JPH0582082A - 液体クロマトグラフ質量分析装置の高感度，高分解能測定装置 - Google Patents
液体クロマトグラフ質量分析装置の高感度，高分解能測定装置Info
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- JPH0582082A JPH0582082A JP3241907A JP24190791A JPH0582082A JP H0582082 A JPH0582082 A JP H0582082A JP 3241907 A JP3241907 A JP 3241907A JP 24190791 A JP24190791 A JP 24190791A JP H0582082 A JPH0582082 A JP H0582082A
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- Japan
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- voltage
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】制御用コンピュータを専有することなく、低い
質量数から高い質量数まで各制御項目のパラメータを高
速で制御し、安定したスペトルを検出する手段を提供す
る。 【構成】ＬＣ１より分離された試料は霧化部２で霧化さ
れ、脱溶媒部３を通り、針電極４にて印加された高電圧
でイオン化される。該イオン化されたイオンは、第１細
孔５と第２細孔６間に印加されたドリフト電圧９により
解離、フォーカスレンズ１１により収束され、質量分析
部１３にて質量分散される。質量分散されたイオンは、
偏向電極１４により偏向され検知器１６で検知される。
上記各電圧は、制御ＣＰＵからの記憶部へのアドレスお
よびタイミング設定を、質量分散信号を制御するシフト
レジスタの出力値と切換制御ＣＰＵとは独立して、質量
分散信号に同期して、各パラメータを制御する制御部１
７から成る。
質量数から高い質量数まで各制御項目のパラメータを高
速で制御し、安定したスペトルを検出する手段を提供す
る。 【構成】ＬＣ１より分離された試料は霧化部２で霧化さ
れ、脱溶媒部３を通り、針電極４にて印加された高電圧
でイオン化される。該イオン化されたイオンは、第１細
孔５と第２細孔６間に印加されたドリフト電圧９により
解離、フォーカスレンズ１１により収束され、質量分析
部１３にて質量分散される。質量分散されたイオンは、
偏向電極１４により偏向され検知器１６で検知される。
上記各電圧は、制御ＣＰＵからの記憶部へのアドレスお
よびタイミング設定を、質量分散信号を制御するシフト
レジスタの出力値と切換制御ＣＰＵとは独立して、質量
分散信号に同期して、各パラメータを制御する制御部１
７から成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液体クロマグラフ質量
分析装置における検出スペクトルの高感度，高分解能測
定装置に関する。
分析装置における検出スペクトルの高感度，高分解能測
定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液体クロマトグラフ質量分析装置
のドリフト電圧，フォーカス電圧，偏向電極電圧の制御
を行う場合、図２のように制御コンピュータよりドリフ
ト電圧値，フォーカス電圧値，偏向電極電圧値をシーケ
ンシャルに出力することによりそれぞれの値をＤ／Ａ変
換器で制御信号に変換し、ドリフト電源，フォーカス電
源，偏向電極電源を制御していた。しかし、質量分散信
号に対し、制御項目が増えれば増えるほど時間的ずれが
発生し、ピーク感度，分解能が低下する原因となってい
た。また、調整時間の効率を低下する原因となってい
た。なお、この種の装置として関連するものには、たと
えば特願昭62−1950号が挙げられる。
のドリフト電圧，フォーカス電圧，偏向電極電圧の制御
を行う場合、図２のように制御コンピュータよりドリフ
ト電圧値，フォーカス電圧値，偏向電極電圧値をシーケ
ンシャルに出力することによりそれぞれの値をＤ／Ａ変
換器で制御信号に変換し、ドリフト電源，フォーカス電
源，偏向電極電源を制御していた。しかし、質量分散信
号に対し、制御項目が増えれば増えるほど時間的ずれが
発生し、ピーク感度，分解能が低下する原因となってい
た。また、調整時間の効率を低下する原因となってい
た。なお、この種の装置として関連するものには、たと
