JPH0569210B2 - - Google Patents

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JPH0569210B2
JPH0569210B2 JP60049469A JP4946985A JPH0569210B2 JP H0569210 B2 JPH0569210 B2 JP H0569210B2 JP 60049469 A JP60049469 A JP 60049469A JP 4946985 A JP4946985 A JP 4946985A JP H0569210 B2 JPH0569210 B2 JP H0569210B2
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light
microscope
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bright spot
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Kjell Sture Carlsson
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は顕微鏡試片の任意区域の三次元写像を
得るための方法およびその装置に関する。詳しく
は顕微鏡試片上に収斂光線により形成された光輝
点を投射してその結果生ずる光を検出しこれを映
像可能な電気信号に変換し、この変換計測値を蓄
積格納しておき、その後、前記試片の希望部分に
対する信号値を引出し処理して試片の希望部分に
対する立体写像を再現するようにした試片の立体
写像形成方法並びにその装置に関する。
〔従来の技術〕
人体や動物に関して提供された試片の定性的お
よび定量的な顕微鏡検査即ち試験分析データは重
要であり研究活動に対し長時間を必要とする部分
である。例えば治療分野においてそうである。例
えば、生物の精密な研究を行なおとするときには
先ず試験される生物について必要とする数の薄い
試片を準備する。即ちこれらの試片は薄片細断器
ミクロトームによつて準備される。その後試片は
顕微鏡下において定性的かつ定量的な検査が行わ
れる。生物の一般的な状態描写写真や症状の変
化、その他はそのときの分析結果を斟酌すること
により認識することができる。更にまた電子的走
査技術を駆使して顕微鏡試片表面の多数の位置か
らその分析結果を得ることはよく知られている。
公知技術を利用する場合には検査される対象物か
ら比較的多数の試料切片を準備することがこれま
で一般に必要とされているが、これは費用と時間
がかかり更に大へんな労力を必要とする。
〔発明の解決しようとする課題〕
本発明の目的は前記方法及び装置を簡単化する
ことであり、かつ大抵の場合前述した顕微鏡的試
験を効果的に行うための方法を改善し、更に費用
の低減化をその目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る方法及び装置は、顕微鏡試片の各
部を表示する一連の写像計測値を得るために遂行
する極微光計測段階Ａとその後試片について希望
する任意部分の写像を得るための写像処理段階Ｂ
から構成された写像形成方法並びにその装置に関
する。前記極微光計測段階Ａは、 (a) 顕微鏡の焦点面に収斂光線により形成された
光輝点を位置合せする行程と、 (b) 前記光輝点を用いて試片の予め選択された断
面層に含まれる多数の部分要素を逐一に照射
し、このとき照射された個々の部分要素から発
する光を収集する行程と、 (c) 前記光を収集するに際し、微小開口を通過さ
せて計測すべき部分要素に隣接する上下左右の
部分要素群から発散する妨害光線を遮断する行
程と、 (d) 前記微小開口を通つて収集された光を光電管
等の如き検出器により検出して、これをアナロ
グ量から電気的デジタル計測値へ変換する行程
と、 (e) 前記検出された電気的変換信号値を制御信号
として保持せしめると共に蓄積情報信号として
