JPH0581637A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0581637A JPH0581637A JP26542991A JP26542991A JPH0581637A JP H0581637 A JPH0581637 A JP H0581637A JP 26542991 A JP26542991 A JP 26542991A JP 26542991 A JP26542991 A JP 26542991A JP H0581637 A JPH0581637 A JP H0581637A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- glass substrate
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス基板を使用した磁気記録媒体におい
て、ガラス基板から生じる酸素による悪影響を下地膜が
受けないようにして、磁気記録媒体の保磁力を向上させ
た。 【構成】 磁気記録媒体において、ガラス基板の上に順
にＷ下地膜、磁性膜、保護膜が積層されている。
て、ガラス基板から生じる酸素による悪影響を下地膜が
受けないようにして、磁気記録媒体の保磁力を向上させ
た。 【構成】 磁気記録媒体において、ガラス基板の上に順
にＷ下地膜、磁性膜、保護膜が積層されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にガラス基板を使用したタイプにおい
て保磁力を向上したものである。
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特にガラス基板を使用したタイプにおい
て保磁力を向上したものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読み取ったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気ディスク装置に使用する磁気記録媒体は、記録
密度の向上が要求されており、そのため保磁力の増大が
種々研究されている。一般に磁気記録媒体の基板として
はＡｌ基板が使用され、その上に順に下地膜、磁性膜、
Ｃ保護膜が形成されている。なお基板に磁性膜を形成す
る場合、スパッタにより形成される磁性膜の配向を良く
するために下地膜が設けられており、その下地膜は一般
にＣｒで形成されている。
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読み取ったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気ディスク装置に使用する磁気記録媒体は、記録
密度の向上が要求されており、そのため保磁力の増大が
種々研究されている。一般に磁気記録媒体の基板として
はＡｌ基板が使用され、その上に順に下地膜、磁性膜、
Ｃ保護膜が形成されている。なお基板に磁性膜を形成す
る場合、スパッタにより形成される磁性膜の配向を良く
するために下地膜が設けられており、その下地膜は一般
にＣｒで形成されている。
【０００３】また最近では基板としてガラス基板が使用
されたものがあり、その場合、基板上に前記同様にＣｒ
下地膜、磁性膜、Ｃ保護膜が積層されている。しかしガ
ラス基板の場合、その表面にＨ2 Ｏ、Ｏ2 、ＯＨ基等が
付着していて、それらは基板から剥離してその付近に拡
散する。このためＣｒ下地膜をスパッタにより形成する
ときにＣｒ原子が基板表面に到達する前に、Ｃｒが酸化
したり基板上の酸素と反応して酸化する。このようにＣ
ｒ下地が酸化すると、下地膜として最も望ましい金属Ｃ
ｒの体心立方格子の結晶成長が妨害され、磁気記録媒体
としての特性が低下してしまう。これら問題を解決する
ため、基板上にＭｏ、Ｗ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｓｉ等の
金属や、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＴｉＮ、ＡｌＮのよう
な酸化物や窒化物の非磁性中間膜を被着し、その上にＣ
ｒ下地膜、磁性膜、Ｃ保護膜を順に積層した磁気記録媒
体が提案されている（特開平２−２９９２３号公報）。
されたものがあり、その場合、基板上に前記同様にＣｒ
下地膜、磁性膜、Ｃ保護膜が積層されている。しかしガ
ラス基板の場合、その表面にＨ2 Ｏ、Ｏ2 、ＯＨ基等が
付着していて、それらは基板から剥離してその付近に拡
散する。このためＣｒ下地膜をスパッタにより形成する
ときにＣｒ原子が基板表面に到達する前に、Ｃｒが酸化
したり基板上の酸素と反応して酸化する。このようにＣ
ｒ下地が酸化すると、下地膜として最も望ましい金属Ｃ
ｒの体心立方格子の結晶成長が妨害され、磁気記録媒体
としての特性が低下してしまう。これら問題を解決する
ため、基板上にＭｏ、Ｗ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｓｉ等の
金属や、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＴｉＮ、ＡｌＮのよう
な酸化物や窒化物の非磁性中間膜を被着し、その上にＣ
ｒ下地膜、磁性膜、Ｃ保護膜を順に積層した磁気記録媒
体が提案されている（特開平２−２９９２３号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たように、ガラス基板を使用した磁気記録媒体において
Ｃｒ下地膜が酸化されないように、基板上にＭｏ、Ｚｒ
等の非磁性中間膜を被着したものがあるが、そのような
場合でもガラス基板側から発生する酸素によりＣｒ下地
層が酸化されることがあり、Ｃｒ下地層の酸化の防止は
十分に満足できるものではなかった。そのためガラス基
板を使用した磁気記録媒体において、ガラス基板からの
酸素の悪影響を確実に防止することが望まれている。そ
こで本発明は、ガラス基板から生じる酸素による悪影響
を受ないようにして、磁気記録媒体の保磁力を向上する
ことを目的とする。
たように、ガラス基板を使用した磁気記録媒体において
Ｃｒ下地膜が酸化されないように、基板上にＭｏ、Ｚｒ
等の非磁性中間膜を被着したものがあるが、そのような
場合でもガラス基板側から発生する酸素によりＣｒ下地
層が酸化されることがあり、Ｃｒ下地層の酸化の防止は
十分に満足できるものではなかった。そのためガラス基
板を使用した磁気記録媒体において、ガラス基板からの
酸素の悪影響を確実に防止することが望まれている。そ
こで本発明は、ガラス基板から生じる酸素による悪影響
を受ないようにして、磁気記録媒体の保磁力を向上する
ことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は磁気ヘッド等と
の間において磁気的に情報の記録および再生を行なうた
めの磁気記録媒体において、上記目的を達成するためガ
ラス基板上にＷ下地膜を介して磁性膜を形成したことを
特徴とする。
の間において磁気的に情報の記録および再生を行なうた
めの磁気記録媒体において、上記目的を達成するためガ
ラス基板上にＷ下地膜を介して磁性膜を形成したことを
特徴とする。
【０００６】
【作用】上記の磁気記録媒体は、ガラス基板の上にＷ下
地膜を形成してその上に磁性膜を形成しているので、ガ
ラス基板から酸素が外側に拡散するのがＷ下地膜により
阻止され、またスパッタされるＷは酸素の悪影響を受け
