JPH058481B2 - - Google Patents
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- JPH058481B2 JPH058481B2 JP60109254A JP10925485A JPH058481B2 JP H058481 B2 JPH058481 B2 JP H058481B2 JP 60109254 A JP60109254 A JP 60109254A JP 10925485 A JP10925485 A JP 10925485A JP H058481 B2 JPH058481 B2 JP H058481B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Description
〔利用分野〕
本発明は強磁性金属を主成分とする金属薄膜よ
りなる記録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に磁
気記録情報を記録再生する方式に関したものであ
り、更に詳しくは長期使用にわたつて安定した磁
気記録再生を可能とした新しい磁気記録再生方式
に関するものである。 〔従来技術〕 近年高密度記録への要求はますます高くなり、
従来のバインダーを用いた塗布型に替わるものと
して、磁気記録層として強磁性金属薄膜を用いた
もの、更には特公昭58−91号公報等の如く垂直磁
気異方性を有するコバルト系合金薄膜を用いたも
の等金属薄膜を記録層とした薄膜型の磁気記録媒
体が提案されている。しかし磁気記録層としてか
かる金属薄膜を用いた場合には、磁気記録ヘツド
との摩擦抵抗が大きいために摩耗や損傷を受けや
すく耐久性に欠けるという難点がある。 このため従来より強磁性金属薄膜上に更に保護
層として有機高分子、高硬度金属、セラミツクス
等を設けたのもが種々提案されている。 しかしこれら薄膜型の磁気記録媒体の耐摩耗
性、即ち磁気ヘツド上を繰返し走行させた時の磁
気記録媒体の寿命は従来の塗布型の磁気記録媒体
にくらべて劣り、実用上未だ充分ではない状態で
ある。 また、磁気記録ヘツドとしては、従来の塗布型
の磁気記録媒体用として、記録媒体と摺動する面
をチタン酸バリウム等で構成したものが知られて
いるが、これらは記録再生の摺動において、媒体
に傷を付けず、ヘツド摺動面自体も摩耗しないも
ので、耐久性に優れたものが使われている。しか
し、前記の薄膜型の磁気記録媒体は、潤滑剤等を
しみ込ませて耐久性を上げている前述の塗布型媒
体とは異つて記録層が潤滑剤がしみ込まない薄膜
金属層からなるので、磁気記録ヘツドは記録媒体
との摺動により、損傷を受けやすく、またこの損
傷により逆に記録媒体にも傷が発生しやすく耐久
性に乏しいという欠点があつた。 〔発明の目的〕 本発明はかかる現状に鑑みなされたもので、耐
久性に優れた強磁性金属を主成分とする金属薄膜
よりなる記録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に
情報を記録再生する磁気記録再生方式を目的とし
たものである。 〔発明の構成・作用〕 すなわち、本発明は基体上に強磁性金属薄膜よ
りなる記録層、金属酸化物よりなる保護層を形成
した磁気記録媒体と組合せて磁気ヘツドとして
は、磁気記録媒体との摺動面をなすスライダー部
をビツカース硬度が1000〜2000のアルミナを主成
分とする多結晶焼結体のセラミツクスで構成され
たものを用い、該磁気記録媒体に記録再生するこ
とを特徴とする磁気記録再生方式である。 上述の本発明において、磁気ヘツドの摺動面の
アルミナを主成分とするセラミツクスの第二成分
としては金属酸化物、炭化物、窒化物、硼化物が
掲げられる。これらの具体例としては次の様なも
のが掲げられる。すなわちこれらは、Al2O3・
Fe2O3・TiC，Al2O3・TiO2，Al2O3・ZrO2，Al2
O3・TiB2等である。 なお該セラミツクスの硬度としては更に好まし
くはビツカース硬度1400〜2000である。 本発明の磁気ヘツドは、媒体と摺動する面が上
述のセラミツクスで構成される以外は何ら限定さ
れず、通常のリングヘツド、後述の実施例の示す
ような垂直ヘツド・あるいは薄膜ヘツド等全ての
磁気ヘツドが適用できる。 又、本発明の磁気記録媒体としては、強磁性金
属薄膜を記録層としたとし、該記録層上に金属酸
化物よりなる保護層を形成した薄膜型磁気記録媒
体であれば何ら限定されないことはその作用から
明らかで、面内及び垂直磁気記録用として公知の
もの全てが適用できる。代表的には基体上に鉄、