保持する行程と、 (f) 試片と顕微鏡焦点面間のＺ方向距離を逐次変
更して後続する次の断面層に対する光輝点の走
査運動を可能にするＺ方向の距離を変化せしめ
る行程と、から成り、更に前記希望写像組立段
階Ｂは前記計測段階Ａにおいて蓄積保持された
多数の電気的変換信号値に基いて試片の希望す
る断面層又は投射面上の計測値を選択的に処理
して、希望する試片部分の三次元写像を得るよ
うにした試片の三次元写像形成方法である。な
お前記三次元写像の形成方法において蓄積され
た計測値は、光の強度を計測して白黒画像を現
出せしめるのが基本であるが、場合により前記
計測値は個々の部分要素が占有する体積又は面
積に基いて計測することができる。また個々の
部分要素の定点からの距離値又は角度値として
計測可能であり、或はまた部分要素の表面上に
現われた個々の性質を利用しこれに対応する電
気的計測値を得ることも可能である。また使用
する光はレーザー光及び又は蛍光とすることが
でき、それらの反射光線又は透過光線を利用す
ることもできる。
前記方法を実施する装置はつぎのとおりであ
る。
すなわち、試片を乗せる試料テーブルをもつ顕
微鏡と、収斂光線により形成された光輝点を試片
上に生ずるための光源装置と、試片上に設定され
た光輝点から生ずる光を収集しかつ該収集された
光を検出して前記アナログ量の光を電気的デジタ
ル信号値に変換する検出器と、前記電気的変換信
号値を制御パルスとして保持しつつこれを記憶保
持するための運動制御兼データ保持ユニツトとを
具備し、更にその後において試片部分の任意写像
を組立処理を可能にするためのデータプロセツサ
ーを含んで構成される装置であつて、 該装置は試片内を貫通する假想的断面内に区分
して形成された多数の部分要素上に前記の光輝点
を次次に生じさせるため、顕微鏡の焦点面に一致
して走査可能な走査手段を設けると共に顕微鏡に
付属する前記試料テーブルには駆動ユニツトが結
合され、顕微鏡主軸線に沿うＺ方向に歩進運動可
能に設けられ、次いで試片から生ずる光を検出す
る際顕微鏡の後方に微小開口を設けて計測すべき
部分要素に隣接する部分要素群から発散する妨害
光線を除去して検出器に導びき、次いで該検出器
に導入されたアナログ量としての光を電気的なデ
ジタル計測値に変換し、更に該検出器に接続され
た運動制御兼データ保持ユニツトにおいて前記電
気的変換計測値を制御パルスとして保持せしめて
前記光輝点の走査運動に同期して該制御パルスを
試料テーブルの駆動ユニツトへ送信して該テーブ
ルの歩進運動を遂行可能となし、更にその後に前
記試片の希望する部分の任意写像化を容易にする
ため前記運動制御兼データ保持ユニツトの外部に
試片全体の部分要素に関する計測データを蓄積格
納する補助記憶装置及び映像化スクリーンをそれ
ぞれに連結させて成るデータプロセツサーを接続
して構成された試片の三次元写像形成装置であ
る。
〔効果〕
かくしてその後に新しい人体試片を再び準備す
ることなしに写像スクリーン上に種々の投影写像
を再現して前記試片について研究することが可能
となる。更にこのような投影写像を２つ組合せて
立体写像を得ることも可能となる。このことはそ
の研究者に対し、正確な写像を短時間に再現しか
つ研究の進行と共に希望の傾斜角度断面における
写像の作成を可能にする。神経細胞の研究に対し
て本発明方法は特に適切に利用し得る。この神経
細胞は極端なほど多数の分枝細胞を有しかつ複雑
な三次元構造を現わす。このような構造体を従来
の顕微鏡設備を以つてする分析研究によればその
実施は極端に困難を極めかつまた非常な長時間を
要し、しかもそこから得られる情報はなお不完全
である。しかしながら本発明に従つて遂行された
同様の研究においては従来方法に準拠して該研究
を実施したときに得られた情報量よりも多数の情
報量が豊富に得られることが分つた。三次元構造
体について密接な関係をもつ他の分野として細胞
の内部構造に関する研究分野があり、例えば細胞
核、染色体その他の形態に関する研究分野があ
る。
