JPH056915B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH056915B2 JPH056915B2 JP61122945A JP12294586A JPH056915B2 JP H056915 B2 JPH056915 B2 JP H056915B2 JP 61122945 A JP61122945 A JP 61122945A JP 12294586 A JP12294586 A JP 12294586A JP H056915 B2 JPH056915 B2 JP H056915B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- slits
- frequency
- particles
- scattered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 27
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光散乱式粒子計数器に関し、さら
に詳しくいうと、検出信号のＳ／Ｎを向上する手
段を備えた光散乱式粒子計数器に関するものであ
る。
に詳しくいうと、検出信号のＳ／Ｎを向上する手
段を備えた光散乱式粒子計数器に関するものであ
る。
光散乱式粒子計数器は、原理的に、光ビームを
粒子が通過する際の光散乱による光パルスを電気
パルスに変換して粒子計数を行うものであること
から、一般にＳ／Ｎ向上に用いられている手段、
たとえば、参照信号と同期をとり、平均化するな
どの方法によることはできない。そのため、粒子
からの信号に影響を与えない程度の低域通過フイ
ルタを用いる程度に止どまつている。
粒子が通過する際の光散乱による光パルスを電気
パルスに変換して粒子計数を行うものであること
から、一般にＳ／Ｎ向上に用いられている手段、
たとえば、参照信号と同期をとり、平均化するな
どの方法によることはできない。そのため、粒子
からの信号に影響を与えない程度の低域通過フイ
ルタを用いる程度に止どまつている。
第６図は従来のこの種の光散乱式粒子計数器を
示し、インレツトレンズ１から照射領域を通つ
て、アウトレツトノズル２へ流れる試料中の粒子
３による散乱光は、集光レンズ４で光電変換素子
５に投ぜられ、光電変換素子５からの出力電気信
号はアンプ６で増幅されたのち、低域通過フイル
タ７、比較器８を経て、計数器９でパルス数が計
数される。
示し、インレツトレンズ１から照射領域を通つ
て、アウトレツトノズル２へ流れる試料中の粒子
３による散乱光は、集光レンズ４で光電変換素子
５に投ぜられ、光電変換素子５からの出力電気信
号はアンプ６で増幅されたのち、低域通過フイル
タ７、比較器８を経て、計数器９でパルス数が計
数される。
以上の動作において、アンプ６の出力Ａは、第
７図に示すように、パルスa1と高、低域ノイズa2
とからなる波形ａを示す。これが低域通過フイル
タ７を通過することにより、その出力Ｂは、第８
図に示すように、パルスb1と低域ノイズb2とから
なる波形ｂとなり、依然として低域ノイズが存在
する。すなわち、粒子検出領域の空気分子からの
散乱光や、光電子増倍管の増倍率のゆらぎなどか
ら生じるノイズ成分のうちの低い周波数成分のも
のは除去されないのが実情であつた。
７図に示すように、パルスa1と高、低域ノイズa2
とからなる波形ａを示す。これが低域通過フイル
タ７を通過することにより、その出力Ｂは、第８
図に示すように、パルスb1と低域ノイズb2とから
なる波形ｂとなり、依然として低域ノイズが存在
する。すなわち、粒子検出領域の空気分子からの
散乱光や、光電子増倍管の増倍率のゆらぎなどか
ら生じるノイズ成分のうちの低い周波数成分のも
のは除去されないのが実情であつた。
以上のような従来の光散乱式粒子計数器では、
ノイズのうちの低い周波数成分を除去することが
できないため、Ｓ／Ｎの向上に限界があり、計数
しうる粒子の大きさが限られるという問題点があ
つた。
ノイズのうちの低い周波数成分を除去することが
できないため、Ｓ／Ｎの向上に限界があり、計数
しうる粒子の大きさが限られるという問題点があ
つた。
この発明はかかる問題点を解消しようとするも
ので、Ｓ／Ｎを向上させることにより、従来と同
程度の光源や集光系を用いて、より微小な粒子計
数ができる光散乱式粒子計数器を得ることを目的
とするものである。
ので、Ｓ／Ｎを向上させることにより、従来と同
程度の光源や集光系を用いて、より微小な粒子計
数ができる光散乱式粒子計数器を得ることを目的
とするものである。
この発明に係る光散乱式粒子計数器は、粒子に
よる散乱光をレンズで集光し、その焦点に設けた
複スリツトにより１個の粒子からの光パルスを周
期性のある形として光電変換素子へ導く。しかる
のち、その周期に合つた電気的帯域通過フイルタ
を通して低域および高域のノイズを除去し、つい
でこれを２乗積分することで、Ｓ／Ｎの改善され
た単発パルスとして取出す。
よる散乱光をレンズで集光し、その焦点に設けた
複スリツトにより１個の粒子からの光パルスを周
期性のある形として光電変換素子へ導く。しかる
のち、その周期に合つた電気的帯域通過フイルタ
を通して低域および高域のノイズを除去し、つい
でこれを２乗積分することで、Ｓ／Ｎの改善され
た単発パルスとして取出す。
第１図はこの発明の一実施例を示し、集光レン
ズ４の焦点に複スリツト１０が配設されている。
複スリツト１０は、第２図に示すように、所定の
間隔を保つて周期性をもつように複数のスリツト
１０ａが並設されたもので、１個の粒子３からの
散乱光でなる光パルスを、光量がスリツト１０ａ
の間隔及び集光された散乱光の移動速度で決まる
周波数で周期的に変化する射出光として光電変換
素子５へ導く働きをする。
ズ４の焦点に複スリツト１０が配設されている。
複スリツト１０は、第２図に示すように、所定の
間隔を保つて周期性をもつように複数のスリツト
１０ａが並設されたもので、１個の粒子３からの
散乱光でなる光パルスを、光量がスリツト１０ａ
の間隔及び集光された散乱光の移動速度で決まる
周波数で周期的に変化する射出光として光電変換
素子５へ導く働きをする。
アンプ６の出力は、上記の周期に合つた電気的
