JPH0581809B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、気象現象（高気圧、低気圧、台風の
到来など）により大気圧が変動しても常に室圧を
760mmHgの圧力に精密制御するようにした空調換
気設備における室内絶対圧制御法に関する。

〔従来の技術〕

超LSI製造などにおけるホトリソ工程のステツ
パ、アライナー等の光学機器が設置される室では
雰囲気圧が変動すると空気密度が変化しそれに伴
つて屈折率が変化するので、かような空調換気設
備では、室内絶対圧制御を必要とする。同様なこ
とは、気象条件が相互に異なる全世界で生産され
る自動車の気化器などの性能を比較するための試
験機械室などでも必要である。

このような絶対圧制御を実施する設備として、
従来においては、第４図に示すような設備が使用
されていた。第４図において、１は制御対象室、
２は空調機、３は外気路、４は外調機、５は排気
路、６は排気フアン、１０は外気フアン、１１は
風量調節用ダンパ、１２は圧力調節用ダンパを示
しているが、室１の絶対圧制御のために、外調機
４の前後の送気路３でその絶対圧を絶対圧計１
５，１６によつて測定し、この検出信号をもとに
して指示調節計１７によつて風量調節用ダンパ１
１を制御して風量が一定となるように制御し、さ
らに、定風量弁１８（CVA弁）を通過させるこ
とによつて定風量の外気を空調機２に供給する。
そして、空調機２は室１からの還気を定風量弁２
０（CAV弁）を介して取入れることによつて、
その還気風量も一定とする。他方、室１内の絶対
圧を絶対圧計２１で検出し、この検出値をもとに
指示調節計２２によよつて圧力調節用ダンパ１２
の開度制御を行う。また、室１に局所排気用の設
備１４（例えばドラフトチヤンバーなど）が存在
し、その稼動台数が変動した場合の外乱も圧力調
節用ダンパ１２の開度制御による排気量制御によ
つて行う。

このようにして、従来より、高気圧、低気圧、
さらには台風などの大きな気象条件の変化が存在
してもこの大気圧の変動が室圧に大きな変動を与
えないようにしていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第４図に示すような従来の設備においては、そ
の絶対圧制御の精度は、760mmHg±14mmH₂O程度
であつた。この精度では最近の精密機器が要求す
る精度を満足できないという問題が生じてきた。
また従来の設備では風量調節用ダンパ１１の定風
量制御機能と定風量弁１８の制御機能が競合して
ハンチングを起こすという問題があつた。さら
に、強制局所排気設備１４の稼動台数の変化に追
従した排気量制御の機能がないので、かような排
気設備を設けた室ではその稼動状態に応じて室圧
が長時間ハンチングを起こすという問題があつ
た。

本発明はこのような問題を解決しようとするも
のである。

〔問題点を解決する手段〕

本発明によれば、第１図に示したように、室１
の還気を吸気し室１に給気する空調機２と、空調
機２に外気を送気する外気路３と、この外気路３
に介装された外調機４と、室１の排気を系外に排
出するための排気路５と、この排気路５に介装さ
れた排気フアン６とを備えた空調換気設備におい
て、外気路３に風量検出器７を、そして室１に広
域絶対圧計８および狭域絶対圧計９を設置し、外
気路３に介装される外気フアン１０と排気路５に
介装される排気フアン６とを風量可変制御フアン
とし、外気路３に風量調節用ダンパ１１を排気路
５に圧力調節用ダンパ１２を介装し、そして、風
量検出器７、広域絶対圧計８および狭域絶対圧計
９からの検出信号を入力し、外気フアン１０と排
気フアン６の風量制御並びに風量調節用ダンパ１
１と圧力調節用ダンパ１２の開度制御を演算制御
するコンピユーター１３を設置したうえ、 風量検出器７の検出信号により外気導入量が所
定の風量となるように外気フアン１０の送風量を
操作し、広域絶対圧計８の検出信号により室内圧
が760mmHgとなるように排気フアン６の送風量を
操作する起動モードと、この起動モード後におい
て風量検出器７の検出信号により外気風量が所定
風量になるように風量調節用ダンパ１１を開度操
作し、狭域絶対圧計９の検出信号により室内圧が
760mmHgとなるように圧力調節用ダンパ１２を開
度操作する制御モードとを実行し、該制御モード
中において、風量調節用ダンパ１１の開度が所定
の範囲となるように外気フアン１０の回転数を操
作することを特徴とする空調換気設備における室
内絶対圧制御法を提供する。