本発明に係る照明と記録保存の技術は次の如き
利点を有する。即ち試片の薄い切片を記録のため
に選択しそしてこれら数種の切片部分を組合せて
三次元写像を形成することが可能となる。この写
像はコントラストが良好であり、望ましくない妨
害光線例えば反射光線の介入率を制限することに
より一そう鮮明に映し出される。また光の全露出
量が少ないので、感受性が強くかつ微細な試片で
も多量の光量による損傷から保護される。以下添
付図面を参照して本発明を詳細に説明する。
〔実施例〕
第２図において、参照符号１０は顕微鏡にかけ
られた試片を示す。この試片１０を横切つて多数
の部分要素から成る一層の假想的な水平断面部分
が描かれている。この図面の描写技法に従えば該
水平断面層の部分はＸ軸方向に20個の列が作ら
れ、Ｙ軸方向には15個の列が作られており、即ち
例えば符号１２とか又は１３で区分けされた部分
要素は全部で20×15＝300個である。しかし実際
上は勿論部分要素がもつと多くてもよいし、また
もつと少なくともよいし、また異つた形状の部分
要素例えば正方形または長方体のようなものでも
よく、これらは試片の形態にすべて依存する。
顕微鏡試片に関しその各部分要素に対する極微
光計測を行なうときには、75個或は100個乃至は
200個の假想的断面層部分が実際上、上記試片上
に設定される。これらの各断面層内の個々の部分
要素は相互に平行平面を有し２個宛が互に境界を
接し合いかつ互に等間隔に配列されている。試片
１０の内部に区分けされる水平断面層１１の部分
はより一そう太い線１４により図面中に描かれて
いる。
第３図は垂直断面によつて描かれた試片２０を
示し、該図面は物体の表面を研究の対象とする場
合を示す。第３図において第２図の水平断面層１
１に対応する断面が符号２１で示され、この水平
断面部分は試片の上方に位置しており、この場合
表面状態が観察されることになる。前記２つの描
かれた断面層１１と２１は今後顕微鏡の焦点面上
にあるものとして説明される。
第１図に示す本発明の装置は試料テーブル３０
１を有する顕微鏡３０を具備し、該顕微鏡３０に
は試片上の多数の部分要素をレーザー光線により
逐一走査するためのレーザー光線走査装置即ちス
キヤンナー３３が連結されている。上記スキヤン
ナー３３はレーザー光線源３１からレーザー光線
を導びき入れかつ走査された試片の部分要素から
発生する光を検出器３５へ導入するための光線分
離装置即ちビームスプリツタ３２が連結される。
該ビームスプリツタは例えばプリズム又はハーフ
ミラーが通常採用され、レーザー光線源３１から
導入されたレーザー光線を試片側へ反射作用によ
り導びくと同時に試片から生ずる光を通過させて
検出させて検出器３５側へ送出する機能を有す
る。また走査すべき部分要素近傍の部分要素群か
ら反射散乱する妨害光線の影響を除去するために
微小開口即ちピンホール３４が顕微鏡３０の後部
焦点位置に設置される。これにより選択された部
分要素から発生する光即ち希望の計測さるべき光
のみが上記微小開口３４に収斂して検出器３６例
えば光電管に導びかれて電気的デジタル計測値に
変換される。次いでこの変換計測値は駆動制御機
能と計測データ保持機能を有する運動制御兼デー
タ保持ユニツト３６に導線３５１を通して伝達さ
れる。該制御兼データ保持ユニツト３６に伝達さ
れた計測信号値は蓄積信号値として該ユニツト内
に蓄積保持されるばかりでなく、制御パルスとし
て維持されることになる。この場合導線３６１及
び３６２を介してスキヤンナー３３を作動制御す
ると同時に試料テーブル３０１の駆動ユニツト３
６３を制御する。更に上記運動制御兼データ保持
ユニツト３６において蓄積保持された電気的変換
信号は外部に設けた補助記憶装置３８、および画
像スクリーン３９を具備するデータプロセツサー
３７に接続される。
レーザー光線源３１からの収斂光線により形成
された鮮明な光輝点はスキヤンナー３３により試
料テーブル３０１上の試片上に設定された顕微鏡
の焦点面内に位置決めされた多数の部分要素へ動