な帯域通過フイルタ１１、さらに２乗積分回路１
２へと入力される。
な帯域通過フイルタ１１、さらに２乗積分回路１
２へと入力される。
その他、第２図と同一符号は同一部分を示して
いる。
いる。
以上の構成により、粒子３からの散乱光は集光
レンズ４で集光され、複スリツト１０上に結像す
る。このとき、粒子３は移動しているので、像も
複スリツト１０上を順次横切りながら移動する。
光電変換素子５から得られる光検出信号はアンプ
６において増幅される。かくしてアンプ６の出力
Ｃは、第３図に示すように、複スリツト１０ａの
光量変化の周波数で大きさが変化する信号c1と、
高、低域ノイズc2とからなる波形ｃを呈する。こ
の波形ｃの信号が帯域通過フイルタ１１を通つた
出力Ｄは、第４図に示すように、周期性のパルス
波形ｄとなる。ここで、帯域フイルタ１１の通過
帯域の周波数は波形ｃのうち周期性のある信号c1
を通過させるような値に選定されており、従つて
波形ｃのうち高、低域ノイズc2は帯域フイルタ１
１のカツトオフ領域に生ずることにより、カツト
オフされる。かくして帯域フイルタ１１の出力側
には粒子３の移動速度と複スリツト１０の間隔に
よつて決まる周波数をもつ信号成分以外のノイズ
が除去された信号となる。これを２乗積分回路１
２に通すことにより、２乗積分回路１２の出力Ｅ
は、第５図に示す波形の単発パルスｅとなる。こ
の単発パルスは比較器８、計数器９へと導かれ、
粒子計数に供される。
レンズ４で集光され、複スリツト１０上に結像す
る。このとき、粒子３は移動しているので、像も
複スリツト１０上を順次横切りながら移動する。
光電変換素子５から得られる光検出信号はアンプ
６において増幅される。かくしてアンプ６の出力
Ｃは、第３図に示すように、複スリツト１０ａの
光量変化の周波数で大きさが変化する信号c1と、
高、低域ノイズc2とからなる波形ｃを呈する。こ
の波形ｃの信号が帯域通過フイルタ１１を通つた
出力Ｄは、第４図に示すように、周期性のパルス
波形ｄとなる。ここで、帯域フイルタ１１の通過
帯域の周波数は波形ｃのうち周期性のある信号c1
を通過させるような値に選定されており、従つて
波形ｃのうち高、低域ノイズc2は帯域フイルタ１
１のカツトオフ領域に生ずることにより、カツト
オフされる。かくして帯域フイルタ１１の出力側
には粒子３の移動速度と複スリツト１０の間隔に
よつて決まる周波数をもつ信号成分以外のノイズ
が除去された信号となる。これを２乗積分回路１
２に通すことにより、２乗積分回路１２の出力Ｅ
は、第５図に示す波形の単発パルスｅとなる。こ
の単発パルスは比較器８、計数器９へと導かれ、
粒子計数に供される。
以上の作用は、検出領域を大にして空気分子の
散乱光が増えても、すなわち、光ビーム径とノイ
ズ径を大きくしてサンプリング量を大きくして
も、計数上十分なＳ／Ｎを維持する。
散乱光が増えても、すなわち、光ビーム径とノイ
ズ径を大きくしてサンプリング量を大きくして
も、計数上十分なＳ／Ｎを維持する。
この発明は、以上説明したとおり、集光レンズ
の焦点に複スリツトを設けて粒子からの散乱光を
周期性のある形とし、この周期に合つた帯域通過
フイルタでノイズを除去したあと、２乗積分を行
つて単発パルスを得るようにしたので、光源を強
くするとか、集光系の集光立体角を増大させるな
どの手段をとることなく、Ｓ／Ｎを改善すること
ができ、より微小な粒子の検出を可能とする。
の焦点に複スリツトを設けて粒子からの散乱光を
周期性のある形とし、この周期に合つた帯域通過
フイルタでノイズを除去したあと、２乗積分を行
つて単発パルスを得るようにしたので、光源を強
くするとか、集光系の集光立体角を増大させるな
どの手段をとることなく、Ｓ／Ｎを改善すること
ができ、より微小な粒子の検出を可能とする。
換言すると、従来程度のＳ／Ｎを許容するなら
ば、光源や装置の小形化、サンプリング量の増大
などをなしうる。
ば、光源や装置の小形化、サンプリング量の増大
などをなしうる。
第１図〜第５図はこの発明の一実施例を示し、
第１図は回路図、第２図は一部正面図、第３図〜
第５図はそれぞれ第１図各点における波形図であ
る。第６図〜第８図は従来の光散乱式粒子計数器
を示し、第６図は回路図、第７図および第８図は
第６図の各点における波形図である。 ３……粒子、４……集光レンズ、５……光電変
換素子、１０……複スリツト、１１……帯域通過
フイルタ、１２……２乗積分回路。
第１図は回路図、第２図は一部正面図、第３図〜
第５図はそれぞれ第１図各点における波形図であ
る。第６図〜第８図は従来の光散乱式粒子計数器
を示し、第６図は回路図、第７図および第８図は
第６図の各点における波形図である。 ３……粒子、４……集光レンズ、５……光電変
換素子、１０……複スリツト、１１……帯域通過
フイルタ、１２……２乗積分回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 照射領域を通過する試料中の粒子による散乱
光を集光する集光レンズと、 この集光レンズの焦点に配置され、所定の間隔
を伴つて周期的に配列された複数のスリツトを有
し、前記集光レンズによつて集光された散乱光を
前記粒子の移動に応じて前記複数のスリツト上を
順次横切りながら移動するように入射させること
により、光量が前記複数のスリツトの間隔及び前
記集光された散乱光の移動速度に応じて決まる周
波数で周期的に変化する射出光を形成する複スリ
ツトと、 この複スリツトの射出光を電気信号に変換する
ことにより、上記射出光の光量変化の周波数と同
じ周波数で大きさが変化する光検出信号を送出す
る光電変換素子と、 前記光検出信号の大きさの変化の周波数を有す
る信号成分を通過させる通過帯域を有する帯域通
過フイルタと、 この帯域通過フイルタの出力を単発パルスに整
形する２乗積分回路と を具えることを特徴とする光散乱式粒子計数器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12294586A JPS62279485A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | 光散乱式粒子計数器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12294586A JPS62279485A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | 光散乱式粒子計数器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62279485A JPS62279485A (ja) | 1987-12-04 |