更に本発明によれば、第２図に示したように、
室１の還気を吸気し室１に給気する空調機２と、
空調機２に外気を送気する外気路３と、この外気
路３に介装された外調機４と、室１の排気を系外
に排出するための排気路５と、この排気路５に介
装された排気フアン６と、室１の局所から系外に
強制排気するための強制局所排気設備１４と、を
備えた空調換気設備において、前記外気路３に風
量検出器７を、室１に広域絶対圧計８および狭域
絶対圧計９を、そして強制局所排気設備１４にそ
の稼動状態を検出する稼動状態検出器１５を設置
し、外気路３に介装される外気フアン１０と排気
路５に介装される排気フアン６とを風量可変制御
フアンとし、外気路３に風量調節用ダンパ１１を
排気路５に圧力調節用ダンパ１２を介装し、そし
て、風量検出器７、広域絶対圧計８、狭域絶対圧
計９および稼動状態検出器１５からの検出信号を
入力し、外気フアン１０と排気フアン６の風量制
御並びに風量調節用ダンパ１１と圧力調節用ダン
パ１２の開度制御を演算制御するコンピユーター
１３を設置したうえ、 風量検出器７の検出信号により外気導入量が所
定の風量となるように外気フアン１０の送風量を
操作し、広域絶対圧計８の検出信号により室内圧
が760mmHgとなるように排気フアン６の送風量を
操作する起動モードと、この起動モード後におい
て風量検出器７の検出信号により外気風量が所定
風量になるように風量調節用ダンパ１１を開度操
作し、狭域絶対圧計９の検出信号により室内圧が
760mmHgとなるように圧力調節用ダンパ１２を開
度操作する制御モードとを実行し、該制御モード
中において、稼動状態検出器１５の検出信号から
強制局所排気設備１４の刻々の排気風量と排気風
量に対応する静圧変化を演算し、この演算値に基
いて外気フアン１０と排気フアン６の各送風量を
操作することを特徴とする空調換気設備における
室内絶対圧制御法を提供する。

以下に本発明法を図面に従つて具体的に説明す
る。

第１図において、室１は、室内絶対圧制御を必
要とする部屋であり、光学機器や精密機器などが
設置された閉鎖空間である。この室１には給気口
２４、吸込口２５、排気口２６が取付けられる。
吸込口２５は還気ダクト２７を経て空調機２に接
続され、空調機２で調和された給気は給気ダクト
２８を経て給気口２４から室内に吹き出される。
また排気口２６は排気ダクト５に接続され、排気
フアン６の駆動によつて室内の排気が系外に排出
される。外気の取入れは、空調機２に接続される
外気路３を経て行われるが、この外気路３に外調
機４を介装し、ここで設定された温湿度の空気と
する。

本発明においては、まず、かような空気調和設
備において、外気路３に風量検出器７を、室１に
広域絶対圧計８および狭域絶対圧計９を設置す
る。図示の例では風量検出器７エアロアイが外調
機４の吸込側外気路３に設置され、この外気路３
に流れる風量を検出する。この風量検出器７の出
力はコンピユーター１３に入力される。また、室
１の絶対圧を検出するのに広域絶対圧計８と狭域
絶対圧計９とが設置されるが、広域絶対圧計８は
検出幅の広い絶対圧力計であり、狭域絶対圧計９
は検出幅の狭い精度の高い絶対圧力計である。こ
れら圧力計の出力もコンピユーター１３に入力さ
れる。

外気路３に介装される外気フアン１０と排気路
５に介装される排気フアン６はいずれも風量可変
制御フアンを使用する。この風量可変制御は、フ
アンモータの回転数を制御によつて行うのが便宜
である。図示の実施例では、フアンモータの回転
数を自由に制御できるインバータユニツト３０，
３１が使用されている。各インバータユニツト３
０，３１への制御信号はコンピユーター１３から
出力される。

そして、外気路３には風量調節用ダンパ１１
が、また排気路５には圧力調節用ダンパ１２を介
装されこれらの開度を制御する制御信号もコンピ
ユーター１３から出力される。

