JP3435695B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、質量分析装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】近来の質量分析装置は、イオン化の効率
が良いとの理由で、略大気圧（大気圧を含む）下で試料
をイオン化する、いわゆる、大気圧イオン化質量分析計
が多く用いられている。この大気圧イオン化質量分析計
は、高真空に保たれた質量分析部を有しており、略大気
圧下でイオン化された試料イオンを、段階的に排気しな
がら、高真空の質量分析部に導いて質量分析する。
が良いとの理由で、略大気圧（大気圧を含む）下で試料
をイオン化する、いわゆる、大気圧イオン化質量分析計
が多く用いられている。この大気圧イオン化質量分析計
は、高真空に保たれた質量分析部を有しており、略大気
圧下でイオン化された試料イオンを、段階的に排気しな
がら、高真空の質量分析部に導いて質量分析する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、試
料は略大気圧でイオン化され、一方、質量分離は高真空
下でなされるので、そのため、質量分離する以前におい
て、比較的圧力の高い室から比較的圧力の低い室に試料
イオンを導く過程を経ることとなる。比較的高圧力の室
から比較的低圧力の室に導かれるときに、圧力差の影響
を受け、イオンは拡散される。このとき、低質量のもの
は拡散の影響を大きく受け、また、高質量のものはそれ
ほど影響を受けない。このような質量に応じた拡散の不
均一のため、イオンが質量分析部に効率良く導かれず、
質量分析感度が低下するという問題が生じていた。
料は略大気圧でイオン化され、一方、質量分離は高真空
下でなされるので、そのため、質量分離する以前におい
て、比較的圧力の高い室から比較的圧力の低い室に試料
イオンを導く過程を経ることとなる。比較的高圧力の室
から比較的低圧力の室に導かれるときに、圧力差の影響
を受け、イオンは拡散される。このとき、低質量のもの
は拡散の影響を大きく受け、また、高質量のものはそれ
ほど影響を受けない。このような質量に応じた拡散の不
均一のため、イオンが質量分析部に効率良く導かれず、
質量分析感度が低下するという問題が生じていた。
【０００４】また、大気圧イオン化質量分析計には、イ
オンが通過する位置に設けられる電極が複数あり、各電
極に電圧を印加することで、イオンをドリフト，収束，
偏向させるようにする。これらの動作をさせるための印
加電圧をドリフト電圧，フォーカス電圧，偏向電極電圧
といい、それぞれ独自の電源を備える。ドリフト電圧，
フォーカス電圧，偏向電極電圧の制御を行う場合、制御
コンピュータよりドリフト電圧値，フォーカス電圧値，
偏向電極電圧値をシーケンシャルに出力し、それぞれの
値をＤ／Ａ変換器で制御信号に変換し出力する。このよ
うに、ドリフト電源，フォーカス電源，偏向電極電源を
制御すると、質量分散信号に対し、時間的ずれが発生す
る。制御項目が増えれば増えるほど時間的ずれは発生
し、ピーク感度，分解能が低下する原因となる。また、
調整時間の効率を低下する原因となる。制御用コンピュ
ータとは独立に、すなわち、制御コンピュータを専有す
ることなく、低い質量数から高い質量数まで各制御項目
のパラメータを高速で制御し、安定したスペクトルを検
出する点について配慮されておらず、質量数変化に影響
されずに安定したスペクトル検出が得られないという問
題があった。
オンが通過する位置に設けられる電極が複数あり、各電
極に電圧を印加することで、イオンをドリフト，収束，
偏向させるようにする。これらの動作をさせるための印
加電圧をドリフト電圧，フォーカス電圧，偏向電極電圧
といい、それぞれ独自の電源を備える。ドリフト電圧，
フォーカス電圧，偏向電極電圧の制御を行う場合、制御
コンピュータよりドリフト電圧値，フォーカス電圧値，
偏向電極電圧値をシーケンシャルに出力し、それぞれの
値をＤ／Ａ変換器で制御信号に変換し出力する。このよ
うに、ドリフト電源，フォーカス電源，偏向電極電源を
制御すると、質量分散信号に対し、時間的ずれが発生す