えば特願昭62−1950号が挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、制御
用コンピュータとは独立にすなわち、制御コンピュータ
を専有することなく、低い質量数から高い質量数まで各
制御項目のパラメータを高速で制御し、安定したスペク
トルを検出する点について配慮されておらず、質量数変
化に影響されずに安定したスペクトル検出が得られない
という問題があった。
用コンピュータとは独立にすなわち、制御コンピュータ
を専有することなく、低い質量数から高い質量数まで各
制御項目のパラメータを高速で制御し、安定したスペク
トルを検出する点について配慮されておらず、質量数変
化に影響されずに安定したスペクトル検出が得られない
という問題があった。
【０００４】本発明は、制御用コンピュータを専有する
ことなく、低い質量数から高い質量数まで各制御項目の
パラメータを高速で制御し、安定したスペトルを検出す
る手段を提供することを目的とする。
ことなく、低い質量数から高い質量数まで各制御項目の
パラメータを高速で制御し、安定したスペトルを検出す
る手段を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、各制御項目ごとにパラメータを制御するＤ／Ａ変換
器へのデジタル値の入力部に記憶部を設け、該記憶部は
ＣＰＵより、あらかじめ、低質量数から高質量数まで安
定に高感度で高分解能で、スペクトルが得られるように
調整された関数を記憶されている。
に、各制御項目ごとにパラメータを制御するＤ／Ａ変換
器へのデジタル値の入力部に記憶部を設け、該記憶部は
ＣＰＵより、あらかじめ、低質量数から高質量数まで安
定に高感度で高分解能で、スペクトルが得られるように
調整された関数を記憶されている。
【０００６】該記憶部のアドレスがシフトレジスタの出
力により選択され、該シフトレジスタのシフト信号に同
期して記憶部に対するチップセレクト信号が出力し、該
記憶部よりリードされたデータは、それぞれの後段に位
置したＤ／Ａ変換器の入力デジタル値として出力され
る。該レジスタ出力は、制御項目のパラメータごとに保
持した記憶部のアドレスバッファの切換え信号により同
時に直結可能とし、該シフト信号に同期して出されるチ
ップセレクト信号も同時に出力することにより、各パラ
メータごとに位置したＤ／Ａ変換器は記憶部内に書き込
まれた関数に従って、ＣＰＵとは独立に制御可能とし、
質量分散に影響することなく、高感度，高分解能のスペ
クトルを得られるようにしたものである。
力により選択され、該シフトレジスタのシフト信号に同
期して記憶部に対するチップセレクト信号が出力し、該
記憶部よりリードされたデータは、それぞれの後段に位
置したＤ／Ａ変換器の入力デジタル値として出力され
る。該レジスタ出力は、制御項目のパラメータごとに保
持した記憶部のアドレスバッファの切換え信号により同
時に直結可能とし、該シフト信号に同期して出されるチ
ップセレクト信号も同時に出力することにより、各パラ
メータごとに位置したＤ／Ａ変換器は記憶部内に書き込
まれた関数に従って、ＣＰＵとは独立に制御可能とし、
質量分散に影響することなく、高感度，高分解能のスペ
クトルを得られるようにしたものである。
【０００７】
【作用】あらかじめ、自動調整または手動調整により得
られた各制御項目ごとの関数を、制御コンピュータ（以
下制御ＣＰＵと称す）はＤ／Ａ変換器の前段に位置する
記憶部に記憶する。
られた各制御項目ごとの関数を、制御コンピュータ（以
下制御ＣＰＵと称す）はＤ／Ａ変換器の前段に位置する
記憶部に記憶する。
【０００８】ＣＰＵは質量分散信号を発生するシフトレ
ジスタに対し、掃引時間および掃引範囲を設定した後、
ＣＰＵ−メモリ間の制御をシフトレジスターメモリ間制
御に切換える。ベースクロック信号から発せられた、カ
ウンタクロックによりシフトレジスタの出力は掃引範囲
をカウントアップまたはカウントダウンする。該出力値
はメモリアドレスに送出され、同時にカウントアップあ
るいはカウンドダウン信号に同期して記憶部の読み出し
信号チップセレクトを出力する。該読み出された記憶部
内の内容はラッチされ後段に位置するＤ／Ａ変換器の入
力値となる。
ジスタに対し、掃引時間および掃引範囲を設定した後、
ＣＰＵ−メモリ間の制御をシフトレジスターメモリ間制
御に切換える。ベースクロック信号から発せられた、カ
ウンタクロックによりシフトレジスタの出力は掃引範囲
をカウントアップまたはカウントダウンする。該出力値
はメモリアドレスに送出され、同時にカウントアップあ
るいはカウンドダウン信号に同期して記憶部の読み出し
