JPH0581174B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ウエハ表面検査装置に関し、詳し
くは、表面検査処理のスループツトを向上させる
ことができるようなウエハ表面検査装置に関す
る。

［従来の技術］ この種の従来技術としては、ウエハを収納した
カセツトから一枚一枚のウエハをローダに設けら
れたハンドリングアームで取出して位置決めステ
ージへ置き、ここでウエハ載置テーブルの中心に
一致するようにウエハを位置決めし、その後、表
面検査をする回転テーブル等のウエハ載置テーブ
ルにウエハをセツトしている。

［解決しようとする問題点］ このような従来の位置決め方式では、一旦、位
置決めした後に、ウエハ載置テーブル上にウエハ
がセツトされる関係から検査に入るまでに時間が
かかり、効率よく検査ができない。

また、位置決めステージと検査のためのウエハ
載置テーブルとが連続して配置される関係から装
置全体が大きくならざるを得ない。

この発明は、このような従来技術の問題点を解
決するものであつて、特別に中心位置決めステー
ジを設けることなく、効率よく検査ができるウエ
ハ表面検査装置を提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するためのこの発明のウ
エハ表面検査装置の構成は、カセツトからウエハ
を取出すウエハ取出アームを有するウエハハンド
リング機構と、このウエハハンドリング機構に隣
接して設けられ、ウエハ取出しアームによつて収
納されているウエハが取出されるカセツトと、ウ
エハハンドリング機構に隣接して設けられ、ウエ
ハ取出アームから検査すべきウエハを受ける表面
状態測定部とを備えていて、表面状態測定部はウ
エハ載置テーブルとこのウエハ載置テーブルの外
側に配置され、このウエハ載置テーブル上に置か
れたウエハをこのウエハ載置テーブルの中心に位
置決めする中心位置決め機構とウエハ載置テーブ
ル及び中心位置決め機構を一体的にウエハロード
位置から表面検査位置まで移動させる移動機構と
を有していて、ウエハ載置テーブルは検査すべき
ウエハをウエハ取出しアームからウエハロード位
置において受け、中心位置決め機構はウエハロー
ド位置から表面検査位置にウエハ載置テーブルが
移動する過程ウエハをウエハ載置テーブルの中心
に位置決めするものである。

［作用］ このようにウエハの中心位置決め機構をウエハ
載置テーブルと一体的に表面状態測定部に設け
て、表面状態測定部のウエハロード位置から検査
位置まで移動中に中心位置決めをするようにすれ
ば、特別に位置決めステージを独立して設ける必
要がなく、かつ移動中に位置決めが完了するの
で、位置決め処理に要する時間分を短縮できる。
その結果、ウエハ表面検査処理のスループツトが
向上する。

しかも、中心位置決め機構をローダ側のカセツ
トと表面状態測定部との間に設ける必要がないの
で、ローダ側のカセツトと表面状態測定部とをウ
エアハンドリング機構に隣接して設けることが可
能であり、ウエハ表面検査装置全体を小型化でき
る。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。

第１図は、この発明を適用したウエハ表面検査
装置の一実施例の平面概要図であり、第２図は、
ハンドリング装置を中心とする縦断面概要図、第
３図は、表面状態測定ユニツトのウエハ載置機構
を中心とする側面図、第４図は、その中心位置決
め機構を説明するためのウエハ載置機構の平面
図、第５図は、その一部省略正面図、第６図は、
回動アーム連動回動機構の説明図、第７図は、外
径の相違する各ウエハのオリフラの関係を示す説
明図である。なお、これら各図において同等なも
のは同一の符号で示す。

第１図において、３１は、ウエハ表面検査装置
３０の装置のほぼ中央部に配置されたウエハハン
ドリング機構であつて、カセツトからウエハを取
出し、カセツトにウエハを装填する２つの回転ア
ーム３８，３９を有している。