る。制御項目が増えれば増えるほど時間的ずれは発生
し、ピーク感度，分解能が低下する原因となる。また、
調整時間の効率を低下する原因となる。制御用コンピュ
ータとは独立に、すなわち、制御コンピュータを専有す
ることなく、低い質量数から高い質量数まで各制御項目
のパラメータを高速で制御し、安定したスペクトルを検
出する点について配慮されておらず、質量数変化に影響
されずに安定したスペクトル検出が得られないという問
題があった。
【０００５】本発明の目的は、上記問題を解決し、感度
の良い質量分析が可能であり、更には、制御用コンピュ
ータを専有することなく、低い質量数から高い質量数ま
で各制御項目のパラメータを高速で制御し、安定したス
ペトルを検出する質量分析装置を提供することにある。
の良い質量分析が可能であり、更には、制御用コンピュ
ータを専有することなく、低い質量数から高い質量数ま
で各制御項目のパラメータを高速で制御し、安定したス
ペトルを検出する質量分析装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明では、試料を略大気圧下でイオン化するイ
オン化部と、第１の細孔電極を介して前記イオン化部か
らイオンを導入し、第２の細孔電極からイオンを放出す
る中間圧力室と、前記イオン化された試料を高真空下で
質量分散を行う質量分析部と、前記第２の細孔電極と前
記質量分析部との間に設けられたフォーカスレンズとを
有する質量分析装置であって、前記第１及び第２の細孔
電極間に印加するドリフト電圧に関する数値が記憶され
た第１の記憶部と、前記フォーカスレンズへの印加電圧
に関する数値が記憶された第２の記憶部と、前記第１及
び第２の記憶部からの出力値をＤ／Ａ変換して出力する
第１及び第２の出力部と、前記質量分析部に印加される
電圧を制御する質量分散制御値を出力する第４の出力部
と、前記質量分散制御値を示す出力を行うシフトレジス
タと、当該シフトレジスタの出力に応じて前記第１及び
第２の記憶部のアドレス信号を出力するアドレス切換部
を備え、当該アドレス切換部が出力したアドレス信号を
受けた前記第１及び第２の記憶部は、当該アドレス信号
に応じた記憶内容を前記第１及び第２の出力部に出力
し、当該出力部からの出力値が前記第１及び第２の細孔
電極間及び前記フォーカスレンズへの印加電圧値となる
ことを特徴とする。
めに、本発明では、試料を略大気圧下でイオン化するイ
オン化部と、第１の細孔電極を介して前記イオン化部か
らイオンを導入し、第２の細孔電極からイオンを放出す
る中間圧力室と、前記イオン化された試料を高真空下で
質量分散を行う質量分析部と、前記第２の細孔電極と前
記質量分析部との間に設けられたフォーカスレンズとを
有する質量分析装置であって、前記第１及び第２の細孔
電極間に印加するドリフト電圧に関する数値が記憶され
た第１の記憶部と、前記フォーカスレンズへの印加電圧
に関する数値が記憶された第２の記憶部と、前記第１及
び第２の記憶部からの出力値をＤ／Ａ変換して出力する
第１及び第２の出力部と、前記質量分析部に印加される
電圧を制御する質量分散制御値を出力する第４の出力部
と、前記質量分散制御値を示す出力を行うシフトレジス
タと、当該シフトレジスタの出力に応じて前記第１及び
第２の記憶部のアドレス信号を出力するアドレス切換部
を備え、当該アドレス切換部が出力したアドレス信号を
受けた前記第１及び第２の記憶部は、当該アドレス信号
に応じた記憶内容を前記第１及び第２の出力部に出力
し、当該出力部からの出力値が前記第１及び第２の細孔
電極間及び前記フォーカスレンズへの印加電圧値となる
ことを特徴とする。
【０００７】また、好ましくは、前記質量分散されたイ
オンを検出する検出器と、前記検出器と前記質量分析部
の間に設けられた偏向電極と、当該偏向電極への印加電
圧に関する数値が記憶された第３の記憶部と、前記第３
の記憶部からの出力値をＤ／Ａ変換して出力する第３の
出力部を備え、前記アドレス切換部は、前記シフトレジ
スタの出力に応じた前記第３の記憶部のアドレス信号を
発生し、前記アドレス切換部が発するアドレス信号を受
