JP3435695B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、質量分析装置に関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】近来の質量分析装置は、イオン化の効率
が良いとの理由で、略大気圧(大気圧を含む)下で試料
をイオン化する、いわゆる、大気圧イオン化質量分析計
が多く用いられている。この大気圧イオン化質量分析計
は、高真空に保たれた質量分析部を有しており、略大気
圧下でイオン化された試料イオンを、段階的に排気しな
がら、高真空の質量分析部に導いて質量分析する。
が良いとの理由で、略大気圧(大気圧を含む)下で試料
をイオン化する、いわゆる、大気圧イオン化質量分析計
が多く用いられている。この大気圧イオン化質量分析計
は、高真空に保たれた質量分析部を有しており、略大気
圧下でイオン化された試料イオンを、段階的に排気しな
がら、高真空の質量分析部に導いて質量分析する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、試
料は略大気圧でイオン化され、一方、質量分離は高真空
下でなされるので、そのため、質量分離する以前におい
て、比較的圧力の高い室から比較的圧力の低い室に試料
イオンを導く過程を経ることとなる。比較的高圧力の室
から比較的低圧力の室に導かれるときに、圧力差の影響
を受け、イオンは拡散される。このとき、低質量のもの
は拡散の影響を大きく受け、また、高質量のものはそれ
ほど影響を受けない。このような質量に応じた拡散の不
均一のため、イオンが質量分析部に効率良く導かれず、
質量分析感度が低下するという問題が生じていた。
料は略大気圧でイオン化され、一方、質量分離は高真空
下でなされるので、そのため、質量分離する以前におい
て、比較的圧力の高い室から比較的圧力の低い室に試料
イオンを導く過程を経ることとなる。比較的高圧力の室
から比較的低圧力の室に導かれるときに、圧力差の影響
を受け、イオンは拡散される。このとき、低質量のもの
は拡散の影響を大きく受け、また、高質量のものはそれ
ほど影響を受けない。このような質量に応じた拡散の不
均一のため、イオンが質量分析部に効率良く導かれず、
質量分析感度が低下するという問題が生じていた。
【0004】また、大気圧イオン化質量分析計には、イ
オンが通過する位置に設けられる電極が複数あり、各電
極に電圧を印加することで、イオンをドリフト,収束,
偏向させるようにする。これらの動作をさせるための印
加電圧をドリフト電圧,フォーカス電圧,偏向電極電圧
といい、それぞれ独自の電源を備える。ドリフト電圧,
フォーカス電圧,偏向電極電圧の制御を行う場合、制御
コンピュータよりドリフト電圧値,フォーカス電圧値,
偏向電極電圧値をシーケンシャルに出力し、それぞれの
値をD/A変換器で制御信号に変換し出力する。このよ
うに、ドリフト電源,フォーカス電源,偏向電極電源を
制御すると、質量分散信号に対し、時間的ずれが発生す
る。制御項目が増えれば増えるほど時間的ずれは発生
し、ピーク感度,分解能が低下する原因となる。また、
調整時間の効率を低下する原因となる。制御用コンピュ
ータとは独立に、すなわち、制御コンピュータを専有す
ることなく、低い質量数から高い質量数まで各制御項目
のパラメータを高速で制御し、安定したスペクトルを検
出する点について配慮されておらず、質量数変化に影響
されずに安定したスペクトル検出が得られないという問
題があった。
オンが通過する位置に設けられる電極が複数あり、各電
極に電圧を印加することで、イオンをドリフト,収束,
偏向させるようにする。これらの動作をさせるための印
加電圧をドリフト電圧,フォーカス電圧,偏向電極電圧
といい、それぞれ独自の電源を備える。ドリフト電圧,
フォーカス電圧,偏向電極電圧の制御を行う場合、制御
コンピュータよりドリフト電圧値,フォーカス電圧値,
偏向電極電圧値をシーケンシャルに出力し、それぞれの
