JPH0582065A - 電子顕微鏡の試料移動装置 - Google Patents
電子顕微鏡の試料移動装置Info
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- JPH0582065A JPH0582065A JP3266914A JP26691491A JPH0582065A JP H0582065 A JPH0582065 A JP H0582065A JP 3266914 A JP3266914 A JP 3266914A JP 26691491 A JP26691491 A JP 26691491A JP H0582065 A JPH0582065 A JP H0582065A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 外乱の影響を受けにくい構造の電子顕微鏡の
試料移動装置を提供する。 【構成】 ロッド９の一端９ａおよび他端９ｂは、それ
ぞれ試料ホルダ１５の試料載置端１５ａおよびシャフト
１６の一端１６ａによってピボット運動可能に支持され
ている。ロッド９の固有振動数は、予想される外部振動
の振動数よりも高く設定されている。
試料移動装置を提供する。 【構成】 ロッド９の一端９ａおよび他端９ｂは、それ
ぞれ試料ホルダ１５の試料載置端１５ａおよびシャフト
１６の一端１６ａによってピボット運動可能に支持され
ている。ロッド９の固有振動数は、予想される外部振動
の振動数よりも高く設定されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡の試料移動
装置に係り、特に、試料ホルダの一端がロッドによって
支持されるサイドエントリ構造の電子顕微鏡の試料移動
装置に関するものである。
装置に係り、特に、試料ホルダの一端がロッドによって
支持されるサイドエントリ構造の電子顕微鏡の試料移動
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来のサイドエントリ構造の電
子顕微鏡の断面図である。
子顕微鏡の断面図である。
【０００３】同図において、鏡体１の側面には、受金具
４がＯリング３を介して気密的に固定されている。受金
具４内には試料ステージ１３が収容されている。試料ス
テージ１３の軸方向に沿った中心部に設けられた穴に
は、試料ホルダ１５が摺動自在かつ気密を保ちながら挿
入されている。試料ホルダ１５の試料１０が載置される
側の端部（以下、試料載置端）１５ａは三角錐状の凸形
状となっている。
４がＯリング３を介して気密的に固定されている。受金
具４内には試料ステージ１３が収容されている。試料ス
テージ１３の軸方向に沿った中心部に設けられた穴に
は、試料ホルダ１５が摺動自在かつ気密を保ちながら挿
入されている。試料ホルダ１５の試料１０が載置される
側の端部（以下、試料載置端）１５ａは三角錐状の凸形
状となっている。
【０００４】試料ステージ１３の先端部には球体１１が
一体化され、球体１１は、受金具４内の端部に設けられ
た凹球面２で支持される。試料ステージ１３は球体１１
の芯を支点として受金具４内で首振り運動する。
一体化され、球体１１は、受金具４内の端部に設けられ
た凹球面２で支持される。試料ステージ１３は球体１１
の芯を支点として受金具４内で首振り運動する。
【０００５】試料ステージ１３のガイド５は受金具４に
設けられた穴に固着されている。これは、試料ステージ
１３を光軸に垂直な平面内で移動できるように案内する
ものである。押棒８は受金具４の一部に埋め込まれたホ
ルダ７内に収容されていて、押しバネ６による押圧力で
試料ステージ１３を常に微動つまみ１４の先端に押圧せ
しめている。微動つまみ１４は、押棒８と対向する位置
の受金具４に設けられた雌ネジに螺合していて、その先
端は試料ステージ１３と接触している。
設けられた穴に固着されている。これは、試料ステージ
１３を光軸に垂直な平面内で移動できるように案内する
ものである。押棒８は受金具４の一部に埋め込まれたホ
ルダ７内に収容されていて、押しバネ６による押圧力で
試料ステージ１３を常に微動つまみ１４の先端に押圧せ
しめている。微動つまみ１４は、押棒８と対向する位置
の受金具４に設けられた雌ネジに螺合していて、その先