けた前記第３の記憶部は、当該アドレス信号に応じた記
憶内容を前記第３の出力部に出力し、当該出力部からの
出力値が前記偏向電極への印加電圧値となることを特徴
とする。
オンを検出する検出器と、前記検出器と前記質量分析部
の間に設けられた偏向電極と、当該偏向電極への印加電
圧に関する数値が記憶された第３の記憶部と、前記第３
の記憶部からの出力値をＤ／Ａ変換して出力する第３の
出力部を備え、前記アドレス切換部は、前記シフトレジ
スタの出力に応じた前記第３の記憶部のアドレス信号を
発生し、前記アドレス切換部が発するアドレス信号を受
けた前記第３の記憶部は、当該アドレス信号に応じた記
憶内容を前記第３の出力部に出力し、当該出力部からの
出力値が前記偏向電極への印加電圧値となることを特徴
とする。
【０００８】より具体的には、前記記憶部には、あらか
じめ、低質量数から高質量数まで安定に高感度且つ高分
解能でスペクトルが得られるように調整された関数が記
憶される。
じめ、低質量数から高質量数まで安定に高感度且つ高分
解能でスペクトルが得られるように調整された関数が記
憶される。
【０００９】該記憶部のアドレスがシフトレジスタの出
力により選択され、該シフトレジスタのシフト信号に同
期して記憶部に対するチップセレクト信号が出力し、該
記憶部よりリードされたデータは、それぞれの後段に位
置したＤ／Ａ変換器の入力デジタル値として出力され
る。該レジスタ出力は、制御項目のパラメータごとに保
持した記憶部のアドレスバッファの切換え信号により同
時に直結可能とし、該シフト信号に同期して出されるチ
ップセレクト信号も同時に出力することにより、各パラ
メータごとに位置したＤ／Ａ変換器は、記憶部内に書き
込まれた関数に従って、ＣＰＵとは独立に制御可能と
し、質量分散に影響することなく、高感度，高分解能の
スペクトルを得られるようにしたものである。
力により選択され、該シフトレジスタのシフト信号に同
期して記憶部に対するチップセレクト信号が出力し、該
記憶部よりリードされたデータは、それぞれの後段に位
置したＤ／Ａ変換器の入力デジタル値として出力され
る。該レジスタ出力は、制御項目のパラメータごとに保
持した記憶部のアドレスバッファの切換え信号により同
時に直結可能とし、該シフト信号に同期して出されるチ
ップセレクト信号も同時に出力することにより、各パラ
メータごとに位置したＤ／Ａ変換器は、記憶部内に書き
込まれた関数に従って、ＣＰＵとは独立に制御可能と
し、質量分散に影響することなく、高感度，高分解能の
スペクトルを得られるようにしたものである。
【００１０】
【作用】上記のように構成により、イオンが質量分析部
に効率良く導かれ、質量分析感度の向上が可能となる。
に効率良く導かれ、質量分析感度の向上が可能となる。
【００１１】また、好ましい例では、低質量から高質量
まで、質量分散に影響されることなく、安定した高感
度，高分解能なスペクトルを得ることができる。
まで、質量分散に影響されることなく、安定した高感
度，高分解能なスペクトルを得ることができる。
【００１２】具体的には、自動調整または手動調整によ
り得られた各制御項目ごとの関数を、制御コンピュータ
（以下制御ＣＰＵと称す）はＤ／Ａ変換器の前段に位置
する記憶部に記憶する。制御ＣＰＵは、質量分散信号を
発生するシフトレジスタに対し、掃引時間および掃引範
囲を設定した後、制御ＣＰＵ−記憶部間の制御をシフト
レジスタ−記憶部間制御に切換える。ベースクロック信
号から発せられたカウンタクロックにより、シフトレジ
スタの出力は掃引範囲をカウントアップまたはカウント
ダウンする。該出力値はメモリアドレスに送出され、同
時にカウントアップあるいはカウンドダウン信号に同期
して記憶部へ読み出しのためのチップセレクト信号を出
力する。該読み出された記憶部内の内容はラッチされ後
段に位置するＤ／Ａ変換器の入力値となる。該記憶部内
に書き込まれた関数は、Ｄ／Ａ変換器より、デジタルア
ナログ変換されて各制御項目を制御することになる。
り得られた各制御項目ごとの関数を、制御コンピュータ
（以下制御ＣＰＵと称す）はＤ／Ａ変換器の前段に位置
する記憶部に記憶する。制御ＣＰＵは、質量分散信号を