ウエハハンドリング機構３１の外側周囲には、
３つのカセツト３３，３４，３５が装置テーブル
（図示せず）に交換可能に装着されていて、これ
らは、ウエハ表面検査装置３０の前面側及び左右
両側に位置している。

装置前面から見て、ウエハハンドリング機構３
１を挟んで奥側には、表面状態測定ユニツト３６
が配置されていて、カセツト３３には、検査前の
複数のウエハ３７が所定間隔で上下方向に積上げ
られて収納され、これがローダ側のカセツトとな
つている。また、カセツト３４及びカセツト３５
は、それぞれ最初は空となつていて検査済みのウ
エハ３７を収納するアンローダ側のカセツトとな
つている。そして、これらのいずれか一方が検査
の結果合格となつたウエハ３７を収納するカセツ
トとされ、他方が検査の結果不合格となつたウエ
ハ３７を収納するカセツトとされる。

ここで、ウエハハンドリング機構３１によりロ
ーダ側のカセツト３３から取出されたウエハ３７
は、表面状態測定ユニツト３６に挿着され、検査
済みのウエハ３２が表面状態測定ユニツト３６か
ら取出されて、検査結果に応じて指定されたアン
ローダカセツトであるカセツト３４又は３５へと
装填される。そして、これらのアンローダカセツ
ト３４，３５に収納されるウエハ３２が一杯にな
ると、カセツト３４，３５は、装置のテーブルか
ら取外されて新しい空のアンローダカセツトが装
着される。同様に、ローダ側のカセツト３３にお
いても、それが空になつたときには、取外され
て、新しく検査すべきウエハ３７を収納したカセ
ツトと交換される。

ウエハハンドリング機構３１の２本の回転アー
ム３８，３９は、同心円状に配置された回動軸４
０に固定されていて、回動軸４０は、第２図に見
るように、ターンテーブル４１に回動できるよう
に固定され、このターンテーブル４１が回転する
ことにより回転するが、さらに、それ自体が回動
することで回転するとともに回動する。

回動軸４０は、下部の外側に配置された外筒軸
４０ａとこの外筒軸４０ａの内側に配置されてい
て外筒軸４０ａを貫通し、その上部に突出した中
軸４０ｂとからなり、外筒軸４０ａの上面には回
転アーム３９が固定され、これが回転アーム３９
の駆動軸となつている。また、外筒軸４０ａから
突出した中軸４０ｂの軸部分には回転アーム３８
が固定されていて、これが回転アーム３３の駆動
軸となつている。したがつて、これら回転アーム
３８，３９は独立に回動する。

これら回転アーム３８，３９は、それぞれヒン
ジシヤフト３２ｃによりリンク結合された第１ア
ーム３２ａと第２アーム３２ｂとからなり、第２
アーム３２ｂは、第１アーム３２ａの先端側にお
いて回動可能となつている。

第２アーム３２ｂの先端側には、ウエハを吸着
して保持する吸着チヤツク孔３２（第１図参照）
が設けられていて、第２アーム３２ｂは、第１ア
ーム３２ａより短く、回転アーム３９に見るよう
に畳み込まれた状態にあるときには、吸着チヤツ
ク孔３１が回動軸４０に隣接する状態となる。ま
た、延びた状態を示す回転アーム３８に見るよう
に、最も延びたときには、カセツトの中心より少
し手前に吸着チヤツク孔３１が位置付けられるよ
うになつている。

ウエハ３７をカセツトから取出すときは、１つ
のアームが前記回転アーム３４に示す姿勢から前
記回転アーム３８に示す姿勢となり、ウエハ３７
を吸着して再び回転アーム３９に示す状態に戻
る。その結果、ウエハ３２がカセツトから回転し
ながら取出されることになる。また、ウエハ３７
がカセツトに装填されるときには、ウエハ３７を
吸着した状態で１つのアームが前記回転アーム３
９に示す姿勢から前記回転アーム３８に示す姿勢
となり、ここで、吸着したウエハ３７の吸着が解
除されて、ターンテーブル４１が少し降下し、ウ
エハ３７がカセツトに残されて再び回転アーム３
９に示す状態となる。その結果、ウエハ３７がカ
セツトに回転しながら収納されることになる。な
お、第２図に見るように、第２アーム３２ｂは、
回動軸４０の上部に位置しているので、ウエハ３
２が第２アーム３２ｂに吸着保持されているとき
には、ウエハ３７は回動軸４０の上部より上にな
る。