コバルト、ニツケル等の金属あるいはこれらの合
金からなる強磁性金属薄膜層を、垂直磁気異方性
を有するコバルト系合金薄膜等からなる垂直記録
用の金属薄膜層を、または鉄、パーマロイ、コバ
ルト・ニオブ・ジルコン合金等の高透磁率を有す
る金属層に続けてその上に前述の垂直記録用の金
属薄膜層を順次形成したもの等の薄膜型の磁気記
録媒体等が挙げられる。 なお、保護層は金属酸化物であれば特に限定さ
れないが、好ましいものはコバルト酸化物であ
る。更に一層好ましくはCo3O4を主成分とするコ
バルト酸化物である。 以上の本発明は、強磁性の金属薄膜よりなる磁
気記録媒体と摺動する面がアルミナを主成分とす
る多結晶焼結体のセラミツクスで構成された磁気
ヘツドとの組合せによりはじめて非常に耐摩耗性
のある薄膜型の磁気記録媒体の磁気記録再生方式
を実現したものである。 以下に本発明の実施例を示す。 第１図は本発明の垂直記録方式での一構成例を
示すもので、１０はフロツピーデイスク用のフレ
キシブル両面型の垂直磁気記録媒体、２０は公知
の主磁極励磁型の垂直磁気記録ヘツドである。垂
直磁気記録媒体１０は、厚さ50μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフイルムを基体１１とし、その
両面に0.4μｍのニツケルを鉄合金よりなる高透磁
率金属薄膜層１２と、0.4μｍのコバルト・クロム
（クロム：20wt％）の合金薄膜よりなる垂直磁気
記録層１３とを特開昭57−100627号公報と同様の
対向ターゲツト式スパツタ法で順次積層し、更に
その上にコバルト金属をターゲツトとし酸化性ガ
ス雰囲気下の公知の反応性スパツタリング法で
200ÅのCo3O4を主成分としたコバルト酸化物の
保護層１４を積層したものを、直径5.25インチに
打ち抜いてフロツピーデイスクとしたものであ
る。 一方垂直磁気記録ヘツド２０は、幅300μｍ、
厚さ1μｍのパーマロイ（ニツケル・鉄）薄膜の
主磁極２１をマンガン・ジンクフエライトコア２
２で支持すると共に、励磁コイル２３を巻いたも
ので、主磁極２１の先端部を挾んで媒体と摺動す
る面にビツカース硬度が1000〜2000の各種のアル
ミナを主成分とするセラミツクス具体的にはAl2
O3・TiB2（実施例１）、Al2O3・ZrO2（実施例２）、
Al2O3・TiO2（実施例３）、Al2O3・Fe2O3・TiC
（実施例４）からなる各種のスライダー部２４を
設けたものを作成し、評価した。なお、スライダ
ー部２４の表面は50mmＲの曲率に研磨されてい
る。又、実施例に用いたAl2O3・TiB2，Al2O3・
ZrO2，Al2O3・TiO2，Al2O3・Fe2O3・TiCの気
孔率は全て0.2％以下であつた。 比較例として、ヘツドとして実施例と同じ構成
でスライダー部２４の材質にガラス（BK7）（比
較例１）、チタン酸バリウム（比較例２）を用い
たものを作成し、実施例と共に耐久性評価を行な
つた。 耐久性評価は、評価するヘツドをセツトしたデ
イスクドライブに評価する媒体をセツトし、
300rpmで300万パス回転させる摺動テストの前後
の媒体及びヘツドの表面の粗れ具合で行なつた。
具体的には媒体については摺動テスト前後の表面
性を表面粗さ計（SURFCOM、東京精密(株)製）
を用いて中心線平均粗さ（CLA）として求め、
摺動後のCLA値を摺動前のCLA値で除算した相
対的表面粗さにより、一方ヘツドについては摺動
テスト後のスライダー部の表面を前記表面粗さ計
を用いて測定しその最大摩耗深さを求めて行つ
た。その結果を次頁の表に示す。
りなる記録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に磁
気記録情報を記録再生する方式に関したものであ
り、更に詳しくは長期使用にわたつて安定した磁
気記録再生を可能とした新しい磁気記録再生方式
に関するものである。 〔従来技術〕 近年高密度記録への要求はますます高くなり、
従来のバインダーを用いた塗布型に替わるものと
して、磁気記録層として強磁性金属薄膜を用いた
もの、更には特公昭58−91号公報等の如く垂直磁
気異方性を有するコバルト系合金薄膜を用いたも
の等金属薄膜を記録層とした薄膜型の磁気記録媒
体が提案されている。しかし磁気記録層としてか
かる金属薄膜を用いた場合には、磁気記録ヘツド
との摩擦抵抗が大きいために摩耗や損傷を受けや
すく耐久性に欠けるという難点がある。 このため従来より強磁性金属薄膜上に更に保護
層として有機高分子、高硬度金属、セラミツクス
等を設けたのもが種々提案されている。 しかしこれら薄膜型の磁気記録媒体の耐摩耗