発生するシフトレジスタに対し、掃引時間および掃引範
囲を設定した後、制御ＣＰＵ−記憶部間の制御をシフト
レジスタ−記憶部間制御に切換える。ベースクロック信
号から発せられたカウンタクロックにより、シフトレジ
スタの出力は掃引範囲をカウントアップまたはカウント
ダウンする。該出力値はメモリアドレスに送出され、同
時にカウントアップあるいはカウンドダウン信号に同期
して記憶部へ読み出しのためのチップセレクト信号を出
力する。該読み出された記憶部内の内容はラッチされ後
段に位置するＤ／Ａ変換器の入力値となる。該記憶部内
に書き込まれた関数は、Ｄ／Ａ変換器より、デジタルア
ナログ変換されて各制御項目を制御することになる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図１に全体構成図を示す。
する。図１に全体構成図を示す。
【００１４】液体試料の分離を行う液体クロマトグラフ
（以下、ＬＣ）１と、該ＬＣ１より溶媒と共に流出する
試料を霧化する霧化部２と、該霧化された溶媒および試
料から溶媒を熱によって気化させる脱溶媒部３と、数ｋ
Ｖの高電圧を印加した電極の先端部にてコロナ放電を発
生させ、イオン化する針電極４と、該イオンを大気圧か
ら高真空へ導入する第１細孔５および第２細孔６からな
る中間圧力部７と、該イオンを真空中で加速するための
加速電圧を第２細孔６に印加する加速電源８と、該第１
細孔５と第２細孔６間に数百ボルトのドリフト電圧を印
加するドリフト電源９と、該加速電源８により加速され
たイオンを収束させるフォーカスレンズ１１と、該フォ
ーカスレンズ１１に電圧を印加するフォーカス電源１２
と、該収束されたイオンを質量分散させる質量分析部１
３と、該質量分散されたイオンを偏向し、検出し易くす
るための偏向電極１４および偏向電極電源１５と、該偏
向されたイオンを検出する検知部１６と、該検知部１６
より得られたスペクトル形状からピーク感度および分解
能を調整制御する制御部１７から構成されている。
（以下、ＬＣ）１と、該ＬＣ１より溶媒と共に流出する
試料を霧化する霧化部２と、該霧化された溶媒および試
料から溶媒を熱によって気化させる脱溶媒部３と、数ｋ
Ｖの高電圧を印加した電極の先端部にてコロナ放電を発
生させ、イオン化する針電極４と、該イオンを大気圧か
ら高真空へ導入する第１細孔５および第２細孔６からな
る中間圧力部７と、該イオンを真空中で加速するための
加速電圧を第２細孔６に印加する加速電源８と、該第１
細孔５と第２細孔６間に数百ボルトのドリフト電圧を印
加するドリフト電源９と、該加速電源８により加速され
たイオンを収束させるフォーカスレンズ１１と、該フォ
ーカスレンズ１１に電圧を印加するフォーカス電源１２
と、該収束されたイオンを質量分散させる質量分析部１
３と、該質量分散されたイオンを偏向し、検出し易くす
るための偏向電極１４および偏向電極電源１５と、該偏
向されたイオンを検出する検知部１６と、該検知部１６
より得られたスペクトル形状からピーク感度および分解
能を調整制御する制御部１７から構成されている。
【００１５】図２に、制御部１７の詳細構成図を示す。
【００１６】制御部１７は、質量分散信号出力部１８
と、ドリフト電圧制御信号出力部１９と、フォーカス電
圧制御信号出力部２０と、偏向電極電圧制御信号出力部
２１と、制御ＣＰＵ２２から各出力部が有する記憶部２
３，２４，２５へアドレスを設定するか、該質量分散信
号をハード的に制御ＣＰＵ２２とは独立して出力するシ
フトレジスタ２６からアドレスを設定するかのアドレス
切換部２７と、それにともなって記憶部２３〜２５ある
いはＤ／Ａ変換器２８〜３０のタイミングをコントロー
ルするタイミングコントロール３１と、該タイミングの
トリガー信号を制御ＣＰＵ２２から出力するか、シフト
レジスタ２６から出力するかを切換えるトリガ信号切換
部３２から構成されている。
と、ドリフト電圧制御信号出力部１９と、フォーカス電
圧制御信号出力部２０と、偏向電極電圧制御信号出力部
２１と、制御ＣＰＵ２２から各出力部が有する記憶部２
３，２４，２５へアドレスを設定するか、該質量分散信
号をハード的に制御ＣＰＵ２２とは独立して出力するシ