このような制御を行うために、第１アーム３２
ａと第２アーム３２ｂとは内部でプーリとタイミ
ングベルトにより結合されていて、第２アーム３
２ｂの回転角が第１アーム３２ａの回転角θの倍
（＝2θ）になるように設定されている。なお、こ
のように第１アーム３２ａに対して第２アーム３
２ｂが倍の角度をもつて第１アーム３２ａの先端
で連動して回動することにより第２アーム３２ｂ
の先端側の直線上を進退することになる。

第２図は、この機構を含むウエハハンドリング
機構１の全体的な図であつて、アンローダ側のカ
セツト３５が図面裏側に位置し、アンローダ側の
カセツト３４が図面右側に位置して、ローダ側の
カセツト３３が図面手前側にある。そして、表面
状態測定ユニツト３６が図面左上部に位置してい
る。

ウエハハンドリング機構３１は、ターンテーブ
ル４１が上下移動機構４２のブラケツト４２ａに
固定されていて、ブラケツト４２ａがボールねじ
送り機構４２ｂのボールナツト部分に結合されて
上下移動して、カセツトに収納されているウエハ
のうち下側のウエハ３７から順次ウエハを取出
す。なお、カセツトにウエハ３７を収納するとき
には逆になる。

図中、４２ｃは、ボールねじ部分であつて、パ
ルスモータ４３により駆動される。

ターンテーブル４１は、下側に２つのパルスモ
ータ４４，４５を搭載していて、パルスモータ４
４が外筒軸４０ａを回転駆動し、パルスモータ４
５が中軸４０ｂを回転駆動する。また、外筒軸４
０ａ及び中軸４０ｂの回動を２倍にして第２アー
ム３２ｂ側に伝達するために、これら回動軸にプ
ーリ４７，４８が固設されていて、これらプーリ
４７，４８を回動させて、プーリ４７，４８にか
けられたタイミングベルト４７ａ，４８ａにより
第２アーム回動用のプーリ（回転アーム３８側の
プーリをプーリ４９として示す。回転アーム３９
側のプーリは図示せず）を介してヒンジシヤフト
３２ｃを回動させ、もつて第２アーム３２ｂを回
動させるものである。

ここで、カセツト３３，３４，３５又は表面状
態測定ユニツト３６に対する各回転アーム３３及
び３９の位置付けは、ターンテーブル４１をパル
スモータ（図示せず）により回転させることで行
われる。

第３図は、表面状態測定ユニツト３６のウエハ
載置機構１のウエハ載置テーブルを示している。
その回転テーブル２の中心と各カセツト３３，３
４，３５のウエハ３７がセツトされたときの中心
を第１図では＋符号で示しているが、これら＋で
示す中心位置は、回動軸４０の中心から等距離に
あつて、回転アーム３８，３９が走査（又は位置
決め）する同一外周に位置付けられている。

第１図に見る表面状態測定ユニツト６のウエハ
載置機構１は、第３図に見るように、直線移動機
構に載置されていて、第１図に示す位置から奥に
ある表面走査位置まで移動する。

このウエハ載置機構１は、Ｘ方向移動機構２０
の上に支持台２１を介して固定されていて、支持
台２１は、Ｘテーブル２２の部内部に配置されボ
ールスクリユー機構のボールナツト部２３に結合
されている。スクリユー２４は、ステツピングモ
ータ２５により駆動されて、支持台２１をＸ方向
に直線往復移動させて、ウエハ載置機構１をロー
ダ／アンローダ側（図面左端）から検査位置（第
３図に示する位置）まで移動させる。そして検査
位置では、その上部に配置された光学観測系（図
示せず）により、ウエハ載置機構１の回転テーブ
ル２上に吸着されたウエハ３７を回転させた状態
で螺旋スキヤンして表面検査が行われる。