値をD/A変換器で制御信号に変換し出力する。このよ
うに、ドリフト電源,フォーカス電源,偏向電極電源を
制御すると、質量分散信号に対し、時間的ずれが発生す
る。制御項目が増えれば増えるほど時間的ずれは発生
し、ピーク感度,分解能が低下する原因となる。また、
調整時間の効率を低下する原因となる。制御用コンピュ
ータとは独立に、すなわち、制御コンピュータを専有す
ることなく、低い質量数から高い質量数まで各制御項目
のパラメータを高速で制御し、安定したスペクトルを検
出する点について配慮されておらず、質量数変化に影響
されずに安定したスペクトル検出が得られないという問
題があった。
【0005】本発明の目的は、上記問題を解決し、感度
の良い質量分析が可能であり、更には、制御用コンピュ
ータを専有することなく、低い質量数から高い質量数ま
で各制御項目のパラメータを高速で制御し、安定したス
ペトルを検出する質量分析装置を提供することにある。
の良い質量分析が可能であり、更には、制御用コンピュ
ータを専有することなく、低い質量数から高い質量数ま
で各制御項目のパラメータを高速で制御し、安定したス
ペトルを検出する質量分析装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明では、試料を略大気圧下でイオン化するイ
オン化部と、第1の細孔電極を介して前記イオン化部か
らイオンを導入し、第2の細孔電極からイオンを放出す
る中間圧力室と、前記イオン化された試料を高真空下で
質量分散を行う質量分析部と、前記第2の細孔電極と前
記質量分析部との間に設けられたフォーカスレンズとを
有する質量分析装置であって、前記第1及び第2の細孔
電極間に印加するドリフト電圧に関する数値が記憶され
た第1の記憶部と、前記フォーカスレンズへの印加電圧
に関する数値が記憶された第2の記憶部と、前記第1及
び第2の記憶部からの出力値をD/A変換して出力する
第1及び第2の出力部と、前記質量分析部に印加される
電圧を制御する質量分散制御値を出力する第4の出力部
と、前記質量分散制御値を示す出力を行うシフトレジス
タと、当該シフトレジスタの出力に応じて前記第1及び
第2の記憶部のアドレス信号を出力するアドレス切換部
を備え、当該アドレス切換部が出力したアドレス信号を
受けた前記第1及び第2の記憶部は、当該アドレス信号
に応じた記憶内容を前記第1及び第2の出力部に出力
し、当該出力部からの出力値が前記第1及び第2の細孔
電極間及び前記フォーカスレンズへの印加電圧値となる
ことを特徴とする。
めに、本発明では、試料を略大気圧下でイオン化するイ
オン化部と、第1の細孔電極を介して前記イオン化部か
らイオンを導入し、第2の細孔電極からイオンを放出す
る中間圧力室と、前記イオン化された試料を高真空下で
質量分散を行う質量分析部と、前記第2の細孔電極と前
記質量分析部との間に設けられたフォーカスレンズとを
有する質量分析装置であって、前記第1及び第2の細孔
電極間に印加するドリフト電圧に関する数値が記憶され
た第1の記憶部と、前記フォーカスレンズへの印加電圧
に関する数値が記憶された第2の記憶部と、前記第1及
び第2の記憶部からの出力値をD/A変換して出力する
第1及び第2の出力部と、前記質量分析部に印加される
電圧を制御する質量分散制御値を出力する第4の出力部
と、前記質量分散制御値を示す出力を行うシフトレジス
タと、当該シフトレジスタの出力に応じて前記第1及び
第2の記憶部のアドレス信号を出力するアドレス切換部
を備え、当該アドレス切換部が出力したアドレス信号を
受けた前記第1及び第2の記憶部は、当該アドレス信号
に応じた記憶内容を前記第1及び第2の出力部に出力
し、当該出力部からの出力値が前記第1及び第2の細孔
電極間及び前記フォーカスレンズへの印加電圧値となる
ことを特徴とする。
【0007】また、好ましくは、前記質量分散されたイ
オンを検出する検出器と、前記検出器と前記質量分析部
の間に設けられた偏向電極と、当該偏向電極への印加電
圧に関する数値が記憶された第3の記憶部と、前記第3