かされる。該焦点面は第２図に示した水平断面層
１１に相当する。スキヤンナー３３により丁度走
査されたＸ−Ｙ平面内にある部分要素の上方・下
方および側方に隣接する他の部分要素群から放散
する思わしくない反射光線は微小開口３４により
遮断され除去される。これによつて部分要素の特
性を表示する情報は例えば反射光又は透過光によ
つて計測される。或る一つの部分要素が走査され
たとき制御パルスが運動制御兼データ保持ユニツ
ト３６から導線３６１を通つてスキヤンナー３３
に送られ、これをうけたスキヤンナー３３は光線
ビームを同じ列即ちＹ列中における次の部分要素
上に移す。この手順は水平断面層１１に含まれる
部分要素全体が走査されかつ検出されるまで継続
する。試料テーブル３０１はそのとき運動制御兼
データ保持ユニツト３６から導線３６２を通つて
駆動ユニツト３６３に送られた制御パルスにより
逐次上方或は下方へ歩進運動により動かされる。
この駆動ユニツト３６３は直接に試料テーブル３
０１をＺ軸方向に案内駆動する。試片を載せた試
料テーブル３０１はかくしてＺ軸方向に所望の距
離だけ歩進運動により動かされ、それによつて顕
微鏡３０の焦点面は試片内部の新しい位置に移さ
れる。この新位置において前述と同様の態様で試
片上の部分要素が走査される。かくして試片全体
が等距離に離れた多数の平行平面内において等間
隔平行線に沿つて配列された部分要素群に対して
継続的に走査される。運動制御兼データ保持ユニ
ツト３６は光輝点の試片上におけるＸ−Ｙ平面上
の現在位置と試料テーブル３０１のＺ軸方向の現
在位置に関する各情報を掴みながら、スキヤンナ
ー３３及び駆動ユニツト３６３への制御信号を伝
達する。
前述した装置を使用して顕微鏡試片全体の三次
元写像を作成するに当つては、次のように作動行
程がとられる。即ち、 (i) 鮮明な光輝点を顕微鏡３０の焦点面内に生じ
させる行程がとられ、この行程は顕微鏡の焦点
面を試片全体を貫通する全断面層に合せて行な
う。
(ii) 前記光輝点は前記焦点面内に置かれた多数の
部分要素に一致するよう次から次へ動かされ
る。
(iii) 試片と顕微鏡の焦点面間の相対距離が歩進運
動により変化され、その都度前記焦点面内に在
る多数の部分要素に対する光輝点の位置が新し
く設定される。
(iv) 鮮明な光輝点と部分要素により発生した光は
収集され、この光は試片の位置に関する情報と
して電気的デジタル計測値に変換され保持され
る。そのときその近傍付近から同時に放散する
妨害光線は顕微鏡の後部焦点に設けた微小開口
を通過させることによりすべて除去される。
(v) このような手順を経て収集された光は微小開
口を通して収集され次いで検出器に導入されて
電気的に変換された計測値は運動制御兼データ
保持ユニツト内に直ちに制御パルスとして保持
されかつその記憶部に蓄積される。この計測値
の格納作用は前記データ保持ユニツトの外部に
設けたデータプロセツサーの補助記憶装置へ蓄
積されるものであつて、該作用は焦点面内にお
ける鮮明な光輝点の走査作用並びに試片と焦点
面間の相互距離の調節作用と同時に遂行され
る。このようにして多数の部分要素を含む試片
の体積内全体に亘つてそれらの情報計測値が蓄
積されて格納される。これは極端な短時間に達
成される。例えば１個の試片を略100個の断面
層に分割しかつ各断面層につき2562個即ち
65536個の部分要素に対する計測値を得る場合
には実際に要する装置の時間は約10分間であ
る。更に試片に対する非常に単純化された前述
した計測設備に加えて、外部に補助記憶装置及
び映像化スクリーを具備するデータプロセツサ
ー３７を接続することにより試片の任意断面に
関する三次元写像をその後に随時得ることが可
能となる。
第４図に描いた装置は第１図の装置に類似する
ものだが、その相違点はスキヤンナー４３によつ
て行なわれる走査運動が一方向にのみ例えばＹ軸
方向に沿つてだけ行われることである。その場
合、試料テーブル４０１は全体の列に沿つて進行
した光線ビームに続いて水平方向の断面層のＸ軸