第４図は、ウエハ載置機構１の中心位置決め機
構を説明するものであつて、２は、その回転テー
ブルであつて、回転テーブル２の外側周囲にはリ
ング状のプレート３（以下リングプレート３）が
設けられていて、このリングプレート３には、円
形に配置された７個の回動アーム４，４，……が
均等な角度（約51.4度）で配置され、中央部に配
置された円筒支持体３ａに嵌合して固定されてい
る。前記回転テーブル２は、この円筒支持体３ａ
の内部に空間を貫通して回転できるように配置さ
れている。

各回動アーム４は、回転テーブル２の中心に向
かつて連動して回動し、各回動アーム４の回動中
心となる軸４ｂとローラ４ａの接触面までの距離
が等しくなつている。その結果、各回動アーム４
のローラ４ａは、相互に虹彩絞りと同様な動作を
する。なお、円形に配置された各回動アーム４の
円の中心と回転テーブル２の中心とは一致してい
る。

リングプレート３は、第５図に示されるよう
に、回転テーブル２の外側でかつ下側に位置して
いて、回動アーム４の先端側に起立して設けられ
るローラ４ａの側面が回転テーブル２に載置され
るウエハ３７に対してその周囲に当接される位置
まで回転テーブル２に対して後退した位置にあ
る。

なお、回転テーブル１の表面には、多数の孔が
設けられていて、この孔を介してウエハ３７が吸
着され、保持される。

第５図では、これら７つの回動アームのうちの
１つのみを示している（他の回動アーム同様であ
るので省略）。同図に見えるように、各回動アー
ム４は、クランク状をしていて、その回転中心と
なるローラ４ａと反対側の端部は、軸４ｂに固着
され、軸４ｂがリングプレート３を貫通して、こ
れらに枢着されている。

リングプレート３の下側には、リング状の回転
板６が設けられていて、この回転板６に植設され
たピン６ａがリンク７ａの一方の端部に結合され
ている。リンク７ａは、他端が軸７ｃで結合され
たリンク７ｂとの単リンクである。そして、回転
板６の回転に従つてリンク７ｂの他単に結合され
た軸８が回転し、この軸８が前記回動アーム４の
回転中心である軸４ｂに結合されているので、軸
８の回転が軸４ｂに伝達されて回動アーム４が第
４図の実線で示す位置から一点鎖線で示す位置ま
で回転させられることになる。

なお、以上は、１つの回動アーム４についての
説明であるが、第６図に示されるように、回転板
６には、７個の回動アーム４に対応して７個のリ
ンク７ａ，７ｂが設けられている。したがつて、
回転板６の回転により同時に７個の回動アーム４
が連動して回動することになる。

回転板６は、円筒支持体３ａに回転できるよう
に嵌合して支持されていた、その回転は、ウエハ
載置機構１のローダ位置から検査位置へ移動する
ときに、移動開始のタインミグに合わせて発生す
る制御装置（図示せず）からの位置決め開始制御
信号を、第４図に示されるソレノイド、シリンダ
等のリニアなアクチユエータ５が受けて、溝付き
板カム９を前進移動又は後退移動させることでな
される。

ここで、溝付きカム９のカム溝９ａには、レバ
ー１０の端部に固定されたこのカムの従節となる
ころ１０ａ（第５図参照、なお、説明の都合によ
り第５図ではレバー１０側を省略している）が固
定されていて、レバー１０は、第５図に見えるよ
うに、軸１０ｂに枢着され、回転可能に支持され
ている。