の記憶部からの出力値をD/A変換して出力する第3の
出力部を備え、前記アドレス切換部は、前記シフトレジ
スタの出力に応じた前記第3の記憶部のアドレス信号を
発生し、前記アドレス切換部が発するアドレス信号を受
けた前記第3の記憶部は、当該アドレス信号に応じた記
憶内容を前記第3の出力部に出力し、当該出力部からの
出力値が前記偏向電極への印加電圧値となることを特徴
とする。
オンを検出する検出器と、前記検出器と前記質量分析部
の間に設けられた偏向電極と、当該偏向電極への印加電
圧に関する数値が記憶された第3の記憶部と、前記第3
の記憶部からの出力値をD/A変換して出力する第3の
出力部を備え、前記アドレス切換部は、前記シフトレジ
スタの出力に応じた前記第3の記憶部のアドレス信号を
発生し、前記アドレス切換部が発するアドレス信号を受
けた前記第3の記憶部は、当該アドレス信号に応じた記
憶内容を前記第3の出力部に出力し、当該出力部からの
出力値が前記偏向電極への印加電圧値となることを特徴
とする。
【0008】より具体的には、前記記憶部には、あらか
じめ、低質量数から高質量数まで安定に高感度且つ高分
解能でスペクトルが得られるように調整された関数が記
憶される。
じめ、低質量数から高質量数まで安定に高感度且つ高分
解能でスペクトルが得られるように調整された関数が記
憶される。
【0009】該記憶部のアドレスがシフトレジスタの出
力により選択され、該シフトレジスタのシフト信号に同
期して記憶部に対するチップセレクト信号が出力し、該
記憶部よりリードされたデータは、それぞれの後段に位
置したD/A変換器の入力デジタル値として出力され
る。該レジスタ出力は、制御項目のパラメータごとに保
持した記憶部のアドレスバッファの切換え信号により同
時に直結可能とし、該シフト信号に同期して出されるチ
ップセレクト信号も同時に出力することにより、各パラ
メータごとに位置したD/A変換器は、記憶部内に書き
込まれた関数に従って、CPUとは独立に制御可能と
し、質量分散に影響することなく、高感度,高分解能の
スペクトルを得られるようにしたものである。
力により選択され、該シフトレジスタのシフト信号に同
期して記憶部に対するチップセレクト信号が出力し、該
記憶部よりリードされたデータは、それぞれの後段に位
置したD/A変換器の入力デジタル値として出力され
る。該レジスタ出力は、制御項目のパラメータごとに保
持した記憶部のアドレスバッファの切換え信号により同
時に直結可能とし、該シフト信号に同期して出されるチ
ップセレクト信号も同時に出力することにより、各パラ
メータごとに位置したD/A変換器は、記憶部内に書き
込まれた関数に従って、CPUとは独立に制御可能と
し、質量分散に影響することなく、高感度,高分解能の
スペクトルを得られるようにしたものである。
【0010】
【作用】上記のように構成により、イオンが質量分析部
に効率良く導かれ、質量分析感度の向上が可能となる。
に効率良く導かれ、質量分析感度の向上が可能となる。
【0011】また、好ましい例では、低質量から高質量
まで、質量分散に影響されることなく、安定した高感
度,高分解能なスペクトルを得ることができる。
まで、質量分散に影響されることなく、安定した高感
度,高分解能なスペクトルを得ることができる。
【0012】具体的には、自動調整または手動調整によ
り得られた各制御項目ごとの関数を、制御コンピュータ
(以下制御CPUと称す)はD/A変換器の前段に位置
する記憶部に記憶する。制御CPUは、質量分散信号を
発生するシフトレジスタに対し、掃引時間および掃引範
囲を設定した後、制御CPU−記憶部間の制御をシフト
レジスタ−記憶部間制御に切換える。ベースクロック信
号から発せられたカウンタクロックにより、シフトレジ
スタの出力は掃引範囲をカウントアップまたはカウント
ダウンする。該出力値はメモリアドレスに送出され、同
時にカウントアップあるいはカウンドダウン信号に同期
して記憶部へ読み出しのためのチップセレクト信号を出
