JPH0586474B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0586474B2 JPH0586474B2 JP62251569A JP25156987A JPH0586474B2 JP H0586474 B2 JPH0586474 B2 JP H0586474B2 JP 62251569 A JP62251569 A JP 62251569A JP 25156987 A JP25156987 A JP 25156987A JP H0586474 B2 JPH0586474 B2 JP H0586474B2
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- JP
- Japan
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- chamber
- plasma
- film
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- substrate
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25156987A JPH0196372A (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 | イオンプレーティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25156987A JPH0196372A (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 | イオンプレーティング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0196372A JPH0196372A (ja) | 1989-04-14 |
| JPH0586474B2 true JPH0586474B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-12-13 |
Family
ID=17224765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25156987A Granted JPH0196372A (ja) | 1987-10-07 | 1987-10-07 | イオンプレーティング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0196372A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4078084B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2008-04-23 | キヤノン株式会社 | イオン化成膜方法及び装置 |
| JP5325525B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2013-10-23 | スタンレー電気株式会社 | 薄膜素子の製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0638399Y2 (ja) * | 1986-10-07 | 1994-10-05 | 石川島播磨重工業株式会社 | プラズマ発生装置 |
| US4777908A (en) * | 1986-11-26 | 1988-10-18 | Optical Coating Laboratory, Inc. | System and method for vacuum deposition of thin films |
| JPH0811823B2 (ja) * | 1987-02-19 | 1996-02-07 | 石川島播磨重工業株式会社 | イオンプレ−テイング装置 |
| JPS63282257A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-18 | Citizen Watch Co Ltd | イオンプレ−ティング装置 |
-
1987
- 1987-10-07 JP JP25156987A patent/JPH0196372A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0196372A (ja) | 1989-04-14 |
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