性、即ち磁気ヘツド上を繰返し走行させた時の磁
気記録媒体の寿命は従来の塗布型の磁気記録媒体
にくらべて劣り、実用上未だ充分ではない状態で
ある。 また、磁気記録ヘツドとしては、従来の塗布型
の磁気記録媒体用として、記録媒体と摺動する面
をチタン酸バリウム等で構成したものが知られて
いるが、これらは記録再生の摺動において、媒体
に傷を付けず、ヘツド摺動面自体も摩耗しないも
ので、耐久性に優れたものが使われている。しか
し、前記の薄膜型の磁気記録媒体は、潤滑剤等を
しみ込ませて耐久性を上げている前述の塗布型媒
体とは異つて記録層が潤滑剤がしみ込まない薄膜
金属層からなるので、磁気記録ヘツドは記録媒体
との摺動により、損傷を受けやすく、またこの損
傷により逆に記録媒体にも傷が発生しやすく耐久
性に乏しいという欠点があつた。 〔発明の目的〕 本発明はかかる現状に鑑みなされたもので、耐
久性に優れた強磁性金属を主成分とする金属薄膜
よりなる記録層を有する薄膜型の磁気記録媒体に
情報を記録再生する磁気記録再生方式を目的とし
たものである。 〔発明の構成・作用〕 すなわち、本発明は基体上に強磁性金属薄膜よ
りなる記録層、金属酸化物よりなる保護層を形成
した磁気記録媒体と組合せて磁気ヘツドとして
は、磁気記録媒体との摺動面をなすスライダー部
をビツカース硬度が1000〜2000のアルミナを主成
分とする多結晶焼結体のセラミツクスで構成され
たものを用い、該磁気記録媒体に記録再生するこ
とを特徴とする磁気記録再生方式である。 上述の本発明において、磁気ヘツドの摺動面の
アルミナを主成分とするセラミツクスの第二成分
としては金属酸化物、炭化物、窒化物、硼化物が
掲げられる。これらの具体例としては次の様なも
のが掲げられる。すなわちこれらは、Al2O3・
Fe2O3・TiC，Al2O3・TiO2，Al2O3・ZrO2，Al2
O3・TiB2等である。 なお該セラミツクスの硬度としては更に好まし
くはビツカース硬度1400〜2000である。 本発明の磁気ヘツドは、媒体と摺動する面が上
述のセラミツクスで構成される以外は何ら限定さ
れず、通常のリングヘツド、後述の実施例の示す
ような垂直ヘツド・あるいは薄膜ヘツド等全ての
磁気ヘツドが適用できる。 又、本発明の磁気記録媒体としては、強磁性金
属薄膜を記録層としたとし、該記録層上に金属酸
化物よりなる保護層を形成した薄膜型磁気記録媒
体であれば何ら限定されないことはその作用から
明らかで、面内及び垂直磁気記録用として公知の
もの全てが適用できる。代表的には基体上に鉄、
コバルト、ニツケル等の金属あるいはこれらの合
金からなる強磁性金属薄膜層を、垂直磁気異方性
を有するコバルト系合金薄膜等からなる垂直記録
用の金属薄膜層を、または鉄、パーマロイ、コバ
ルト・ニオブ・ジルコン合金等の高透磁率を有す
る金属層に続けてその上に前述の垂直記録用の金
属薄膜層を順次形成したもの等の薄膜型の磁気記
録媒体等が挙げられる。 なお、保護層は金属酸化物であれば特に限定さ
れないが、好ましいものはコバルト酸化物であ
る。更に一層好ましくはCo3O4を主成分とするコ
バルト酸化物である。 以上の本発明は、強磁性の金属薄膜よりなる磁
気記録媒体と摺動する面がアルミナを主成分とす
る多結晶焼結体のセラミツクスで構成された磁気
ヘツドとの組合せによりはじめて非常に耐摩耗性
のある薄膜型の磁気記録媒体の磁気記録再生方式
を実現したものである。 以下に本発明の実施例を示す。 第１図は本発明の垂直記録方式での一構成例を
示すもので、１０はフロツピーデイスク用のフレ
キシブル両面型の垂直磁気記録媒体、２０は公知
の主磁極励磁型の垂直磁気記録ヘツドである。垂
直磁気記録媒体１０は、厚さ50μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフイルムを基体１１とし、その
両面に0.4μｍのニツケルを鉄合金よりなる高透磁
率金属薄膜層１２と、0.4μｍのコバルト・クロム
（クロム：20wt％）の合金薄膜よりなる垂直磁気
記録層１３とを特開昭57−100627号公報と同様の
対向ターゲツト式スパツタ法で順次積層し、更に
その上にコバルト金属をターゲツトとし酸化性ガ
ス雰囲気下の公知の反応性スパツタリング法で
200ÅのCo3O4を主成分としたコバルト酸化物の
保護層１４を積層したものを、直径5.25インチに
打ち抜いてフロツピーデイスクとしたものであ
る。 一方垂直磁気記録ヘツド２０は、幅300μｍ、
厚さ1μｍのパーマロイ（ニツケル・鉄）薄膜の
主磁極２１をマンガン・ジンクフエライトコア２
