JPH0587599B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この発明はスタンパーの洗浄方法に関し、更に
詳しくは、スタンパーを洗浄液中で、例えばアル
カリ・界面活性剤混合溶液中で電解脱脂により洗
浄するスタンパーの洗浄方法に関する。

(ロ) 従来の技術 スタンパー、すなわちLPレコード、光デイス
クなどの情報記録用デイスクを複製するためのマ
スター盤は、一般に次のような工程で製造され
る。

まずガラス原盤を研磨し、その研磨面に感光性
樹脂膜を塗布し、光学的エツチング処理を施して
所望の微細パターンを刻設する。次いでその微細
パターン面に金属薄膜を設け、更にニツケル電気
メツキにより所望の厚さまで肉盛りした後、元の
ガラス原盤部分から分離してスタンパーとする。

しかしながら、このスタンパーの表面には、感
光性樹脂膜が残留しており、この膜の除去に、ア
ルカリ・界面活性剤の混合溶液（アルカリ濃度約
１％）中でスタンパーを陰極とし対向電極板を陽
極として電解脱脂を行う電解脱脂洗浄法、有機溶
媒中で超音波によつて洗浄する超音波洗浄法、又
はこれらの併用洗浄法が採用されている。

特に電解脱脂洗浄法については、アルカリ・界
面活性剤の混合溶液中でスタンパー（ニツケル
製）を銅製又はステンレス製の電極治具により吊
下保持して陰極とし、一方、対向電極板をステン
レス製で陽極として、電解することにより、スタ
ンパーの表面に残留した感光性樹脂膜がアルカリ
可溶性であることを利用して、それを溶解し、更
に多量の水素ガスの発生による物理的作用を利用
して除去している（特開昭62−214535号公報参
照）。

(ハ) 発明が解決しようとする課題 ところで情報記録用デイスクは、従来からの
LPレコードとは異なり最近では光によつて記録
情報を取る出す光デイスクが飛躍的に多方面に使
用されるようになつてきた。これらの光デイスク
は、情報を記録するための溝幅が、LPレコード
の50mμに対しその１／100の0.5mμである。

一方上述の各種洗浄法にて洗浄されたデイスク
複製用スタンパーに残留している微粒子は１〜
10mμである。またその後のスタンパーの使用
（デイスクの複製）によつて付着する各種塵埃や
微粒子もほぼ同様の大きさである。

従つて従来のLPレコード複製用（又はアナロ
グ用）スタンパーでは、情報記録用の溝が上述の
ごとく50mμ程度であるから、製造時の洗浄だけ
で十分であつた。

これに対して光デイスク複製用（又はデジタル
用）スタンパーでは、情報記録用の溝が0.5mμ程
度であるから、1mμの微粒子でも、情報記録に致
命的な影響がある。特に光デイスク複製用スタン
パーは、その情報記録用の溝が細かく、しかも接
近しているので、製造が難しく、高価であり、１
つのスタンパーで多数の光デイスクを成成形しな
ければならず、更に長期間の保存が要求される。

結局光デイスク複製用スタンパーは、成形・複
製作業中に付着する塵埃や微粒子、長期間保存に
よる腐食などのために洗浄を必要とすることにな
る。

しかしながら、このような光デイスク複製用ス
タンパーに対する桁違いの洗浄を、一般のスタン
パーの製造工程中で採用されている、上述の電解
脱脂洗浄法又は／及び超音波洗浄法で行なつて
も、洗浄度を従来の１／100に高めることは難し
い。

(ニ) 課題を解決するための手段及びその作用 この発明は洗浄能を有する水溶液中に、スタン
パーをそれと実質的に同一の材料から作られた電
極治具を用いて吊下保持し、一方スタンパーと実
質的に同一の材料から作られた対向電極板を前記
スタンパーと対向する位置に吊下保持し、スタン
パー側が陽極に、対向電極板側が陰極にそれぞれ
なるよう直流電力を供給して攪拌下に電解洗浄を
行うことを特徴とするスタンパーの洗浄方法であ
る。

すなわち、この発明は、スタンパーの電極治具
及び対向電極板としてスタンパーと実質的に同一
の材料のものを用い、且つスタンパーの電解極性
を陰極ではなく陽極とし、対向電極板のそれを陰
極とすることによつて、洗浄度を高めようとする
ものである。

この発明において、スタンパーを、洗浄能を有
する水溶液中で、吊下保持するための電極治具及
びスタンパーに対する対向電極板の材料につい
て、スタンパーと実質的に同一の材料とは、電極
治具とスタンパーを陽極とし、対向電極板を陰極
として電解した場合に、スタンパーに対し、電気
化学的な特性により電位差が生じない（電池作用
がない）材料を意味し、スタンパーと全く同一材
料のものがより好ましいものとして挙げられる。
ここでスタンパー、電極治具、対向電極板の具体
的材料としては、ニツケルのほか、コバルト、白
金、モリブデン、クロム、タングステン、バナジ
ウム、ニオブ、タンタル、パラジウム、金等の金
属群が好ましいものとして挙げられる。なお、ス
テンレス鋼や鋼合金は高温（約50℃以上、通常は
50〜60℃）のアルカリ浴（アルカリ：通常に苛性
ソーダ水溶液濃度５％以上）の場合に浸食されや
すい。また、ニツケル製スタンパーと銅製の電極
治具とのごとく、材料が異なり、電気抵抗が変わ
る場合に、両者に電位差が生じ接触部が酸化され
て黒くなる（通称、“ヤケ”が起こる）ことがあ
る。

この発明においては、電極治具、つまりスタン
パーを陽極に、対向電極板を陰極にそれぞれ極性
付与されるが、これはスタンパーが、陰極ではな
く、陽極になれば、細かい微粒子を引きつけない
ので、その付着を防止できると考えられる。