信号チップセレクトを出力する。該読み出された記憶部
内の内容はラッチされ後段に位置するＤ／Ａ変換器の入
力値となる。
【０００９】該記憶部内に書き込まれた関数はＤ／Ａ変
換器より、デジタルアナログ変換されて各制御項目を制
御することになる。それによって、液体クロマトグラフ
質量分析装置は低質量から高質量まで、質量分散に影響
されることなく、安定した高感度、高分解能なスペクト
ルを得ることができる。
換器より、デジタルアナログ変換されて各制御項目を制
御することになる。それによって、液体クロマトグラフ
質量分析装置は低質量から高質量まで、質量分散に影響
されることなく、安定した高感度、高分解能なスペクト
ルを得ることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により設定す
る液体試料の分離を行う液体クロマトグラフと該ＬＣ１
より、溶媒とともに流出する試料を霧化する霧化部２と
該霧化された溶媒および試料から溶媒を熱によって気化
させる脱溶媒部３に数ｋＶの高電圧を印加した電極の先
端部にてコロナ放電を発生させ、イオン化する針電極４
と、該イオンを大気圧から高真空へ導入する第１細孔５
および第２細孔６からなる中間圧力部７と、該イオンを
真空中で加速する加速電圧が印加された第２細孔と、該
第１細孔と第２細孔間に数百ボルトのドリフト電圧を印
加するドリフト電源９と、該加速電源８により加速され
たイオンを収束させるフォーカスレンズ１１と、該フォ
ーカスレンズに電圧を印加するフォーカス電源１２と、
該収束されたイオンを質量分散させる質量分析部１３
と、該質量分散されたイオンを偏向し、検出し易くする
ための偏向電極１４および偏向電極電源１５、該偏向さ
れたイオンを検出する検知部１６と、該検知部より得ら
れたスペクトル形状からピーク感度および分解能を調整
制御する制御部１７から構成されている。
る液体試料の分離を行う液体クロマトグラフと該ＬＣ１
より、溶媒とともに流出する試料を霧化する霧化部２と
該霧化された溶媒および試料から溶媒を熱によって気化
させる脱溶媒部３に数ｋＶの高電圧を印加した電極の先
端部にてコロナ放電を発生させ、イオン化する針電極４
と、該イオンを大気圧から高真空へ導入する第１細孔５
および第２細孔６からなる中間圧力部７と、該イオンを
真空中で加速する加速電圧が印加された第２細孔と、該
第１細孔と第２細孔間に数百ボルトのドリフト電圧を印
加するドリフト電源９と、該加速電源８により加速され
たイオンを収束させるフォーカスレンズ１１と、該フォ
ーカスレンズに電圧を印加するフォーカス電源１２と、
該収束されたイオンを質量分散させる質量分析部１３
と、該質量分散されたイオンを偏向し、検出し易くする
ための偏向電極１４および偏向電極電源１５、該偏向さ
れたイオンを検出する検知部１６と、該検知部より得ら
れたスペクトル形状からピーク感度および分解能を調整
制御する制御部１７から構成されている。
【００１１】さらに該制御部は、質量分散信号出力部１
８と、ドリフト電圧制御信号出力部１９と、フォーカス
電圧制御信号出力部２０と、偏向電極電圧制御信号出力
部２１と、制御ＣＰＵ２２から各出力部に持つ記憶部２
３，２４，２５へアドレスを設定するか、該質量分散信
号をハード的にＣＰＵとは独立して出力するシフトレジ
スタ２６からアドレスを設定するかのアドレス切換部２
７と、それにともなって記憶部、あるいはＤ／Ａ変換器
８〜３０をタイミングをコントロールするタイミングコ
ントロール３１と該タイミングのトリガー信号をＣＰＵ
から出力するか、シフトレジスタから出力するかを切換
えるトリガ信号切換部３１から構成されている。
８と、ドリフト電圧制御信号出力部１９と、フォーカス
電圧制御信号出力部２０と、偏向電極電圧制御信号出力
部２１と、制御ＣＰＵ２２から各出力部に持つ記憶部２
３，２４，２５へアドレスを設定するか、該質量分散信
号をハード的にＣＰＵとは独立して出力するシフトレジ
スタ２６からアドレスを設定するかのアドレス切換部２
７と、それにともなって記憶部、あるいはＤ／Ａ変換器
８〜３０をタイミングをコントロールするタイミングコ
ントロール３１と該タイミングのトリガー信号をＣＰＵ
から出力するか、シフトレジスタから出力するかを切換
えるトリガ信号切換部３１から構成されている。
【００１２】次に本発明の実施例の動作を図２によって
説明する。ＬＣ１によって分離された試料は霧化部２で
霧化され、脱溶媒部３にて溶媒を除去し、乾燥状態の試
料が、第１細孔５へ向かって飛ぶ。ここで該第１細孔と
高電圧を印加した針電極４との間でコロナ放電が発生し
試料がイオン化される。イオン化されたイオンは、第１