このようにして、コンピユーター１３は、風量
検出器７、広域絶対圧計８および狭域絶対圧計９
からの検出信号を入力し、これらの入力値を演算
して外気フアン１０と排気フアン６に風量制御信
号を出力すると共に、風量調節用ダンパ１１と圧
力調節用ダンパ１２に開度制御信号を出力する。

すなわち、まず風量検出器７の検出信号により
外気導入量が所定の風量となるようにコンピユー
タ１３で外気フアン１０の回転数を決定する。そ
してコンピユータ１３からインバータユニツト３
０にその回転数となるように制御信号を出力す
る。これにより外気フアン１０の送風量が操作さ
れる。

また、広域絶対圧計８の検出信号により室内圧
が760mmHgとなるようにコンピユータ１３で排気
フアン６の回転数を決定する。そしてコンピユー
タ１３からインバータユニツト３１にその回転数
となるように制御信号を出力する。これにより排
気フアン６の送風量が操作される。

このような外気フアンおよび排気フアンの運転
を起動モードと呼ぶ。この起動モード後において
風量検出器７の検出信号により外気風量が所定風
量になるようにPID動作で風量調節用ダンパ１１
を開度操作し、狭域絶対圧計９の検出信号により
室内圧が760mmHgとなるようにPID動作で圧力調
節用ダンパ１２を開度操作する制御モードとを実
行し、該制御モード中において、風量調節用ダン
パ１１の開度が所定の範囲となるように外気フア
ン１０の回転数を操作する。より具体的には、ダ
ンパ１１の開度が予め決めた開度の範囲を逸脱す
る場合に外気フアン１０の回転数を再度コンピユ
ータ１３で演算して補正操作する。

第２図の例は、室１に強制局所排気設備１４が
設けられている以外は、第１図の例と実質的に同
一である。この強制局所排気設備１４は例えば有
害物質を取り扱うためのドラフトチヤンバーなど
であり、これらは通常は複数基設置される。第２
図の例では、この複数の強制局所排気設備１４の
稼動状態を検出する稼動状態検出器１５を設置す
る。この稼動状態検出器１５は、図示の例ではス
イツチのON−OFFを検出する検出器を使用して
いる。より具体的には、各排気設備の排気ダクト
３４に介装されるダンパ３５の開閉並びにフアン
３６の発停を検出するために、ダンパ３５の開状
態と閉状態をこの検出器１５で検出し、これをコ
ンピユーター１３に出力する。したがつて、この
第２図の例では、コンピユーター１３は、稼動状
態検出器１５、風量検出器７、広域絶対圧計８お
よび狭域絶対圧計９からの検出信号を入力し、こ
れらの入力値を演算して外気フアン１０と排気フ
アン６に風量制御信号を出力すると共に、風量調
節用ダンパ１１と圧力調節用ダンパ１２に開度制
御信号を出力するようにつている。

以下に、コンピユーター１３による起動モー
ド、制御モードおよび省エネルギー運転モードに
ついて、さらに詳しく説明する。

起動モード 初期条件；風量調節用ダンパ１１を全閉、圧力
調節用ダンパ１２を全閉。

空調機２をＹ−〓方式などで起動し、換気空調
を行う。そして外気フアン１０と排気フアン６
を、第３図に示す〜のいずれかのパターンで
ソフトスタートさせる。風量検出器７の出力で外
気導入量が所定の風量Ｑ＝Q₀になるまで外気フ
アン１０の回転数を増加してゆき、Ｑ＝Q₀にな
つた時点で、排気フアン６とは別に独立して以下
に述べる制御モードに移行する。また広域絶対圧
計８の出力で室内が760mmHgになるまで排気フア
ン６の回転数を増加してゆき、狭域絶対圧計９が
760mmHgを検出したら、外気フアン１０とは別に
独立して以下の制御モードに移行する。このよう
な起動方式をバンプレス起動という。

制御モード 外気風量が所定風量になるように風量調節用ダ
ンパ１１の開度制御を行う。そして、外気風量と
は独立して、室圧が760mmHgになるように、狭域
絶対圧計９の出力で圧力調節用ダンパ１２の開度
制御を行う。但し、この狭域絶対圧計９の出力は
平均化して測定データとする。

強制局所排気設備１４が存在する場合には、こ
の設備の稼動台数をスキヤンニングでモニター
し、刻々の排気風量を演算し、排気風量に対応す
る静圧計算を行い、そしてこの風量と静圧とから
排気フアン６の回転数を演算したのち、可変風量
制御器（トランジスタインバータ）３０，３１に
出力指令する。