軸１０ｂは、リンクプレート３に固定されてい
て、第４図において、溝付き板カム９が図面左側
から右側へと前進することにより、レバー１０の
端部に固定されたところ１０ａがカム溝９ａと山
９ｂを登る。このとき、レバー１０が反時計方向
に回転させられ、その軸１０ｂを挟んで反対側も
反時計方向に回転する。そこで、この反対側にリ
ン結合されているレバー１１が時計方向へと回転
して、その他端に結合部材１２を介して枢着され
た回転板６を時計方向に回転させる。その結果、
各回動アーム４の軸４ａが時計方向に回転して各
回動アーム４が回転テーブル２の中心に向かつて
回動する。なお、結合部材１２と回転板６と結合
部材１２に植設されているピン１２ａ（第４図、
第６図参照）により回転できるように結合されて
いる。

ここで、溝付き板カム９は、この表面検査装置
のシヤーシ１５に固定されたガイドレール１３に
より案内され、戻りばね１４を介してシヤーシ１
５側に引きつけられる方向に付勢されて復帰す
る。また、溝付き板カム９は、圧縮ばね１６ａを
有する押付けばね機構１６によりガイドレール１
３側に常時押し付けられて進退する。したがつ
て、回動アーム４のローラ４ａがウエハ３７の外
周に接触したときには、回動アーム４の回転が阻
止されるので、このときには、レバー１０の反時
計方向の回転も阻止され、その反作用で逆に、こ
ろ１０ａが押付けばね機構１６の力に抗して溝付
き板カム９を外側（時計方向）へと回動させて、
山９ｂの斜面に位置付けられ、それ以上の回転力
を回動アーム４に加えないようにする。そして、
さらに溝付き板カム９が前進することにより、こ
ろ１０ａが山９ｂを越える。ころ１０ａが山９ｂ
と越えると、反対側の溝側面（谷側）から力を受
けて、今度は、レバー１０が時計方向に回転させ
られ、各回動アーム４は、元の初期状態に戻る。

ここで、円形に配置された各回動アーム４の円
の中心と回転テーブル２の中心とが一致している
ことから、上記の回動アーム４の回動動作によつ
て、ウエハ３７は、回転テーブル２の中央に位置
付けられる。このとき、ウエハ３２の外径が大き
ければ、この外径の大きさに応じて、ウエハ３７
の周囲に接するところまで、回動アーム４が回動
し、その後は、前記ころ１０ａが溝付き板カム９
を外側へと回動させて、それ以上の回転力を回動
アーム４に加えない。

したがつて、ウエハ３７を傷つけることはな
い。このようにして、ウエハ載置機構１の移動過
程でアクチユエータ５が作動して、ウエハ３７が
回転テーブル２の中心に一致するように位置決め
された後、回動アーム４は、連動して逆方向に回
動して戻り、元の初期位置へと戻る。また、外径
が小さければ、それだけ山９ｂの頂上に近いとこ
ろでころ１０ａが溝付き板カムを外側へと回動さ
せることになり、中心への位置決めは小さい外径
のウエハにおいても同様にして行われる。なお、
第４図に示す一点鎖線の円３７ａは、８インチの
ウエハに対応した外径であり、円３７ｂは、３イ
ンチのウエハに対応した外径を示している。

ここで、次に位置決めするときには、溝付き板
カム９がころ１０ａと溝の両側で係合しているの
で、単に溝付き板カム９を後退動作させれば、各
回動アーム４は、先と同様に動作して同様な中心
位置決めが可能である。また、一旦後退させてか
ら、前進動作により同様な位置決めをしてもよ
い。

なお、溝付き板カム９の山９ｂの高さは、ウエ
ハ３７が回転テーブル２に載置されない状態でウ
エハ３７の最小径より、少し中心方向に向かつて
内側へ各回動アーム４が３インチの外径３７ｂよ
り内側の円３７ｃ（第４図の一点鎖線の円参照）
に位置決めされるように設定されている。