ることなく配向性良く積層される。このため、Ｗ下地膜
の上に形成される磁性膜は配向性良く積層され、磁気記
録媒体の保磁力は向上する。
地膜を形成してその上に磁性膜を形成しているので、ガ
ラス基板から酸素が外側に拡散するのがＷ下地膜により
阻止され、またスパッタされるＷは酸素の悪影響を受け
ることなく配向性良く積層される。このため、Ｗ下地膜
の上に形成される磁性膜は配向性良く積層され、磁気記
録媒体の保磁力は向上する。
【０００７】
【実施例】ガラス基板の表面を平滑に形成し、外径９５
ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ１．２７ｍｍの基板を作製し
た。次にＤＣマグネトロンスパッタ装置により、Ｗ下地
膜と、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金からなる磁性膜と、Ｃから
なる保護膜とを順次積層して磁気記録媒体を作製した。
ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ１．２７ｍｍの基板を作製し
た。次にＤＣマグネトロンスパッタ装置により、Ｗ下地
膜と、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金からなる磁性膜と、Ｃから
なる保護膜とを順次積層して磁気記録媒体を作製した。
【０００８】この場合、Ｗ下地膜の成膜には、スパッタ
室内を５×１０-6Ｔｏｏｒ以下に排気後、Ａｒガスを導
入してスパッタ室内を１０ｍＴｏｏｒに保持し、投入電
力５００Ｗ、成膜速度１３０Å／分の条件により、第１
表に示す膜厚のＷ下地膜を成膜した。次にこの下地膜の
上に、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金からなる磁性膜を上記同様
にして、投入電力５００Ｗ、成膜速度２００Å／分の条
件で５００Åの膜厚に成膜した。また比較のため、Ｗ下
地膜の代わりにＣｒ下地膜を前記と同様の条件でガラス
基板の表面に被着した磁気記録媒体を作成した。そして
実施例と比較例の磁気記録媒体の保磁力を測定して第１
表に示した。第１表から、下地膜厚が１０００Å以下の
場合は、Ｗ下地膜の方がＣｒ下地膜を適用した場合より
保磁力が大きいことがわかる。
室内を５×１０-6Ｔｏｏｒ以下に排気後、Ａｒガスを導
入してスパッタ室内を１０ｍＴｏｏｒに保持し、投入電
力５００Ｗ、成膜速度１３０Å／分の条件により、第１
表に示す膜厚のＷ下地膜を成膜した。次にこの下地膜の
上に、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金からなる磁性膜を上記同様
にして、投入電力５００Ｗ、成膜速度２００Å／分の条
件で５００Åの膜厚に成膜した。また比較のため、Ｗ下
地膜の代わりにＣｒ下地膜を前記と同様の条件でガラス
基板の表面に被着した磁気記録媒体を作成した。そして
実施例と比較例の磁気記録媒体の保磁力を測定して第１
表に示した。第１表から、下地膜厚が１０００Å以下の
場合は、Ｗ下地膜の方がＣｒ下地膜を適用した場合より
保磁力が大きいことがわかる。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、ガラス基板を
使用しているが、その表面にＷ下地膜を形成してその上
に磁性膜を形成しているので、Ｗ下地膜がガラス基板の
酸素の悪影響を受けることがなく、そのため磁性膜の配
向性が良好になり、保磁力の大きな磁気記録媒体を得る
ことができる。
使用しているが、その表面にＷ下地膜を形成してその上
に磁性膜を形成しているので、Ｗ下地膜がガラス基板の
酸素の悪影響を受けることがなく、そのため磁性膜の配
向性が良好になり、保磁力の大きな磁気記録媒体を得る
ことができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気ヘッド等との間において磁気的に情
報の記録および再生を行なうための磁気記録媒体であっ
て、ガラス基板上に順にＷ下地膜、磁性膜、保護膜が積
層されていることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26542991A JPH0581637A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26542991A JPH0581637A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0581637A true JPH0581637A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17417038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26542991A Pending JPH0581637A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0581637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6670032B2 (en) | 2001-09-13 | 2003-12-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Oriented magnetic medium on a nonmetallic substrate |
| US6803119B2 (en) | 2001-09-13 | 2004-10-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Oriented magnetic recording media on a nonmetallic substrate |
| CN108346437A (zh) * | 2017-01-24 | 2018-07-31 | 昭和电工株式会社 | 磁记录介质和磁存储装置 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP26542991A patent/JPH0581637A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6670032B2 (en) | 2001-09-13 | 2003-12-30 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Oriented magnetic medium on a nonmetallic substrate |
| US6803119B2 (en) | 2001-09-13 | 2004-10-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Oriented magnetic recording media on a nonmetallic substrate |
| CN108346437A (zh) * | 2017-01-24 | 2018-07-31 | 昭和电工株式会社 | 磁记录介质和磁存储装置 |
| CN108346437B (zh) * | 2017-01-24 | 2019-11-22 | 昭和电工株式会社 | 磁记录介质和磁存储装置 |
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