端は試料ステージ１３と接触している。
【０００６】一方、鏡体１側面の前記受金具４と対向し
た側には、受金具１８がＯリング１９を介して気密的に
固定されている。受金具１８内部の軸方向に設けられた
通路にはＯリング１７で気密的に支持されたシャフト１
６が摺動自在に挿通されており、シャフト１６は、受金
具１８の後端部に設けられた雌ネジ２１およびバネ２０
によって軸方向の運動を規定される。
た側には、受金具１８がＯリング１９を介して気密的に
固定されている。受金具１８内部の軸方向に設けられた
通路にはＯリング１７で気密的に支持されたシャフト１
６が摺動自在に挿通されており、シャフト１６は、受金
具１８の後端部に設けられた雌ネジ２１およびバネ２０
によって軸方向の運動を規定される。
【０００７】シャフト１６の一端１６ａはすり鉢状の凹
形状となっており、シャフト１６の一端１６ａと試料ホ
ルダ１５の試料載置端１５ａとによってロッド９が挟持
されている。ロッド９は一端９ａがすり鉢状の凹形状を
呈し、他端９ｂが三角錐状の凸形状を呈しており、ロッ
ド９の一端９ａと試料ホルダ１５の試料載置端１５ａお
よびロッド９の他端９ｂとシャフト１６の一端１６ａと
は、それぞれピボット構造となっている。
形状となっており、シャフト１６の一端１６ａと試料ホ
ルダ１５の試料載置端１５ａとによってロッド９が挟持
されている。ロッド９は一端９ａがすり鉢状の凹形状を
呈し、他端９ｂが三角錐状の凸形状を呈しており、ロッ
ド９の一端９ａと試料ホルダ１５の試料載置端１５ａお
よびロッド９の他端９ｂとシャフト１６の一端１６ａと
は、それぞれピボット構造となっている。
【０００８】このような構成において、微動つまみ１４
をある方向に回動すると、試料ステージ１３はガイド５
に沿って移動される。ロッド９の両端はピボット運動可
能に支持されているので、試料ステージ１３は球体１１
を支点として首振り運動され、試料ホルダー１５の試料
１０が任意方向に移動できるようになる。
をある方向に回動すると、試料ステージ１３はガイド５
に沿って移動される。ロッド９の両端はピボット運動可
能に支持されているので、試料ステージ１３は球体１１
を支点として首振り運動され、試料ホルダー１５の試料
１０が任意方向に移動できるようになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記したサイドエント
リ構造の電子顕微鏡では、試料ホルダ１５の試料載置端
１５ａがロッド９を介して支持されるため、試料載置端
１５ａが外部振動の影響を受け易く、これが電子顕微鏡
の分解能を阻害する大きな原因の１つとなっていた。
リ構造の電子顕微鏡では、試料ホルダ１５の試料載置端
１５ａがロッド９を介して支持されるため、試料載置端
１５ａが外部振動の影響を受け易く、これが電子顕微鏡
の分解能を阻害する大きな原因の１つとなっていた。
【００１０】分解能に悪影響を及ぼすロッド９の振動モ
ードは、ロッド９の両端を節、中心部を腹として振動す
るモード（以下、第１の振動モードと表現する）と、ロ
ッド９の一端９ａを腹、他端９ｂを節として振動するモ
ード（以下、第２の振動モードと表現する）とがある。
ードは、ロッド９の両端を節、中心部を腹として振動す
るモード（以下、第１の振動モードと表現する）と、ロ
ッド９の一端９ａを腹、他端９ｂを節として振動するモ
ード（以下、第２の振動モードと表現する）とがある。
【００１１】電子顕微鏡の分解能を阻害する振動源とし
ては、床からの数Ｈｚオーダの振動、ターボポンプによ
る８００〜１２００Ｈｚ近辺の振動、音声や空調器など
の音波による振動などがあり、特に０〜１２００Ｈｚ近
辺の外部振動が発生しやすい。もっとも、このような外
部振動は振幅がさほど大きくなく、それ自身が分解能に
およぼす影響は少ない。
ては、床からの数Ｈｚオーダの振動、ターボポンプによ
る８００〜１２００Ｈｚ近辺の振動、音声や空調器など
の音波による振動などがあり、特に０〜１２００Ｈｚ近
辺の外部振動が発生しやすい。もっとも、このような外
部振動は振幅がさほど大きくなく、それ自身が分解能に
およぼす影響は少ない。
【００１２】ところが、ロッド９の固有振動数や、当該
ロッド９、試料ホルダ１５および試料ステージ１３等か
らなる試料支持系の固有振動数が、これら外乱の振動数
と一致すると、共振作用によってロッド９や試料支持系