ところで、ウエハ３７には、通常、位置決めの
ためのオリエンテーシヨンフラツト（以下、オリ
フラ）が設けられているが、前記のような外周に
円形状にローラを当てて位置決めする方式では、
ローラ４ａがオリフラに当接される場合がある。
このようなときには、中心ずれが発生する。

通常、このオリフラは、２つ設けられていて、
第７図に示されるように、３インチ〜８インチま
での２つのオリフラの間隔を調べてみると、現在
までの各種の外径のウエハは、58度から61度の範
囲に入るように設計されている。そこで、この間
隔より小さい間隔に回動アーム４を配置すれば、
２つのオリフラに同時にローラ４ａが接触するこ
とはないので、ウエハ３７のオリフラがどの位置
へこようとも、中心への位置決めは可能である。
したがつて、実施例のように７個の回動アーム４
を均等配置すれば、その角度が前記の58度以下
（約51.4度）となり、ウエハ３７がどのような角
度で回転テーブル２に載置されたとしても、回転
テーブル２の中心位置に位置決め可能である。

以上説明してきたが、実施例では、ウエハ装置
機構に回転テーブルが設けられているが、例え
ば、検査側の光学系の光ビームをスキヤンさせれ
ば、この載置テーブルは、回転テーブルである必
要がなく、光学系を固定としても、XYテーブル
用いてスキヤンしてもよい。したがつて、円形に
配置された複数の回動アームの中央部には、ウエ
ハを載置する台があればよく、しかも、それは円
形である必要はない。

実施例では、回動アームの先端にローラを起立
させて設けた例を挙げているが、これは、ピンで
もよく、また、回動アームから起立してウエハの
周面と接触する部材ならどのようなものであつて
もよい。

また、ローダ又はアンローダからウエハ載置テ
ーブルに置かれるウエハは、そのオリフラの位置
が全く方向性を持つていないわけではなく、方向
付けができるので、回動アームによる場合には、
３以上の回動アームによれば中心位置決めするこ
とができる。なお、中心位置決め機構はこのよう
な回動アームによる位置決め機構に限定されるも
のではない。また、回動アームを７以上を均等配
置すれば、58度以下となるので、ウエハの載置す
る方向を無視して、外径の相違するウエハの中心
位置決めができる利点がある。

実施例では、カセツトを前と左右に３つ設けて
いるが、これは左右２つだけであつてもよく、さ
らにローダ側のカセツトだけであつてもよい。

また、実施例のウエハハンドリング機構の回動
アームは、一例であつて、必ずしもこのような構
成に限定されるものではなく、さらに回動アーム
による必要もない。

［発明の効果］ 以上の説明から理解できるように、この発明に
あつては、ウエハの中心位置決め機構をウエハ載
置テーブルと一体的に表面状態測定部に設けて、
表面状態測定部のウエハロード位置から検査位置
まで移動中に中心位置決めしているので、特別に
位置決めステージを独立して設ける必要がなく、
かつ移動中に位置決めが完了するので、位置決め
処理に要する時間分を短縮できる。その結果、ウ
エハ表面検査処理のスループツトが向上する。