２で支持すると共に、励磁コイル２３を巻いたも
ので、主磁極２１の先端部を挾んで媒体と摺動す
る面にビツカース硬度が1000〜2000の各種のアル
ミナを主成分とするセラミツクス具体的にはAl2
O3・TiB2（実施例１）、Al2O3・ZrO2（実施例２）、
Al2O3・TiO2（実施例３）、Al2O3・Fe2O3・TiC
（実施例４）からなる各種のスライダー部２４を
設けたものを作成し、評価した。なお、スライダ
ー部２４の表面は50mmＲの曲率に研磨されてい
る。又、実施例に用いたAl2O3・TiB2，Al2O3・
ZrO2，Al2O3・TiO2，Al2O3・Fe2O3・TiCの気
孔率は全て0.2％以下であつた。 比較例として、ヘツドとして実施例と同じ構成
でスライダー部２４の材質にガラス（BK7）（比
較例１）、チタン酸バリウム（比較例２）を用い
たものを作成し、実施例と共に耐久性評価を行な
つた。 耐久性評価は、評価するヘツドをセツトしたデ
イスクドライブに評価する媒体をセツトし、
300rpmで300万パス回転させる摺動テストの前後
の媒体及びヘツドの表面の粗れ具合で行なつた。
具体的には媒体については摺動テスト前後の表面
性を表面粗さ計（SURFCOM、東京精密(株)製）
を用いて中心線平均粗さ（CLA）として求め、
摺動後のCLA値を摺動前のCLA値で除算した相
対的表面粗さにより、一方ヘツドについては摺動
テスト後のスライダー部の表面を前記表面粗さ計
を用いて測定しその最大摩耗深さを求めて行つ
た。その結果を次頁の表に示す。
【表】
表から明らかの様に、本発明のヘツドのスライ
ダー部にアルミナを主成分とするセラミツクスを
用いた組合せが媒体の表面粗さの変化が少なく、
ヘツドのスライダー部にも傷が少なく、300万パ
スの摺動テストでは劣化が少なく、比較例のいづ
れに比しても良好な結果であり、高い耐久性を示
した。 尚、本発明はその趣旨からいつて、実施例に示
したフロツピーデイスク及び垂直磁気記録媒体、
垂直ヘツドを用いた垂直磁気記録方式に何等限定
されるものではなく、アルミナ酸化処理をしたア
ルミデイスク等所謂ハードデイスク、磁気テープ
への適用、鉄、コバルト、ニツケル等強磁性金属
薄膜層よりなる面内磁気記録用媒体とリングヘツ
ドとを組み合せた面内磁気記録方式にも適用出来
る事は云うまでもない。
ダー部にアルミナを主成分とするセラミツクスを
用いた組合せが媒体の表面粗さの変化が少なく、
ヘツドのスライダー部にも傷が少なく、300万パ
スの摺動テストでは劣化が少なく、比較例のいづ
れに比しても良好な結果であり、高い耐久性を示
した。 尚、本発明はその趣旨からいつて、実施例に示
したフロツピーデイスク及び垂直磁気記録媒体、
垂直ヘツドを用いた垂直磁気記録方式に何等限定
されるものではなく、アルミナ酸化処理をしたア
ルミデイスク等所謂ハードデイスク、磁気テープ
への適用、鉄、コバルト、ニツケル等強磁性金属
薄膜層よりなる面内磁気記録用媒体とリングヘツ
ドとを組み合せた面内磁気記録方式にも適用出来
る事は云うまでもない。
第１図は本発明の一つの構成例の説明図であ
る。 １０……フレキシブル垂直磁気デイスク、２０
……垂直磁気記録ヘツド、１１……基体、１２…
…高透磁率金属薄層、１３……コバルト・クロム
金属薄層、１４……コバルト酸化物の保護層、２
１……主磁極、２２……コア、２３……励磁コイ
ル、２４……スライダー部。
る。 １０……フレキシブル垂直磁気デイスク、２０
……垂直磁気記録ヘツド、１１……基体、１２…
…高透磁率金属薄層、１３……コバルト・クロム
金属薄層、１４……コバルト酸化物の保護層、２
１……主磁極、２２……コア、２３……励磁コイ
ル、２４……スライダー部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基体上に強磁性金属薄膜よりなる記録層、金
属酸化物よりなる保護層を形成した磁気記録媒体
と、該磁気記録媒体と摺動する面がビツカース硬
度1000〜2000のアルミナを主成分とする多結晶焼
結体のセラミツクスで構成された磁気ヘツドを用
いて磁気記録再生を行う事を特徴とする磁気記録
再生方式。 ２ 前記アルミナを主成分とする多結晶焼結体の
セラミツクスの第二成分が金属酸化物、炭化物、
窒化物、硼化物である特許請求の範囲第１項記載
の磁気記録再生方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10925485A JPS61267910A (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | 磁気記録再生方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10925485A JPS61267910A (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | 磁気記録再生方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61267910A JPS61267910A (ja) | 1986-11-27 |
| JPH058481B2 true JPH058481B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=14505516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10925485A Granted JPS61267910A (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | 磁気記録再生方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61267910A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5684661A (en) * | 1995-04-13 | 1997-11-04 | Eastman Kodak Company | Magnetic head assembly and method for reading and/or writing data onto a thin magnetic layer placed on a photographic element |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57198578A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-06 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | Material for magnetic head and slider |
| JPS58139323A (ja) * | 1982-02-12 | 1983-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁化記録ヘツド |
| JPS58182119A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS61178702A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-11 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録方式 |
-
1985
- 1985-05-23 JP JP10925485A patent/JPS61267910A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57198578A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-06 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | Material for magnetic head and slider |
| JPS58139323A (ja) * | 1982-02-12 | 1983-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁化記録ヘツド |
| JPS58182119A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘツド |
| JPS61178702A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-11 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録方式 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61267910A (ja) | 1986-11-27 |
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