の振動振幅が大きくなり、分解能に大きな悪影響を及ぼ
してしまう。
ロッド９、試料ホルダ１５および試料ステージ１３等か
らなる試料支持系の固有振動数が、これら外乱の振動数
と一致すると、共振作用によってロッド９や試料支持系
の振動振幅が大きくなり、分解能に大きな悪影響を及ぼ
してしまう。
【００１３】例えば、上記した従来の電子顕微鏡では、
ロッド９がリン青銅のむく材で構成され、その固有振動
数は約１１２０Ｈｚ、ロッド９を含む試料支持系の固有
振動数は３６０Ｈｚ〜６９０Ｈｚであったため、０〜１
２００Ｈｚ近辺の外部振動により、ロッド９や当該ロッ
ド９を含む試料支持系が共振する場合があった。
ロッド９がリン青銅のむく材で構成され、その固有振動
数は約１１２０Ｈｚ、ロッド９を含む試料支持系の固有
振動数は３６０Ｈｚ〜６９０Ｈｚであったため、０〜１
２００Ｈｚ近辺の外部振動により、ロッド９や当該ロッ
ド９を含む試料支持系が共振する場合があった。
【００１４】しかも、ロッド９が第２の振動モードで振
動し、ロッド９の一端９ａすなわち試料ホルダ１５の試
料載置端１５ａが振動の腹になると、振動振幅が大きく
なってさらに分解能に大きな悪影響を及ぼしてしまうと
いう問題があった。
動し、ロッド９の一端９ａすなわち試料ホルダ１５の試
料載置端１５ａが振動の腹になると、振動振幅が大きく
なってさらに分解能に大きな悪影響を及ぼしてしまうと
いう問題があった。
【００１５】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を解決して、外部振動の影響を受けにくい構造の電子
顕微鏡の試料移動装置を提供することにある。
点を解決して、外部振動の影響を受けにくい構造の電子
顕微鏡の試料移動装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明では、試料載置端が首振運動する試料微
動手段と、一端が試料微動手段の試料載置端に対してピ
ボット運動可能に支持されたロッドとを具備した電子顕
微鏡の試料移動装置において、以下のような手段を講じ
た点に特徴がある。 (1) ロッドや試料支持系の固有振動数を、予想される外
乱の振動数よりも高くして、前記固有振動数が外乱の振
動数とオーバラップしないようにした。 (2) ロッドの重心位置が、その中心よりも他端側になる
ようにした。 (3) ロッドの両端支持部以外に別の接触体を設けた。
ために、本発明では、試料載置端が首振運動する試料微
動手段と、一端が試料微動手段の試料載置端に対してピ
ボット運動可能に支持されたロッドとを具備した電子顕
微鏡の試料移動装置において、以下のような手段を講じ
た点に特徴がある。 (1) ロッドや試料支持系の固有振動数を、予想される外
乱の振動数よりも高くして、前記固有振動数が外乱の振
動数とオーバラップしないようにした。 (2) ロッドの重心位置が、その中心よりも他端側になる
ようにした。 (3) ロッドの両端支持部以外に別の接触体を設けた。
【００１７】
【作用】上記した構成(1) によれば、外部振動によって
ロッドや試料支持系が共振することがないので、試料載
置端の振動が抑制されて高い解像度が得られるようにな
る。
ロッドや試料支持系が共振することがないので、試料載
置端の振動が抑制されて高い解像度が得られるようにな
る。
【００１８】上記した構成(2) によれば、試料ホルダの
試料載置端が振動の腹にならないので、振動振幅が抑え
られて高い解像度が得られるようになる。
試料載置端が振動の腹にならないので、振動振幅が抑え
られて高い解像度が得られるようになる。
【００１９】上記した構成(3) によれば、接触体によっ
て摩擦減衰が生じてロッドの減衰比が高められるので、
試料載置端の振動が抑制されて高い解像度が得られるよ
うになる。
て摩擦減衰が生じてロッドの減衰比が高められるので、
試料載置端の振動が抑制されて高い解像度が得られるよ
うになる。
【００２０】
【実施例】初めに、本発明の基本概念について説明す
る。
る。
【００２１】振動理論によれば、前記図４に示したロッ
ド９のように、両端支持の一様断面はり（丸棒）の最低
次モード固有振動数ｆは次式(1) で表される。
ド９のように、両端支持の一様断面はり（丸棒）の最低
次モード固有振動数ｆは次式(1) で表される。