しかも、中心位置決め機構をローダ側のカセツ
トと表面状態測定部との間に設ける必要がないの
で、ローダ側のカセツトと表面状態測定部とをウ
エハハンドリング機構に隣接して設けることが可
能であり、ウエハ表面検査装置全体を小型化でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を適用したウエハ表面検査
装置の一実施例の平面概要図であり、第２図は、
ハンドリング装置を中心とする縦断面概要図、第
３図は、表面状態測定ユニツトのウエハ載置機構
を中心とする側面図、第４図は、その中心位置決
め機構を説明するためのウエハ載置機構の平面
図、第５図は、その一部省略正面図、第６図は、
回動アーム連動回動機構の説明図、第７図は、外
径の相違する各ウエハのオリフラの関係を示す説
明図である。 １……ウエハ載置機構、２……回転テーブル、
３……リング状のプレート、４……回動アーム、
４ａ……ローラ、４ｂ，７ｃ，８……軸、６……
回転板、７ａ，７ｂ……リンク、９……溝付き板
カム、９ａ……カム溝９ａ、１０，１１……レバ
ー、１０ａ……ころ、３０……ウエハ表面検査装
置、３１……ウエハハンドリング機構、３２……
吸着チヤツク孔、３２ａ……第１アーム、３２ｂ
……第２アーム、３２ｃ……ヒンジシヤフト、３
３，３４，３５……カセツト、３６……表面状態
測定ユニツト、３７……ウエハ、３８，３９……
回動アーム。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ カセツトからウエハを取出すウエハ取出アー
   ムを有するウエハハンドリング機構と、このウエ
   ハハンドリング機構に隣接して設けられ、前記ウ
   エハ取出アームによつて収納されているウエハが
   取出されるカセツトと、前記ウエハハンドリング
   機構に隣接して設けられ、前記ウエハ取出しアー
   ムから検査すべきウエハを受ける表面状態測定部
   とを備え、前記表面状態測定部は、ウエハロード
   位置において前記ウエハ取出しアームから検査す
   べきウエハを受けるウエハ載置テーブルと、この
   ウエハ載置テーブルに載置されたウエハに対して
   それより外側周囲に配置され前記ウエハ載置テー
   ブルの内側に向かつて移動し前記載置されたウエ
   ハの外周に当接してこのウエハの中心を前記ウエ
   ハ載置テーブルの位置決め中心に位置付ける当接
   部材を有する中心位置決め機構と、前記ウエハ載
   置テーブル及び前記中心位置決め機構を一体的に
   前記ウエハロード位置からウエハの表面検査位置
   まで移動させる移動機構とを有していて、前記表
   面検査位置において前記ウエハ載置テーブルに載
   置されたウエハの検査が行われ、前記中心位置決
   め機構が前記ウエハロード位置から前記表面検査
   位置に移動する過程で前記当接部材を前記ウエハ
   の周囲に当接させて前記ウエハの中心位置決めを
   行うことを特徴とするウエハ表面検査装置。 ２ 中心位置決め機構は前記当接部材としてウエ
   ハ載置テーブルの外側周囲に配置され、このウエ
   ハ載置テーブルの中心方向へ連動して回動する複
   数の回動アームを有していて、ウエハ取出しアー
   ムはカセツトと表面状態測定部との間で回動し、
   前記カセツトから取出したウエハを前記表面状態
   測定部に装填するものであり、ウエハ載置テーブ
   ルが受けて前記ウエハロード位置から前記表面検
   査位置に移動する過程で前記中心位置決め機構の
   複数の回動アームにより前記ウエハが前記ウエハ
   載置テーブルの中心に位置決されることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のウエハ表面検査
   装置。 ３ 中心位置決め機構は４以上の回動アームがウ
   エハ載置テーブルの外側周囲に円形にかつその円
   の中心が前記ウエハ載置テーブルの位置決め中心
   に一致するように配置され、これら４以上の回動
   アームのうちの少なくとも２つは、ウエハのオリ
   フラの間隔を弦とする中心角より小さな中心角で
   隔てられ、各前記回動アームの先端側には、ロー
   ラ又はピン等の接触部材が起立して設けられてい
   て、前記４以上の回動アームの前記接触部材はそ
   れぞれ前記ウエハの外周に当接されるものであつ
   て、前記４以上の回動アームは、回動中心から前
   記接触部材のウエハ接触点又はウエハ接触面まで
   の距離が等しく、かつ連動して同じ方向に同じ量
   だけ回動することを特徴とする特許請求の範囲第
   ２項記載のウエハ表面検査装置。 ４ ウエハ載置テーブルは回動テーブルであるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第３項記載のウエ
   ハ表面検査装置。 ５ 回動アームは７個がほぼ均等な角度で配置さ
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第４項
   記載のウエハ表面検査装置。