JPH0570081B2 - - Google Patents

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JPH0570081B2
JPH0570081B2 JP59109794A JP10979484A JPH0570081B2 JP H0570081 B2 JPH0570081 B2 JP H0570081B2 JP 59109794 A JP59109794 A JP 59109794A JP 10979484 A JP10979484 A JP 10979484A JP H0570081 B2 JPH0570081 B2 JP H0570081B2
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detection head
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permanent magnet
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JP59109794A
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Shunaidaa Horusuto
Tsuee Rainaa
Yoahimu Noiman Hansu
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Carl Zeiss AG
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Carl Zeiss AG
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Publication date
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Publication of JPS59228102A publication Critical patent/JPS59228102A/ja
Publication of JPH0570081B2 publication Critical patent/JPH0570081B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は座標測定器の検出ヘツドに検出ピン又
は検出ピンコンビネーシヨンを交換可能に取付け
るための受容部に関する。
従来技術 検出ピンを検出ヘツドに手でねじ留め又は締込
むことは公知である。しかしこれは広範囲に自動
制御された測定方法においては不利であり、何故
ならこの場合比較的大きな時間的間隔を置いて検
出ピンを交換する作業のためだけに作業員が必要
とされるからである。
「American Machinist」1982年10月号の152
〜153ページで公知の測定方法においては測定器
自体がコンピユータ制御されて検出ピンを交換す
るようになつている。しかしこの文献には測定器
への検出ピン取付けのための受容部の構造が記載
されていない。またいずれにせよこの公知の自動
交換方法においては、各交換ごとに検出ピンの校
正が必要でありこれによつて測定経過が遅くなつ
てしまつている。
またイギリス国特許第1599751号明細書によれ
ば、測定器の軸スリーブに1ユニツトとしてまと
められた検出ヘツドを交換可能に取付けるための
受容部が公知である。この受容部は軸スリーブに
配設された3点支持機構から成り、この支持機構
に向つて検出ヘツドが緊締レバーによつて動かさ
れる。この支持機構によつて検出ピンの空間的位
置が高い精度を以つて一義的に規定形成される。
しかしこの公知器械でも検出ヘツドの交換はやは
り、緊締レバーを操作する作業員によつて行なわ
れる。更にこの例ではまとまつた検出ヘツドを全
体的に交換するので、測定器への一連の種々の電
気接続が遮断されなければならないというわずら
わしさ故に不利である。
ドイツ連邦共和国実用新案登録第7400071号明
細書で公知の検出ヘツドにおいては、検出ピンが
複数の永久磁石の使用によつて検出ヘツドに取外
し可能に取付けられている。この場合、磁気的な
結合によつて衝突が防がれている。しかしこの例
では、ピンに過負荷が作用して落下したような場
合該ピンは手で再び装着されなければならない。
従つて自動的な交換方法の達成にはこの公知構造
は適さない。
発明の目的 従つて本発明の目的は検出ピン又は検出ピンコ
ンビネーシヨンを交換可能に取付けるための受容
部において、測定器によつて自動制御されての交
換作業が可能なものを提供することである。
発明の構成及び効果 上記の目的を達成するための本発明の構成は、
検出ピン又は検出ピンコンビネーシヨンの接続機
構を、検出ヘツドに固定された受容部内の当該接
続機構の位置を一義的に規定すべき支持部に対し
て引き動かすための電気作動式緊締装置が配設さ
れていることである。
電磁式の緊締装置の操作は、測定器の軌道制御
及び測定値受取りを行なうコンピユータによつて
行なわれる。この操作用のプログラミングは、測
定器の検出ヘツドを、例えば測定範囲の縁部に配
設され種々異なる検出ピン又は検出ピンコンビネ
ーシヨンを準備保持しているマガジンまで走行せ
しめ、そこで当該緊締装置をトリガして、もはや
必要ない検出コンビネーシヨンを外して収納する
か又は新たな検出ピンコンビネーシヨンを受取る
ようになされていればよい。これによつて検出ピ
ン交換時の手による作業プロセスは不要となる。
接続機構が引き寄せられるべき支持部が正確に
形成されていれば、検出ピンコンビネーシヨン交
換後の検出ボールの校正が不要となるか、又はそ
のような校正が各交換プロセスの後ごとでなくも
つと大きな間隔を置いて行なわれるだけで十分と
なりこれによつて測定時間が短縮される。
実施例及びその効果 緊締装置は例えば検出ピンをその所定の支持部
に向つて動かすための、自縛作用を有する電動機
構を備えた電動機から成つていてもよい。最も簡
単にはこの伝導機構は、検出ピンの接続機構内の
相応する対応ねじ山とかみ合わされて電動機軸上
に配置されたねじ山付スピンドルから成る。
しかし特に有利には、緊締装置が永久磁石と電
磁石とから成り、この電磁石の磁界と永久磁石の
磁界とが合成可能であるとよい。この実施形によ
れば必要な可動部分の数が最も最少となり、かつ
前記の電動機と自縛作用を有する伝動装置とを備