【００２２】 ｆ＝π・（ＥＩ／ρＡ）1/2 ／２Ｌ2 …(1) 但し、Ｌ：長さ ｄ：直径 Ｅ：ヤング率 ρ：比重 Ｉ：断面２次モーメント（＝π・ｄ4 ／６４） Ａ：断面積（＝π・ｄ2 ／４） (1) 式から明らかなように、両端支持の一様断面はりの
固有振動数を高くするためには、はりの長さを短く（Ｌ
→小）、太く（ｄ→大）、ヤング率を大きく（Ｅ→
大）、比重を小さく（ρ→小）すれば良いことがわか
る。ただし、上記した４つのパラメータのうち、長さＬ
および太さｄに関しては、真空室１の大きさとの兼ね合
いから制約がある。
固有振動数を高くするためには、はりの長さを短く（Ｌ
→小）、太く（ｄ→大）、ヤング率を大きく（Ｅ→
大）、比重を小さく（ρ→小）すれば良いことがわか
る。ただし、上記した４つのパラメータのうち、長さＬ
および太さｄに関しては、真空室１の大きさとの兼ね合
いから制約がある。
【００２３】そこで、本発明では特に比重ρに着目し、
これを適宜に設定することによって、ロッドおよび試料
支持系の固有振動数を、予想される外乱の振動数よりも
高くし、ロッドおよび試料支持系が外乱に共振しにくく
なるようにした。
これを適宜に設定することによって、ロッドおよび試料
支持系の固有振動数を、予想される外乱の振動数よりも
高くし、ロッドおよび試料支持系が外乱に共振しにくく
なるようにした。
【００２４】すなわち、リン青銅（比重８．９３×１０
-6kgf/mm3 ）で形成された従来のロッド９の固有振動数
は約１１２０Ｈｚ、当該ロッド９を含む試料支持系全体
の固有振動数は３６０Ｈｚ〜６９０Ｈｚであり、外部振
動の振動数０〜１２００Ｈzとオーバラップしていた。
-6kgf/mm3 ）で形成された従来のロッド９の固有振動数
は約１１２０Ｈｚ、当該ロッド９を含む試料支持系全体
の固有振動数は３６０Ｈｚ〜６９０Ｈｚであり、外部振
動の振動数０〜１２００Ｈzとオーバラップしていた。
【００２５】そこで、本発明の第１実施例では、ロッド
の固有振動数を高くするために、リン青銅に比べて比重
の小さいチタン（比重８．９３×１０-6kgf/mm3 ）およ
びアルミ合金（比重２．６９×１０-6kgf/mm3 ）を用い
てロッドを形成し、ロッドの固有振動数が外部振動の振
動数よりも高い側へシフトするようにした。
の固有振動数を高くするために、リン青銅に比べて比重
の小さいチタン（比重８．９３×１０-6kgf/mm3 ）およ
びアルミ合金（比重２．６９×１０-6kgf/mm3 ）を用い
てロッドを形成し、ロッドの固有振動数が外部振動の振
動数よりも高い側へシフトするようにした。
【００２６】本実施例によれば、ロッドの固有振動数が
外部振動の振動数とオーバラップしないので、外部振動
による共振が抑制され、サブミクロンオーダでの高分解
能観察が可能になる。
外部振動の振動数とオーバラップしないので、外部振動
による共振が抑制され、サブミクロンオーダでの高分解
能観察が可能になる。
【００２７】なお、上記した実施例では、ロッドの固有
振動数のみを高くするものとして説明したが、本発明者
等の実験によれば、ロッドの固有振動数を高くすると、
これに応じて当該ロッドを含む試料支持系全体の固有振
動数も高くなることが確認された。
振動数のみを高くするものとして説明したが、本発明者
等の実験によれば、ロッドの固有振動数を高くすると、
これに応じて当該ロッドを含む試料支持系全体の固有振
動数も高くなることが確認された。
【００２８】例えば、前記図４に関して説明した構造の
試料支持系では、ロッド９の固有振動数を２０００Ｈz
程度に高めれば、試料支持系の固有振動数を１２００Ｈ
z 以上にすることができた。
試料支持系では、ロッド９の固有振動数を２０００Ｈz
程度に高めれば、試料支持系の固有振動数を１２００Ｈ
z 以上にすることができた。
【００２９】このように、ロッドおよび当該ロッドを含
む試料支持系全体の固有振動数が、共に外部振動の振動
数よりも高い側へシフトするようにロッドの固有振動数
を設定すれば、さら分解能を向上させることができるよ
うになる。
む試料支持系全体の固有振動数が、共に外部振動の振動
数よりも高い側へシフトするようにロッドの固有振動数
を設定すれば、さら分解能を向上させることができるよ
うになる。
【００３０】図１は本発明の第２実施例である電子顕微