力する。該読み出された記憶部内の内容はラッチされ後
段に位置するD/A変換器の入力値となる。該記憶部内
に書き込まれた関数は、D/A変換器より、デジタルア
ナログ変換されて各制御項目を制御することになる。
り得られた各制御項目ごとの関数を、制御コンピュータ
(以下制御CPUと称す)はD/A変換器の前段に位置
する記憶部に記憶する。制御CPUは、質量分散信号を
発生するシフトレジスタに対し、掃引時間および掃引範
囲を設定した後、制御CPU−記憶部間の制御をシフト
レジスタ−記憶部間制御に切換える。ベースクロック信
号から発せられたカウンタクロックにより、シフトレジ
スタの出力は掃引範囲をカウントアップまたはカウント
ダウンする。該出力値はメモリアドレスに送出され、同
時にカウントアップあるいはカウンドダウン信号に同期
して記憶部へ読み出しのためのチップセレクト信号を出
力する。該読み出された記憶部内の内容はラッチされ後
段に位置するD/A変換器の入力値となる。該記憶部内
に書き込まれた関数は、D/A変換器より、デジタルア
ナログ変換されて各制御項目を制御することになる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図1に全体構成図を示す。
する。図1に全体構成図を示す。
【0014】液体試料の分離を行う液体クロマトグラフ
(以下、LC)1と、該LC1より溶媒と共に流出する
試料を霧化する霧化部2と、該霧化された溶媒および試
料から溶媒を熱によって気化させる脱溶媒部3と、数k
Vの高電圧を印加した電極の先端部にてコロナ放電を発
生させ、イオン化する針電極4と、該イオンを大気圧か
ら高真空へ導入する第1細孔5および第2細孔6からな
る中間圧力部7と、該イオンを真空中で加速するための
加速電圧を第2細孔6に印加する加速電源8と、該第1
細孔5と第2細孔6間に数百ボルトのドリフト電圧を印
加するドリフト電源9と、該加速電源8により加速され
たイオンを収束させるフォーカスレンズ11と、該フォ
ーカスレンズ11に電圧を印加するフォーカス電源12
と、該収束されたイオンを質量分散させる質量分析部1
3と、該質量分散されたイオンを偏向し、検出し易くす
るための偏向電極14および偏向電極電源15と、該偏
向されたイオンを検出する検知部16と、該検知部16
より得られたスペクトル形状からピーク感度および分解
能を調整制御する制御部17から構成されている。
(以下、LC)1と、該LC1より溶媒と共に流出する
試料を霧化する霧化部2と、該霧化された溶媒および試
料から溶媒を熱によって気化させる脱溶媒部3と、数k
Vの高電圧を印加した電極の先端部にてコロナ放電を発
生させ、イオン化する針電極4と、該イオンを大気圧か
ら高真空へ導入する第1細孔5および第2細孔6からな
る中間圧力部7と、該イオンを真空中で加速するための
加速電圧を第2細孔6に印加する加速電源8と、該第1
細孔5と第2細孔6間に数百ボルトのドリフト電圧を印
加するドリフト電源9と、該加速電源8により加速され
たイオンを収束させるフォーカスレンズ11と、該フォ
ーカスレンズ11に電圧を印加するフォーカス電源12
と、該収束されたイオンを質量分散させる質量分析部1
3と、該質量分散されたイオンを偏向し、検出し易くす
るための偏向電極14および偏向電極電源15と、該偏
向されたイオンを検出する検知部16と、該検知部16
より得られたスペクトル形状からピーク感度および分解
能を調整制御する制御部17から構成されている。
【0015】図2に、制御部17の詳細構成図を示す。
【0016】制御部17は、質量分散信号出力部18
と、ドリフト電圧制御信号出力部19と、フォーカス電
圧制御信号出力部20と、偏向電極電圧制御信号出力部
21と、制御CPU22から各出力部が有する記憶部2
3,24,25へアドレスを設定するか、該質量分散信
号をハード的に制御CPU22とは独立して出力するシ
フトレジスタ26からアドレスを設定するかのアドレス
切換部27と、それにともなって記憶部23〜25ある