えた実施例の場合と同様に当該受容部は各交換プ
ロセスの間の時間には電気を消費しなくて済む。
永久磁石がばね力に抗して支持部への方向で摺
動可能であると有利である。このばねによつて検
出ヘツドからの検出ピンの常に確実な分離が保証
されており、これによつて完全には補償されない
又は補償不可能な残余磁界による接着状態の発生
が回避され得る。
更に緊締機構が検出ヘツドの受容部内に内蔵さ
れれば、各測定器ごとに1つの緊締装置が必要と
されるだけになり有利である。しかし緊締機構か
ら導出された接続部材(ケーブル)と検出ピンマ
ガジンの相応する対応接続部材とによつて緊締機
構に確実な電気式切換えが保証されれば、この緊
締機構を検出ピンの接続機構内に内蔵することも
可能である。更に例えば永久磁石又は伝動装置の
みを接続機構内に配設し、電磁石又は電動機をマ
ガジンに配属することも可能である。
また検出ヘツドの支持部が3つの円筒体から成
り、検出ピン側の対応支持部が3組のボール対か
ら成り、この各ボール対がそのV字形中間室を以
つて前記円筒体に当接せしめられていると有利で
ある。検出ヘツドの曲がり個所用として既に公知
の上記のような支持機構を介すれば、検出ヘツド
と延いては測定器の座標系とに対する検出ピンコ
ンビネーシヨンの位置が120°以内では1つだけの
位置で決められる。また360°の全角度範囲に亘つ
ての一義牲を確保するためには支持部に溝が形成
され、この溝内に例えば検出ピンコンビネーシヨ
ンの接続機構に配設されたピンが係合するか又は
その逆の係合が行なわれると有利である。
本発明による受容部は、接触した時点でパルス
信号を発つし切換え制御を行なうべき検出ヘツド
にもまた、測定値発信器を有し検出ヘツドの可動
部分の、ゼロ位置からの運動に比例した信号を発
する所謂測定タイプの検出ヘツド用にも適してい
る。この後者のタイプの検出ヘツド、例えばアメ
リカ合衆国特許第3869799号明細書に記載された
検出ヘツドは原則的にモータ駆動式のバランスウ
エートを有し、このバランスウエートによつて、
種々異なる重量及び重量配分を有する検出ピンコ
ンビネーシヨンの交換そう入後に当該検出ピンの
運動が調整される。更に受容部内に、交換された
検出ピンの存在を確認するための、検出ヘツドの
バランスウエートを制御する部分に接続されたス
イツチが取付けられていると有利である。
更に検出コンビネーシヨンの接続機構が、2つ
の互いに回動可能でかつ所定の位置で固定可能な
部分から成つてみると有利であり、これによつて
検出コンビネーシヨンが、工作物とその都度の測
定課題とによつて予め定められた任意の角度位置
に回転可能となる。
次に図示の実施例につき本発明を説明する。
第1図乃至第3図に示された検出ピンコンビネ
ーシヨン21のための受容部はフランジ2を備え
た円筒状の受容ケーシング1を有し、このフラン
ジ2を介して該受容ケーシング1は図示されてい
ない、例えばアメリカ合衆国特許第3869799号明
細書で公知の検出ヘツドの可動部分に取付けられ
ている。
この受容ケーシング1内にはリング3がねじ入
れられ、このリング3上に複数の皿ばねから成る
ユニツト5が載設されている。このばねユニツト
5は保持プレート6を、受容ケーシング1の上側
のケーシング壁8の方向へ押しつけている。
この保持プレート6にはねじ7によつて、電磁
石10と永久磁石11とから成る構成ユニツトの
ケーシング9が固定されている。
第2図と第3図からわかるように受容ケーシン
グ1は3つの半径方向の開口23a,b,cを有
し、この各開口はリング22によつておおわれて
いる。受容ケーシング1のカバー状の壁8から出
発した孔24aが開口23a内に接続しており、
この孔24aを通つて電磁石10の接続ケーブル
25が案内されている。この接続ケーブル25は
図示されていない検出ヘツドを介して測定器の制
御機構に接続されている。
この受容部の受容ケーシング1の下端部には、
互いに120°ずつずらしてケーシング壁部内に埋設
された3つの円筒体14a,b,cから成る支持
部が保持されている。この各円筒体の配置は第3
図に示されている。この支持部に対してリング1
6が3組のボール対15a,b,cを介して支承
されており、この各ボール対が形成するV字溝内
に各円筒体14a,b,cが位置している(第1
b図に支持部14a/15aを図示)。更に受容
ケーシング1には、リング16の切欠き26内に
係合するピン27が埋設されている。この支持機
構によつて、検出ヘツドと結合された受容ケーシ
ング1に対するリング16の空間的位置が一義的
に定められ、しかもピン27によつてこのリング
16の座者が全円周360°に亘つて唯1つの位置で
可能なように保証されている。
リング16内に埋設されたプレート18には3
つのねじ17によつて第2のプレート19が固定
されている。この第2のプレート19が有するね
じ山20内に検出ピンコンビネーシヨン21がね
じ入れられている。リング16はねじ17の締付
けによつて両方のプレート18,19で挟持さ
れ、それによつて検出ピンコンビネーシヨン21
がリング16と不動結合されている。そしてねじ
17が解離されるとプレート18,19がリング
16に対して回動可能となり、それによつて一般
的に非対照的な検出ピンコンビネーシヨン21
の、リング16に対する角度位置の調節が可能と
なる。
前記のプレート18,19、リング16、ボー
ル対15によつて検出ピンコンビネーシヨン21
の接続機構が形成されている。プレート18,1
9は鋼製なのでこの接続機構は、永久磁石11に
よつて複数の円筒体14a,b,cから成る前記
の支持部に向つて吸つけられる。自動制御によつ
て検出ピン交換を行なう際にはまず電磁石10
が、永久磁石11の磁界とほぼ同じ磁力でしかし
逆方向での付加的な磁界を形成するように、直流
によつて負荷され、従つて結果として生じる全磁
界はほぼゼロとなる。これによつて電磁石10と
プレート18との間の保持力が消滅し、ばねユニ
ツト5によつて該電磁石機構のケーシング9が、
そのプレート6がケーシング壁8に当接するまで
押し上げられる。このケーシング9の運動によつ
てプレート18と永久磁石11の端面との間にギ
ヤツプが形成され、このギヤツプの幅は第1図と
第2図上でプレート6とケーシング壁8との間に
示された間隔に相応する。こうして接続機構1
6,17,18,19は該機構に固定された検出
ピンコンビネーシヨン21と共にその自重によつ
て前記支持部から外れる。リング16の下面には