鏡の試料支持系の構成を示した図、図２はＡ−Ａ線断面
図、図３はＢ−Ｂ線断面図であり、前記と同一の符号は
同一または同等部分を表している。
鏡の試料支持系の構成を示した図、図２はＡ−Ａ線断面
図、図３はＢ−Ｂ線断面図であり、前記と同一の符号は
同一または同等部分を表している。
【００３１】同図において、受金具１８内部の軸方向に
設けられた通路にはＯリング１７で気密的に支持された
筒状のシャフト４０が挿通され、シャフト４０内部の軸
方向に設けられた通路には、Ｏリング４７で気密的に支
持された筒状の押子５０が挿通されている。
設けられた通路にはＯリング１７で気密的に支持された
筒状のシャフト４０が挿通され、シャフト４０内部の軸
方向に設けられた通路には、Ｏリング４７で気密的に支
持された筒状の押子５０が挿通されている。
【００３２】ロッド１００の一端１００ｂは先細り形状
となっており、他端には球状体１００ａが一体化されて
いる。明らかなように、ロッド１００の重心は他端側に
ある。ロッド１００の一端１００ｂ側の端面はすり鉢状
の凹形状となっており、試料ホルダ１５の試料載置端１
５ａとピボット運動可能に支持され、球状体１００ａ
は、後述するシャフト蓋４１とフランジ部４０ｆの凹部
４０ｓによって回転自在に支持されている。
となっており、他端には球状体１００ａが一体化されて
いる。明らかなように、ロッド１００の重心は他端側に
ある。ロッド１００の一端１００ｂ側の端面はすり鉢状
の凹形状となっており、試料ホルダ１５の試料載置端１
５ａとピボット運動可能に支持され、球状体１００ａ
は、後述するシャフト蓋４１とフランジ部４０ｆの凹部
４０ｓによって回転自在に支持されている。
【００３３】シャフト４０内部に設けられたフランジ部
４０ｆの中央部には、ロッド１００の球状体１００ａを
支持する凹部４０ｓ（図３）が設けられ、凹部４０ｓの
周囲には、押子５０の３つの爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃ
（図２）を挿通するための３つの開口４０ａ、４０ｂ，
４０ｃが形成されている。
４０ｆの中央部には、ロッド１００の球状体１００ａを
支持する凹部４０ｓ（図３）が設けられ、凹部４０ｓの
周囲には、押子５０の３つの爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃ
（図２）を挿通するための３つの開口４０ａ、４０ｂ，
４０ｃが形成されている。
【００３４】シャフト４０の両端には、それぞれシャフ
ト蓋４１、４２が配置されている。シャフト蓋４１の中
心部には、前記フランジ部４０ｆの凹部４０ｓと共にロ
ッド１００の球状体１００ａを回転自在に挟持するため
の開口が形成されている。シャフト蓋４２の中心部に
は、ウォームギア４６と係合したネジ４５が挿通され、
当該ネジ４５は押子５０の後端部に螺合されている。シ
ャフト４０は、受金具１８の後端部に設けられた雌ネジ
に螺合するつまみ２１によって軸方向の運動を規定され
る。
ト蓋４１、４２が配置されている。シャフト蓋４１の中
心部には、前記フランジ部４０ｆの凹部４０ｓと共にロ
ッド１００の球状体１００ａを回転自在に挟持するため
の開口が形成されている。シャフト蓋４２の中心部に
は、ウォームギア４６と係合したネジ４５が挿通され、
当該ネジ４５は押子５０の後端部に螺合されている。シ
ャフト４０は、受金具１８の後端部に設けられた雌ネジ
に螺合するつまみ２１によって軸方向の運動を規定され
る。
【００３５】このような構成において、前記と同様にし
て試料ホルダ１５の試料載置端１５ａをＸＹＺの任意の
方向に移動させると、ロッド１００の一端１００ｂも球
状体１００ａを軸にして回転自在に動く。
て試料ホルダ１５の試料載置端１５ａをＸＹＺの任意の
方向に移動させると、ロッド１００の一端１００ｂも球
状体１００ａを軸にして回転自在に動く。
【００３６】このようにして試料ホルダ１５の位置決め
が終了すると、ウォームギア４６を介してネジ４５を回
転させて押子５０をシャフト４０内でＸ方向に駆動さ
せ、爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃをロッド１００の球状体
１００ａに任意の圧力で接触させて、ロッド１００の振