細孔５を通り、中間圧力部７を通り第２細孔６へ向か
う。ここで第１細孔５と第２細孔６間にはドリフト電圧
が印加されており、このドリフト電圧を変化させること
により空間の電界が変化し、イオン分子同志で衝突解離
が起こる。第２細孔を通りぬけたイオンは、第２細孔に
印加された加速電圧により加速されたフォーカスレンズ
１１により収束され、質量分析部１３によって質量ごと
に分散される。該分散されたイオンはさらに偏向電極１
４で偏向され、検出器１６で補足される。該補足された
イオン量を縦軸に、質量対電荷比を横軸にしてプロット
したスペクトルを取得し、その比率が最も良い状態にな
るように各電極電圧を制御するのが制御部１７である。
該制御部は制御ＣＰＵ２２から質量分析部に印加する高
電圧を制御する質量分散信号制御値を、Ｄ／Ａ変換器３
３に設定することにより質量分散が制御される。また同
様にドリフト電源制御値、フォーカス電源制御値、偏向
電極電源制御値を各々のＤ／Ａ変換器２８〜３０に設定
することにより制御される。ここで各々の制御信号は高
感度、高分解能を得るためには、それぞれ独立して質量
数に依存したある関数に基づいて制御する必要がある。
そこで低質量から高質量までの特定な複数のスペクトル
ピークを選択し、そのピークの最高感度および分解能と
なるように調整し、その点をテーブルとして記憶する。
調整終了後、それぞれのパラメータごとに調整点間を補
間計算し、関数を作成し、この関数をそれぞれの記憶部
２３〜２５に記憶する。次にタイミングコントロール部
３１および、アドレス切換部２７をシフトレジスタの出
力信号により制御可能となるように切換え、シフトレジ
スタのカウント信号と同期してタイミング信号が発生さ
れる回路構成とする。したがって、該シフトレジスタ出
力は質量分散制御信号の制御値であるので、該出力をカ
ウントアップあるいはダウンすることにより記憶部のア
ドレスが設定され、それぞれの関数に基づいて、質量分
散制御信号と同期してドリフト電圧，フォーカス電圧，
偏向電圧が制御される。
説明する。ＬＣ１によって分離された試料は霧化部２で
霧化され、脱溶媒部３にて溶媒を除去し、乾燥状態の試
料が、第１細孔５へ向かって飛ぶ。ここで該第１細孔と
高電圧を印加した針電極４との間でコロナ放電が発生し
試料がイオン化される。イオン化されたイオンは、第１
細孔５を通り、中間圧力部７を通り第２細孔６へ向か
う。ここで第１細孔５と第２細孔６間にはドリフト電圧
が印加されており、このドリフト電圧を変化させること
により空間の電界が変化し、イオン分子同志で衝突解離
が起こる。第２細孔を通りぬけたイオンは、第２細孔に
印加された加速電圧により加速されたフォーカスレンズ
１１により収束され、質量分析部１３によって質量ごと
に分散される。該分散されたイオンはさらに偏向電極１
４で偏向され、検出器１６で補足される。該補足された
イオン量を縦軸に、質量対電荷比を横軸にしてプロット
したスペクトルを取得し、その比率が最も良い状態にな
るように各電極電圧を制御するのが制御部１７である。
該制御部は制御ＣＰＵ２２から質量分析部に印加する高
電圧を制御する質量分散信号制御値を、Ｄ／Ａ変換器３
３に設定することにより質量分散が制御される。また同
様にドリフト電源制御値、フォーカス電源制御値、偏向
電極電源制御値を各々のＤ／Ａ変換器２８〜３０に設定
することにより制御される。ここで各々の制御信号は高
感度、高分解能を得るためには、それぞれ独立して質量
数に依存したある関数に基づいて制御する必要がある。
そこで低質量から高質量までの特定な複数のスペクトル
ピークを選択し、そのピークの最高感度および分解能と
なるように調整し、その点をテーブルとして記憶する。
調整終了後、それぞれのパラメータごとに調整点間を補
間計算し、関数を作成し、この関数をそれぞれの記憶部
２３〜２５に記憶する。次にタイミングコントロール部
３１および、アドレス切換部２７をシフトレジスタの出
力信号により制御可能となるように切換え、シフトレジ
スタのカウント信号と同期してタイミング信号が発生さ
れる回路構成とする。したがって、該シフトレジスタ出
力は質量分散制御信号の制御値であるので、該出力をカ
ウントアップあるいはダウンすることにより記憶部のア
ドレスが設定され、それぞれの関数に基づいて、質量分
散制御信号と同期してドリフト電圧，フォーカス電圧，
偏向電圧が制御される。
【００１３】本実施例によれば、自動調整または手動調
整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変換器の前