フトレジスタ２６からアドレスを設定するかのアドレス
切換部２７と、それにともなって記憶部２３〜２５ある
いはＤ／Ａ変換器２８〜３０のタイミングをコントロー
ルするタイミングコントロール３１と、該タイミングの
トリガー信号を制御ＣＰＵ２２から出力するか、シフト
レジスタ２６から出力するかを切換えるトリガ信号切換
部３２から構成されている。
【００１７】次に本発明の実施例の動作を説明する。
【００１８】ＬＣ１によって分離された試料は霧化部２
で霧化され、脱溶媒部３にて溶媒を除去し、乾燥状態の
試料が、第１細孔５へ向かって飛ぶ。ここで該第１細孔
５と高電圧を印加した針電極４との間でコロナ放電が発
生し試料がイオン化される。
で霧化され、脱溶媒部３にて溶媒を除去し、乾燥状態の
試料が、第１細孔５へ向かって飛ぶ。ここで該第１細孔
５と高電圧を印加した針電極４との間でコロナ放電が発
生し試料がイオン化される。
【００１９】イオン化されたイオンは、第１細孔５を通
り、中間圧力部７を通り第２細孔６へ向かう。ここで第
１細孔５と第２細孔６間にはドリフト電圧が印加されて
おり、このドリフト電圧を変化させることにより空間の
電界が変化し、イオン分子同志で衝突解離が起こる。第
２細孔６を通りぬけたイオンは、第２細孔６に印加され
た加速電圧により加速された後、フォーカスレンズ１１
により収束され、質量分析部１３によって質量ごとに分
散される。該分散されたイオンは、さらに偏向電極１４
で偏向され、検出器１６で捕捉される。
り、中間圧力部７を通り第２細孔６へ向かう。ここで第
１細孔５と第２細孔６間にはドリフト電圧が印加されて
おり、このドリフト電圧を変化させることにより空間の
電界が変化し、イオン分子同志で衝突解離が起こる。第
２細孔６を通りぬけたイオンは、第２細孔６に印加され
た加速電圧により加速された後、フォーカスレンズ１１
により収束され、質量分析部１３によって質量ごとに分
散される。該分散されたイオンは、さらに偏向電極１４
で偏向され、検出器１６で捕捉される。
【００２０】該捕捉されたイオン量を縦軸に、質量対電
荷比を横軸にしてプロットしたスペクトルを取得し、そ
の比率が最も良い状態になるように各電極電圧を制御す
るのが制御部１７である。
荷比を横軸にしてプロットしたスペクトルを取得し、そ
の比率が最も良い状態になるように各電極電圧を制御す
るのが制御部１７である。
【００２１】該制御部１７では、制御ＣＰＵ２２から質
量分析部１３に印加する高電圧を制御する質量分散信号
制御値を、Ｄ／Ａ変換器３３に設定することにより質量
分散が制御される。
量分析部１３に印加する高電圧を制御する質量分散信号
制御値を、Ｄ／Ａ変換器３３に設定することにより質量
分散が制御される。
【００２２】また同様にドリフト電源制御値，フォーカ
ス電源制御値，偏向電極電源制御値を各々のＤ／Ａ変換
器２８〜３０に設定することにより制御される。
ス電源制御値，偏向電極電源制御値を各々のＤ／Ａ変換
器２８〜３０に設定することにより制御される。
【００２３】ここで各々の制御信号は、高感度，高分解
能を得るためには、それぞれ独立して質量数に依存した
ある関数に基づいて制御する必要がある。そこで低質量
から高質量までの特定範囲の複数のスペクトルピークを
選択し、そのピークの最高感度および分解能となるよう
に調整し、その点をテーブルとして記憶する。調整終了
後、それぞれのパラメータごとに調整点間を補間計算
し、関数を作成し、この関数をそれぞれの記憶部２３〜
２５に記憶する。
能を得るためには、それぞれ独立して質量数に依存した
ある関数に基づいて制御する必要がある。そこで低質量
から高質量までの特定範囲の複数のスペクトルピークを
選択し、そのピークの最高感度および分解能となるよう
に調整し、その点をテーブルとして記憶する。調整終了
後、それぞれのパラメータごとに調整点間を補間計算
し、関数を作成し、この関数をそれぞれの記憶部２３〜
２５に記憶する。
【００２４】次にタイミングコントロール部３１およ
び、アドレス切換部２７をシフトレジスタ２６の出力信
号により制御可能となるように切換え、シフトレジスタ
