子と非
接触であるため、抵抗測定装置がDUTの抵抗値を極め
て大きい値として測定しまう場合であっても、DUT接
続判定回路が接触,非接触を判定する。
る。同図は抵抗測定装置を示すものであり、直流電圧発
生手段1と微小電流計2とを有してなり、直流電圧発生
手段1は、片側端子が接地され他側端子がDUT接続端
子の一方(同図では電極G1)に接続された直流電源
(E)1aから構成される。なお、DUT接続端子の他
方(G2)は、後述する交流信号発生源6と直流電流検
出用抵抗Rsとの接続点(都蘭巣7とは逆側の接続点)
から引き出されている。上記微小電流計2は、直流電流
検出手段4と、DUT接続判定回路5とから構成されて
いる。直流電流検出手段4は、直流電流検出用抵抗Rs
と、オペアンプ(A1)41及び電圧計(MV1)42
とから構成され、電圧計42がRsの両端電圧をオペア
ンプ41を介して検出している。ここでオペアンプ41
と電圧計42とが直流電流検出器を構成している。DU
T接続判定回路5は、交流信号発生源6,片側端子接地
のトランス7及び2次電流検出手段8とから構成されて
いる。交流信号発生源6は直列にスイッチSWを有して
おり、これらが抵抗Rsに並列に接続されている、また
交流電信号発生手段6の電極Gと反対側にはトランス7
の1次巻線が接続されている。トランス7の2次巻線2
次電流検出手段8に接続されている。トランス7の2次
側電流信号を電圧信号に変換する電流/電圧(I/V)
変換器81,該変換器81の波高値を検出する波高検出
器82及び該波高値検出器82の出力電圧を測定する電
圧計83とにより構成されている。I/V変換器81は
オペアンプ(A2)81aと積分コンデンサとCvとに
より構成されており、該変換器81の非反転入力端子は
接地されている。波高検出器82はオペアンプ81aの
出力に順接続したダイオードD1と、該ダイオードD1
の出力とオペアンプ81aの非反転入力端子間(すなわ
ち大地間)に接続したコンデンサCHとにより構成され
ており、該コンデンサCHの端子間電圧は電圧計83に
より検出される。
ず、SWをオフにし、直流電源1a→DUT3→直流電
流検出用抵抗Rs→トランス7の1次巻線の経路で測定
電流を流す。ここで、電圧計42が実質上、計量値0を
示した場合、Rsに検出電流は流れていないことにな
る。したがって、(1)Rxの抵抗値が極端に大きい
か、(2)DUT3と電極G1,G2との接触が不良であ
るかの何れかであるが、この時点では電圧計42の計量
値0は、(1),(2)の何れに起因するかは不明であ
る。一方、電圧計42が実質上、有限の計量値を示した
場合、Rsに検出電流が流れているので、DUT3と電
極G1,G2との接触が行われており、電圧計42の測
定値によりDUT3の抵抗値が検出される。次に、SW
をオンにする。このとき、DUT3と電極G1,G2と
の接触が正常でれば、交流電流は、交流信号発生源6→
トランス7→直流電源1a→DUT3の経路で流れる。
なお、該経路には、交流と直流電源1aによる直流電流
とが重畳されて流れている。そして、トランス7により
交流電流のみが2次巻線側に取り出される。この2次電
流はI/V変換器81により電圧に変換され、次段の波
高検出器82に出力され、検出器82は波高値信号を生
成し、電圧計83に出力し該電圧計83はこれを電圧値
として指示する。なお、本実施例では波高検出器82と
電圧計83とがI/V変換器81の電圧出力を検出する
手段として構成されている。
を示す図である。同図において破線が入力電圧を、実線
が出力電圧を表している。そして、交流信号発生源6の
電圧値,周波数と上記波高値とからDUT3の静電容量
Cxが求められる。一方、DUT3と電極G1,G2との
接触が不良である場合には、トランス7の1次巻線には
測定回路の静電容量Cs(浮遊容量であり、電極G1,
G2におけるDUT3との非接触に起因して生じる静電
容量を含む)に基づく交流が流れる。この電流は、DU
Tの静電容量Cxに基づく電流と比較して十分小さい。
電圧計83により測定されるこの電流値と、交流信号発
生源6との電圧値とから上記静電容量Csが求められ
る。このように、DUT接続判定回路5により、(1)
Rxの抵抗値が極端に大きいか、(2)DUT3と電極
G1,G2との接触が不良であるかの何れかであるかを容
易に求めることができる。
3を無接続状態にして求めておけば、測定回路の上記浮
遊容量Cs等を求めることができる。図3は、図1のI
/V変換器81の後段に設けられた波高検出器82及び
電圧計83に代えて、A/D変換器84を設けた場合を
示しているおり、2次電流検出手段8は、I/V変換器
81とA/D変換器84とを有して構成される。微小期
間ΔTにおける電圧差の変化量をΔVとし(Vは検出電
流の値を表している)、検出電流をI,交流信号発生源