方向に歩進運動により動かされそして一断面全搬
に亘つて進められた光線ビームは続いて垂直方向
即ちＺ軸方向に歩進運動により逐次移動される。
この一実施例はそれ自体細長い立方体形状の試片
を研究する場合に適している。
該装置の操作機能における前述した相違部分を
除けば、第１図と第４図に描いた回路と各ユニツ
ト部機器類は類似している。
第５図に描いた装置は次の点を除けば第１図の
ものと一致する。即ち第１図中のスキヤンナー３
３は全く省略され、そしてその代りに試料テーブ
ルは全く省略され、そしてその代りに試料テーブ
ル５０１は水平（Ｘ−Ｙ平面）方向の一平面に沿
つて歩進運動により動かされると共に垂直方向の
Ｚ軸に沿つても逐次動かされる。これらの運動は
変換された電気的信号が運動制御兼データ保持ユ
ニツト５６に伝達されると同時に制御パルスが駆
動ユニツト５６３へ送られて遂行される。第１図
と第５図における回路と機器類は相互に対応して
いる。
第１図、第４図、第５図に係る装置は試片から
の反射光又は蛍光を使用するように意図されてい
る。しかしながらそれらの装置は透過光によつて
作動するようにすることもまた可能である。
第６図に描いた装置は透過光により、作動する
ように意図されている。レーザー光線源６１から
導びかれた光線ビームは顕微鏡６０を通過し、試
料テーブル６０１上に置かれた試片内の焦点面内
の一点に結像する。問題となる上記の点において
通過したレーザー光線又は該試片により励起され
た蛍光は対物レンズ６０２によつて集光され、微
小開口６４を通過する。蛍光の場合には励起され
たレーザ光を除去するためのフイルタ６０３がお
かれ、そうすることによつて電気的信号への変換
即ちアナログーデジタル変換作用が検出器６５に
より効果的に行なわれる。次いで前述したものと
同様に運動制御兼データ保持ユニツト６６におい
て駆動ユニツト６６１に対する駆動制御作用が遂
行されると同時にデータ蓄積保持作用が行なわれ
る。第５図について記載したものと類似してこの
第６図に示す試料テーブル６０１もまた運動制御
兼データ保持ユニツト６６から送られた制御パル
スを受けて駆動され、Ｘ−Ｙ平面内にある行又は
列に沿つて移動しかつ該表面に垂直なＺ軸方向に
沿つて歩進運動により逐次動かされる。この装置
の作用及びその他の点に関しては前述した装置と
類似する。
本発明は前述した記載および添付図面の構成に
限定されない。例えばその装置の基本を形成する
態様は第１図および第４図に図示されているけれ
どもそれらは反射光に関して最適の結果を奏する
ものであり、第６図に示すように透過光について
も原理的にはその変形例として製作し得る。更に
第１図、第４図、第５図に係る各装置における駆
動ユニツト３６３，４６３および５６３は各試料
テーブル３０１，４０１および５０１に対する駆
動ユニツトでなくＺ軸方向における顕微鏡の対物
レンズに対し運動制御させるものとして有効に利
用することが可能である。顕微鏡の焦点面におか
れる試片の断面層１１の距離の変更は両側制御即
ち対物レンズを固定してＺ軸方向に試料テーブル
を動かすか、又は対物レンズをＺ軸方向に可動制
御してＺ軸方向に試料テーブルを固定化してもよ
い。
前記記載においては光輝点が運動制御兼データ
保持ユニツト（例えば第１図の３６）からの制御
信号に従つて試片内或は試片上に沿つてどのよう
にして走査されかつ連続的な光計測操作が進めら
れるかについて述べた。しかしながら、例えば前
方および後方へ連続的に光ビームを振り回す如き
変形走査方式によつても遂行することができる。
しかしこの場合の反射信号の検出作用は試片内の
焦点面における所定の位置に対応して瞬時に正確
に行なわれる必要がある。
前述の説明によれば、一度顕微鏡試片の全体に
亘つてその光計測行程が全体的に達成されるなら
ば、その後において試片の任意選択された断面層
における三次元写像が容易に得られることであ
る。
第７図は本発明の前記説明に従つて１個乃至ｎ
個の断面層即ち紙面に直角に置かれた水平の断面
層が試片１０内に図解的に示されている。