いはD/A変換器28〜30のタイミングをコントロー
ルするタイミングコントロール31と、該タイミングの
トリガー信号を制御CPU22から出力するか、シフト
レジスタ26から出力するかを切換えるトリガ信号切換
部32から構成されている。
と、ドリフト電圧制御信号出力部19と、フォーカス電
圧制御信号出力部20と、偏向電極電圧制御信号出力部
21と、制御CPU22から各出力部が有する記憶部2
3,24,25へアドレスを設定するか、該質量分散信
号をハード的に制御CPU22とは独立して出力するシ
フトレジスタ26からアドレスを設定するかのアドレス
切換部27と、それにともなって記憶部23〜25ある
いはD/A変換器28〜30のタイミングをコントロー
ルするタイミングコントロール31と、該タイミングの
トリガー信号を制御CPU22から出力するか、シフト
レジスタ26から出力するかを切換えるトリガ信号切換
部32から構成されている。
【0017】次に本発明の実施例の動作を説明する。
【0018】LC1によって分離された試料は霧化部2
で霧化され、脱溶媒部3にて溶媒を除去し、乾燥状態の
試料が、第1細孔5へ向かって飛ぶ。ここで該第1細孔
5と高電圧を印加した針電極4との間でコロナ放電が発
生し試料がイオン化される。
で霧化され、脱溶媒部3にて溶媒を除去し、乾燥状態の
試料が、第1細孔5へ向かって飛ぶ。ここで該第1細孔
5と高電圧を印加した針電極4との間でコロナ放電が発
生し試料がイオン化される。
【0019】イオン化されたイオンは、第1細孔5を通
り、中間圧力部7を通り第2細孔6へ向かう。ここで第
1細孔5と第2細孔6間にはドリフト電圧が印加されて
おり、このドリフト電圧を変化させることにより空間の
電界が変化し、イオン分子同志で衝突解離が起こる。第
2細孔6を通りぬけたイオンは、第2細孔6に印加され
た加速電圧により加速された後、フォーカスレンズ11
により収束され、質量分析部13によって質量ごとに分
散される。該分散されたイオンは、さらに偏向電極14
で偏向され、検出器16で捕捉される。
り、中間圧力部7を通り第2細孔6へ向かう。ここで第
1細孔5と第2細孔6間にはドリフト電圧が印加されて
おり、このドリフト電圧を変化させることにより空間の
電界が変化し、イオン分子同志で衝突解離が起こる。第
2細孔6を通りぬけたイオンは、第2細孔6に印加され
た加速電圧により加速された後、フォーカスレンズ11
により収束され、質量分析部13によって質量ごとに分
散される。該分散されたイオンは、さらに偏向電極14
で偏向され、検出器16で捕捉される。
【0020】該捕捉されたイオン量を縦軸に、質量対電
荷比を横軸にしてプロットしたスペクトルを取得し、そ
の比率が最も良い状態になるように各電極電圧を制御す
るのが制御部17である。
荷比を横軸にしてプロットしたスペクトルを取得し、そ
の比率が最も良い状態になるように各電極電圧を制御す
るのが制御部17である。
【0021】該制御部17では、制御CPU22から質
量分析部13に印加する高電圧を制御する質量分散信号
制御値を、D/A変換器33に設定することにより質量
分散が制御される。
量分析部13に印加する高電圧を制御する質量分散信号
制御値を、D/A変換器33に設定することにより質量
分散が制御される。
【0022】また同様にドリフト電源制御値,フォーカ
ス電源制御値,偏向電極電源制御値を各々のD/A変換
器28〜30に設定することにより制御される。
ス電源制御値,偏向電極電源制御値を各々のD/A変換
器28〜30に設定することにより制御される。
【0023】ここで各々の制御信号は、高感度,高分解
能を得るためには、それぞれ独立して質量数に依存した
ある関数に基づいて制御する必要がある。そこで低質量
から高質量までの特定範囲の複数のスペクトルピークを
選択し、そのピークの最高感度および分解能となるよう
に調整し、その点をテーブルとして記憶する。調整終了
後、それぞれのパラメータごとに調整点間を補間計算
し、関数を作成し、この関数をそれぞれの記憶部23〜
25に記憶する。