後に位置する記憶部に書き込むこと、および該記憶部の
アドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジスタの出
力から設定可能とする切換え手段を持つこと、および該
シフトレジスタのカウントアップまたはカウントダウン
信号に同期して、該記憶部内の関数を随時、読み出し、
Ｄ／Ａの入力値とすることができるので、ＣＰＵとは独
立して低質量から高質量まで安定して高感度，高分解能
なスペクトルを得ることが出来る。
整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変換器の前
後に位置する記憶部に書き込むこと、および該記憶部の
アドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジスタの出
力から設定可能とする切換え手段を持つこと、および該
シフトレジスタのカウントアップまたはカウントダウン
信号に同期して、該記憶部内の関数を随時、読み出し、
Ｄ／Ａの入力値とすることができるので、ＣＰＵとは独
立して低質量から高質量まで安定して高感度，高分解能
なスペクトルを得ることが出来る。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、自動調整または手動調
整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変換器の前
段に位置する記憶部に書き込むこと、および該記憶部の
アドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジスタの出
力から設定可能とする切換手段を持つこと、および該シ
フトレジスタのカウントアップまたはカウントダウン信
号に同期して該記憶部内の関数を読み出し、Ｄ／Ａ変換
器の入力値とすることができるので、ＣＰＵとは独立し
て低質量から高質量まで安定して高感度，高分解能なス
ペクトルを得られる効果がある。
整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変換器の前
段に位置する記憶部に書き込むこと、および該記憶部の
アドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジスタの出
力から設定可能とする切換手段を持つこと、および該シ
フトレジスタのカウントアップまたはカウントダウン信
号に同期して該記憶部内の関数を読み出し、Ｄ／Ａ変換
器の入力値とすることができるので、ＣＰＵとは独立し
て低質量から高質量まで安定して高感度，高分解能なス
ペクトルを得られる効果がある。
【図１】本発明の一実施例の全体構成図である。
【図２】本発明の制御部の詳細構成図である。
【符号の説明】 １…液体クロマトグラフ、２…霧化部、３…脱溶媒部、
４…針電極、５…第１細孔、６…第２細孔、７…中間圧
力部、８…加速電源、９…ドリフト電源、１０…針電極
電源、１１…フォーカスレンズ、１２…フォーカス電
源、１３…質量分析部、１４…偏向電極、１５…偏向電
極電源、１６…検知器、１７…制御部、１８…質量分散
信号出力部、１９…ドリフト電圧制御信号出力部、２０
…フォーカス電圧制御信号出力部、２１…偏向電極電圧
制御信号出力部、２２…制御CPU、２３，２４，２５…
記憶部、２６…シフトレジスタ、２７…アドレス切換
部、３１…タイミングコントロール部、２８，２９，３
０，３３…Ｄ／Ａ変換器、３２…トリガ信号切換部、３
４…デコーダ。
４…針電極、５…第１細孔、６…第２細孔、７…中間圧
力部、８…加速電源、９…ドリフト電源、１０…針電極
電源、１１…フォーカスレンズ、１２…フォーカス電
源、１３…質量分析部、１４…偏向電極、１５…偏向電
極電源、１６…検知器、１７…制御部、１８…質量分散
信号出力部、１９…ドリフト電圧制御信号出力部、２０
…フォーカス電圧制御信号出力部、２１…偏向電極電圧
制御信号出力部、２２…制御CPU、２３，２４，２５…
記憶部、２６…シフトレジスタ、２７…アドレス切換
部、３１…タイミングコントロール部、２８，２９，３
０，３３…Ｄ／Ａ変換器、３２…トリガ信号切換部、３
４…デコーダ。
Claims (3)
- 【請求項１】大気圧あるいはそれに近い圧力で動作する
イオン化部を備え、二段階の差動排気を用いて上記イオ
ン化部で生成したイオンを中間圧力領域を経て、分析部
に導入しうる液体クロマトグラフ質量分析装置におい
て、液体試料の分離を行う液体クロマトグラフ（以下、
ＬＣと称す。）と該ＬＣより溶媒とともに流出する試料
を霧化する霧化部と、該霧化された溶媒および試料から