研究者は研究の過程中に上記水平断面とは異な
る角度例えば傾斜断面層７０−７０に平行する断
面について観察する必要性に迫られたとき既に前
以つて求めた水平断面層１個乃至ｎ個から得た計
測結果から所望断面層の写像が直ちに得られる。
そしてこの新たに得られた写像を出発点として試
片の他の部分における断面層即ち、多分追加的な
他の断面層に沿つても該研究者の興味を集中させ
ることができよう。その可能性は多種多用であり
研究活動において高度の柔軟性をもつている。
【図面の簡単な説明】
第１図は反射光又は蛍光を利用した顕微鏡試片
による極微光計測装置を示し、該装置は水平面内
において走査可能なスキヤンナーと垂直方向に制
御移動可能な試料テーブルを具備する。第２図は
試片の輪郭外形を描くと共に該試片を水平方向に
貫通して形成される水平断面層を示す斜視図、第
３図は一試片の表面を検査する場合に利用される
試片の垂直断面図を示し、該図面における符号２
１は第２図に示す水平断面層部分１１に対応し、
第４図は第１図の変形実施例に係る装置を示し、
この実施例はＹ方向にのみ走査運動可能なスキヤ
ンナー機構と垂直方向のＺ方向と横方向のＸ方向
の両方向に駆動可能なテーブルをもつ点で異な
る。第５図は第１図の変形実施例を示し、該装置
はスキヤンナーが省略されているが三次元的に駆
動制御可能な試料テーブルを具備し、第６図は第
５図の装置を変形した他の実施例に相当し、該装
置は透過光又は蛍光を使用する点が相違してお
り、第７図は多数の水平断面層に対し斜めに傾斜
した方向の断面層を試片内に設定可能であること
を示す。 １０……顕微鏡試片、１２，１３……部分要
素、１１……断面、３０……顕微鏡、３０１……
試料テーブル、３１，４１，５１，６１……レー
ザー光線源、３２，４２，５２……ビームスプリ
ツター、３３，４３……スキヤンナー、３４，４
４，５４，６４……微小開口、３５，４５，５
５，６５……検出器、３６，４６，５６，６６…
…運動制御兼データ保持ユニツト、３７，４７，
５７，６７……データプロセツサー、３８，４
８，５８，６８……補助記憶装置、３９，４９，
５９，６９……画像スクリーン、７０−７０……
傾斜断面層。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 試片内部を表示する一連の写像計測値を得る
    ため、該試片の多数の断面層について同一操作を
    繰返し遂行される極微光計測段階Ａとその後に行
    う希望写像処理段階Ｂから構成される試片部分の
    写像形成方法であつて、 前記極微光計測段階Ａは次の各行程(a)乃至(f)か
    ら成り、すなわち (a) 顕微鏡の焦点面に収斂光線により形成された
    光輝点を位置決めする行程と、 (b) 試片の予め選択された断面層に含まれる多数
    の部分要素を前記光輝点を使用し、逐一走査し
    かつ該走査部分から発生する光を収集する行程
    と、 (c) 前記光の収集行程において、その後部像点が
    試片上の光輝点に一致する位置に微小開口３４
    を設けて、計測すべき部分要素に隣接する上下
    左右の部分要素群から発生する妨害光線を遮断
    する行程と、 (d) 前記微小開口３４を通つて検出された光を電
    気的計測信号値に変換する行程と、 (e) 前記検出された電気的変換の計測信号値を試
    片上の前記光輝点の走査作用と同期して記憶部
    に保持しかつ蓄積する行程と、 (f) 前記試片と顕微鏡焦点面間のＺ方向距離を逐
    次変更して、後続する次の断面層における光輝
    点の走査運動を可能にするＺ方向の距離変化行
    程と、 から成り、 かつ前記希望写像処理段階Ｂは前記計測後にお
    いて前記計測段階Ａにおいて格納された電気的計
    測信号値から試料の希望する断面層又は投射面の
    部分要素上の計測値を選択的に処理する希望試片
    の写像処理行程である試片の三次元写像の形成方