4つの孔29a,b,c,dが配置されており、
この孔を介して該リング16は図示されていない
マガジンの相応した保持ピンの上に載着される。
続いて検出ヘツドに固定された受容ケーシング
1が測定器によつて適切にプログラム制御されて
マガジンの別個所に移動され、所望の検出ピンコ
ンビネーシヨンの接続機構の上に位置せしめられ
ると、同形の接続機構を備えた当該の次の検出ピ
ンコンビネーシヨンがマガジンから取り出され
る。このマガジンからのコンビネーシヨン取り出
しは原理的には電磁石10の作動なしにも可能で
あり、何故なら接続機構はその検出ピンコンビネ
ーシヨンの自重に応じた最大距離よりも近く永久
磁石11に接近すると、自動的に所定の支承位置
に向つて吸つけられるからである。しかし有利に
はマガジンからの検出ピンコンビネーシヨン取り
出しの際にやはり電磁石10を、その磁界が永久
磁石11の磁界を補強するような極性でオン切換
えし、それによつてプレート18と永久磁石11
との間に大きめなギヤツプ幅がある時にも当該検
出ピンコンビネーシヨンの確実な受容を保証する
ようにするとよい。
受容ケーシング1の内側下縁部にはマイクロス
イツチ13が2つのねじ12a,12bによつて
取付けられている。このマイクロスイツチ13
は、リング16が円筒体14a,b,cから成る
支持部に当接すると即座に該リング16によつて
作動される。このスイツチによつて例えば、アメ
リカ合衆国特許第3869799号記載の検出ヘツドの
自動バランスウエートが作動せしめられる。この
マイクロスイツチ13の接続ケーブルは孔24b
を通つて案内されている。
第4図には検出ピンコンビネーシヨンを交換可
能に取付けるための受容部の別の実施例が示され
ている。この受容部はやはりフランジ102を備
えた円筒状の受容ケーシング101から成つてい
る。このフランジ102によつて該受容部は、例
えばアメリカ合衆国特許第4177568号明細書記載
の検出ヘツドの可動部分に固定されている。受容
ケーシング101の下面に配設された3つの円筒
体114a,b,cは、リング116とボール対
115a,b,cとプレート118,119とか
ら成る接続機構のための支持部を形成している。
プレート119のねじ山120内には詳説されて
いない検出ピンコンビネーシヨン121が不動に
ねじ留め可能である。このプレート118,11
9は前記の例と同様に3つのねじ117を介して
互いに結合され、該ねじの解離後にはリング11
6に対して回動可能となる。この場合にも受容ケ
ーシング101内のピン127がリング116内
の切欠き126内に係合することによつて、検出
ヘツドに対するリング116の確実な位置決めが
行なわれている。
第1図乃至第3図の例と異なりこの第4図の例
では接続機構115,116,117,118,
119が電磁石によつてではなく、電動機109
によつてねじ山付スピンドル111を介して支持
部114a,b,cに向つて動かされる。このた
めにプレート118の中央には、ねじ山付スピン
ドル111とかみあう対応ねじ山131が形成さ
れている。
電動機109のケーシングはリング状のつば1
08を有しかつ、該つば108に作用する3本の
ねじ107と該ねじに所属の座金137とによつ
て保持リング104に固定されている。この保持
リング104内には更に、電動機109の軸11
0への負荷を軽減するためのスラスト軸受112
が配置されている。押圧ねじ113は電動機軸1
10上にねじ山付スピンドル111を位置固定す
るために働いている。保持リング104と該保持
リングに固定された電動機109とはまとまつた
組込みユニツトとして受容ケーシング101内に
挿入される。受容ケーシング101内で保持リン
グ104を位置固定するために3つのねじ山付ピ
ン103a,b,cが配置されており、このピン
の円錐状端面が保持リング104のV字形のリン
グ溝105の上側面に当接され、それによつて該
保持リング104が、受容ケーシング101の内
面に形成された接触面106に対して押しつけら
れている。また前記のねじ山付ピン103aがそ
う入されている孔はリング122によつてカバー
されている。
検出ピンコンビネーシヨンを交換する際には電
動機109が測定機のプログラム制御によつて作
動され、スピンドル111がプレート118の対
応ねじ山131からねじ外される。そして検出ヘ
ツドが新たに位置決めされて電動機109が逆方
向で回転されると、当該の次の検出ピンコンビネ
ーシヨンを有する接続機構がねじ留めされて支持
部114a,b,cに対して支持される。そして
支持部114a,b,cに対するリング116の
ボール対115a,b,cの接触力を規定するた
めに予め調節可能な回転モーメントが達成される
と、電動機109は図示されていない電子制御機
構によつて遮断される。この場合ねじ山付スピン
ドル111のピツチが小さいので自縛作用が生
じ、それによつて電動機のオフ状態でも検出ピン
コンビネーシヨンが同じ保持力によつて受容ケー
シング1内に固定されて留まる。
両実施例においてアイソスタテイツクな3点支
持機構として形成された支持機構14/15、114/
115によれば、検出ヘツドに対する検出ピンコン
ビネーシヨンの空間的位置が高い再生精度を以つ
て規定されるので、検出ピンコンビネーシヨン交
換後の別個の校正作業が不要となる。そして測定
器座標系に対する自らの位置関係をコンビユータ
にインプツトされている当該の交換装着された検
出ピンコンビネーシヨンが即座に、測定されるべ
き工作物に接触せしめられる。これによつて特に
頻繁な検出ピン交換が必要とされるような測定作
業において著しい測定時間短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の複数の実施例を示すものであつ
て、第1a図は本発明の第1実施例による受容部
を第3図の−線に沿つて示した断面図、第1
b図は第1a図の支持機構14/15の内の1つ
を示した部分図、第2図は第1a図の実施例を
90°回転させて第3図の−線に沿つて示した
断面図、第3図は第2図の−線に沿つてかつ
検出ピン接続機構を除去して示した断面図、第4
図は本発明の別の実施形を示した断面図である。 1,101……受容ケーシング、2,102…
…フランジ、3,16,22,116,122…
…リング、5……ばねユニツト、6……保持プレ
ート、7,12a,12b,17,107,11
7……ねじ、8……ケーシング壁、9……ケーシ
ング、10……電磁石、11……永久磁石、13