省エネルギー運転モード 室内絶対圧を760mmHgに制御すると、760mmHg
以下の大気圧では一定の風量を出す場合に風量調
節用ダンパ１１は全開に近づく。このダンパ開度
が全開に近づくとダンパの風量制御性が低下する
ので順々に外気フアン１０の回転数を挙げて風量
調節用ダンパ１１が40〜70％の開度、好ましくは
50〜60％の開度になるように修正運転する。

一方、大気圧が760mmHg以上の時は逆に外気フ
アン１０に背圧がかかるので風量調節用ダンパ１
１の開度は全閉に近づく。従つて、順々に外気フ
アン１０の回転数を下げて風量調節用ダンパ１１
が40〜70％の開度、好ましくは50〜60％の開度に
なるように修正運転する。

次に本発明法を実施したさいの試験結果の一例
を挙げる。

〔試験の装置の仕様〕

環境試験室：2.3mm鋼板製1800×2000×1500^H。

給気フアン：ターボブロア．4.5^CMM×1500^mmAq×
4.7^KW、200V。

排気フアン：ターボブロア、4.5^CMM×1500^mmAq×
4.7^KW、200V。

風量調整用ダンパ：80〓、バタフライ弁、分解能
１／２００以上。

圧力調整用ダンパ：80〓、バタフライ弁、分解能
１／２００以上。

循環用フアン：シロツコフアン、3.8^CMM×30_nnAq
×0.2^KW、200V。

風速計：リオン社製AM−03型、０−5V出力。

絶対気圧計：三計エンジニアリング社製760mmAq
±20mmH₂O 真空ポンプ：オリオン機械社製0.063^CMM（500mm
Hg以下）。

気圧計：フオルタン型水銀気圧計（検定品）。

制御用マイクロコンピユーター：高砂熱学工業社
製。

記録計：理化電気工業社製 Ｒ−50型10ペンコー
ダ。

環境試験室内を循環する風量は3.8CCMであ
り、換気回数に換算すると42回／時になる。真空
ポンプは排気を必要とする装置の局所排気設備を
モデル化したもので、起動と停止に伴つて変動す
る室内絶対気圧とその制御精度を検証する目的で
設置された。真空ポンプの吸引量は１台当り
0.05CCMに調節され、同時に最大４台まで起
動・停止し、試験条件下で過度応答時の制御精度
を比較した。室内絶対気圧は760mmHgに設定され
た。室内絶対気圧の制御に対する外乱となる真空
ポンプの最大吸引量は総排気量の10％に相当す
る。

〔試験 １〕 起動運転モードと定常運転モードの動特性。

システムの起動は循環フアンが稼動しているこ
とを確認後、ただちに給気フアンと排気フアンを
起動させることで始まる。ソフトスタート制御の
機能により、全自動で起動する状態と、スムーズ
に起動から定常運転モードに移行する状態を測定
する。室内絶対圧を760mmHgに設定して、定常運
転モードにおける制御精度を測定する。

第５図にその測定結果を示した。図中のS.Pは
セツトポイントを示す。実験中に変化した大気圧
範囲は図中に示したように1008.7→1006.7mbであ
つた。第５図の結果に示されるように、起動運転
時の室内絶対圧力の変動は±３mmH₂O程度で制
御されている。定常運転モードでは風量制御用ダ
ンパのPID動作と絶対圧制御用ダンパのPID動作
によつて±0.5mmH₂Oの制御精度で室内の絶対圧
が制御されている。また、給気フアンと排気フア
ンを同時に且つ徐々に立ち上げるソフトスタート
機能によつて、従来のフイードバツク制御で見ら
れた行き過ぎ制御がない。これは約１分後の給気
風速および室内絶対気圧が大きな変動を生ずるこ
となく設定値のまわりで制御されていることで示
される。なお、風量制御用ダンパの開度が40〜70
％の範囲内で制御されるように、起動後約11分に
給気フアンの修正動作が見られる。この機能によ
つて制御中に大気圧が変化しても制御精度は保た
れる。

以上の試験は真空ポンプを非稼動の状態でのも
のであり、局所排気設備を設置する必要のないも
のや、設置してあつても局所排気設備を全台数停
止している状態（第一番目の発明）での室内絶対
気圧制御の精度を示したものである。