能を得るためには、それぞれ独立して質量数に依存した
ある関数に基づいて制御する必要がある。そこで低質量
から高質量までの特定範囲の複数のスペクトルピークを
選択し、そのピークの最高感度および分解能となるよう
に調整し、その点をテーブルとして記憶する。調整終了
後、それぞれのパラメータごとに調整点間を補間計算
し、関数を作成し、この関数をそれぞれの記憶部23〜
25に記憶する。
【0024】次にタイミングコントロール部31およ
び、アドレス切換部27をシフトレジスタ26の出力信
号により制御可能となるように切換え、シフトレジスタ
26のカウント信号と同期してタイミング信号が発生さ
れる回路構成とする。したがって、該シフトレジスタ2
6の出力は質量分散制御信号の制御値であるので、該出
力をカウントアップあるいはダウンすることにより、記
憶部23〜25のアドレスが設定され、それぞれの関数
に基づいて、質量分散制御信号と同期してドリフト電
圧,フォーカス電圧,偏向電圧が制御される。
び、アドレス切換部27をシフトレジスタ26の出力信
号により制御可能となるように切換え、シフトレジスタ
26のカウント信号と同期してタイミング信号が発生さ
れる回路構成とする。したがって、該シフトレジスタ2
6の出力は質量分散制御信号の制御値であるので、該出
力をカウントアップあるいはダウンすることにより、記
憶部23〜25のアドレスが設定され、それぞれの関数
に基づいて、質量分散制御信号と同期してドリフト電
圧,フォーカス電圧,偏向電圧が制御される。
【0025】本実施例によれば、自動調整または手動調
整時に得られた制御項目ごとの関数をD/A変換器の前
段に位置する記憶部23〜25に書き込むこと、および
該記憶部23〜25のアドレスを質量分散信号に匹敵す
るシフトレジスタの出力から設定可能とする切換え手段
を持つこと、およびシフトレジスタ26のカウントアッ
プまたはカウントダウン信号に同期して、該記憶部23
〜26内の関数を随時、読み出し、D/Aの入力値とす
ることができるので、制御CPU22とは独立して低質
量から高質量まで安定して高感度,高分解能なスペクト
ルを得ることが出来る。
整時に得られた制御項目ごとの関数をD/A変換器の前
段に位置する記憶部23〜25に書き込むこと、および
該記憶部23〜25のアドレスを質量分散信号に匹敵す
るシフトレジスタの出力から設定可能とする切換え手段
を持つこと、およびシフトレジスタ26のカウントアッ
プまたはカウントダウン信号に同期して、該記憶部23
〜26内の関数を随時、読み出し、D/Aの入力値とす
ることができるので、制御CPU22とは独立して低質
量から高質量まで安定して高感度,高分解能なスペクト
ルを得ることが出来る。
【0026】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、感
度の高い質量分析が可能となる。
度の高い質量分析が可能となる。
【0027】また、好ましい例によれば、自動調整また
は手動調整時に得られた制御項目ごとの関数をD/A変
換器の前段に位置する記憶部に書き込むこと、および該
記憶部のアドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジ
スタの出力から設定可能とする切換手段を持つこと、お
よび該シフトレジスタのカウントアップまたはカウント
ダウン信号に同期して該記憶部内の関数を読み出し、D
/A変換器の入力値とすることができるので、CPUと
は独立して低質量から高質量まで安定して高感度,高分
解能なスペクトルを得られる効果がある。
は手動調整時に得られた制御項目ごとの関数をD/A変
換器の前段に位置する記憶部に書き込むこと、および該
記憶部のアドレスを質量分散信号に匹敵するシフトレジ
スタの出力から設定可能とする切換手段を持つこと、お
よび該シフトレジスタのカウントアップまたはカウント
ダウン信号に同期して該記憶部内の関数を読み出し、D
/A変換器の入力値とすることができるので、CPUと