……マイクロスイツチ、14a,14b,14
c,114a,114b,114c……円筒体、
15a,15b,15c,115a,115b,
115c……ボール対、18,19,118,1
19……プレート、20,120……ねじ山、2
1,121……検出ピンコンビネーシヨン、23
a,23b,23c……開口、24a,24b,
29a,29b,29c,29d……孔、25…
…接続ケーブル、26,126……切欠き、2
7,127……ピン、103a……ねじ山付ピ
ン、104……保持リング、105……リング溝、
106……接触面、108……つば、109……
電動機、110……軸、111……ねじ山付スピ
ンドル、112……スラスト軸受、113……押
圧ねじ、131……対応ねじ山、137……座
金。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 座標測定器の検出部材を交換可能に固定する
    ための受容部であつて、電気作動式の緊締装置9
    〜11を備えており、この緊締装置が前記検出部
    材21の接続機構15〜19を、検出ヘツドに設
    けた前記受容部1内で支持部14へ向けて引寄せ
    ている形式のものにおいて、この支持部14が検
    出部材の位置を一義的に規定しており、かつ、緊
    締装置が永久磁石11と電磁石10とから成り、
    電磁石の磁界が永久磁石の磁界とオーバラツプ可
    能であることを特徴とする座標測定器の検出部材
    を交換可能に固定するための受容部。 2 永久磁石11がばね5の力に逆らつて前記支
    持部14へ向かつて移動可能である特許請求の範
    囲第1項記載の受容部。 3 前記支持部が3つの円筒体14a〜14cか
    ら成つており、対向支持部が検出部材側で3つの
    ボール対15a〜15cを備えており、各ボール
    対がV字形に各円筒体14a〜14cに当接して
    いる特許請求の範囲第1項記載の受容部。 4 接続機構15〜19に溝26が付属してお
    り、この溝内に、検出ヘツドの受容部1に設けた
    ピン26が係合している特許請求の範囲第1項か
    ら第3項までのいずれか1項記載の受容部。 5 受容部1内に、接続機構15〜19によつて
    操作されるスイツチ13が固定されており、この
    スイツチ13が、検出ヘツドに設けられ検出ヘツ
    ドの重量補償を制御するユニツトに接続されてい
    る特許請求の範囲第1項から第4項までのいずれ
    か1項記載の受容部。 6 検出ピンから成る検出部材21の接続機構
    が、互いに回動可能かつ位置固定可能な2つの部
    分15,16;17〜19から成つている特許請
    求の範囲第1項から第5項までのいずれか1項記
    載の受容部。 7 前記緊締装置9〜11が、検出ヘツドに設け
    た前記受容部1内に組込まれている特許請求の範
    囲第1項から第6項までのいずれか1項記載の受
    容部。
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Families Citing this family (78)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786769A (en) * 1985-03-06 1988-11-22 Process Equipment Company Safety coupling device for robotic tooling
JPH067289Y2 (ja) * 1985-03-22 1994-02-23 大昭和精機株式会社 タッチセンサー
DE3526108A1 (de) * 1985-07-22 1987-01-29 Leitz Ernst Gmbh Taststift-schnellwechselhalterung
DE3623614A1 (de) * 1986-07-12 1988-01-14 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ
JPS6379505U (ja) * 1986-11-12 1988-05-26
JPS63229250A (ja) * 1987-03-13 1988-09-26 Kitamura Mach Co Ltd マニシングセンタ
DE3728578A1 (de) * 1987-08-27 1989-03-09 Zeiss Carl Fa Tastsystem fuer koordinatenmessgeraete
JPH02502578A (ja) * 1987-12-05 1990-08-16 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 検知デバイス交換装置
DE3811851A1 (de) * 1988-04-08 1989-10-19 Wegu Messtechnik Auswechselbare befestigung eines taststiftes am tastkopf einer koordinatenmesseinrichtung
DE3823373A1 (de) * 1988-07-09 1990-01-11 Zeiss Carl Fa Verfahren zur erfassung der temperatur von messobjekten auf koordinatenmessgeraeten
DE3824548A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Zeiss Carl Fa Verfahren und einrichtung fuer den betrieb eines tastkopfes vom schaltenden typ
DE8813875U1 (de) * 1988-11-05 1988-12-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Taster für Koordinatenmeßgeräte
DE3842151A1 (de) * 1988-12-15 1990-06-21 Zeiss Carl Fa Tastkopf vom schaltenden typ
DE3843125A1 (de) * 1988-12-22 1990-06-28 Zeiss Carl Fa Tastkopf vom schaltenden typ