２６のカウント信号と同期してタイミング信号が発生さ
れる回路構成とする。したがって、該シフトレジスタ２
６の出力は質量分散制御信号の制御値であるので、該出
力をカウントアップあるいはダウンすることにより、記
憶部２３〜２５のアドレスが設定され、それぞれの関数
に基づいて、質量分散制御信号と同期してドリフト電
圧，フォーカス電圧，偏向電圧が制御される。
び、アドレス切換部２７をシフトレジスタ２６の出力信
号により制御可能となるように切換え、シフトレジスタ
２６のカウント信号と同期してタイミング信号が発生さ
れる回路構成とする。したがって、該シフトレジスタ２
６の出力は質量分散制御信号の制御値であるので、該出
力をカウントアップあるいはダウンすることにより、記
憶部２３〜２５のアドレスが設定され、それぞれの関数
に基づいて、質量分散制御信号と同期してドリフト電
圧，フォーカス電圧，偏向電圧が制御される。
【００２５】本実施例によれば、自動調整または手動調
整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変換器の前
段に位置する記憶部２３〜２５に書き込むこと、および
該記憶部２３〜２５のアドレスを質量分散信号に匹敵す
るシフトレジスタの出力から設定可能とする切換え手段
を持つこと、およびシフトレジスタ２６のカウントアッ
プまたはカウントダウン信号に同期して、該記憶部２３
〜２６内の関数を随時、読み出し、Ｄ／Ａの入力値とす
ることができるので、制御ＣＰＵ２２とは独立して低質
量から高質量まで安定して高感度，高分解能なスペクト
ルを得ることが出来る。
整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変換器の前
段に位置する記憶部２３〜２５に書き込むこと、および
該記憶部２３〜２５のアドレスを質量分散信号に匹敵す
るシフトレジスタの出力から設定可能とする切換え手段
を持つこと、およびシフトレジスタ２６のカウントアッ
プまたはカウントダウン信号に同期して、該記憶部２３
〜２６内の関数を随時、読み出し、Ｄ／Ａの入力値とす
ることができるので、制御ＣＰＵ２２とは独立して低質
量から高質量まで安定して高感度，高分解能なスペクト
ルを得ることが出来る。
【００２６】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、感
度の高い質量分析が可能となる。
度の高い質量分析が可能となる。
【００２７】また、好ましい例によれば、自動調整また
は手動調整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変
換器の前段に位置する記憶部に書き込むこと、および該
記憶部のアドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジ
スタの出力から設定可能とする切換手段を持つこと、お
よび該シフトレジスタのカウントアップまたはカウント
ダウン信号に同期して該記憶部内の関数を読み出し、Ｄ
／Ａ変換器の入力値とすることができるので、ＣＰＵと
は独立して低質量から高質量まで安定して高感度，高分
解能なスペクトルを得られる効果がある。
は手動調整時に得られた制御項目ごとの関数をＤ／Ａ変
換器の前段に位置する記憶部に書き込むこと、および該
記憶部のアドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジ
スタの出力から設定可能とする切換手段を持つこと、お
よび該シフトレジスタのカウントアップまたはカウント
ダウン信号に同期して該記憶部内の関数を読み出し、Ｄ
／Ａ変換器の入力値とすることができるので、ＣＰＵと
は独立して低質量から高質量まで安定して高感度，高分
解能なスペクトルを得られる効果がある。
【図１】本発明の一実施例の全体構成図である。
【図２】本発明の制御部の詳細構成図である。
１…液体クロマトグラフ、２…霧化部、３…脱溶媒部、
４…針電極、５…第１細孔、６…第２細孔、７…中間圧
力部、８…加速電源、９…ドリフト電源、１０…針電極
電源、１１…フォーカスレンズ、１２…フォーカス電