は独立して低質量から高質量まで安定して高感度,高分
解能なスペクトルを得られる効果がある。
【図1】本発明の一実施例の全体構成図である。
【図2】本発明の制御部の詳細構成図である。
1…液体クロマトグラフ、2…霧化部、3…脱溶媒部、
4…針電極、5…第1細孔、6…第2細孔、7…中間圧
力部、8…加速電源、9…ドリフト電源、10…針電極
電源、11…フォーカスレンズ、12…フォーカス電
源、13…質量分析部、14…偏向電極、15…偏向電
極電源、16…検知器、17…制御部、18…質量分散
信号出力部、19…ドリフト電圧制御信号出力部、20
…フォーカス電圧制御信号出力部、21…偏向電極電圧
制御信号出力部、22…制御CPU、23,24,25…
記憶部、26…シフトレジスタ、27…アドレス切換
部、31…タイミングコントロール部、28,29,3
0,33…D/A変換器、32…トリガ信号切換部、3
4…デコーダ。
4…針電極、5…第1細孔、6…第2細孔、7…中間圧
力部、8…加速電源、9…ドリフト電源、10…針電極
電源、11…フォーカスレンズ、12…フォーカス電
源、13…質量分析部、14…偏向電極、15…偏向電
極電源、16…検知器、17…制御部、18…質量分散
信号出力部、19…ドリフト電圧制御信号出力部、20
…フォーカス電圧制御信号出力部、21…偏向電極電圧
制御信号出力部、22…制御CPU、23,24,25…
記憶部、26…シフトレジスタ、27…アドレス切換
部、31…タイミングコントロール部、28,29,3
0,33…D/A変換器、32…トリガ信号切換部、3
4…デコーダ。
Claims (2)
- 【請求項1】試料を略大気圧下でイオン化するイオン化
部と、第1の細孔電極を介して前記イオン化部からイオ
ンを導入し、第2の細孔電極からイオンを放出する中間
圧力室と、前記イオン化された試料を高真空下で質量分
散を行う質量分析部と、前記第2の細孔電極と前記質量
分析部との間に設けられたフォーカスレンズとを有する
質量分析装置であって、 前記第1及び第2の細孔電極間に印加するドリフト電圧
に関する数値が記憶された第1の記憶部と、前記フォー
カスレンズへの印加電圧に関する数値が記憶された第2
の記憶部と、前記第1及び第2の記憶部からの出力値を
D/A変換して出力する第1及び第2の出力部と、前記
質量分析部に印加される電圧を制御する質量分散制御値
を出力する第4の出力部と、前記質量分散制御値を示す
出力を行うシフトレジスタと、当該シフトレジスタの出
力に応じて前記第1及び第2の記憶部のアドレス信号を
出力するアドレス切換部を備え、 当該アドレス切換部が出力したアドレス信号を受けた前
記第1及び第2の記憶部は、当該アドレス信号に応じた
記憶内容を前記第1及び第2の出力部に出力し、当該出
力部からの出力値が前記第1及び第2の細孔電極間及び
前記フォーカスレンズへの印加電圧値となることを特徴
とする質量分析装置。 - 【請求項2】請求請1において、 前記質量分散されたイオンを検出する検出器と、前記検
出器と前記質量分析部の間に設けられた偏向電極と、当
該偏向電極への印加電圧に関する数値が記憶された第3
の記憶部と、前記第3の記憶部からの出力値をD/A変
換して出力する第3の出力部を備え、 前記アドレス切換部は、前記シフトレジスタの出力に応
じた前記第3の記憶部のアドレス信号を出力し、前記ア
ドレス切換部が出力したアドレス信号を受けた前記第3
の記憶部は、当該アドレス信号に応じた記憶内容を前記
第3の出力部に出力し、当該出力部からの出力値が前記
偏向電極への印加電圧値となることを特徴とする質量分
析装置。
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JP24190791A JP3435695B2 (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 質量分析装置 |
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