DE3910531A1 (de) * 1989-04-01 1990-10-04 Daimler Benz Ag Innerhalb einer fertigungslinie aufgestellte messstation
JPH02290506A (ja) * 1989-04-28 1990-11-30 Mitsutoyo Corp 三次元測定機
DE3922296A1 (de) * 1989-07-07 1991-01-17 Zeiss Carl Fa Magazin fuer koordinatenmessgeraete
DE3922297A1 (de) * 1989-07-07 1991-01-17 Zeiss Carl Fa Elektromagnetische haltevorrichtung
DE3929602A1 (de) * 1989-09-06 1991-03-14 Mauser Werke Oberndorf Einrichtung zum wechseln von taststiften fuer messeinrichtungen
US5505005A (en) * 1990-02-23 1996-04-09 Renishaw Plc Touch probe
US5339535A (en) * 1990-02-23 1994-08-23 Renishaw Metrology Limited Touch probe
US5035457A (en) * 1990-07-30 1991-07-30 Eastman Kodak Company Simple tooling exchange
DE4025829A1 (de) * 1990-08-16 1992-02-20 Hoefler Messgeraetebau Gmbh Dr Halterung fuer den taster von koordinatenmessmaschinen
DE4035841A1 (de) * 1990-11-10 1992-05-14 Wegu Messtechnik Vorrichtung zur auswechselbaren befestigung eines taststiftes
US5327657A (en) * 1991-07-11 1994-07-12 Renishaw Metrology Ltd. Touch probe
US5322007A (en) * 1991-08-15 1994-06-21 Heat And Control, Inc. Compact, high-capacity oven
WO1993009398A1 (en) * 1991-11-09 1993-05-13 Renishaw Metrology Limited Touch probe
DE4227817C2 (de) * 1992-08-21 1997-11-27 Eos Electro Optical Syst Mehrfach-Meßsystem für Oberflächen
DE4327250C5 (de) * 1992-09-25 2008-11-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken
US5821407A (en) * 1993-09-29 1998-10-13 Toki Sangyo Co., Ltd. Automatic viscosity measuring apparatus with rotor automatically detachable
DE19508861A1 (de) * 1995-03-11 1996-09-12 Zeiss Carl Fa Koordinatenmeßgerät mit einer Einrichtung für die Rauheitsmessung
US5825666A (en) * 1995-06-07 1998-10-20 Freifeld; Daniel Optical coordinate measuring machines and optical touch probes
GB2302589B (en) * 1995-06-21 1998-11-11 Zeiss Stiftung Probe head for coordinate measuring machines with a clamping device for clamping the deflectable part of the probe head
US5678967A (en) * 1995-11-21 1997-10-21 Micro Optics Design Corporation Apparatus for cutting a workpiece and including a kinematic tool coupling
DE19604354A1 (de) * 1996-02-07 1997-08-14 Zeiss Carl Fa Verfahren zur koordinatenmäßigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen
WO1997034308A2 (de) * 1996-03-13 1997-09-18 Horst Siedle Kg Positionssensor
GB9605609D0 (en) * 1996-03-16 1996-05-15 Renishaw Plc Inspection system for coordinate positioning machine
GB9701571D0 (en) * 1997-01-25 1997-03-12 Renishaw Plc The changing of task modules on a coordinate positioning machine
US6093930A (en) * 1998-04-02 2000-07-25 International Business Machnines Corporation Automatic probe replacement in a scanning probe microscope
US6430828B1 (en) * 1998-04-17 2002-08-13 Electronic Measuring Devices, Inc. Coordinate positioning apparatus with indexable stylus, components thereof, and method of using it