    法。 ２ 電気的に変換された前記写像信号計測値は試
    片の要素部分の体積を計測して表示する特許請求
    の範囲１記載の方法。 ３ 電気的に変換された前記写像計測値は要素部
    分の表面面積を計測して表示する特許請求の範囲
    第１項記載の方法。 ４ 電気的に変換された前記写像計測値は光の強
    度を計測して得られるようにした特許請求の範囲
    第１項記載の方法。 ５ 電気的に変換された前記写像信号計測値は
    個々の要素部分の距離を計測して得られるように
    した特許請求の範囲第１記載の方法。 ６ 電気的に変換された前記写像計測値は角度測
    定により表示される特許請求の範囲１記載の方
    法。 ７ 電気的に変換された前記写像信号計測値は表
    面の性質変化を変数因子として計測される特許請
    求の範囲第１項記載の方法。 ８ 試料テーブルを有する顕微鏡と、収斂光線に
    より形成された光輝点を生ずる光源装置と、前記
    光輝点から生ずる光を収集してこれを電気的計測
    信号値に変換する検出器とを含んで構成される装
    置であつて、 前記試料テーブル３０１，４０１，５０１，６
    ０１には駆動ユニツト３６３，４６３，５６３，
    ６６１が連結されて顕微鏡の主軸線に沿うＺ方向
    の歩進運動が可能となるように設けられると共に
    前記試片を貫通する一つの平面内に含む部分要素
    列を走査するように前記試料テーブルと前記光源
    装置とを相対的に運動させる手段が設けられ、か
    つ試片上の光輝点が顕微鏡の後部像点に一致する
    位置に微小開口３４が設けられ、該微小開口を通
    して集収された光はその後方に配置された検出器
    ３５を通して電気的計測信号値に変換され、かつ
    前記検出器３５に運動制御兼データ保持ユニツト
    ３６が接続されて前記試料テーブルの駆動ユニツ
    トへ制御パルスを送信可能にすると共に計測信号
    値の蓄積保持作用をもつように設置され、更に前
    記データ保持ユニツト３６の外部に補助記憶装置
    ３８と映像化スクリーンを接続するデータプロセ
    ツサー３７を連結することによりその後に前記試
    片の選択された任意断面に関する写像を容易に再
    現しうるようにした試片の三次元写像の形成装
    置。 ９ 顕微鏡４０に付属する試料テーブル４０１は
    該顕微鏡の主軸線Ｚ方向に直交する第１の直角方
    向ｘに沿つて歩進運動するように駆動ユニツト３
    ６３に連結されると共に光源装置４１，４２，４
    ３は前記Ｚ方向に直交する第２の直角方向ｙに並
    ぶ部分要素列を逐次走査するように設置され、か
    つ前記資料テーブル４０１と光源装置４１，４
    ２，４３間のＺ方向運動は試片を貫通する一つの
    平面内に含む部分要素列を走査し次いで前記平面
    に平行な他の平面内に含む部分要素列を走査し
    て、試片全体を走査可能にする特許請求の範囲８
    に記載の装置。 １０ 顕微鏡５０に付属する試料テーブル５０１
    は該顕微鏡の主軸線Ｚ方向に直交する第１の直角
    方向ｘにおいて比較的低速度の歩進運動をするよ
    う配置されると共に前記Ｚ方向に直交する第２の
    直角方向ｙに対し比較的高速の歩進運動をするよ
    うに設けられ、この場合Ｚ軸方向に直交する多数
    の平行平面内における試料テーブル５０１の運動
    は前記運動制御兼データ保持ユニツト５６から発
    する制御パルスを通して行われ、試片全体に含ま
    れる凡ての部分要素を走査するように設けられて
    いる特許請求の範囲８に記載の装置。
JP60049469A 1984-03-15 1985-03-14 試片の三次元写像の形成方法及びその装置 Granted JPS60212716A (ja)

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