以下の試験は局所排気設備（真空ポンプ）を稼
動し、稼動台数が変化する場合（第二番目の発
明）の室内絶対気圧の変動を見た試験である。

〔試験 ２〕 連続したPID動作でダンパ開度を制御し、局所
排気設備（真空ポンプ）の起動と停止時の過度的
な室内絶対気圧の変動の抑制。

真空ポンプの作動スイツチにタイマを装置し、
30秒の動作遅れを与えた。この動作遅れ時間中、
第６図に示すように総排気風量から真空ポンプの
合計吸引量を引いたQ_E−nq_Eに相当する回転数で
排気フアンを制御する。連続したPID動作で絶対
気圧制御用ダンパ開度を制御し、過度応答時にお
ける絶対気圧の制御精度を測定した。

測定結果を第７図に示した。第７図の結果に見
られるように、排気風量の10％に相当する局所排
気設備の起動・停止はこの試験では±6.5mmH₂O
の変動を与えた。

〔試験 ３〕 局所排気設備の動作遅れ時間中、絶対気圧制御
用ダンパを停止して過度的な室内絶対気圧の変動
の抑制。

動作遅れ中、第８図に示すように絶対気圧制御
用ダンパのPID動作を中断して、自律的な室内絶
対気圧の変動発生を予防する方式で制御を試み、
その制御精度を測定する。

第９図にその測定結果を示した。第９図に見ら
れるように、この制御方式では±13mmH₂Oの変
動が測定され、制御方式としては劣ることが分
る。

〔試験 ４〕 局所排気設備の動作遅れ時間中、室内絶対気圧
の設定値を室圧が変動する方向と逆方向に変更し
て過度的な室内絶対気圧の変動の抑制。

動作遅れ時間中、室内絶対気圧の設定他を〓Ｐ
だけ変更して圧力のポケツトを与える方式で制御
精度を測定する。そのさい、第１０図に示すよう
に絶対気圧の設定値を変更している期間中も絶対
気圧制御用ダンパのPID制御は継続する。

第１１図にその測定結果を示した。第１１図に
見られるように、４台の局所排気設備を稼動した
ときに±5.5mmH₂Oに抑制されており、試験３に
比べて、また試験２に比べても、最も変動が抑制
されていることが分かる。

なお、局所排気設備の稼動台数の変化による排
気風量変化を、本発明では排気フアンの回転数を
変化させるフイードフオワード制御と室内絶対気
圧制御用ダンパの開度調節によるフイードバツク
制御（PID動作）によつて、室内絶対圧力の過度
的な変動を抑制しているが、従来はフイードバツ
ク制御だけで制御していた。本発明に従うフイー
ドフオワード制御を加えたことで変動が±12mm
H₂Oから±6.5mmH₂Oへと改善された。