AU4503299A (en) * 1998-05-29 1999-12-20 Werth Messtechnik Gmbh System for measuring structures of an object
US6435045B1 (en) * 1998-09-04 2002-08-20 Four Dimensions, Inc. Apparatus and method for automatically changing the probe head in a four-point probe system
US6810758B2 (en) 1998-09-04 2004-11-02 Four Dimensions, Inc. Apparatus and method for automatically changing the probe head in a four-point probe system
DE20006504U1 (de) * 2000-04-08 2000-08-17 Brown & Sharpe GmbH, 35578 Wetzlar Tastkopf mit auswechselbarem Taststift
WO2002027270A1 (de) 2000-09-28 2002-04-04 Carl Zeiss Koordinatenmessgerät
WO2002029419A2 (de) * 2000-10-06 2002-04-11 Chemspeed Ltd. Vorrichtung mit einem werkzeughalter und einem abnehmbar befestigbaren werkzeug
DE10100350A1 (de) * 2001-01-05 2002-07-11 Zeiss Carl Tastkopf für ein Koordinatenmeßgerät
GB0114360D0 (en) * 2001-06-13 2001-08-08 Renishaw Plc Stylus orientation
DE10138138A1 (de) 2001-08-09 2003-02-20 Zeiss Carl Korrektur des Temperaturfehlers bei einer Messung mit einem Koordinatenmessgerät
GB0129471D0 (en) * 2001-12-10 2002-01-30 Renishaw Plc Rack and change system
DE10308372B4 (de) * 2003-02-27 2007-04-05 Daimlerchrysler Ag Mess- oder Prüfgerät
DE502004005493D1 (de) 2004-04-23 2007-12-27 Klingelnberg Gmbh Vorrichtung mit abnehmbarem Messtaster und Messgerät mit einer solchen Vorrichtung
DE202004011364U1 (de) * 2004-07-20 2004-09-09 Klingelnberg Gmbh Vorrichtung zum Erkennen eines an einem Messgerät verwendeten Messkopfes
DE102004059468B3 (de) * 2004-12-10 2006-06-14 Hexagon Metrology Gmbh Verfahren zum Trennen der mechanischen Verbindung zwischen einer Taststiftaufnahme und einem Tastkopf sowie Vorrichtung zum Trennen der mechanischen Verbindung zwischen einer Taststiftaufnahme und einem Tastkopf
US7201059B2 (en) * 2005-02-08 2007-04-10 General Motors Corporation Magnetic force sensor assembly for workholding fixtures
DE102005043454B3 (de) * 2005-09-13 2007-05-03 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Wechseleinrichtung
EP1988356B1 (en) * 2006-02-22 2016-04-13 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Displacement detector
US8403340B2 (en) * 2006-07-03 2013-03-26 Valiani Srl System for the rapid change of head on operating machines
DE602006015071D1 (de) * 2006-12-05 2010-08-05 Hexagon Metrology Ab Magazin für eine Messmaschine und entsprechendes Werkzeug
DE102007018444C5 (de) * 2007-04-19 2011-02-17 Carl Mahr Holding Gmbh Tastschnitt-Messeinrichtung mit Tastermagazin zur Oberflächen- und Konturmessung
WO2009089219A1 (en) * 2008-01-07 2009-07-16 Mark David Osterstock Coordinate measuring apparatus
US8832953B2 (en) * 2008-01-07 2014-09-16 Q-Mark Manufacturing, Inc. Coordinate measuring apparatus
DE102009031323B4 (de) * 2009-06-30 2023-03-30 M & H Inprocess Messtechnik Gmbh Signalübertragungseinheit sowie Signalübertragungssystem