この発明において、洗浄能を有する水溶液と
は、スタンパー成形時にその表面に残留する感光
性樹脂膜、更にスタンパーにより光デイスクを複
製する際に付着する塵埃や微粒子、又は長期間の
保存によつて生じる腐食などのよごれの洗浄を可
能にする水溶液を意味し、具体的には、これらの
よごれを溶解できるアルカリ・界面活性剤混合溶
液が好ましいものとして挙げられる。例えば水酸
化ナトリウム30〜50ｇ／、炭酸ナトリウム30〜
50ｇ／、リン酸ナトリウム50〜80ｇ／、ケイ
酸ナトリウム30〜50ｇ／、及び界面活剤１〜２
ml／である。

(ホ) 実施例 以下実施例に基づきこの発明を説明する。な
お、これによつてこの発明が限定を受けるもので
はない。

）スタンパーの洗浄装置 この発明に係るスタンパーの洗浄方法を実施す
るための装置の例をまず説明する。

第１図において、電解液としてアルカリ脱脂液
４を充填した電解槽５と、ニツケル金属製スタン
パーＳを電解液中に吊下保持できる、スタンパー
Ｓと同一素材のニツケル金属製洗浄治具（陽極）
６と、同じくスタンパーＳと同一素材のニツケル
金属対向電極板（陰極）７と、電源（図示省略）
と、ヒータ８と、攪拌器Ｋとから主としてなる。

）スタンパー洗浄装置の作動 洗浄対象のスタンパーＳを洗浄治具６に引掛け
て電解液中に吊下し、その洗浄治具（陽極）６と
対向電極板（陰極）７との間に電源を介して直流
電圧を印加する。かくして電解によつて、激しく
発生するガスとアルカリ脱脂液とがもつケン化、
浸透、分散、乳化、攪拌などの化学的、物理的作
用がスタンパーＳに作用しスタンパーＳが効果的
に洗浄される。なお、アルカリ脱脂液の交換は積
算通電時間が所定値に至ると行われる。

） スタンパーの洗浄後の処理 スタンパー洗浄装置２で脱脂洗浄されたスタン
パーＳを電解槽５から取り出し、流し台（図示省
略、以下同様）上でシヤワーにより超純水にさら
す。洗い程度（表面に残留する微粒子または塵埃
の有無）は、照射器の導光体によつて、スタンパ
ーＳの角度を調整整しつつ照射し、その反射光を
見て判断し、不十分であれば再度超純水を当て、
十分であれば乾燥室に挿入してクリーン化され加
温（例：40℃）されたエアに当て乾燥させる。

かくして所望の洗浄度（残留微粒子又は塵埃：
0.1mμ以下）のスタンパーが得られ。

）実施例１ 第１図に示すごとく、外径138mmφ、内径37.4
mmφのコンパクトデイスク複製用スタンパーＳ
を、複製後、材質としてニツケルを用いる洗浄治
具（又は電極治具）６にセツトしてアルカリ・界
面活性剤混合溶液４中に吊下保持し、洗浄治具を
陽極とし、つまりスタンパーを陽極（＋極）と
し、対向電極板７を陰極（−極）として両極間に
２分間通電して洗浄した。

洗浄後のスタンパーは上記）の後処理を受け
ることによつて所望の洗浄度に達した。洗浄前・
後の欠陥の大きさ分布を第２図にそれぞれ示す。

なお第２図におけるスタンパーの欠陥の大きさ
分布は、光学顕微鏡（拡大写真100〜1000倍）を
撮影し、その洗浄前後の写真結果からゴミや傷の
大きさとそれらの変化（減少傾向や分布状況）を
コンピユータで評価たものである。その他の条件
は次のとおりである。

アルカリ・界面活性剤混合溶液組成 水酸化ナトリウム 30ｇ／ 炭酸ナトリウム 30ｇ／ リン酸ナトリウム 50ｇ／ ケイ酸ナトリウム 30ｇ／ 界面活性剤 １ml／ 混合溶液温度 60℃ 電流密度及び電圧 5A／ｄm²・2.5V ）実施例２ 外径208mmφ、内径65mmφのDRAW（直接書き
込み読し型）デイスク複製用スタンパーＳを実施
例１の場合と同様の操作をしてほぼ同様の結果を
得た。洗浄前後の欠陥分を第３図に示す。なお、
この場合の欠陥分布の観察は、光輝度の照明手段
（ハロゲンランプ）を用いてスタンパーの全面の
表面状態を肉眼で検査し、ゴミや傷の分布を確認
した。

(ヘ) 発明の効果 この発明によれば、スタンパーの電極治具及び
対向電極板としてスタンパーと実質的に同一の材
料のものを用い、且つスタンパーの電解極性を陰
極ではなく陽極とし、対向電極板のそれと陰極と
することによつて、洗浄度を高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るスタンパーの洗浄方法
を実施するための装置を示す機能説明図、第２図
は実施例１で得られたスタンパーの洗浄結果を示
す欠陥の大きさ分析図、第３図は実施例２で得ら
れたスタンパーの洗浄結果を示す欠陥の大きさ分
布図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 洗浄能を有する水溶液中に、スタンパーをそ
   れと実質的に同一の材料から作られた電極治具を
   用いて吊下保持し、一方スタンパーと実質的に同
   一の材料から作られた対向電極板を前記スタンパ
   ーと対向する位置に吊下保持し、スタンパー側が
   陽極に、対向電極板側が陰極にそれぞれなるよう
   直流電力を供給して撹拌下に電解洗浄を行うこと
   を特徴とするスタンパーの洗浄方法。