以上のようにして、本発明によると、760mmHg
±１mmH₂Oの精度で絶対制御ができる。これは
第４図の従来設備の10倍以上の精度である。また
風量と静圧との関係でヒステリシス特性を示す定
風量弁（CAV弁）を本発明では使用しないので、
機械的なハンチングを生ずることもない。そし
て、絶対圧力計として高感度型の狭域絶対圧計と
低感度型の広域絶対圧計を使用し、これを切り替
えて使用するので、起動時から760mmHg近傍の微
細制御まで可能である。更に、局所排気を行う強
制局所排気設備が室内に存在する場合の稼動台数
の変化は排気フアンの風量でハンチングを起こす
ことなく制御ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の室内絶対圧制御空調換気設備
の代表例を示した機器配置系統図、第２図は本発
明の室内絶対圧制御空調換気設備の他の例を示し
た機器配置系統図、第３図は外気フアンと排気フ
アンの起動パターンの例を示す図、第４図は従来
の絶対圧制御空調換気設備の代表例を示す機器配
置系統図である。第５図は本発明の稼動試験結果
の例〔試験１〕を示した起動運転モードと定常運
転モードの制御特性図、第６図は本発明の稼動試
験２の条件を示す図、第７図は試験２における
PID制御を継続して変動を抑制する方式の制御特
性図、第８図は本発明設備の稼動試験３の条件を
示す図、第９図は試験３におけるPID制御を中断
して変動を抑制する方式の制御特性図、第１０図
は本発明設備の稼動試験４の条件を示す図、そし
て、第１１図は本発明の稼動試験４における室内
絶対気圧設定値を変更して変動を抑制する方式の
制御特性図である。 １……室、２……空調機、３……外気路、４…
…外調機、５……排気路、６……排気フアン、７
……風量検出器、８……広域絶対圧計、９……狭
域絶対圧計、１０……外気フアン、１１……風量
調節用ダンパ、１２……圧力調節用ダンパ、１３
……コンピユーター、１４……強制局所排気設
備、１５……稼動状態検出器、３０，３１……風
量可変制御器（トランジスタ・インバータ）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 室１の還気を吸気し室１に給気する空調機２
   と、空調機２に外気を送気する外気路３と、この
   外気路３に介装された外調機４と、室１の排気を
   系外に排出するための排気路５と、この排気路５
   に介装された排気フアン６とを備えた空調換気設
   備において、 前記外気路３に風量検出器７を、そして室１に
   広域絶対圧計８および挟域絶対圧計９を設置し、
   外気路３に介装される外気フアン１０と排気路５
   に介装される排気フアン６とを風量可変制御フア
   ンとし、外気路３に風量調節用ダンパ１１を排気
   路５に圧力調節用ダンパ１２を介装し、そして、 風量検出器７、広域絶対圧計８および狭域絶対
   圧計９からの検出信号を入力し、外気フアン１０
   と排気フアン６の風量制御並びに風量調節用ダン
   パ１１と圧力調節用ダンパ１２の開度制御を演算
   制御するコンピユーター１３を設置したうえ、 風量検出器７の検出信号により外気導入量が所
   定の風量となるように外気フアン１０の送風量を
   操作し、広域絶対圧計８の検出信号により室内圧
   が760mmHgとなるように排気フアン６の送風量を
   操作する起動モードと、この起動モード後におい
   て風量検出器７の検出信号により外気風量が所定
   風量になるように風量調節用ダンパ１１を開度操
   作し、狭域絶対圧計９の検出信号により室内圧が
   760mmHgとなるように圧力調節用ダンパ１２を開
   度操作する制御モードとを実行し、該制御モード
   中において、風量調節用ダンパ１１の開度が所定
   の範囲となるように外気フアン１０の回転数を操
   作することを特徴とする空調換気設備における室
   内絶対圧制御法。 ２ 室１の還気を吸気し室１に給気する空調機２
   と、空調機２に外気を送気する外気路３と、この
   外気路３に介装された外調機４と、室１の排気を
   系外に排出するための排気路５と、この排気路５
   に介装された排気フアン６と、室１の局所から系
   外に強制排気するための強制局所排気設備１４
   と、を備えた空調換気設備において、 前記外気路３に風量検出器７を、室１に広域絶
   対圧計８および狭域絶対圧計９を、そして強制局
   所排気設備１４にその稼動状態を検出する稼動状
   態検出器１５を設置し、外気路３に介装される外
   気フアン１０と排気路５に介装される排気フアン
   ６とを風量可変制御フアンとし、外気路３に風量
   調節用ダンパ１１を排気路５に圧力調節用ダンパ
   １２を介装し、そして、 風量検出器７、広域絶対圧計８、狭域絶対圧計
   ９および稼動状態検出器１５からの検出信号を入
   力し、外気フアン１０と排気フアン６の風量制御
   並びに風量調節用ダンパ１１と圧力調節用ダンパ
   １２の開度制御を演算制御するコンピユーター１
   ３を設置したうえ、 風量検出器７の検出信号により外気導入量が所
   定の風量となるように外気フアン１０の送風量を
   操作し、広域絶対圧計８の検出信号により室内圧
   が760mmHgとなるように排気フアン６の送風量を
   操作する起動モードと、この起動モード後におい
   て風量検出器７の検出信号により外気風量が所定
   風量になるように風量調節用ダンパ１１を開度操
   作し、狭域絶対圧計９の検出信号により室内圧が
   760mmHgとなるように圧力調節用ダンパ１２を開
   度操作する制御モードとを実行し、該制御モード
   中において、稼動状態検出器１５の検出信号から
   強制局所排気設備１４の刻々の排気風量と排気風
   量に対応する静圧変化を演算し、この演算値に基
   いて外気フアン１０と排気フアン６の各送風量を
   操作することを特徴とする空調換気設備における
   室内絶対圧制御法。