動が爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃによって摩擦減衰される
ようにする。
が終了すると、ウォームギア４６を介してネジ４５を回
転させて押子５０をシャフト４０内でＸ方向に駆動さ
せ、爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃをロッド１００の球状体
１００ａに任意の圧力で接触させて、ロッド１００の振
動が爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃによって摩擦減衰される
ようにする。
【００３７】本実施例によれば、ロッド１００の重心位
置を中心よりも他端側（球状体１００ａ側）にして試料
ホルダ１５の試料載置端１５ａから離し、試料載置端近
傍が振動の腹とならないようにしたので、外部振動の影
響をより一層抑制することができるようになる。
置を中心よりも他端側（球状体１００ａ側）にして試料
ホルダ１５の試料載置端１５ａから離し、試料載置端近
傍が振動の腹とならないようにしたので、外部振動の影
響をより一層抑制することができるようになる。
【００３８】また、本実施例によれば、ロッド１００の
減衰比が爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃとの摩擦によって高
められるので、試料載置端１５ａ近傍の振動が更に減ぜ
られるようになる。
減衰比が爪５０ａ、５０ｂ，５０ｃとの摩擦によって高
められるので、試料載置端１５ａ近傍の振動が更に減ぜ
られるようになる。
【００３９】なお、本実施例においても、ロッド１００
をアルミ合金やチタンなどの比重が比較的小さい材料で
形成し、ロッド１００および当該ロッド１００を含む試
料支持系の固有振動数を、予想される外部振動の振動数
よりも高い側へシフトすれば、前記同様、ロッド１００
や試料支持系の外部振動による共振が防止されるので、
サブミクロンオーダでの高分解能観察が可能になる。
をアルミ合金やチタンなどの比重が比較的小さい材料で
形成し、ロッド１００および当該ロッド１００を含む試
料支持系の固有振動数を、予想される外部振動の振動数
よりも高い側へシフトすれば、前記同様、ロッド１００
や試料支持系の外部振動による共振が防止されるので、
サブミクロンオーダでの高分解能観察が可能になる。
【００４０】また、上記した実施例では、ロッド１００
と接触して摩擦減衰を起こさせる接触体（爪５０ａ〜５
０ｃ）が移動可能な剛体であり、位置決め終了後にロッ
ド１００に接触させるものとして説明したが、本発明は
これのみに限定されず、接触体を板バネ等の弾性体で構
成し、終始ロッド１００と接触するようにしても良い。
板バネで接触体を構成すれば、前記図４に関して説明し
た実施例においても、ロッド９に接触して摩擦減衰を起
こさせる接触体を容易に設けることができるようにな
り、本実施例と同様の効果が達成される。
と接触して摩擦減衰を起こさせる接触体（爪５０ａ〜５
０ｃ）が移動可能な剛体であり、位置決め終了後にロッ
ド１００に接触させるものとして説明したが、本発明は
これのみに限定されず、接触体を板バネ等の弾性体で構
成し、終始ロッド１００と接触するようにしても良い。
板バネで接触体を構成すれば、前記図４に関して説明し
た実施例においても、ロッド９に接触して摩擦減衰を起
こさせる接触体を容易に設けることができるようにな
り、本実施例と同様の効果が達成される。
【００４１】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、以下
のような効果が達成される。 (1) ロッドおよび当該ロッドを含む試料支持系の固有振
動数を、予想される外乱の振動数よりも高めに設定し、
ロッドおよび料支持系が外部振動によって共振しないよ
うにしたので、試料載置端の振動が抑制されて高い解像
度が得られるようになる。 (2) ロッドの重心を試料ホルダの試料載置端から離し、
試料支持系が振動した際の腹の位置が試料載置端と重な
らないようにしたので、試料載置端の振動が抑制されて
高い解像度が得られるようになる。 (3) ロッドの両端支持部以外に別の接触構造を設け、接
触体によって摩擦減衰が生じてロッドの減衰比が高めら