溶媒を熱によって気化させる脱溶媒部と、該脱溶媒部に
おいて溶媒の一部と気化された試料に高電圧を印加した
針電極の先端部にてコロナ放電を発生させ大気圧でイオ
ン化する針電極と、該イオンを大気圧から高真空へ導入
する第１細孔、および第２細孔から成る中間圧力部と該
イオンを真空中で加速する加速電圧が印加された第２細
孔と第１細孔間には、数百ボルトのドリフト電圧を印加
するドリフト電源、およびドリフト電源と該加速された
イオンを収束させるフォーカスレンズと、該収束された
イオンを質量分散させる質量分析部と、該質量分散され
たイオンを偏向し検出し易くするための偏向電極と、該
偏向されたイオンを検出する検知部と該検知部より得ら
れたスペクトル形状から、ピーク感度および分解能を調
整、制御する制御部から成る液体クロマトグラフ質量分
析装置において、質量分散を行う制御信号に同期して該
ドリフト電圧、およびフォーカスレンズ電圧、および偏
向電極電圧の機差や質量分散能力差を考慮したそれぞれ
独立した関数を記憶する記憶部と該記憶部は、質量分散
制御信号のデジタル値がＣＰＵとは独立してアドレス設
定となる切換部と該デジタル値のカウントアップまたは
カウントダウン信号に同期して、記憶部の領域選択を行
い該読み出されたデータを記憶部後段に位置するＤ／Ａ
変換器に送出し、各々の電源を制御することにより機差
および質量分散能力差に影響することなく、高感度高分
解能を得られる手段を設けたことを特徴とする液体クロ
マトグラフ質量分析装置の高感度，高分解能測定装置。 - 【請求項２】請求項１記載の液体クロマトグラフ質量分
析装置の高感度，高分解能測定装置において、上記霧化
部に高電界を印加し静電噴霧により霧化する手段を有
し、上記脱溶媒部を除去したことを特徴とする液体クロ
マトグラフ質量分析装置の高感度，高分解能測定装置。 - 【請求項３】請求項１記載の液体クロマトグラフ質量分
析装置の高感度，高分解能測定装置において、上記霧化
部を持ち上記脱溶媒部のみを除去したことを特徴とする
液体クロマトグラフ質量分析装置の高感度，高分解能測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24190791A JP3435695B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24190791A JP3435695B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 質量分析装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001280907A Division JP2002157972A (ja) | 2001-09-17 | 2001-09-17 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582082A true JPH0582082A (ja) | 1993-04-02 |
| JP3435695B2 JP3435695B2 (ja) | 2003-08-11 |
Family
ID=17081330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24190791A Expired - Fee Related JP3435695B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3435695B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0629554A (ja) * | 1992-03-31 | 1994-02-04 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JPH07260765A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 質量分析装置 |
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1991
- 1991-09-20 JP JP24190791A patent/JP3435695B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP3435695B2 (ja) | 2003-08-11 |
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