| JPH056915B2 true JPH056915B2 (ja) | 1993-01-27 |
Family
ID=14848505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12294586A Granted JPS62279485A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | 光散乱式粒子計数器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62279485A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05267907A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 誘電体フィルタ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2821607B2 (ja) * | 1989-02-14 | 1998-11-05 | 日清製粉株式会社 | 粒数計数装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57193824A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-29 | Takayoshi Hirata | Generating method for square integral signal |
| JPS59157780A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-07 | Hitachi Ltd | 血球カウンタ |
-
1986
- 1986-05-28 JP JP12294586A patent/JPS62279485A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57193824A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-29 | Takayoshi Hirata | Generating method for square integral signal |
| JPS59157780A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-07 | Hitachi Ltd | 血球カウンタ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05267907A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 誘電体フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62279485A (ja) | 1987-12-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5455423A (en) | Gas bubble detector | |
| JP3049254B2 (ja) | ２種類の光源を備えた光学式粒子分析装置 | |
| JP2641927B2 (ja) | 微粒子測定装置 | |
| US4113386A (en) | Photometer | |
| US11768148B2 (en) | Miniaturized optical particle detector | |
| JP5362895B1 (ja) | 光散乱式粒子計数器 | |
| JP6083660B1 (ja) | 粒子検出センサ、ダストセンサ、煙感知器、空調装置、及び、粒子検出方法 | |
| CN209416865U (zh) | 一种油液颗粒物污染检测装置 | |
| US5923260A (en) | Smoke detecting apparatus utilizing light signal pulse widths | |
| JPH056915B2 (ja) | ||
| DE69224699T2 (de) | Fühler zur Messung des Russanteils in Abgasen | |
| CN109870394A (zh) | 一种双光束气溶胶粒子浓度检测装置 | |
| EP0130992A1 (de) | Photoelektrischer rauchdetektor. | |
| CN209513529U (zh) | 一种双光束气溶胶粒子浓度检测装置 | |
| JPH0737937B2 (ja) | 光散乱方式による微粒子検出装置 | |
| US11604122B2 (en) | Curtain flow design for optical chambers | |
| JPH0220674Y2 (ja) | ||
| JP2970832B2 (ja) | 微粒子検出器の信号処理回路 | |
| JPS6176935A (ja) | 微粒子計数装置 | |
| CN219038188U (zh) | 一种热释电红外防护检测装置电路 | |
| CN219065204U (zh) | 一种粒子计数器及粒子计数系统 | |
| JPS60147607A (ja) | レ−ザ・ドツプラ速度計を用いた粒子径の測定方法 | |
| JP3780701B2 (ja) | 煙感知装置 | |
| JPH0124616Y2 (ja) | ||
| RU2508533C2 (ru) | Фотоэлектрическое устройство определения размеров и концентрации взвешенных частиц |