れるようにしたので、試料載置端の振動が抑制されて高
い解像度が得られるようになる。
のような効果が達成される。 (1) ロッドおよび当該ロッドを含む試料支持系の固有振
動数を、予想される外乱の振動数よりも高めに設定し、
ロッドおよび料支持系が外部振動によって共振しないよ
うにしたので、試料載置端の振動が抑制されて高い解像
度が得られるようになる。 (2) ロッドの重心を試料ホルダの試料載置端から離し、
試料支持系が振動した際の腹の位置が試料載置端と重な
らないようにしたので、試料載置端の振動が抑制されて
高い解像度が得られるようになる。 (3) ロッドの両端支持部以外に別の接触構造を設け、接
触体によって摩擦減衰が生じてロッドの減衰比が高めら
れるようにしたので、試料載置端の振動が抑制されて高
い解像度が得られるようになる。
【図１】本発明の一実施例である電子顕微鏡の試料支持
系の構成図である。
系の構成図である。
【図２】第１図のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】第１図のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】一般的な電子顕微鏡の試料支持系の構成を示し
た図である。
た図である。
１…鏡体、２…凹球面、３、１７、１９、４７…Ｏリン
グ、４…受金具、５…ガイド、８…押棒、９、１００…
ロッド、１０…試料、１１…球体、１３…試料ステー
ジ、１５…試料ホルダ、１５ａ…試料載置端、１６、４
０…シャフト、１８…受金具、４６…ウォームギア、５
０…押子、５０ａ、５０ｂ，５０ｃ…爪、１００ａ…球
状体
グ、４…受金具、５…ガイド、８…押棒、９、１００…
ロッド、１０…試料、１１…球体、１３…試料ステー
ジ、１５…試料ホルダ、１５ａ…試料載置端、１６、４
０…シャフト、１８…受金具、４６…ウォームギア、５
０…押子、５０ａ、５０ｂ，５０ｃ…爪、１００ａ…球
状体
Claims (7)
- 【請求項１】 その一部が回転自在に支持されて試料載
置端が首振運動する試料微動手段と、 一端が試料微動手段の試料載置端に対してピボット運動
可能に支持され、他端が固定端に対してピボット運動可
能に支持されたロッドとを具備し、 試料微動手段およびロッドが試料支持系を構成する電子
顕微鏡の試料移動装置であって、 前記ロッドの固有振動数が、予想される外乱の振動数よ
りも高く設定されたことを特徴とする電子顕微鏡の試料
移動装置。 - 【請求項２】 前記試料支持系の固有振動数が、前記外
乱の振動数よりも高く設定されたことを特徴とする請求
項１記載の電子顕微鏡の試料移動装置。 - 【請求項３】 その一部が回転自在に支持されて試料載
置端が首振運動する試料微動手段と、 一端が試料微動手段の試料載置端に対してピボット運動
可能に支持され、他端が固定端に回転自在に支持され、
その重心が中心よりも他端側にあるロッドとを具備した
ことを特徴とする電子顕微鏡の試料移動装置。 - 【請求項４】 前記ロッドの固有振動数は、予想される
外乱の振動数よりも高く設定されたことを特徴とする請
求項３記載の電子顕微鏡の試料移動装置。 - 【請求項５】 前記試料支持系の固有振動数が、前記外
乱の振動数よりも高く設定されたことを特徴とする請求
項４記載の電子顕微鏡の試料移動装置。 - 【請求項６】 前記ロッドの一部に接触して摩擦減衰を
生じさせ、ロッドの減衰比を高める接触体をさらに具備
したことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれ
かに記載の電子顕微鏡の試料移動装置。 - 【請求項７】 前記接触体は弾性体であることを特徴と
する請求項６記載の電子顕微鏡の試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3266914A JP2850275B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3266914A JP2850275B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582065A true JPH0582065A (ja) | 1993-04-02 |
| JP2850275B2 JP2850275B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=17437426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3266914A Expired - Lifetime JP2850275B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 電子顕微鏡の試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2850275B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004214087A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置用試料移動装置 |
| JP2005123129A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2005197003A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi High-Technologies Corp | サイドエントリ型試料移動機構を備えた荷電粒子線装置 |
| JP2007080668A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置の試料移動装置 |
| WO2018225546A1 (ja) * | 2017-06-07 | 2018-12-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63291347A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-29 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等における試料装置 |
| JPH02123057U (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-09 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3266914A patent/JP2850275B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63291347A (ja) * | 1987-05-22 | 1988-11-29 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等における試料装置 |
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| JP2004214087A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置用試料移動装置 |
| JP2005123129A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2005197003A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi High-Technologies Corp | サイドエントリ型試料移動機構を備えた荷電粒子線装置 |
| JP2007080668A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置の試料移動装置 |
| WO2018225546A1 (ja) * | 2017-06-07 | 2018-12-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| JP2018206662A (ja) * | 2017-06-07 | 2018-12-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2850275B2 (ja) | 1999-01-27 |
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