DE102012007183B4 (de) 2011-04-28 2022-06-02 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messgerät mit einer Wechseleinrichtung zum Wechseln von Messkörpern
DE102011002326A1 (de) 2011-04-28 2012-10-31 Hexagon Metrology Gmbh Tasterwechselteller für einen Tastkopf eines Koordinatenmessgerätes
US8817240B2 (en) 2012-05-25 2014-08-26 Mitutoyo Corporation Interchangeable optics configuration for a chromatic range sensor optical pen
US8736817B2 (en) 2012-05-25 2014-05-27 Mitutoyo Corporation Interchangeable chromatic range sensor probe for a coordinate measuring machine
DE202013012759U1 (de) 2013-01-30 2019-04-23 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Tastkörper-Halteanordnung
CN104251676A (zh) * 2013-06-28 2014-12-31 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 三次元测量装置
US9068822B2 (en) 2013-07-03 2015-06-30 Mitutoyo Corporation Chromatic range sensor probe detachment sensor
JP6530974B2 (ja) * 2015-06-10 2019-06-12 株式会社ミツトヨ 測定機の衝突防止装置
US10663274B2 (en) 2017-01-27 2020-05-26 Faro Technologies, Inc Articulated arm coordinate measuring machine
DE102018103420A1 (de) 2018-02-15 2019-08-22 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Messgerät zur Oberflächen- oder Konturmessung
TWI670501B (zh) * 2018-07-18 2019-09-01 均豪精密工業股份有限公司 探針卡更換後機構位置之補正方法及其量測裝置
DE102018127439B4 (de) 2018-11-02 2020-05-14 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Vorrichtung zum Auswechseln eines taktilen Tastarms einer 3D-Messeinrichtung
CN109341615A (zh) * 2018-11-26 2019-02-15 深圳市塔雷斯测量设备有限公司 一种测针组件
DE102020108162A1 (de) * 2020-03-25 2021-09-30 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Taststiftverlängerung für einen Messkopf, Koordinatenmessgerät und Verfahren zur Messung von Koordinaten oder Eigenschaften eines Werkstücks
CN114508987B (zh) * 2022-04-20 2022-07-12 南通勤为半导体科技有限公司 用于载带生产加工的厚度检测设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53124469A (en) * 1977-02-07 1978-10-30 Rolls Royce Operating method of measuring machine for coordinate and apparatus for carring out the method
JPS5537374A (en) * 1978-09-09 1980-03-15 Sekisui Jushi Co Ltd Fabrication of packing band made of thermoplastic synthetic resin having printing

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE7400071U (de) 1974-04-18 Kugelfischer Schaefer G & Co Meßkopf für Koordinatenmeßgeräte
US3111607A (en) * 1960-02-29 1963-11-19 Ruth E Storch Electromagnet assembly
US3389358A (en) * 1966-07-19 1968-06-18 Westinghouse Electric Corp Flux transfer lifting magnet
US3783344A (en) * 1972-01-05 1974-01-01 Sumitomo Heavy Industries Lifting magnet assembly
DE2242355C2 (de) * 1972-08-29 1974-10-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Elektronischer Mehrkoordinatentaster
US3911540A (en) * 1973-03-16 1975-10-14 Giddings & Lewis Tool interchange system with break-away shoes