6の電源電圧をVsとすると、これらの間には ΔV/ΔT=ΔI/ΔT=C(Δ2Vs/ΔT2)∝C (但し、Cは測定回路の静電容量)の関係が成立する。
したがって、ΔV/ΔT(すなわち、交流電流の傾きΔ
I/ΔT)を求めれば、その大きさにより、DUT3と
電極G1,G2との接触、非接触の有無を判断できる。
A/D変換器84は交流信号の周波数より十分に高い変
換レートでA/D変換を行えば、高精度で上記ΔI/Δ
Tを求めることができる。ΔTの始点を特定の位相に固
定して、ΔI/ΔTを測定すればDUT3と電極G1,
G2とが接触しているか否かを上式より容易に判定でき
る。また、特に、交流波形の傾きΔI/ΔTの最大値を
求めることで、極めて容易かつ高精度の判定が可能とな
る。図4(A),(B)は、このような判定の一例を示
す図であり、(A)はΔV1/ΔT1が大きいので、接触
していると判断される場合を示しており、(B)はΔV
2/ΔT2が小さいので非接触と判断される場合を示して
いる。この実施例では、A/D変換器84と図示しない
上記演算を行う回路とがI/V変換器81の電圧出力の
時間変化を検出する手段を構成している。
流電圧発生手段側には接触判定のための特別の回路を必
要とすることない。したがって、直流電圧発生手段と微
小電流計とを別々に選ぶ必要はなく、電圧源選択の自由
度を大きくでき、測定の範囲が広がった。更に、接触判
定のために、回路接続を変更する必要がないので、抵抗
測定時の接続のままで接触判定が行えるので信頼性の高
い微小電流計を提供できる。
場合の一実施例を示す該測定装置の回路図である。
電圧を示す図である。
の波高検出器及び電圧計に代えてA/D変換器を用いた
場合を示す図である。
す図であり、(A)は接触,(B)は非接触の場合を示
している。
す図である。
抗測定装置を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 被測定対象を流れる電流経路上に設けら
れた直流電流検出用抵抗と、該直流電流検出用抵抗の端
子間電圧を測定する直流電圧検出器からなる直流電流検
出手段とを有してなる微小電流計において、 前記直流電流検出用抵抗に並列に接続され、被測定対象
接続端子間に被測定対象接続判定用の交流電圧を印加す
る交流信号発生源と、 1次巻線が前記直流電流検出用抵抗と交流信号発生源と
の並列回路に直列に接続されたトランスと、 入力端子が該トランスの2次巻線に接続された2次電流
検出手段と、 を有する被測定対象接続判定回路を備えてなる微小電流
計。 - 【請求項2】 前記2次電流検出手段が、前記トランス
の2次電流信号を電圧信号に変換する電流/電圧変換器
と、該電流/電圧変換器の電圧出力を検出する電圧検出
手段または該電圧出力の時間変化を検出する手段とを有
してなる請求項1記載の微小電流計。
Priority Applications (1)
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JP27481891A JP3155311B2 (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 微小電流計および微小電流測定方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH0587858A true JPH0587858A (ja) | 1993-04-06 |
JP3155311B2 JP3155311B2 (ja) | 2001-04-09 |
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JP (1) | JP3155311B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
JP2002014134A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
JP2010243507A (ja) * | 2010-07-20 | 2010-10-28 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
JP2020012721A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 日置電機株式会社 | インピーダンス測定装置およびインピーダンス測定方法 |
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1991
- 1991-09-26 JP JP27481891A patent/JP3155311B2/ja not_active Expired - Fee Related
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