源、１３…質量分析部、１４…偏向電極、１５…偏向電
極電源、１６…検知器、１７…制御部、１８…質量分散
信号出力部、１９…ドリフト電圧制御信号出力部、２０
…フォーカス電圧制御信号出力部、２１…偏向電極電圧
制御信号出力部、２２…制御CPU、２３，２４，２５…
記憶部、２６…シフトレジスタ、２７…アドレス切換
部、３１…タイミングコントロール部、２８，２９，３
０，３３…Ｄ／Ａ変換器、３２…トリガ信号切換部、３
４…デコーダ。
４…針電極、５…第１細孔、６…第２細孔、７…中間圧
力部、８…加速電源、９…ドリフト電源、１０…針電極
電源、１１…フォーカスレンズ、１２…フォーカス電
源、１３…質量分析部、１４…偏向電極、１５…偏向電
極電源、１６…検知器、１７…制御部、１８…質量分散
信号出力部、１９…ドリフト電圧制御信号出力部、２０
…フォーカス電圧制御信号出力部、２１…偏向電極電圧
制御信号出力部、２２…制御CPU、２３，２４，２５…
記憶部、２６…シフトレジスタ、２７…アドレス切換
部、３１…タイミングコントロール部、２８，２９，３
０，３３…Ｄ／Ａ変換器、３２…トリガ信号切換部、３
４…デコーダ。
Claims (2)
- 【請求項１】試料を略大気圧下でイオン化するイオン化
部と、第１の細孔電極を介して前記イオン化部からイオ
ンを導入し、第２の細孔電極からイオンを放出する中間
圧力室と、前記イオン化された試料を高真空下で質量分
散を行う質量分析部と、前記第２の細孔電極と前記質量
分析部との間に設けられたフォーカスレンズとを有する
質量分析装置であって、 前記第１及び第２の細孔電極間に印加するドリフト電圧
に関する数値が記憶された第１の記憶部と、前記フォー
カスレンズへの印加電圧に関する数値が記憶された第２
の記憶部と、前記第１及び第２の記憶部からの出力値を
Ｄ／Ａ変換して出力する第１及び第２の出力部と、前記
質量分析部に印加される電圧を制御する質量分散制御値
を出力する第４の出力部と、前記質量分散制御値を示す
出力を行うシフトレジスタと、当該シフトレジスタの出
力に応じて前記第１及び第２の記憶部のアドレス信号を
出力するアドレス切換部を備え、 当該アドレス切換部が出力したアドレス信号を受けた前
記第１及び第２の記憶部は、当該アドレス信号に応じた
記憶内容を前記第１及び第２の出力部に出力し、当該出
力部からの出力値が前記第１及び第２の細孔電極間及び
前記フォーカスレンズへの印加電圧値となることを特徴
とする質量分析装置。 - 【請求項２】請求請１において、 前記質量分散されたイオンを検出する検出器と、前記検
出器と前記質量分析部の間に設けられた偏向電極と、当
該偏向電極への印加電圧に関する数値が記憶された第３
の記憶部と、前記第３の記憶部からの出力値をＤ／Ａ変
換して出力する第３の出力部を備え、 前記アドレス切換部は、前記シフトレジスタの出力に応
じた前記第３の記憶部のアドレス信号を出力し、前記ア
ドレス切換部が出力したアドレス信号を受けた前記第３
の記憶部は、当該アドレス信号に応じた記憶内容を前記
第３の出力部に出力し、当該出力部からの出力値が前記
偏向電極への印加電圧値となることを特徴とする質量分
析装置。
Priority Applications (1)
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| JP24190791A JP3435695B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP24190791A JP3435695B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 質量分析装置 |
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| JPH0582082A JPH0582082A (ja) | 1993-04-02 |
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-
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