US3991653A (en) * 1974-10-25 1976-11-16 The Boeing Company Pneumatic fail-safe sensor system for n/c machine tool
IT1047161B (it) * 1975-09-03 1980-09-10 Olivetti & Co Spa Centro di lavorazione per automazione programmabile con dispositivo tattile autoadattivo
GB1593050A (en) * 1976-09-30 1981-07-15 Renishaw Electrical Ltd Contact sensing probe
JPS53108676U (ja) * 1977-02-05 1978-08-31
DE2712181C3 (de) * 1977-03-19 1981-01-22 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Tastsystem
IT1083357B (it) * 1977-06-20 1985-05-21 Dea Spa Gruppo di attacco per un montaggio ripetibile e di precisione di un utensile su macchina particolarmente una macchina di misura
IT1107310B (it) * 1978-03-23 1985-11-25 Dea Spa Gruppo di attacco per un montaggio di precisione e di sicurezza di un utensile su una macchina particolarmente una macchina di misura
US4339714A (en) * 1978-07-07 1982-07-13 Rolls Royce Limited Probe having passive means transmitting an output signal by reactive coupling
GB2025073B (en) * 1978-07-07 1982-12-15 Rolls Royce Apparatus for monitoring the state of an electrical circiut
DE3011002A1 (de) * 1979-03-30 1980-10-16 Renishaw Electrical Ltd Werkzeugverbindungsmechanismus fuer werkzeugmaschinen
GB2047133B (en) * 1979-03-30 1982-12-15 Renishaw Electrical Ltd Tool connecting mechanism for machine tools
US4339946A (en) * 1979-12-05 1982-07-20 Hughes Tool Company Hydraulic depth indicator for hydraulic drilling machines
DD152853A1 (de) * 1980-09-01 1981-12-09 Horst Donat Wechseleinrichtung fuer messeinsatztraeger bei tastkoepfen
US4358888A (en) * 1980-10-16 1982-11-16 Kearney & Trecker Corporation Automatic tool changer with internal tool storage magazine
JPS57149130A (en) * 1981-03-10 1982-09-14 Mitsubishi Seikou Jizai Kk Magnetizing and demagnetizing method of magnetic chuck and its practical magnetic chuck
DE3220801A1 (de) * 1982-06-03 1984-01-26 Max Baermann GmbH, 5060 Bergisch Gladbach Schaltbare, dauermagnetische haltevorrichtung
US4499650A (en) * 1982-06-24 1985-02-19 Kentner B. Wilson Automatic tool changer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53124469A (en) * 1977-02-07 1978-10-30 Rolls Royce Operating method of measuring machine for coordinate and apparatus for carring out the method
JPS5537374A (en) * 1978-09-09 1980-03-15 Sekisui Jushi Co Ltd Fabrication of packing band made of thermoplastic synthetic resin having printing

Also Published As

Publication number Publication date
DE3475951D1 (en) 1989-02-09
US4637119A (en) 1987-01-20
DE3348472C2 (de) 1994-09-29
US4649623A (en) 1987-03-17
US4688307A (en) 1987-08-25
EP0128464A3 (en) 1986-03-12
DE3320127A1 (de) 1984-12-06
JPS59228102A (ja) 1984-12-21
EP0128464B1 (de) 1989-01-04
DE3320127C2 (de) 1994-09-08
EP0128464A2 (de) 1984-12-19

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